JPS6181014A - 表面弾性波デバイス - Google Patents
表面弾性波デバイスInfo
- Publication number
- JPS6181014A JPS6181014A JP20342284A JP20342284A JPS6181014A JP S6181014 A JPS6181014 A JP S6181014A JP 20342284 A JP20342284 A JP 20342284A JP 20342284 A JP20342284 A JP 20342284A JP S6181014 A JPS6181014 A JP S6181014A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode fingers
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrode
- width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、通信機器等に用いられる表面弾性波デバイス
に関するものである。
に関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年通信機器等の部品点数削減、高品質化のために表面
弾性波デバイスが多く用いられるようになってきている
が、さらに高性能化、低コスト化への要望が高まってき
ている。
弾性波デバイスが多く用いられるようになってきている
が、さらに高性能化、低コスト化への要望が高まってき
ている。
以下図面を参照しながら、上述したような従来の表面弾
性波デバイスについて説明を行う。
性波デバイスについて説明を行う。
第１図は従来の表面弾性波デバイスの素子の平面図であ
る。第１図において、１は圧電基板、２は重み付け電極
、３はダミー電極である。
る。第１図において、１は圧電基板、２は重み付け電極
、３はダミー電極である。
しかしながら第１図のような構成では、重み付け電極２
の全体にわたって等ピッチの電極指が存在するため、特
に重み付け電極２の対数が多いときには電極指による反
射のため、表面弾性波が重み付け電極２内に閉じ込めら
れて通過帯域内にリップルを生じる。一方ダミー電極３
を設けない構造では、表面弾性波が重み付け電極２内に
閉じ込められることによるリップルは少なくなるが、中
心軸近くを伝播する表面弾性波に比べてより多くの電極
指の下を通過するために、中“合軸付近とエツジ部分で
波面の歪みが生じ、そのために周波数特性が劣化すると
いった問題かあった。
の全体にわたって等ピッチの電極指が存在するため、特
に重み付け電極２の対数が多いときには電極指による反
射のため、表面弾性波が重み付け電極２内に閉じ込めら
れて通過帯域内にリップルを生じる。一方ダミー電極３
を設けない構造では、表面弾性波が重み付け電極２内に
閉じ込められることによるリップルは少なくなるが、中
心軸近くを伝播する表面弾性波に比べてより多くの電極
指の下を通過するために、中“合軸付近とエツジ部分で
波面の歪みが生じ、そのために周波数特性が劣化すると
いった問題かあった。
発明の目的
本発明は上記欠点に鑑み、重み付け電極内に表面弾性波
が閉じ込められることによって生じるリップルと波面の
歪みによる特性劣化をなくすことを目的とする。
が閉じ込められることによって生じるリップルと波面の
歪みによる特性劣化をなくすことを目的とする。
発明の構成
この目的を達成するために本発明の表面弾性波λ ３
電極指と電極指の間隔を、−と−λが交互にくりかえす
ようにし、また相隣り合う２本の電極指を含む電極指対
を一組として間引いた構成をとる。
ようにし、また相隣り合う２本の電極指を含む電極指対
を一組として間引いた構成をとる。
この構成にすることにより、特性の優れたものとするこ
とができる。
とができる。
実施例の説明
以下、図面を参照しながら、本発明の一実施例の表面弾
性波フィルタについて説明を行う。
性波フィルタについて説明を行う。
第２図は本発明の一実施例の表面弾性波フィルタ素子の
平面図である。第３図はその拡大図である。第２図、第
３図において、１１は圧電基板、１２はアポダイズ型の
重み付け電極、１３は幅がλ −の電極指である。第４図は表面弾性波が電極指によっ
て反射される状態を表わしたもので、１１は圧電基板、
１３は電極指である。第４図（ａｌはスの幅をもつ電極
指１３が等間隔で並んでいる場合、第４図（ｂｌは人の
電極指１３が間隔を人、町の交互にして並べた場合の図
である。
平面図である。第３図はその拡大図である。第２図、第
３図において、１１は圧電基板、１２はアポダイズ型の
重み付け電極、１３は幅がλ −の電極指である。第４図は表面弾性波が電極指によっ
て反射される状態を表わしたもので、１１は圧電基板、
１３は電極指である。第４図（ａｌはスの幅をもつ電極
指１３が等間隔で並んでいる場合、第４図（ｂｌは人の
電極指１３が間隔を人、町の交互にして並べた場合の図
である。
まずダミー電極を設けないと、電極内の反射は少なくな
るが波面の歪みが生じるので、それを補λ 償するために、電極指１３の幅をｉにする。このように
すると、電極指１３が交叉している部分も交叉していな
い部分も、金属薄膜におおわれている部分とおおわれて
いない部分の比が１：１になλ るので、波面の歪みは生じない。しかしながらｉの幅の
電極指１３が等間隔に並んでいるとその反射波は第４図
（帽のように同位相になるので、リップルが生じやすい
。そこで電極指１３と電極指１３の間隔がスと？λの交
互のくり返し釦なるように配置すると、第４図（ｂ）の
ように反射波の位相が９００ずれるので、お互いにキャ
ンセルされてリップルが小さくなる。
るが波面の歪みが生じるので、それを補λ 償するために、電極指１３の幅をｉにする。このように
すると、電極指１３が交叉している部分も交叉していな
い部分も、金属薄膜におおわれている部分とおおわれて
いない部分の比が１：１になλ るので、波面の歪みは生じない。しかしながらｉの幅の
電極指１３が等間隔に並んでいるとその反射波は第４図
（帽のように同位相になるので、リップルが生じやすい
。そこで電極指１３と電極指１３の間隔がスと？λの交
互のくり返し釦なるように配置すると、第４図（ｂ）の
ように反射波の位相が９００ずれるので、お互いにキャ
ンセルされてリップルが小さくなる。
また電極指１３を間引く場合、第５図の波線で示すよう
Ｋ、電極指１３力せ交叉していない部分で相隣り合う２
本の電極指１３を含む電極指対を一組として間引く。こ
のようにすると中心軸付近を通過する表面弾性波とエツ
ジ部分を通過する表面弾性波で波面の歪みが生じること
もなく、また電極指１３が交叉していない部分ではそれ
ぞれの電極指１３で反射される弾性表面波の位相はお互
いに９００ずれているので、リップルは少なくなる。
Ｋ、電極指１３力せ交叉していない部分で相隣り合う２
本の電極指１３を含む電極指対を一組として間引く。こ
のようにすると中心軸付近を通過する表面弾性波とエツ
ジ部分を通過する表面弾性波で波面の歪みが生じること
もなく、また電極指１３が交叉していない部分ではそれ
ぞれの電極指１３で反射される弾性表面波の位相はお互
いに９００ずれているので、リップルは少なくなる。
発明の効果
以上のように本発明は、重み付け電極の交叉しと電極指
の間隔をスと９λの交互のくりかえしにすることにより
、波面の歪みを生ずることなく、電極間の機械的反射に
よるリップルを低減することかでき、交叉していない部
分では電極指の幅が太くなるため断線しにくくなり歩留
りが向上し、また電極指が太くなることにより電極指の
電気抵抗が小さくなり、挿入損失も小さくなる。
の間隔をスと９λの交互のくりかえしにすることにより
、波面の歪みを生ずることなく、電極間の機械的反射に
よるリップルを低減することかでき、交叉していない部
分では電極指の幅が太くなるため断線しにくくなり歩留
りが向上し、また電極指が太くなることにより電極指の
電気抵抗が小さくなり、挿入損失も小さくなる。
また電極指を間引く場合は、電極指が交叉していない部
分で相隣り合う２本の電極指を含む電極指対を一組とし
て間引くことによって、さらにリップルの少ない表面弾
性波デバイスを得ることができ、その実用的効果は大な
るものがある。
分で相隣り合う２本の電極指を含む電極指対を一組とし
て間引くことによって、さらにリップルの少ない表面弾
性波デバイスを得ることができ、その実用的効果は大な
るものがある。
第１図は従来の表面弾性波デバイスの素子の平面図、第
２図は本発明の一実施例の表面弾性波フィルタ素子の平
面図、第３図は同要部の拡大平面図、第４図ａ、ｂは表
面弾性波が電極指によって反射される状態を表わした図
、第６図は電極指を間引いた状態の拡大平面図である。 １１・・・・・・圧電基板、１２・−・・・重み付け電
極、１３・・・・幅力己の電極指。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第４図 ′Ａ５図
２図は本発明の一実施例の表面弾性波フィルタ素子の平
面図、第３図は同要部の拡大平面図、第４図ａ、ｂは表
面弾性波が電極指によって反射される状態を表わした図
、第６図は電極指を間引いた状態の拡大平面図である。 １１・・・・・・圧電基板、１２・−・・・重み付け電
極、１３・・・・幅力己の電極指。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第４図 ′Ａ５図
Claims (3)
- （１）少なくとも圧電基板上にアポダイズ型重み付け電
極を有し、上記重み付け電極の交叉していない部分の電
極指の幅がλ／２（λは表面弾性波の波長）であること
を特徴とする表面弾性波デバイス。 - （２）電極指の交叉していない部分の電極指の間隔がλ
／４と３／４λの交互のくりかえしであることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の表面弾性波デバイス。 - （３）電極指が交叉していない部分で、少なくとも相隣
り合う２本の電極指を含む電極指対を一組として間引い
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の表面弾
性波デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20342284A JPS6181014A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 表面弾性波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20342284A JPS6181014A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 表面弾性波デバイス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6181014A true JPS6181014A (ja) | 1986-04-24 |
Family
ID=16473812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20342284A Pending JPS6181014A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 表面弾性波デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6181014A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1871006A1 (en) * | 2005-04-08 | 2007-12-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave element |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5486251A (en) * | 1977-12-21 | 1979-07-09 | Hitachi Ltd | Elatic surface wave device |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP20342284A patent/JPS6181014A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5486251A (en) * | 1977-12-21 | 1979-07-09 | Hitachi Ltd | Elatic surface wave device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1871006A1 (en) * | 2005-04-08 | 2007-12-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave element |
| EP1871006B1 (en) * | 2005-04-08 | 2017-07-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave element |
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