JPH08265099A - 共振器型弾性表面波フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 すだれ状電極１１ａとこのすだれ状電極の一
方端に近接して配置された第１のグレーティング反射器
１１ｂと他方端に近接して配置された第２のグレーティ
ング反射器１１ｃとを有した弾性表面波共振子（１１
ｘ）を梯型回路構成した部分（１３ａ）を、少なくとも
２段具えた共振器型弾性表面波フィルタであって、従来
より小型化が可能な梯型回路構成の共振器型弾性表面波
フィルタを提供する。 【構成】 少なくとも２個の弾性表面波共振子が１個の
グレーティング反射器をこれら少なくとも２個の弾性表
面波共振子それぞれの第１のグレーティング反射器若し
くは第２のグレーティング反射器として共用している部
分を、少なくとも１箇所具える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、共振器型弾性表面波
フィルタに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波フィルタは、大別すると、ト
ランスバーサル型と共振器型とに分けられる。共振器型
弾性表面波フィルタはトランスバーサル型のものに比
べ、原理的に、低損失、高減衰量、狭帯域、そして整合
回路不要という特徴を有している。この共振器型弾性表
面フィルタの構造上の特徴は、電気信号および弾性表面
波の間の相互変換をするすだれ状電極と、このすだれ電
極の一方端に近接して設けられた第１のグレーティング
反射器と、このすだれ状電極の他方端に近接して設けら
れた第２のグレーティング反射器とで構成される弾性表
面波共振子を用いる点である。また、共振器型弾性表面
波フィルタは、上記弾性表面波共振子の用い方によっ
て、：梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタ、
：二重モード型の共振器型弾性表面波フィルタに分け
られる。梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタで
は、１段梯型経路構成（すなわち弾性表面波共振子を２
個用いる構成）であると減衰量が小さいことから、通常
は、梯型回路構成した部分を２段以上具えた構成とされ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、梯型回路構
成の共振器型弾性表面波フィルタであって梯型回路構成
した部分を２段以上具えたものを構成する場合、従来
は、各々がすだれ状電極、第１のグレーティング反射器
および第２のグレーティング反射器で構成された必要数
の複数個の弾性表面波共振子を、目的の梯型回路構成の
共振器型弾性表面波フィルタに即するように接続してい
た。具体例でいえば、例えば二段π型の梯型回路構成の
従来の共振器型弾性表面波フィルタは、図１６に示した
様に、各々がすだれ状電極１１ａ、第１のグレーティン
グ反射器１１ｂおよび第２のグレーティング反射器１１
ｃで構成される第１〜第３の弾性表面波共振子１１ｘ〜
１１ｚを、二段π型の梯型回路構成となるように配置接
続して構成していた。この場合、第１および第２の弾性
表面波共振子１１ｘ，１１ｙが第１段目の梯型回路構成
部分１３ａとなり、第２および第３の弾性表面波共振子
１１ｙ，１１ｚが第２段目の梯型回路構成部分１３ｂと
なる。ここで、第２の弾性表面波共振子１１ｙを、第１
段目および第２段目の梯型回路構成部分１３ａ，１３ｂ
おのおので共用して弾性表面波共振子の数を減らしてい
る点は、周知のことである。なお、この図１６におい
て、１５は圧電性を有する基板、１７ａは入力端子、１
７ｂは出力端子、１７ｃ，１７ｄは接地端子をそれぞれ
示す。この二段π型の梯型回路構成の等価回路図は、周
知の様に、図１７に示したものとなる。

【０００４】しかしながら、図１６に一例を示して説明
したような従来の梯型回路構成の共振器型弾性表面波フ
ィルタでは、その大きさは、梯型回路構成した部分の段
数や弾性表面波共振子の交差長などによって決定されて
しまうため、梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィル
タの小型化を図る上で、おのずと限界があった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そこで、この発明によれ
ば、すだれ状電極と該すだれ状電極の一方端に近接して
配置された第１のグレーティング反射器と他方端に近接
して配置された第２のグレーティング反射器とを有した
弾性表面波共振子を梯型回路構成した部分を、少なくと
も２段具えた共振器型弾性表面波フィルタにおいて、少
なくとも２個の弾性表面波共振子が１個のグレーティン
グ反射器をこれら少なくとも２個の弾性表面波共振子そ
れぞれの第１のグレーティング反射器若しくは第２のグ
レーティング反射器として共用している部分を、少なく
とも１箇所具えたことを特徴とする。なおここで、グレ
ーティング反射器を共用している部分を少なくとも１箇
所具えると述べたのは、共振器型弾性表面波フィルタ中
にグレーティング反射器を共用出来る部分が複数箇所存
在する場合でも例えば他の設計上の理由で該複数箇所の
うちの一部のみに本発明を適用する場合も含ませる意味
である。

【０００６】また、この発明の実施に当たり、前記共用
されているグレーティング反射器の、前記少なくとも２
個の弾性表面波共振器から見て中央に当たる部分に、反
射率増加部を具えた構成とするのが好適である。ここ
で、反射率増加部を上記中央部分に具えると述べたの
は、主に、：１つのグレーティング反射器を共用する
複数の弾性表面波共振子に反射率増加効果がバランス良
く生じると考えられること、：共用されるグレーティ
ング反射器の中央部分に反射率増加部を設ける方が反射
率増加部の作製が容易であると考えられること（例え
ば、製造プロセスにおいて位置ずれが生じた場合でも反
射率増加部がすだれ状電極上にまで及ぶ危険が少ないた
め）等の理由からである。なお、中央部分とは、どの程
度の範囲までをいうかであるが、実際には設計に応じ決
められる。これに限られないが、例えば、共用されるグ
レーティング反射器の幾何学的な中心に対し例えば±５
λの範囲の領域程度を上記中央部分と考えることができ
る。ここで、λは当該フィルタで扱う弾性表面波の波長
である。

【０００７】

【作用】この発明によれば、少なくとも２個の弾性表面
波共振子が、１つのグレーティング反射器を、それぞれ
の第１のグレーティング反射器または第２のグレーテイ
ング反射器として共用するので、各弾性表面波共振子が
個々に第１および第２のグレーティング反射器を有して
いた場合に比べ、グレーティング反射器の数を少なく出
来る。

【０００８】また、反射率増加部を設ける構成では、詳
細は後述するが、１つのグレーティング反射器を共用し
ている少なくとも２個の弾性表面波共振子間での相互の
影響をより軽減できる。

【０００９】

【実施例】以下、図面を参照してこの発明のいくつかの
実施例について説明する。ただし、いずれの図もこれら
の発明を理解出来る程度に各構成成分の寸法、形状及び
配置関係を概略的に示してある。また、説明に用いる各
図において同様な構成成分については同一の番号を付し
て示し、その重複する説明を省略することもある。さら
に説明に用いる各図において、図１６および図１７を用
いて説明した構成成分と同様な構成成分については図１
６および図１７において用いた番号と同一の番号を付し
て示す。

【００１０】１．第１の実施例 先ず、二段π型の梯型回路構成の共振器型弾性表面波フ
ィルタにこの発明を適用した例（第１の実施例）を説明
する。図１はこの第１の実施例の共振器型弾性表面波フ
ィルタ２０の構成説明に供する平面図である。

【００１１】この第１の実施例の共振器型弾性表面波フ
ィルタ２０は、圧電性を有する基板１５に第１〜第３の
弾性表面波共振子１１ｘ〜１１ｚを具え、然も、第１の
弾性表面波共振子１１ｘおよび第２の弾性表面波共振子
１１ｙによって第１段目の梯型回路構成した部分１３ａ
を構成し、第２の弾性表面波共振子１１ｙおよび第３の
弾性表面波共振子１１ｚによって第２段目の梯型回路構
成した部分１３ｂを構成している点は図１６を用いて説
明した従来構成と同様であるが、これら第１〜第３の弾
性表面波共振子１１ｘ〜１１ｚのうちの並列腕共振子
（詳細は後述する）に当たる第１の弾性表面波共振子１
１ｘおよび第３の弾性表面波共振子１１ｚが、１つのグ
レーティング反射器１１ｇを共用するように、第１〜第
３の弾性表面波共振子を配置している点が従来構成と異
なる。具体的には、並列腕共振子（詳細は後述する）に
当たる第１の弾性表面波共振子１１ｘおよび第３の弾性
表面波共振子１１ｚ各々の一方のグレーティグ反射器同
士が重なるような配置で両共振子１１ｘ，１１ｚを隣接
して配置している。

【００１２】したがって、この第１の実施例によれば、
２個の弾性表面波共振子（並列腕共振子）が１個のグレ
ーティング反射器をこれら２個の弾性表面波共振子それ
ぞれの第１のグレーティング反射器若しくは第２のグレ
ーティング反射器として共用している部分を、１箇所具
えた例が例示される。

【００１３】この第１の実施例の場合、グレーティング
反射器を形成するために必要な領域を１つ分減らせるの
で、その分、二段π型の梯型回路構成の共振器型弾性表
面波フィルタの大きさを従来より小さく出来る。

【００１４】なお、並列腕共振子とは、梯型回路構成の
共振器型弾性表面波フィルタにおける入力端子と接地端
子との間（この第１の実施例の場合は１５ａおよび１５
ｃ間）、或は出力端子と接地端子との間（この第１の実
施例の場合は１５ｂおよび１５ｄ間）に、並列に接続さ
れた弾性表面波共振子のことである。これに対し、入力
端子と出力端子との間に直列に接続される弾性表面波共
振子は、直列腕型共振子と称される。並列腕共振子同
士、或は、直列腕共振子同士は、それぞれのグレーティ
ング反射器の設計を同じと出来るので、グレーティング
反射器の共用が可能となる。

【００１５】ここで、圧電性を有する基板１５として
は、弾性表面波デバイスの作製に好適な従来公知の種々
のもの例えば、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃ ）基
板、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃ ）基板、水晶基板
等を用いることが出来る。

【００１６】また、すだれ状電極１１ａは従来公知のす
だれ状電極であって、櫛歯の幅、本数およびピッチを、
扱う周波数に応じ適正化してあるすだれ状電極で構成出
来る。すだれ状電極１１ａの構成材料としては、例え
ば、アルミニウムまたは、銅若しくはシリコンを数％含
んだアルミニウム合金を用いることが出来る。

【００１７】また、第１のグレーティング反射器１１
ｂ，第２のグレーティング反射器１１ｃおよび共用され
ているグレーティング反射器１１ｇそれぞれは、たとえ
ば図２にその一部を拡大して示した様に、複数の帯状の
金属膜１１０であってそれぞれの長手方向端部が共通接
続されている複数の帯状の金属膜１１０と、これら帯状
の金属膜１１０間に露出される圧電基板部分１５ａとで
構成される周期的構造で構成出来る。金属膜１１０の構
成材料としては、例えばすだれ状電極と同様に、アルミ
ニウムまたは、銅若しくはシリコンを数％含んだアルミ
ニウム合金を用いることが出来る。なお、共用されるグ
レーティング反射器１１ｇのグレーティング数（例えば
帯状の金属膜１１０の本数）は、以下に説明する理由か
ら、少なくとも１００程度とするのが良い。すだれ状電
極、第１のグレーティング反射器および第２のグレーテ
ィング反射器で構成される弾性表面波共振子では、すだ
れ状電極１１ａの一方の端子に高周波電気信号を入力す
ると該すだれ状電極１１ａで弾性表面波が発生する。こ
の発生した弾性表面波は第１および第２のグレーティン
グ反射器方向にそれぞれ伝搬した後これら反射器により
反射されて、第１および第２のグレーティング反射器間
を多重走行する。そして、すだれ状電極上で透過波と反
射波とが重なり合い弾性表面波の定在波が発生して共振
現象が起こる。このため、すだれ状電極、第１のグレー
ティング反射器および第２のグレーティング反射器で構
成される弾性表面波共振子で所望の特性を得る際の重要
なポイントの１つとして、弾性表面波共振子におけるグ
レーティング反射器での反射率を高くして弾性表面波共
振子における弾性表面波の損失を低くする点が挙げられ
る。これは、見方を変えれば、共用されるグレーティン
グ反射器１１ｇを共用している複数の弾性表面波共振子
（この第１の実施例の場合でいえば１１ｘ，１１ｚの各
弾性表面波共振子）間での相互の影響を抑制するために
は、グレーティング反射器での反射率を高くすれば良い
と言える。ここで、グレーティング反射器での反射率を
高くする具体的な方法として、反射器を構成するグレー
ティングの数をある程度以上の数とする方法がある。こ
れについて、図３を参照して説明する。グレーティング
反射器１１ｂ，１１ｃ，１１ｇの構成成分である帯状の
金属膜１１０の本数Ｎをパラメータとして複数のグレー
ティング反射器を構成し、それぞれに弾性表面波を入力
しそれぞれでの反射率Γ（ガンマ）を調べた結果、図３
に示す様に、帯状の金属膜１１０の本数Ｎを１００本以
上とすると、弾性表面波はほぼ１００％反射される。な
お、図３において、縦軸は損失、横軸は規格化した周波
数である。この図３から分かる様に、共用されるグレー
ティング反射器１１ｇのグレーティング数Ｎは少なくと
も１００程度であることが望ましい。もちろん、この考
えは第１および第２のグレーティング反射器１１ｂ，１
１ｃにも適用出来る。

【００１８】また、入力端子１７ａ，出力端子１７ｂ、
接地端子１７ｃ，１７ｄそれぞれの構成材料としては、
ワイヤボンディングに好適な材料例えば金（Ａｕ）を用
いることが出来る。

【００１９】２．第２の実施例 次に、二段Ｔ型の梯型回路構成の共振器型弾性表面波フ
ィルタにこの発明を適用した例（第２の実施例）を説明
する。図４はこの第２の実施例の共振器型弾性表面波フ
ィルタ２２の構成説明に供する平面図である。また、こ
の第２の実施例の比較例として、二段Ｔ型の梯型回路構
成の従来の共振器型弾性表面波フィルタ２２ａを図５に
示した。また、第２の実施例および比較例の共振器型弾
性表面波フィルタ２２，２２ａおのおのの等価回路図を
図６に示した。

【００２０】この第２の実施例の共振器型弾性表面波フ
ィルタ２２は、圧電性を有する基板１５に第１〜第３の
弾性表面波共振子１１ｘ〜１１ｚを具え、然も、第１の
弾性表面波共振子１１ｘおよび第２の弾性表面波共振子
１１ｙによって第１段目の梯型回路構成した部分１３ａ
を構成し、第２の弾性表面波共振子１１ｙおよび第３の
弾性表面波共振子１１ｚによって第２段目の梯型回路構
成した部分１３ｂを構成してある点は従来構成（図５の
構成）と同様であるが、これら第１〜第３の弾性表面波
共振子１１ｘ〜１１ｚのうちの第１の弾性表面波共振子
１１ｘおよび第３の弾性表面波共振子１１ｚが、１つの
グレーティング反射器１１ｇを、共用するように、第１
〜第３の弾性表面波共振子１１ｘ〜１１ｚを配置接続し
ている点が従来構成と異なる。具体的には、第１の弾性
表面波共振子１１ｘおよび第３の弾性表面波共振子１１
ｚ各々の一方のグレーティグ反射器同士が重なるような
配置で両共振子１１ｘ，１１ｚを隣接して配置してい
る。ここで、第１の実施例の場合も、第１の弾性表面波
共振子１１ｘおよび第３の弾性表面波共振子１１ｚが、
１つのグレーティング反射器１１ｇを共用していたので
あるが、この第２の実施例の場合は、第１の弾性表面波
共振子１１ｘおよび第３の弾性表面波共振子１１ｚおの
おのが直列腕共振子に当る点が第１の実施例と相違す
る。

【００２１】この第２の実施例の場合も第１の実施例と
同様、グレーティング反射器を形成するために必要な領
域を１つ分減らせるので、その分、二段Ｔ型の梯型回路
構成の共振器型弾性表面波フィルタの大きさを従来より
小さく出来る。

【００２２】３．第３の実施例 次に、三段の梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィル
タにこの発明を適用した例（第３の実施例）を説明す
る。図７はこの第３の実施例の共振器型弾性表面波フィ
ルタ２４の構成説明に供する平面図である。また、この
第３の実施例の比較例として、三段の梯型回路構成の従
来の共振器型弾性表面波フィルタ２４ａを図８に示し
た。また、第３の実施例および比較例の共振器型弾性表
面波フィルタ２４，２４ａおのおのの等価回路図を図９
に示した。

【００２３】この第３の実施例の共振器型弾性表面波フ
ィルタ２４は、圧電性を有する基板１５に第１〜第４の
弾性表面波共振子１１ｘ、１１ｙ，１１ｚ，１１ｕを具
え、然も、第１の弾性表面波共振子１１ｘおよび第２の
弾性表面波共振子１１ｙによって第１段目の梯型回路構
成した部分１３ａを構成し、第２の弾性表面波共振子１
１ｙおよび第３の弾性表面波共振子１１ｚによって第２
段目の梯型回路構成した部分１３ｂを構成し、第３の弾
性表面波共振子１１ｙおよび第４の弾性表面波共振子１
１ｕによって第３段目の梯型回路構成した部分１３ｃを
構成している点は従来構成（図８の構成）と同様である
が、これら第１〜第４の弾性表面波共振子１１ｘ〜１１
ｕのうちの直列腕共振子に当たる第１の弾性表面波共振
子１１ｘおよび第３の弾性表面波共振子１１ｚが１つの
グレーティング反射器１１ｇを共用し、さらに、並列腕
共振子に当たる第２の弾性表面波共振子１１ｙおよび第
４の弾性表面波共振子１１ｕが、１つのグレーティング
反射器１１ｈを共用するように、第１〜第４の弾性表面
波共振子１１ｘ〜１１ｕを配置接続している点が従来構
成と異なる。したがって、この第３の実施例によれば、
２個の弾性表面波共振子が１個のグレーティング反射器
をこれら２個の弾性表面波共振子それぞれの第１のグレ
ーティング反射器若しくは第２のグレーティング反射器
として共用している部分を、２箇所具えた例が例示され
る。

【００２４】この第３の実施例の場合、グレーティング
反射器を形成するために必要な領域を２つ分減らせるの
で、その分、三段の梯型回路構成の共振器型弾性表面波
フィルタの大きさを従来より小さく出来る。

【００２５】４．第４の実施例 次に、四段Ｔ型の梯型回路構成の共振器型弾性表面波フ
ィルタにこの発明を適用した例（第４の実施例）を２例
説明する。図１０および図１１はこの第４の実施例の第
１の態様の共振器型弾性表面波フィルタ２６、同じく第
２の態様の共振器型弾性表面波フィルタ２８の構成説明
に供する平面図である。また、これら第４の実施例の共
振器型弾性表面波フィルタ２６、２８おのおのの等価回
路図を図１２に示した。

【００２６】４−１．第１の態様 この第４の実施例の第１の態様の共振器型弾性表面波フ
ィルタ２６は、図１０に示した様に、圧電性を有する基
板１５に第１〜第５の弾性表面波共振子１１ｘ、１１
ｙ，１１ｚ，１１ｕ，１１ｖを具え、然も、第１の弾性
表面波共振子１１ｘおよび第２の弾性表面波共振子１１
ｙによって第１段目の梯型回路構成した部分１３ａを構
成し、第２の弾性表面波共振子１１ｙおよび第３の弾性
表面波共振子１１ｚによって第２段目の梯型回路構成し
た部分１３ｂを構成し、第３の弾性表面波共振子１１ｙ
および第４の弾性表面波共振子１１ｕによって第３段目
の梯型回路構成した部分１３ｃを構成し、第４の弾性表
面波共振子１１ｕおよび第５の弾性表面波共振子１１ｖ
によって第４段目の梯型回路構成した部分１３ｄを構成
している点は従来構成と同様であるが、これら第１〜第
５の弾性表面波共振子１１ｘ〜１１ｖのうちの直列腕共
振子に当たる第１の弾性表面波共振子１１ｘ、第３の弾
性表面波共振子１１ｚおよび第５の弾性表面波共振子１
１ｖが１つのグレーティング反射器１１ｇを共用し、さ
らに、並列腕共振子に当たる第２の弾性表面波共振子１
１ｙおよび第４の弾性表面波共振子１１ｕが、１つのグ
レーティング反射器１１ｈを共用するように、第１〜第
５の弾性表面波共振子１１ｘ〜１１ｖを配置接続してい
る点が従来構成と異なる。したがって、この第４の実施
例の第１の態様によれば、３個の弾性表面波共振子（直
列腕共振子）が１個のグレーティング反射器をこれら３
個の弾性表面波共振子それぞれの第１のグレーティング
反射器若しくは第２のグレーティング反射器として共用
している部分と、２個の弾性表面波共振子（並列腕共振
子）が１個のグレーティング反射器をこれら３個の弾性
表面波共振子それぞれの第１のグレーティング反射器若
しくは第２のグレーティング反射器として共用している
部分との、合計２箇所の共有構造の例が例示される。

【００２７】この第４の実施例の第１の態様の場合、グ
レーティング反射器を形成するために必要な領域を３つ
分減らせるので、その分、四段Ｔ型の梯型回路構成の共
振器型弾性表面波フィルタの大きさを従来より小さく出
来る。

【００２８】４−２．第２の態様 この第４の実施例の第２の態様の共振器型弾性表面波フ
ィルタ２８は、第１の態様のフィルタ２６と同様に、圧
電性を有する基板１５に第１〜第５の弾性表面波共振子
１１ｘ、１１ｙ，１１ｚ，１１ｕ，１１ｖを具え、第１
〜第４段目までの梯型回路構成した部分１３ａ〜１３ｄ
を具える点は同様であるが、これら第１〜第５の弾性表
面波共振子１１ｘ〜１１ｖのうちの直列腕共振子に当た
る第１の弾性表面波共振子１１ｘおよび第３の弾性表面
波共振子１１ｚが１つのグレーティング反射器１１ｇを
共用し、同じく直列腕共振子に当たる第３の弾性表面波
共振子１１ｚおよび第５の弾性表面波共振子１１ｖが１
つのグレーティング反射器１１ｉを共用し、さらに、並
列腕共振子に当たる第２の弾性表面波共振子１１ｙおよ
び第４の弾性表面波共振子１１ｕが、１つのグレーティ
ング反射器１１ｈを共用するように、第１〜第５の弾性
表面波共振子１１ｘ〜１１ｕを配置接続している点が従
来構成と異なる。したがって、この第４の実施例の第２
の態様によれば、２個の弾性表面波共振子（直列腕共振
子）が１個のグレーティング反射器をこれら２個の弾性
表面波共振子それぞれの第１のグレーティング反射器若
しくは第２のグレーティング反射器として共用している
部分を２箇所と、２個の弾性表面波共振子（並列腕共振
子）が１個のグレーティング反射器をこれら２個の弾性
表面波共振子それぞれの第１のグレーティング反射器若
しくは第２のグレーティング反射器として共用している
部分との、合計３箇所の共有構造の例が例示される。

【００２９】この第４の実施例の第２の態様の場合、グ
レーティング反射器を形成するために必要な領域を３つ
分減らせるので、その分、四段Ｔ型の梯型回路構成の共
振器型弾性表面波フィルタの大きさを従来より小さく出
来る。

【００３０】５．第５の実施例 上述の第１〜第４実施例では共有されるグレーティング
反射器１１ｇ，１１ｈ，１１ｉに関し、グレーティング
の本数を少なくとも１００本程度とすることで、当該グ
レーティング反射器を共有している複数の弾性表面波共
振子同士の相互の影響を抑制できると述べたが、それで
も詳細には伝送特性曲線上に小さなリップルが生じるこ
とが、この出願に係る発明者の研究により明らかになっ
た。先ずこの点について、図１３（Ａ）および（Ｂ）を
参照して説明する。

【００３１】図１３（Ａ）に示した伝送特性は、三段の
梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタの従来例す
なわち第３の実施例の比較例として挙げた図８を参照し
て説明した共振器型弾性表面波フィルタ２４ａの伝送特
性、一方の図１３（Ｂ）に示した伝送特性は、本発明
（以下、グレーティング反射器を共用する発明ともい
う）を適用した三段の梯型回路構成の共振器型弾性表面
波フィルタすなわち第３の実施例として挙げた図７を参
照して説明した共振器型弾性表面波フィルタ２４の伝送
特性である。ただし、いずれも、中心周波数ｆ₀ ＝８０
０ＭＨｚ用のフィルタでの特性である。

【００３２】図１３（Ａ）および（Ｂ）に示した各伝送
特性を比較することで明らかなように、グレーティング
反射器を共用する発明を適用した場合は比較例の場合に
比べ、通過域に対して低周波数側の減衰域のポールが明
確となり通過域より低周波数側の減衰域が改善されるの
であるが（図１３（Ｂ）中、Ｐで示した部分）、反面、
通過域に小さなリップルが生じることが分かる（図１３
（Ｂ）中、Ｑで示した部分）。

【００３３】このリップルは、図７に示した第３の実施
例の共振器型弾性表面波フィルタ２４における第１の弾
性表面波共振子１１ｘおよび第３の弾性表面波共振子１
１ｚ（または第２の弾性表面波共振子１１ｙおよび第４
の弾性表面波共振子１１ｕ）で発生した表面弾性波が、
これら共振器が共用するグレーティング反射器１１ｇ
（または１１ｈ）で全反射とならず一部他方の弾性表面
波共振子側に漏れて両共振子のすだれ状電極１１ａ間で
多重反射波を発生させ、これがスプリアス成分となって
生じている。このリップルは、共振器型弾性表面波フィ
ルタに要求される仕様によっては問題となる場合ならな
い場合それぞれあるが、技術的には軽減された方が好ま
しい。そして、このリップルを軽減するには、共用され
るグレーティング反射器のグレーティング数を１００本
を大幅に越える数とすれば良いと述べているが、そうす
ると、グレーティング反射器を共用して共振器型弾性表
面波フィルタの小型化を図る上で問題となる。そこで、
この第５の実施例では、共用されているグレーティング
反射器の、これを共用している少なくとも２個の弾性表
面波共振器から見て中央に当たる部分に、反射率増加部
を設ける。以下、２つの例により具体的に説明する。

【００３４】第５の実施例の第１の態様の共振器型弾性
表面波フィルタ３０は、図１４に示した様に、共用され
ているグレーティング反射器１１ｇの、これを共用して
いる弾性表面波共振子１１ｘ，１１ｚから見て中央部分
と、他の共用されているグレーティング反射器１１ｈ
の、これを共用している弾性表面波共振子１１ｙ，１１
ｕから見て中央部分とに、それぞれ独立に反射率増加部
３１または３３を具える。

【００３５】また、第５の実施例の第２の態様の共振器
型弾性表面波フィルタ３５は、図１４に示した様に、共
用されているグレーティング反射器１１ｇの、これを共
用している弾性表面波共振子１１ｘ，１１ｚから見て中
央部分と、他の共用されているグレーティング反射器１
１ｈの、これを共用している弾性表面波共振子１１ｙ，
１１ｕから見て中央部分とにわたって反射率増加部３７
を具える。

【００３６】これら反射増強部３１、３３、３７各々
は、共用されるグレーティング反射器の前記中央部分に
堆積させた反射率向上に好適な材料の薄膜をもって構成
できる。このような薄膜であると、該薄膜を設けた部分
で音響インピーダンスの不連続性および質量負荷効果が
増大するので、反射率増加部を有しない場合に比べ、こ
の部分での弾性表面波の反射率を向上させることが出来
る。なお、反射率増加部を構成する薄膜の具体例として
は、例えば、弾性表面波フィルタの保護膜などとして使
用される絶縁膜例えばＳｉＯ₂ 膜や、弾性表面波フィル
タの入力端子等の形成膜として使用される金属膜例えば
Ａｕ膜などが挙げられる。ここで、反射率増加部をＳｉ
Ｏ₂ 膜等の絶縁膜で構成する場合は、該膜は上記第１の
態様および第２の態様それぞれで使用出来る。しかし、
Ａｕ膜等の金属膜で反射率増加部を構成する場合は、上
記第１の態様（すなわち共用されるグレーティング反射
器ごとに独立に反射率増加部を設ける態様）にだけ該膜
は適用出来る。なぜなら、反射率増加部としての金属膜
を２つの共用されるグレーティング反射器間にわたって
設けた場合は、共振器間をつなぐ信号線をこの金属膜が
横切ることとなりこの結果反射器と信号線とが短絡され
てしまうこととなるので、特性上好ましくないためであ
る。また、反射率増加部を構成する薄膜の膜厚は、設計
に応じ選ばれるが、例えば、金属膜を使用する場合、弾
性表面波フィルタの入力端子を形成する際に反射率増加
部も同時に作製することとして、弾性表面波フィルタの
入力端子の膜厚（例えば約２００ｎｍ）と同じ程度でも
良いと考える。

【００３７】なお、上述においてはこの発明のいくつか
の実施例について説明したが、この発明は上述の実施例
に限られない。例えば、梯型回路構成した部分の段数は
５段以上の場合でもこの発明は適用出来る。また、弾性
表面波共振子の配置の仕方は、グレーティング反射器が
共用できる点およびフィルタの小型化が図れる点を考慮
した配置であれば、実施例以外の配置であってももちろ
ん良い。

【００３８】また、上述の第５の実施例では梯型回路構
成した部分を３段具える共振器型の弾性表面波フィルタ
に反射率増加部を設ける例を示したが、反射率増加部を
設ける思想は３段以外の他の段数の弾性表面波フィルタ
に対してももちろん適用出来る。

【００３９】

【発明の効果】上述した説明から明らかなように、この
発明の共振器型弾性表面波フィルタによれば、すだれ状
電極と該すだれ状電極の一方端に近接して配置された第
１のグレーティング反射器と他方端に近接して配置され
た第２のグレーティング反射器とを有した弾性表面波共
振子を梯型回路構成した部分を、少なくとも２段具えた
共振器型弾性表面波フィルタにおいて、少なくとも２個
の弾性表面波共振子が１個のグレーティング反射器をこ
れら少なくとも２個の弾性表面波共振子それぞれの第１
のグレーティング反射器若しくは第２のグレーティング
反射器として共用している部分を、少なくとも１箇所具
える。このため、各弾性表面波共振子が個々に第１およ
び第２のグレーティング反射器を有していた場合に比
べ、グレーティング反射器の数を少なく出来るので、そ
の分、共振器型弾性表面波フィルタの小型化が図れる。

【００４０】また、反射率増加部を設ける構成では、１
つのグレーティング反射器を共用している少なくとも２
個の弾性表面波共振子間での相互の影響をより軽減でき
るので、例えば、伝送特性にリップが生じることを軽減
出来る。さらには、共用されるグレーティング反射器の
グレーティグ本数の低減も期待出来るので、共振器型弾
性表面波フィルタのさらなる小型化も期待出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例の説明図である。

【図２】各グレーティング反射器の説明図である。

【図３】グレーティング反射器におけるグレーティング
数と反射特性との関係を示した図である。

【図４】第２の実施例の説明図である。

【図５】第２の実施例での比較例の説明図である。

【図６】第２の実施例およびその比較例の説明図であ
る。

【図７】第３の実施例の説明に供する図である。

【図８】第３の実施例での比較例の説明図である。

【図９】第３の実施例および比較例の説明図である。

【図１０】第４の実施例の第１の態様の説明図である。

【図１１】第４の実施例の第２の態様の説明図である。

【図１２】第４実施例の説明に供する図である。

【図１３】（Ａ）および（Ｂ）は第５の実施例の説明図
である。

【図１４】第５の実施例の第１の態様の説明図である。

【図１５】第５の実施例の第２の態様の説明図である。

【図１６】課題および第１の実施例の説明に供する図
（その１）である。

【図１７】課題および第１の実施例の説明に供する図
（その２）である。

【符号の説明】

１１ａ：すだれ状電極 １１ｂ：第１のグレーティング反射器 １１ｃ：第２のグレーティング反射器 １１ｇ，１１ｈ，１１ｉ：共用されているグレーティン
グ反射器 １１ｘ：第１の弾性表面波共振子 １１ｙ：第２の弾性表面波共振子 １１ｚ：第３の弾性表面波共振子 １１ｕ：第４の弾性表面波共振子 １１ｖ：第５の弾性表面波共振子 １３ａ：第１段目の梯型回路構成部分 １３ｂ：第２段目の梯型回路構成部分 １３ｃ：第３段目の梯型回路構成部分 １３ｄ：第４段目の梯型回路構成部分 １５：圧電性を有する基板 １７ａ：入力端子 １７ｂ：出力端子 １７ｃ，１７ｄ：接地端子 ３１，３３，３７：反射率増加部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 すだれ状電極と該すだれ状電極の一方端
   に近接して配置された第１のグレーティング反射器と他
   方端に近接して配置された第２のグレーティング反射器
   とを有した弾性表面波共振子を梯型回路構成した部分
   を、少なくとも２段具えた共振器型弾性表面波フィルタ
   において、 少なくとも２個の弾性表面波共振子が１個のグレーティ
   ング反射器をこれら少なくとも２個の弾性表面波共振子
   それぞれの第１のグレーティング反射器若しくは第２の
   グレーティング反射器として共用している部分を、少な
   くとも１箇所具えたことを特徴とする共振器型弾性表面
   波フィルタ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の共振器型弾性表面波フ
   ィルタにおいて、 前記共用されているグレーティング反射器の、前記少な
   くとも２個の弾性表面波共振器から見て中央に当たる部
   分に、反射率増加部を具えたことを特徴とする共振器型
   弾性表面波フィルタ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の共振器型弾性表面波フ
   ィルタにおいて、 前記反射率増加部は、前記共用されているグレーティン
   グ反射器の前記中央部分に堆積させた反射率向上に好適
   な材料の薄膜をもって構成してあることを特徴とする共
   振器型弾性表面波フィルタ。