JP4650488B2 - 弾性波素子 - Google Patents
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Description
本発明に係る弾性波素子のある特定の局面では、前記凸部に対して弾性波伝搬方向において隣接している前記ギャップが電極指先端側に位置されている当該電極指は、電極指先端にいくに連れて細くされている。
本発明の弾性波素子の他の特定の局面では、前記第1の電極指の外周縁と、第1の電極指に隣接している第2の電極指の外周縁との間の距離が、ほぼ一定とされている。
本発明に係る弾性波素子のさらに他の特定の局面では、前記圧電基板上に設けられた少なくとも1つの前記IDT電極を被覆するように設けられた媒質層をさらに備え、前記IDT電極の密度が、前記圧電基板の密度及び前記媒質層の密度以上とされており、かつ前記IDT電極の密度と、前記媒質層の密度との比が、1.22よりも大きくされている。
本発明に係る弾性波素子では、IDT電極が、弾性波伝搬方向において隣り合っており、異なる電位に接続される第1,第2の電極指を有し、第1,第2の電極指の先端外側にそれぞれギャップが形成されており、前記第1の電極指の側縁において、前記第2の電極指の先端外側に位置しているギャップと電極指長さ方向において等しい位置と、前記第2の電極指の側縁において、前記第1の電極指の先端外側に位置しているギャップと電極指長さ方向において等しい位置との少なくとも一方の位置に、凸部が形成されているため、後述の実施形態の説明から明らかなように、上記弾性波の伝搬に際してのギャップが存在している部分と、存在していない部分との間での位相ずれを補償することが可能となる。そのため、共振特性やフィルタ特性を改善することが可能となる。特に、IDT電極に交叉幅重み付が施されている場合、交叉幅重み付けによる特性の改善に加えて、上記凸部の形成により共振特性やフィルタ特性をより一層効果的に改善することが可能となる。
第1の電極指と第2の電極指との間の外周縁間の距離がほぼ一定とされている場合には、電界が集中する部分がほとんどなくなり、耐電力性をより一層高めることができる。
本発明に係る弾性波素子において、第1,第2の電極指が配置されている部分において前記ギャップを伝搬する弾性波の伝搬する実効距離と、第1,第2の電極指が設けられている部分において前記ギャップ以外の部分において弾性波が伝搬する実効距離とが略等しくなるように凸部が形成されている場合には、弾性波の上述した位相ずれをより効果的に補償することが可能となる。
2…圧電基板
2a…上面
3…IDT電極
3a,3b…バスバー
4…反射器
5…反射器
11〜14…凸部
13a…下底
13b…上底
13c,13d…側辺
13A,14A…凸部
13C,14C…凸部
13D,14D…凸部
31…第1の電極指
32…第2の電極指
33…ギャップ
34…ダミー電極指
35…ギャップ
36…ダミー電極指
51…弾性境界波素子
52…入力端子
53,54…弾性境界波フィルタ部
53a〜53c…IDT電極
53d,53e…反射器
54a〜54c…IDT電極
54b,54c…反射器
54d,54e…反射器
55a,56a…IDT電極
55b,55c…反射器
55,56…弾性境界波共振子
57,58…出力端子
60…IDT電極
61…第1の電極指
62…第2の電極指
63,64…凸部
70…IDT電極
71…第1の電極指
72…第2の電極指
73,74…凸部
図2は、本発明の第1の実施形態に係る弾性境界波素子の正面断面図であり、図1(a)は該弾性境界波素子の電極構造を示す模式的平面断面図であり、(b)はその要部を拡大して示す模式的平面図である。
なお、凸部13の位置とギャップ33の位置関係については、電極指31,32の長さ方向に沿う位置が等しくされていることが最も好ましいが、本発明で述べる効果を損なわない程度であれば、必ずしも等しくされていなくてもよい。
従来、交叉幅重み付けが施されたIDT電極を用いた弾性境界波素子や弾性表面波素子が前述したように知られていた。図3は、このような従来の弾性境界波素子における弾性境界波の伝搬経路を説明するための模式的平面図である。従来の弾性境界波素子では、横モードスプリアスなどを抑制するために交叉幅重み付が施されている。図3は、交叉幅重み付が施されているIDT電極の要部を拡大して示す模式的平面図であり、上記実施形態において示した図1(b)に相当する図である。
T1=L/Vm+2・S/Vs………式(1)
で表わされる。
T2=L/Vs+2・S/Vs………式(2)
で表わされることになる。
で表わされる到達時間差が、ギャップ133が存在しない部分を伝搬する場合と、ギャップ133が存在する領域を伝搬する場合とで生じることとなる。そのため、従来の弾性境界波素子121では、IDT電極を伝搬する弾性境界波において、ギャップを通過する場合と、ギャップを通過しない場合との上記時間差に基づき、位相ずれが生じ、共振特性が十分でなかった。
T4=(L/Vs+2・H/Vm+2・(S−H)/Vs………式(4)
で表わされる。
第1の実施形態の弾性境界波素子1では、第2の電極指32のギャップ33側の側縁からギャップ33側に向かって突出するように凸部13,14が形成されていたが、図7に示すように、第2の電極指32のギャップ33に臨む側とは反対側の側縁に凸部13A,14Aを設けてもよい。この場合においても、図7の矢印X6で示すように、点E1,F1間を弾性境界波が伝搬する場合と、矢印X7で示すように、点E2,F2間を弾性境界波が伝搬する場合の伝搬状態が近づけられ、上記実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、本発明における上記凸部は、第1の電極指または第2の電極指の側縁であって、第2,第1の電極指の先端に設けられたギャップに臨む側とは反対側の側縁において、該ギャップとは反対側に向かって突出するように設けられていてもよい。
すなわち、第1の電極指31及び第2の電極指32の各先端の電極指長さ方向外側には、ギャップがそれぞれ設けられているが、第1の電極指31の側縁において、第2の電極指32の先端外側に位置しているギャップと電極指長さ方向において等しい位置と、他方、第2の電極指23の側縁においては、前記第1の電極指31の先端外側に位置しているギャップと電極指長さ方向において等しい位置との、少なくとも一方の位置に凸部が形成されておればよい。
上記実施形態では、圧電基板2がLiNbO3基板により構成されており、その密度は4.64g/cm3であり、媒質層6はSiO2からなり、2.2g/cm3である。これに対して、IDT電極4はAuからなり、その密度は19.3g/cm3である。このように、IDT電極3の密度は、圧電基板2の密度や媒質層6の密度よりも十分に大きい場合には、これらの間の音響インピーダンス差が大きくなる。他方、弾性境界波素子1では、媒質層6とIDT電極との弾性境界波の音速比が、前述した位相ずれや回折損の原因ともなっている。すなわち、音響インピーダンスの差が大きい場合には、上述した位相ずれ、回折損及び散乱による影響が顕著に現れることとなる。
同じ電極材料を用いた場合、図13(a)に示す従来例では、弾性境界波素子の共振インピーダンスZrと半共振インピーダンスZaとの比である20×(log10│Za│−log10│Zr│)dBは、従来例では59.8dBであったのに対し、上記実施形態では、64.7dBと高められることが確かめられた。
第1の実施形態では、1つのIDT電極3と、IDT電極3の両側の反射器4,5が設けられた1ポート型の弾性境界波素子に適用した例を示したが、本発明は、様々な弾性境界波素子や弾性表面波素子に適用することができる。
本実施形態の弾性境界波素子51を、以下の仕様で作製した。
上記第3の実施形態の弾性波素子として、15°YカットX伝搬のLiNbO3基板上に、後述するIDT電極60を形成し、しかる後、厚み6μmのSiO2膜を媒質層として積層してなる弾性境界波素子を作製した。
また、IDT電極の弾性境界波伝搬方向両側には、反射器を配置した。IDT電極における電極指の対数は50対、各反射器における電極指の本数は51本とした。また、IDT電極60における電極指交差幅は30λ、開口幅は30.6λとし、IDT電極では、IDT電極の中央における交差幅が30λとされ、弾性波伝搬方向両端部分において電極指交差幅が12λとなるように交差幅重み付けを施した。なお、λ=3.369μmとした。
また、比較のために、図15に示したような凸部63,64が第1の電極指に設けられておらず、第2の電極指の先端が細くされておらず、電極指の幅方向寸法がほぼ一定とされていることを除いては同様に構成された従来例の弾性境界波素子を作製した。この従来例の弾性境界波素子では、ギャップGの寸法は0.6μmとした。従来例の弾性境界波素子の静電破壊耐圧を測定したところ、173Vであった。
前述したように、従来例の弾性境界波素子では、静電破壊耐圧は、上記第3の実施形態の弾性境界波素子と同等であったが、図17から明らかなように、上記従来例では、共振点と反共振点との間において、位相特性曲線上に少なからずリップルが表われていることがわかる。
Claims (15)
- 圧電体と少なくとも1つのIDT電極とを備える弾性波素子であって、
前記IDT電極が、弾性波伝搬方向において隣り合っており、異なる電位に接続される第1,第2の電極指を有し、
前記第1,第2の電極指の各先端の電極指長さ方向外側にはギャップがそれぞれ設けられており、
前記第1の電極指の側縁において、前記第2の電極指の先端外側に位置している前記ギャップと電極指長さ方向において等しい位置と、前記第2の電極指の側縁において、前記第1の電極指の先端外側に位置している前記ギャップと電極指長さ方向において等しい位置との少なくとも一方の位置に凸部が形成されており、
電極指長さ方向において、前記ギャップが存在するすべての位置における弾性波の実効伝搬距離と、前記第1及び第2の電極指が設けられている部分における実効伝搬距離とが略等しくなるように前記凸部が形成されており、
前記凸部が、前記第1,第2の電極指の一方の電極指において、他方の電極指の先端に設けられたギャップに対向している側の側縁から該ギャップに向けて突出するように形成されている、弾性波素子。 - 前記凸部に対して弾性波伝搬方向において隣接している前記ギャップが電極指先端側に位置されている当該電極指は、電極指先端にいくにつれて細くされている、請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記第1の電極指の外周縁と、第1の電極指に隣接している第2の電極指の外周縁との間の距離が、ほぼ一定とされていることを特徴とする請求項2に記載の弾性波素子。
- 前記凸部が台形の平面形状を有し、前記台形の下底が該凸部が形成されている電極指の側縁により構成されており、台形の上底と下底とを結ぶ側辺と、下底との成す内角が90°未満の角度である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波素子。
- 前記凸部の前記下底の中点の電極指長さ方向に沿う位置が、前記他方の電極指の先端のギャップの該電極指長さ方向中心位置と電極指長さ方向において略等しい位置にあり、前記下底の長さが、前記ギャップの電極指長さ方向に沿う寸法であるギャップ幅よりも大きくされており、前記上底の長さが該ギャップ幅よりも小さくされている、請求項4に記載の弾性波素子。
- 前記凸部が、等角台形の平面形状を有する、請求項5に記載の弾性波素子。
- 前記凸部が複数の角部を有し、該複数の角部が丸められていることを特徴とする、請求項4〜6のいずれか1項に記載の弾性波素子。
- 前記凸部の平面形状が、前記電極指の側縁に連ねられている底辺と、底辺を除いて曲線により形成された外周縁とを有する形状である、請求項1〜3のいずれか1項記載の弾性波素子。
- 前記凸部の底辺の中点の電極指長さ方向に沿う位置が、前記ギャップを電極指長さ方向において2等分する線と電極指長さ方向において略等しい位置にあり、前記底辺の長さが、前記ギャップ幅よりも大きくされている、請求項8に記載の弾性波素子。
- 前記凸部が、前記該1,第2の電極指の他方にも形成されている、請求項1〜9のいずれか1項に記載の弾性波素子。
- 前記IDT電極に交叉幅重み付けが施されている、請求項1〜10のいずれか1項に記載の弾性波素子。
- 前記弾性波として弾性表面波が用いられている、請求項1〜11のいずれか1項に記載の弾性波素子。
- 前記弾性波として弾性境界波が用いられている、請求項1〜11のいずれか1項に記載の弾性波素子。
- 前記圧電基板上に設けられた少なくとも1つの前記IDT電極を被覆するように設けられた媒質層をさらに備え、前記IDT電極の密度が、前記圧電基板の密度及び前記媒質層の密度以上とされており、かつ前記IDT電極の密度と、前記媒質層の密度との比が、1.22よりも大きくされている、請求項12または13に記載の弾性波素子。
- 前記圧電基板上に設けられた少なくとも1つのIDT電極を被覆するように媒質層が積層されており、前記IDT電極の密度が、圧電基板の密度及び前記媒質層の密度以上であり、かつIDT電極の密度と、圧電基板の密度及び媒質層の密度の内の高い方の密度との密度比が1.22よりも大きくされている、請求項13に記載の弾性波素子。
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