JPH10261935A

JPH10261935A - 弾性表面波素子

Info

Publication number: JPH10261935A
Application number: JP6333297A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Sawada; 曜一沢田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1997-03-17
Filing date: 1997-03-17
Publication date: 1998-09-29

Abstract

(57)【要約】【課題】１段構成の場合にも、リフレクタによる不要
スプリアスの低減を図ることができ、低損失かつ通過帯
域外減衰量の大きい共振子型弾性表面波素子を得る。【解決手段】少なくとも１つのインターデジタルトラ
ンスデューサ３〜５が設けられている領域の両側に第
１，第２のリフレクタ８，９が配置されており、第１，
第２のリフレクタ８，９の構造が異ならされている、共
振子型弾性表面波素子１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＳＡＷ共振子や共
振子型ＳＡＷフィルタとして用いられている共振子型の
弾性表面波素子に関し、より詳細には、リフレクタの構
造が改良された弾性表面波素子に関する。

【０００２】

【従来の技術】共振子型の弾性表面波素子は、圧電基板
上に表面波を送受波するためのインターデジタルトラン
スデューサ（以下、ＩＤＴと略す。）と、ＩＤＴの両側
に設けられたリフレクタとを有する。リフレクタは、表
面波伝搬方向と直交する方向に配置された複数本の電極
指を有し、ＩＤＴから伝搬してきた表面波を反射し、Ｉ
ＤＴの両側のリフレクタにより表面波を閉じ込めるよう
に作用する。

【０００３】理想的なリフレクタは、ある幅の周波数帯
域で１００％の反射係数を得ることができ、該周波数帯
域以外の周波数帯域では表面波を反射しないように構成
されているものである。このような理想的なリフレクタ
は、リフレクタの電極指の本数を無限大とすることによ
り構成され得る。

【０００４】しかしながら、現実には、リフレクタにお
ける電極指の本数は有限であり、従って、ストップバン
ド内における反射係数は１００％未満であり、かつスト
ップバンド以外の周波数でも表面波が反射せざるを得な
かった。特に、ストップバンド以外の周波数帯域におけ
る反射特性では、中心周波数から周波数が離れるに連れ
て、反射係数が周期的に変化していた。すなわち、反射
係数−周波数特性において、上記のような反射係数が周
波数的に変化するサイドローブが見られた。

【０００５】従って、従来のＳＡＷ共振子フィルタで
は、リフレクタの反射特性が上記のようなサイドローブ
を有するため、フィルタ特性において通過帯域外にスパ
イク、すなわち凹凸が生じていた。すなわち、上記サイ
ドローブの形が反映されたフィルタ特性上の凹凸によ
り、フィルタ特性が劣化するという問題があった。

【０００６】他方、特開平７−１３１２９１号公報に
は、複数のＳＡＷ共振子を多段縦続してなる２重モード
ＳＡＷフィルタにおいて、初段と次段のリフレクタの電
極指の本数及び／またはピッチを異ならせることによ
り、通過帯域特性を同一としたまま、通過帯域外の特性
を異ならせた構成が開示されている。すなわち、この先
行技術では、初段のＳＡＷ共振子と、次段のＳＡＷ共振
子において、リフレクタの構造を異ならせることによ
り、初段のＳＡＷ共振子におけるスプリアス発生周波数
と、次段のＳＡＷ共振子のスプリアス発生周波数とが重
ならないようにして、弾性表面波フィルタのスプリアス
特性が改善されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
７−１３１２９１号公報に開示されているＳＡＷフィル
タは、初段のＳＡＷ共振子と次段のＳＡＷ共振子の通過
帯域外の特性を異ならせることによりフィルタ特性の改
善を図っているものにすぎず、従って、複数のＳＡＷ共
振子を縦続接続した形式のフィルタにしか適用すること
ができなかった。すなわち、１段構成のフィルタやトラ
ップフィルタとして用いられているＳＡＷ共振子、並び
にＳＡＷ共振子を梯子型に接続してなるラダー型フィル
タなどには適用することができなかった。

【０００８】また、初段のＳＡＷ共振子と次段のＳＡＷ
共振子の構造を異ならせるものであるため、ＳＡＷ共振
子の反射特性が入力側と出力側とで異なることとなって
いた。そのため、弾性表面波フィルタを組み立てるに際
し、各ＳＡＷ共振子が方向性を有するため、ＳＡＷ共振
子の向きに注意を払って整列させねばならなかった。従
って、弾性表面波フィルタの製造に際し、工程数が増加
するという問題があった。

【０００９】本発明の目的は、１段構成の共振子やフィ
ルタの場合にも、リフレクタの構造の改良により不要ス
プリアスを効果的に抑制することができ、低損失かつ通
過帯域外減衰量が大きく、さらに複数段構成のＳＡＷフ
ィルタを構成した場合には組立に際しての方向性を選別
する煩雑な作業を省略し得る、共振子型の弾性表面波素
子を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、インターデジタルトランスデューサの設けられてい
る領域の両側に第１，第２のリフレクタを配置してなる
共振子型弾性表面波素子において、前記第１，第２のリ
フレクタの構造が異ならされていることを特徴とする。

【００１１】すなわち、請求項１に記載の発明では、第
１，第２のリフレクタの構造が異ならされているため、
第１，第２のリフレクタのストップバンド以外の帯域に
おける反射特性が異ならされている。従って、第１また
は第２のリフレクタのストップバンド外の帯域における
反射係数の大きな周波数位置において現れるスプリアス
が、第２または第１のリフレクタの反射特性によって抑
制され得る。

【００１２】第１，第２のリフレクタの構造を異ならせ
る態様としては、請求項２に記載のように、第１，第２
のリフレクタが複数本の電極指を有する構造において、
第１，第２のリフレクタの電極指の本数を異ならせた構
造が挙げられる。あるいは、請求項３に記載のように、
第１，第２のリフレクタにおいて、電極指の膜厚を表面
波の波長で規格化してなる規格化膜厚を異ならせた構造
が挙げられ、さらに、電極指の本数及び規格化膜厚の双
方を第１，第２のリフレクタで異ならせた構造が挙げら
れる。

【００１３】また、好ましくは、請求項４に記載のよう
に、第１，第２のリフレクタのストップバンド外の帯域
における周期的な反射特性が互いにほぼ相殺し合うよう
に、第１，第２のリフレクタの構造が異ならされる。こ
の場合、より好ましくは、第１のリフレクタのストップ
バンド外の帯域における反射係数の極大点と、第２のリ
フレクタのストップバンド外の帯域における反射係数の
極小点とがほぼ一致するように、第１，第２のリフレク
タの反射特性が設定される。

【００１４】もっとも、第１，第２のリフレクタのスト
ップバンド外の帯域においては、それぞれ、反射係数の
極大点及び極小点が複数存在するが、最も好ましくは、
第１または第２のリフレクタのストップバンド外の帯域
における全ての反射係数の極大点が、第２または第１の
リフレクタのストップバンド外の帯域における反射係数
の極小点と重なり合うように、第１，第２のリフレクタ
の反射特性が設定される。

【００１５】なお、第１，第２のリフレクタ間に配置さ
れるＩＤＴの数については、特に限定されるものではな
く、１個のＩＤＴのみが構成されていてもよく、複数の
ＩＤＴが構成されていてもよい。さらに、複数の弾性表
面波共振子を多段接続した構成にも、本発明を適用する
ことができる。すなわち、本発明に係る弾性表面波素子
は、単一の弾性表面波素子において第１，第２のリフレ
クタの構造を異ならせることによりスプリアス特性を改
善するものであるが、複数の弾性表面波素子を多段接続
した構成にも適用可能である。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
の非限定的な実施例につき説明する。図１は、本発明の
一実施例に係る弾性表面波素子を示す模式的平面図であ
る。

【００１７】弾性表面波素子１は、圧電基板２を用いて
構成されている。圧電基板２としては、ＬｉＴａＯ₃、
ＬｉＮｂＯ₃もしくは水晶などの圧電単結晶、またはチ
タン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミ
ックスにより構成することができる。本実施例では、圧
電基板２は、３６°回転ＹカットのＬｉＴａＯ₃により
構成されている。なお、圧電基板２は、アルミナなどの
絶縁性基板上に、ＺｎＯなどの圧電薄膜を形成すること
により構成してもよい。絶縁性基板上に圧電薄膜を形成
することにより圧電基板２を構成した場合には、後述の
ＩＤＴやリフレクタは圧電薄膜の上面及び圧電薄膜と絶
縁性基板との間の界面の何れに形成されていてもよい。

【００１８】本実施例では、圧電基板２の上面におい
て、中央にＩＤＴ３〜５が配置されている。ＩＤＴ３〜
５は、それぞれ、少なくとも１本以上の電極指を有する
一対のくし歯電極３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ
により構成されている。各ＩＤＴ３，４，５において、
一対のくし歯電極は、互いの電極指が間挿し合うように
配置されている。

【００１９】ＩＤＴ３，５は、一方のくし歯電極３ａ，
５ａが入力端子６に電気的に接続されており、他方のく
し歯電極３ｂ，５ｂがアース電位に接続されている。す
なわち、入力端子６とアース電位との間に、並列にＩＤ
Ｔ３，５が接続されている。

【００２０】他方、ＩＤＴ３とＩＤＴ５との間に配置さ
れたＩＤＴ４の一方のくし歯電極４ａがアース電位に接
続されている。くし歯電極４ｂは、出力端子７に接続さ
れている。

【００２１】従って、ＩＤＴ３，５が入力側ＩＤＴを構
成しており、ＩＤＴ４が出力側ＩＤＴを構成している。
ＩＤＴ３〜５が設けられている領域の両側に、リフレク
タ８，９が配置されている。リフレクタ８，９は、それ
ぞれ、複数本の電極指８ａ，９ａを有する。複数本の電
極指８ａ，９ａは、ＩＤＴ３〜５で送受波される表面波
の伝搬方向と直交する方向に配置されている。また、複
数の本の電極指８ａは、両端において短絡されており、
従って、リフレクタ８はグレーティング型のリフレクタ
として構成されている。同様に、リフレクタ９について
も、グレーティング型リフレクタとして構成されてい
る。

【００２２】本実施例の特徴は、リフレクタ８の電極指
８ａの本数と、リフレクタ９の電極指９ａの本数とが異
ならされていることにある。すなわち、リフレクタ８の
電極指の本数は、リフレクタ９の電極指の本数よりも約
２０％多くされている。

【００２３】なお、ＩＤＴ３〜５及びリフレクタ８，９
は、圧電基板上において、Ａｌ膜を蒸着、めっき等の薄
膜形成法により形成した後、フォトリソグラフィー技術
を用いてパターニングすることにより形成されている。

【００２４】弾性表面波素子１では、リフレクタ８，９
の電極指の本数が異ならされているため、リフレクタ８
の反射特性と、リフレクタ９の反射特性とが異ならされ
ており、それによって弾性表面波素子１の通過帯域外に
おける不要スプリアスが抑圧されている。これを、図２
〜図５を参照して説明する。

【００２５】前述したように、共振子型弾性表面波フィ
ルタでは、ＩＤＴにより励振された表面波を２個のリフ
レクタ間に閉じ込めることにより、挿入損失の小さいフ
ィルタ特性が実現される。従って、リフレクタは、通過
帯域に相当する周波数の弾性表面波を十分反射し、その
他の帯域の表面波を反射しないことが望ましい。

【００２６】しかしながら、実際には、リフレクタの電
極指の数が有限であることなどの理由により、ストップ
バンド内における反射係数が１００％未満であり、スト
ップバンド外の周波数の表面波も反射される。

【００２７】図２は、リフレクタの電極指の数が１００
本の時の反射特性を示す。このリフレクタでは、ストッ
プバンドが９２８〜９６７ＭＨｚ帯の周波数領域にあ
り、ここでは、１００％に近い反射係数が得られてお
り、かつ反射係数がほぼ一定である。

【００２８】これに対して、ストップバンド外の周波数
領域では、周期的に反射係数が増減しながら、共振子周
波数９４７．５ＭＨｚから遠ざかるに連れて反射係数が
小さくなっている。従って、このリフレクタを２個用い
た共振子型弾性表面波フィルタでは、上記ストップバン
ド外の反射係数の周期的な増減に起因するスプリアスが
フィルタ特性上に現れることになる。

【００２９】これに対して、実施例の弾性表面波素子１
では、リフレクタ８，９の電極指の本数が上記のように
異ならされているため、図３に示すように、リフレクタ
８，９の反射特性も異ならされている。図３では、リフ
レクタ８の反射特性を実線Ａで、リフレクタ９の反射特
性を破線Ｂで示す。

【００３０】図３から明らかなように、リフレクタ８の
反射特性と、リフレクタ９の反射特性とが、部分的に相
殺していることがわかる。すなわち、リフレクタ８のス
トップバンド外の帯域における極大点、例えば、矢印Ｃ
で示す極大点が、リフレクタ９の反射特性における極小
点、例えば、図３に矢印Ｄで示す極小点と重なり合って
いることがわかる。従って、反射特性の部分的な相殺に
より、全体として、弾性表面波素子１では、通過帯域外
における不要スプリアスを抑制し得ることがわかる。

【００３１】図４は、リフレクタ８に代えてリフレクタ
９を用いた弾性表面波フィルタ、すなわち、弾性表面波
素子１において、両側のリフレクタを電極指の数を何れ
も１００本とした場合の減衰量周波数特性を示す図であ
り、図５は、上記実施例の弾性表面波素子１の減衰量周
波数特性を示す図である。

【００３２】図４から明らかなように、両側のリフレク
タの電極指の数が等しい場合には、矢印Ｅで示すよう
に、通過帯域外、特に低周波数側において所望でない大
きなスプリアスが現れている。これに対して、図５に示
す実施例の弾性表面波素子では、矢印Ｆで示すように、
矢印Ｅで示したスプリアスに相当するスプリアスが非常
に小さくなっていることがわかる。

【００３３】なお、上記実施例では、リフレクタ８，９
の反射特性を異ならせるために、リフレクタ８の電極指
の本数と、リフレクタ９の電極指の本数とを異ならせて
いたが、この異ならせ方については、リフレクタの反射
特性及び所望とするフィルタ特性に応じて適宜選択すれ
ばよく、より好ましくは、可能である限り、リフレクタ
８の反射特性と、リフレクタ９の反射特性とが、フィル
タの通過帯域外においてほぼ相殺し合うように設定する
ことが望ましい。

【００３４】また、上記実施例では、リフレクタ８，９
の電極指の本数を異ならせることにより、反射特性を異
ならせていたが、電極指の本数に代えて、あるいは電極
指の本数の変化に加えて、リフレクタ８，９の規格化膜
厚を異ならせてもよい。

【００３５】なお、リフレクタ８，９の規格化膜厚と
は、リフレクタ８，９を構成している金属膜の膜厚を、
中心周波数に相当する表面波の波長λで規格化した膜厚
を意味する。

【００３６】弾性表面波素子のリフレクタにおいて、上
記規格化膜厚を変化させれば、ストップバンド幅も変化
するが、ストップバンド外の帯域特性も変化すること、
すなわち、反射特性が変化することは従来より周知であ
る。従って、上記のように規格化膜厚をリフレクタ８，
９において異ならせることにより、電極指の本数を異な
らせた場合と同様に、リフレクタ８，９の反射特性を異
ならせることができるので、上記実施例と同様に、フィ
ルタを構成した場合の通過帯域外における所望でないス
プリアスを抑制することができる。

【００３７】上記リフレクタ８，９の規格化膜厚を異な
らせる方法は、電極指の本数を増大させることなく行い
得るため、小型化のためにリフレクタの電極指の本数を
増加させることができない場合に好適に用いられる。も
っとも、規格化膜厚を異ならせる方法では、ストップバ
ンド幅が十分に広くない場合には、通過帯域特性に影響
を与えるおそれがあり、あるいは、エッチングによりリ
フレクタを形成する際の条件により、ばらつきが生じた
りすることがある。従って、好ましくは、電極指の本数
を増大させ得る限り、上述した実施例のように、リフレ
クタ８，９の電極指の本数を異ならせる方法を用いるこ
とが好ましく、また両者を併用することにより、通過帯
域特性への影響や反射特性のばらつきを低減しつつ、小
型化を図ることができる。

【００３８】なお、上記実施例では、ＩＤＴ３〜５の両
側にリフレクタ８，９を構成してなる３電極型ＳＡＷ共
振子フィルタに適用した構造を説明したが、本発明は、
他の共振子型の弾性表面波素子にも適用することができ
る。

【００３９】例えば、図６は、本発明の第２の実施例と
して、横結合型ＳＡＷ共振子フィルタを示す模式的平面
図である。横結合型ＳＡＷ共振子フィルタ１１は、圧電
基板１２上に、ＩＤＴ１３，１４と、第１，第２のリフ
レクタ１５，１６とを形成した構造を有する。

【００４０】ＩＤＴ１３は、くし歯電極１３ａ，１３ｂ
を有し、くし歯電極１３ａが入力端子１７に接続され
る。また、ＩＤＴ１３の表面波伝搬方向両側には、リフ
レクタ１５，１６のリフレクタ部１５ａ，１６ａが配置
されている。

【００４１】他方、ＩＤＴ１４は、ＩＤＴ１３の表面波
伝搬方向と直交する方向に並置されている。すなわち、
ＩＤＴ１４の一方のくし歯電極１４ａは、くし歯電極１
３ｂとバスバーを共通化されている。くし歯電極１４ｂ
は、出力端子１８に接続されている。また、くし歯電極
１３ｂ，１４ａは、アース電位に接続されている。

【００４２】ＩＤＴ１４の表面波伝搬方向両側には、リ
フレクタ１５，１６のリフレクタ部１５ｂ，１６ｂが配
置されている。第１のリフレクタ１５及び第２のリフレ
クタ１６は、それぞれ、上記のように、リフレクタ部１
５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂを有する。もっとも、リ
フレクタ部１５ａとリフレクタ部１５ｂとは分離して形
成されていてもよく、同様に、リフレクタ部１６ａとリ
フレクタ部１６ｂについても分離形成されていてもよ
い。

【００４３】本実施例においても、第１のリフレクタ１
５と、第２のリフレクタ１６とは、電極指の本数が異な
らされており、従って、第１の実施例の弾性表面波素子
１の場合と同様にリフレクタ１５，１６の反射特性が異
ならされているので、通過帯域外における不要スプリア
スの抑圧を図ることができる。

【００４４】図７は、本発明の第３の実施例の共振子型
弾性表面波フィルタを示す平面図である。表面波フィル
タ２１では、圧電基板２２上に、ＩＤＴ２３及び第１，
第２のリフレクタ２４，２５が形成されている。すなわ
ち、弾性表面波フィルタ２１は、中央に単一のＩＤＴ２
３を配置したことを除いては、第１の実施例の弾性表面
波素子１と同様に構成されている。従って、第１，第２
のリフレクタ２４，２５の電極指の本数が異ならされて
いるので、第１の実施例と同様に、リフレクタ２４，２
５の反射特性が異なり、通過帯域外における所望でない
スプリアスを抑圧することが可能とされている。このよ
うに、本発明は、単一のＩＤＴ２３を用いた１電極型の
共振子型ＳＡＷフィルタにも適用することができる。

【００４５】さらに、本発明の係る弾性表面波素子は、
トラップ型フィルタとして用いることもできる。共振子
型弾性表面波素子をトラップ型フィルタとして用いる場
合、用途によっては、減衰量周波数特性上にスパイクが
現れる位置を、通過帯域として用いることがある。この
ような場合、本発明を利用することにより、通過帯域内
のスパイクを抑制することができる。

【００４６】図８は、図７に示した弾性表面波素子２１
をトラップ型フィルタとして用いた場合の減衰量周波数
特性の一例を示す図である。図８に実線Ｇで示す特性
は、両側のリフレクタ２４，２５の電極指の本数が何れ
も１００本の場合の特性を示し、破線Ｈは、第３の実施
例に従って、第１のリフレクタ２２の電極指の本数を１
１０本、第２のリフレクタの電極指の数を８０本とした
場合の特性を示す。なお、ＩＤＴの電極指の対数につい
ては、何れも２６対とした。

【００４７】図８から明らかなように、リフレクタ２
４，２５の電極指の本数を上記のように異ならせること
により、Ｉで示す通過帯域内スパイクが、０．３ｄＢか
ら、０．２ｄＢに減少していることがわかる。

【００４８】なお、本発明に係る弾性表面波素子は、上
述してきたような１段の共振子型弾性表面波フィルタや
トップ型フィルタ、２段縦続接続型の横結合型２重モー
ド弾性表面波フィルタに限らず、ラダー型フィルタなど
の複数の弾性表面波素子を用いて構成された弾性表面波
フィルタにも適用することができ、その場合にも、不要
リップルや不要スパイクを効果的に低減することができ
る。

【００４９】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、少なく
とも１つのＩＤＴが設けられている領域の両側に第１，
第２のリフレクタが配置された共振子型の弾性表面波素
子において、第１，第２のリフレクタの構造が異ならさ
れているので、第１，第２のリフレクタの反射特性が異
なり、それによってリフレクタのストップバンド外の帯
域における反射係数の周期的な変化が抑制される。その
ため、共振子型弾性表面波フィルタの通過帯域外におけ
る不要スプリアスを低減することができ、通過帯域外減
衰量が大きく、かつ低損失のフィルタ特性に優れた弾性
表面波素子を提供することが可能となる。

【００５０】請求項２に記載の発明によれば、第１，第
２のリフレクタの構造が、それぞれの電極指の本数を異
ならせることにより異ならされているので、各リフレク
タのストップバンドを変化させることなく、ストップバ
ンド外の帯域における反射係数の増減に起因する通過帯
域外の所望でないスプリアスを抑制することができる。

【００５１】請求項３に記載の発明によれば、第１，第
２のリフレクタの構造が、規格化膜厚を異ならせること
により異ならされているので、電極指の本数の増大を招
くことなく、弾性表面波素子の通過帯域外における不要
スプリアスを抑制することができる。

【００５２】請求項４に記載の発明では、第１のリフレ
クタのストップバンド外の帯域における周期的な反射特
性と、第２のリフレクタのストップバンド外の帯域にお
ける周期的な反射特性とがほぼ相殺するように、第１，
第２のリフレクタの構造が異ならされているので、通過
帯域外の所望でないスプリアスがより効果的に抑制され
た弾性表面波素子を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る弾性表面波素子を
示す模式的平面図。

【図２】共振子型弾性表面波素子の一つのリフレクタの
反射特性を示す図。

【図３】本発明の第１の実施例に係る弾性表面波素子に
おける、第１，第２のリフレクタの反射特性を示す図。

【図４】従来の弾性表面波素子の減衰量周波数特性を示
す図。

【図５】第１の実施例の弾性表面波素子の減衰量周波数
特性を示す図。

【図６】本発明の弾性表面波素子の第２の実施例として
の２段縦続接続型横結合２重モード弾性表面波フィルタ
の模式的平面図。

【図７】本発明の第３の実施例に係る弾性表面波素子を
示す模式的平面図。

【図８】本発明の第３の実施例に係る弾性表面波素子を
用いたトラップ型フィルタ及び従来のトラップ型フィル
タの減衰量周波数特性を示す図。

【符号の説明】

１…弾性表面波素子２…圧電基板３，４，５…ＩＤＴ８，９…第１，第２のリフレクタ８ａ，９ａ…電極指１１…弾性表面波フィルタ１２…圧電基板１３，１４…ＩＤＴ１５，１６…第１，第２のリフレクタ２１…弾性表面波素子２２…圧電基板２３…ＩＤＴ２４，２５…第１，第２のリフレクタ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インターデジタルトランスデューサの設
けられている領域の両側に第１，第２のリフレクタを配
置してなる共振子型弾性表面波素子において、前記第１，第２のリフレクタの構造が異ならされている
ことを特徴とする、弾性表面波素子。
【請求項２】第１，第２のリフレクタが複数本の電極
指を有し、第１，第２のリフレクタにおいて、電極指の
本数が異ならされていることを特徴とする、請求項１に
記載の弾性表面波素子。
【請求項３】第１，第２のリフレクタの膜厚を表面波
の波長で規格化してなる規格化膜厚が異ならされている
ことを特徴とする、請求項１または２に記載の弾性表面
波素子。
【請求項４】前記第１のリフレクタのストップバンド
以外の帯域における周期的な反射特性と、第２のリフレ
クタのストップバンド以外の帯域における周期的な反射
特性とがほぼ相殺するように、第１，第２のリフレクタ
の構造が異ならされている、請求項１〜３の何れかに記
載の弾性表面波素子。