JP2018196028A - 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Abstract
Description
比較例1に係る弾性波フィルタを作製した。
作製条件は以下である。
圧電基板10:膜厚が250μmの125°回転YカットX伝搬ニオブ酸リチウム基板
金属膜12a:膜厚が78nmのTi膜
金属膜12b:膜厚が215nmのCu膜
金属膜12c:膜厚が10nmのCr膜
保護膜13:膜厚が20nmの窒化シリコン膜
誘電体膜14:膜厚T1が1720nm、膜厚T2が1417nmのSiO2膜
周波数調整膜15:膜厚が10nmから20nmの酸化ニオブ膜
作製した弾性表面波共振器の主モードはレイリー波である。
図8は、実験1において作製した共振器の条件を示す図である。誘電体膜14の上面は比較例1と異なり平坦化されていない。その他の条件は比較例1と同じである。図8に示すように、IDT対数、反射器対数および開口長は各共振器で同じである。共振器A1からA3ではデュティ比が60%、共振器B1からB3ではデュティ比が50%、共振器C1からC3ではデュティ比が40%である。
実験2として、デュティ比とスプリアスとの関係についてシミュレーションした。シミュレーションした共振器は、IDT対数が55対、反射器対数が10対および開口長が35λである。その他の条件は、比較例1および実施例1と同じである。主モードの弾性波はレイリー波であり、SH(Share Horizontal)波はスプリアスとなる。
12a、12b、12c 金属膜
13 保護膜
14 誘電体膜
15 周波数調整膜
20 IDT
21 電極指
22 櫛型電極
24 反射器
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
Claims (9)
- 圧電基板と、
入力端子と出力端子との間に直列に接続され、前記圧電基板上に設けられ、第1デュティ比を有して配列され弾性波を励振する複数の第1電極指を備える1または複数の直列共振器と、
前記入力端子と前記出力端子との間に並列に接続され、前記圧電基板上に設けられ、第2デュティ比を有して配列され弾性波を励振する複数の第2電極指を備え、少なくとも1つの並列共振器の前記第2デュティ比は前記1または複数の直列共振器のうち少なくとも1つの直列共振器における第1デュティ比より小さい1または複数の並列共振器と、
弾性率の温度係数が前記圧電基板の弾性率の温度係数と逆符号であり、前記圧電基板上に前記複数の第1電極指および前記複数の第2電極指を覆うように設けられ、前記複数の第1電極指および前記複数の第2電極指より膜厚が大きい誘電体膜と、
を具備する弾性波フィルタ。 - 圧電基板と、
入力端子と出力端子との間に直列に接続され、前記圧電基板上に設けられ、第1デュティ比を有して配列され弾性波を励振する複数の第1電極指を備える1または複数の直列共振器と、
前記入力端子と前記出力端子との間に並列に接続され、前記圧電基板上に設けられ、第2デュティ比を有して配列され弾性波を励振する複数の第2電極指を備え、少なくとも1つの並列共振器の前記第2デュティ比は前記1または複数の直列共振器のうち少なくとも1つの直列共振器における第1デュティ比より小さい1または複数の並列共振器と、
弾性率の温度係数が前記圧電基板の弾性率の温度係数と逆符号であり、前記圧電基板上に前記複数の第1電極指を覆うように設けられ、前記複数の第1電極指の膜厚より大きい第1膜厚を有する第1誘電体膜と、
弾性率の温度係数が前記圧電基板の弾性率の温度係数と逆符号であり、前記圧電基板上に前記複数の第2電極指を覆うように設けられ、前記複数の第2電極指の膜厚より大きく、前記第1膜厚と実質的に同じ第2膜厚を有する第2誘電体膜と、
を具備する弾性波フィルタ。 - 前記第1誘電体膜と前記第2誘電体膜とは実質的に同じ材料からなる請求項2に記載の弾性波フィルタ。
- 前記1または複数の直列共振器は複数の直列共振器であり、
前記1または複数の並列共振器は複数の並列共振器であり、
前記複数の並列共振器の全ての第2デュティ比は前記複数の直列共振器の全ての第1デュティ比より小さい請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ。 - 前記少なくとも1つの並列共振器における第2デュティ比と前記少なくとも1つの直列共振器における第1デュティ比との差は10%以下である請求項1から4のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ。
- 前記複数の第1電極指のピッチは前記複数の第2電極指のピッチより小さい請求項1から5のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ。
- 前記圧電基板はニオブ酸リチウム基板またはタンタル酸リチウム基板である請求項1から6のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ。
- 前記圧電基板はニオブ酸リチウム基板であり、前記誘電体膜は酸化シリコン膜である請求項1に記載の弾性波フィルタ。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載の弾性波フィルタを含むマルチプレクサ。
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JP2018056630A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
JP2020123854A (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-13 | 太陽誘電株式会社 | フィルタおよびマルチプレクサ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008508821A (ja) * | 2004-08-04 | 2008-03-21 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 損失の小さい電気音響素子 |
WO2011142143A1 (ja) * | 2010-05-13 | 2011-11-17 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP2012186642A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Panasonic Corp | 弾性波デバイス |
JP2016184900A (ja) * | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
Family Cites Families (7)
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---|---|---|---|---|
JP3414384B2 (ja) * | 2001-01-12 | 2003-06-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ、およびそれを用いた通信機装置 |
WO2006016544A1 (ja) * | 2004-08-11 | 2006-02-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | デュプレクサ及び通信装置 |
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JP6504551B2 (ja) * | 2013-06-10 | 2019-04-24 | 太陽誘電株式会社 | 共振器、フィルタおよび分波器 |
JP6669263B2 (ja) * | 2016-09-02 | 2020-03-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008508821A (ja) * | 2004-08-04 | 2008-03-21 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 損失の小さい電気音響素子 |
WO2011142143A1 (ja) * | 2010-05-13 | 2011-11-17 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP2012186642A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Panasonic Corp | 弾性波デバイス |
JP2016184900A (ja) * | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7456799B2 (ja) | 2020-02-26 | 2024-03-27 | 太陽誘電株式会社 | フィルタおよびマルチプレクサ |
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