JP2005253034A - 弾性表面波素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 くし歯状電極部13、14がTiN(窒化チタン)またはTiOxNyからなる下地層21と、下地層の上面に接して積層された主電極層22からなる積層構造を有している。最稠密面である{111}面が基板表面に対して一定の傾きを有するように積層されるのでくし歯状電極部13、14のでエレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションを抑制することができ、電極破損、電気的断線の防止、素子の挿入損失の低減、共振子のQ値向上を図ることができる。
【選択図】図4
Description
前記電極部は、くし歯状電極部及び前記くし歯状電極部に接続された接続電極部を有し、前記くし歯状電極部は下地層とこの下地層の上に積層された主電極層を有し、前記下地層は岩塩型構造、面心立方構造又は六方最密構造の結晶構造を有し、前記主電極層は面心立方構造の結晶構造を有しており、前記主電極層の{111}面は基板表面に対して一定の傾きを有していることを特徴とするものである。
符号11は弾性表面波素子を示しており、この弾性表面波素子は分波器としての機能を有している。符号12は、圧電基板を示している。本実施の形態では、圧電性基板12は三方晶の結晶構造を有しているLiTaO3またはLiNbO3などの圧電セラミック材料によって形成されている。
測定に用いた電極パタンを以下に示す。
電極の長さ寸法 : 300μm
電極のAl合金層の膜厚 : 150nm
実験に用いた弾性表面波素子のくし歯状電極部の寸法を以下に示す。
くし歯状電極部のくし歯部の間隔幅P : 0.5μm
くし歯状電極部のくし歯部の長さ寸法L : 33μmもしくは50μm
くし歯状電極部のAl合金層の膜厚 : 120nm
なお弾性表面波素子に対する入力周波数fはfm=(共振周波数fr+反共振周波数far)/2である。
実験に用いた弾性表面波素子のくし歯状電極部の寸法を以下に示す。
くし歯状電極部のくし歯部の間隔幅P : 0.5μm
くし歯状電極部のくし歯部の長さ寸法L : 33μmもしくは50μm
くし歯状電極部のAl合金層の膜厚 : 120nm
なお弾性表面波素子に対する入力周波数fはfm=(共振周波数fr+反共振周波数far)/2である。
N2流量比(=N2流量/(Ar流量+N2流量))を変えると、TiN膜中のTiとNの組成比およびO含有量が変わるが、いずれも下地層ならびに保護層のTiN膜として好適である。
一方、LiTaO3基板のYカット角を大きくすると共振器の帯域幅Δfが狭くなる、すなわち共振器の特性が劣化する。
12 圧電性基板
13、14 くし歯状電極部
15、16 接続電極部
17、18 電極部
19 反射電極
21、25 下地層
22、26 主電極層
23、27 保護層
Claims (18)
- 圧電性基板と、前記圧電性基板上に薄膜形成された電極部を有する弾性表面波素子において、
前記電極部は、くし歯状電極部及び前記くし歯状電極部に接続された接続電極部を有し、前記くし歯状電極部は下地層とこの下地層の上に積層された主電極層を有し、前記下地層は岩塩型構造、面心立方構造又は六方最密構造の結晶構造を有し、前記主電極層は面心立方構造の結晶構造を有しており、前記主電極層の{111}面は基板表面に対して一定の傾きを有していることを特徴とする弾性表面波素子。 - 前記主電極層の{111}面は前記圧電性基板の結晶のX軸に平行である請求項1記載の弾性表面波素子。
- 前記下地層の{111}面は基板表面に対して一定の傾きを有していることを特徴とする請求項1又は2記載の弾性表面波素子。
- 前記主電極層の結晶は前記下地層の結晶の上にエピタキシャル又はヘテロエピタキシャル成長している請求項1ないし3のいずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記主電極層の結晶のXRD極点図における{111}面のスポットの位置と前記下地層の結晶のXRD極点図における{111}面のスポットの位置が一致する請求項1ないし4のいずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記下地層の結晶の最近接原子間距離は2.40Å〜3.30Åである請求項1ないし5のいずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記主電極層の結晶の最近接原子間距離は2.50Å〜3.00Åである請求項1ないし6のいずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記下地層の結晶の最近接原子間距離と前記主電極層の結晶の最近接原子間距離のミスマッチ率が−20%以上20%以下である請求項1ないし7のいずれかに記載の弾性表面波素子、
ただし、前記ミスマッチ率=(前記下地層の結晶の最近接原子間距離−前記主電極層の結晶の最近接原子間距離)×100/前記主電極層の結晶の最近接原子間距離である。 - 前記下地層の結晶の最近接原子間距離と前記主電極層の結晶の最近接原子間距離の前記ミスマッチ率が−15%以上15%以下である請求項8に記載の弾性表面波素子。
- 前記下地層はTiN(窒化チタン)、TiOxNy(ただし0<x<0.2,x+y=1)、Ni、Fe、Mg、Co、Osのいずれか1種または2種以上によって形成されている請求項1ないし9のいずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記主電極層はCu、Al、Pt、Au、またはAgのいずれか1種または2種以上によって形成されている請求項1ないし10のいずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記主電極層はCu、Al、Pt、Au、またはAgのいずれか1種または2種以上の元素とAg、Sn、C、Sc、Cuのいずれか1種または2種以上の元素の合金によって形成されている請求項1ないし10のいずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記圧電性基板は三方晶の結晶構造を有している請求項1ないし12のいずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記圧電性基板はLiTaO3またはLiNbO3からなる請求項1ないし13のいずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記圧電性基板はYカット角が36°から60°のLiTaO3からなる請求項1ないし14のいずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記主電極層の結晶の[111]方向の基板法線方向からの角度が前記圧電性基板のZ軸の基板法線方向からの角度よりも大きい請求項15に記載の弾性表面波素子。
- 前記主電極層の上にTiN(窒化チタン)またはTiOxNy(ただし0<x<0.2,x+y=1)からなる保護層が積層されている請求項1ないし16いずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記下地層の膜厚が5nmから20nmである請求項1ないし17のいずれかに記載の弾性表面波素子。
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