JPH02295306A - 弾性表面波多重モードフィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は交差指状電極型の反射器を有する弾性表面波多
重モードフィルタに関する。

〔従来の技術〕

従来の弾性表面波多重モードフィルタの電極構造は、第
３図の平面図に示されるように、対向して設けられた交
差指状電極１１．１２からなる共振器の両側に格子状の
反射器３３〜３６が設けられた構造となっている。また
、第２図は従来の弾性表面波多重モードフィルタのグレ
ーティング反射器２３〜２６に交差指状電極を用いた電
極構造を示す。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述したように従来の弾性表面波多重モードフィルタは
，電極をフォトリソグラフィで形成する場合に、第３図
においてはそのエッチング工程において交差指状電極１
１．１２と反射器３３〜３６との最適条件が異なるため
、両方を良好にエッチングするのが困難だという欠点が
あった。第２図においては、交差指状型反射器２２〜２
６を用いることにより、その問題は改善されたが、この
弾性表面波多重モードフィルタは交差指状電極１１．１
２からボンディング用パターンまでの配線が、反射器２
３〜２６のバスバーを利用したり、反射器を回避した配
線を行っているため、配線パターンのシート抵抗が増大
し、帯域外の減衰が妨げられるという欠点がある。

本発明の目的は、このような問題を解決し、帯域外減衰
特性を改善した弾性表面波多重モードフィルタを提供す
ることにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の構成は、圧電基板上に、交差指状電極とこの電
極の両側に弾性表面波の伝搬方向に配置された交差指状
電極からなるグレーティング反射器とで構成される複数
の共振子を前記伝搬方向に直角に相隣接して配置した弾
性表面波多重モードフィルタにおいて、前記共振子の電
極からボンディング用パターンまでの配線が、前記グレ
ーティング反射器の最も交差指状電極に近い１本の電極
指を通り、かつこの電極指の太さが、電極数形成したこ
とを特徴とする． 〔実施例〕 次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の弾性表面波多重モードフィ
ルタの電極構造を示す平面図である，本実施例における
グレーティング反射器１３．１４，１５．１６は、交差
指状電極型であり、フィルタを構成する交差指状電極１
１．１２に最も近い１本の各電極指１７．１８，１９．
２０が、なるようにしたものである。従って、電極数ｎ
が増えた時にも、これら端部分の電極指１３〜１６の太
さが太くなるので、配線パターンのシート抵抗が増加す
ることはなく、帯域外減衰特性の劣化を防ぐことができ
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、交差指状電極型反射器を
用いて、その反射器の最も交差指状電極に近い電極指１
本の太さを、電極周期Ｌとした時歩留りを保ちつつ、配
線パターンのシート抵抗を低減して帯域外減衰特性を改
善できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の弾性表面波多重モードフィルタの一実
施例の平面図、第２図は従来の弾性表面波多重モードフ
ィルタの反射器に交差指状電極を用いた一例の平面図、
第３図は従来の弾性表面波多重モードフィルタの電極構
造の一例の平面図である． １１．１２・・・交差指状電極、１３〜１６．２３〜２
６．３３〜３６・・・交差指状型反射器、１７．肩　１
　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 圧電基板上に、交差指状電極とこの電極の両側に弾性表
   面波の伝搬方向に配置された交差指状電極からなるグレ
   ーティング反射器とで構成される複数の共振子を前記伝
   搬方向に直角に相隣接して配置した弾性表面波多重モー
   ドフィルタにおいて、前記共振子の電極からボンディン
   グ用パターンまでの配線が、前記グレーティング反射器
   の最も交差指状電極に近い１本の電極指を通り、かつこ
   の電極指の太さが、電極数ｎ，電極周期Ｌとした時２ｎ
   ＋１／４Ｌとなるように形成したことを特徴とする弾性
   表面波多重モードフィルタ。