JP7068974B2 - ラダー型フィルタ及びマルチプレクサ - Google Patents
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Description
11 経路
22 IDT
24 電極指
26 バスバー
28 櫛型電極
30 反射器
40 配線
42 入力パッド
44 出力パッド
46 グランドパッド
48 バンプ
50 横モードスプリアス
60~64 金属層
70 結晶粒
72 粒界
80、84 フォトレジスト
82、86 金属膜
90 送信フィルタ
92 受信フィルタ
100 ラダー型フィルタ
300 デュプレクサ
S1~S3 直列共振器
P1、P2 並列共振器
Claims (11)
- タンタル酸リチウム基板である圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、入力端子と出力端子との間に接続される経路上に直列に接続され、Ir、Mo、Pt、Re、Rh、Ru、Ta、及びWの少なくとも1つを主成分とする金属層を含む第1櫛型電極対を有する1又は複数の第1直列共振器と、
前記圧電基板上に設けられ、前記1又は複数の第1直列共振器に対し直列接続され、前記第1櫛型電極対よりも電極指の平均ピッチが大きく且つ前記第1櫛型電極対よりも速い音速の弾性波を励振する、Alを主成分とする金属層を含む第2櫛型電極対を有し、前記1又は複数の第1直列共振器よりも前記入力端子側に位置する第2直列共振器と、
前記圧電基板上に設けられ、一端が前記経路に電気的に接続され、他端が接地された1又は複数の並列共振器と、を備えるラダー型フィルタ。 - 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、入力端子と出力端子との間に接続される経路上に直列に接続され、前記圧電基板内を伝搬するバルク波の音速よりも遅い音速の弾性波を励振する第1櫛型電極対を有する1又は複数の第1直列共振器と、
前記圧電基板上に設けられ、前記1又は複数の第1直列共振器に対し直列接続され、前記第1櫛型電極対よりも電極指の平均ピッチが大きく、前記第1櫛型電極対が励振する弾性波の音速および前記圧電基板内を伝搬するバルク波の音速よりも速い音速の弾性波を励振する第2櫛型電極対を有し、前記1又は複数の第1直列共振器よりも前記入力端子側に位置する第2直列共振器と、
前記圧電基板上に設けられ、一端が前記経路に電気的に接続され、他端が接地された1又は複数の並列共振器と、を備えるラダー型フィルタ。 - 前記第2櫛型電極対の音響インピーダンスは、前記第1櫛型電極対の音響インピーダンスより小さい、請求項1または2記載のラダー型フィルタ。
- 前記1又は複数の第1直列共振器及び前記第2直列共振器のうち、前記第2直列共振器は最も共振周波数が小さい直列共振器である、請求項1から3のいずれか一項記載のラダー型フィルタ。
- 前記第2櫛型電極対の電極指の平均ピッチは、前記第1櫛型電極対の電極指の平均ピッチの1.1倍以上である、請求項1から4のいずれか一項に記載のラダー型フィルタ。
- 前記第2櫛型電極対の音響インピーダンスは、前記第1櫛型電極対の音響インピーダンスの1/2以下である、請求項1から5のいずれか一項に記載のラダー型フィルタ。
- 前記第1櫛型電極対は、Ir、Mo、Pt、Re、Rh、Ru、Ta、及びWの少なくとも1つを主成分とする金属層を含み、
前記第2櫛型電極対は、Alを主成分とする金属層を含む、請求項2記載のラダー型フィルタ。 - 前記第2櫛型電極対は、複数の金属層が積層された金属膜で形成され、
前記第1櫛型電極対は、複数の結晶粒のうち半数以上の結晶粒が積層方向に長手方向を有する柱状の結晶粒である第1金属層と、前記第1金属層上に設けられ、前記第2櫛型電極対を形成する前記複数の金属層のうちの少なくとも1つと同じ金属で形成された第2金属層と、を有する、請求項1から7のいずれか一項記載のラダー型フィルタ。 - 前記圧電基板上に前記経路を構成する配線を備え、
前記第2櫛型電極対と前記配線は同じ膜構成である、請求項1から8のいずれか一項記載のラダー型フィルタ。 - 前記圧電基板は、タンタル酸リチウム基板である、請求項2記載のラダー型フィルタ。
- 請求項1から10のいずれか一項に記載のラダー型フィルタを含むマルチプレクサ。
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