JP6656135B2 - フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents

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Description

本発明はフィルタおよびマルチプレクサに関し、例えば直列共振器を有するフィルタおよびマルチプレクサに関する。
弾性波共振器を用いたラダー型フィルタは、移動体通信端末等に用いられている。ラダー型フィルタにおいて、直列共振器を分割することにより耐電力性が向上することが知られている(例えば特許文献1)。
特開2007−74698号公報
しかしながら、耐電力性を向上させるため、複数の区間において直列共振器を分割しかつ減衰域の減衰特性を維持しようとすると、区間を増やすことになりフィルタが大型化する。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、耐電力を改善しつつ減衰特性を改善することを目的とする。
本発明は、入力端子と出力端子との間に並列に接続された複数の並列共振器と、前記入力端子と前記出力端子との間に直列に接続された複数の直列共振器と、前記入力端子と前記出力端子との間の直列経路に前記複数の並列共振器がそれぞれ接続する複数のノードと、前記複数の直列共振器に含まれ、前記複数のノードと前記入力端子と前記出力端子とのうち隣接するノードまたは端子の間の前記直列経路である複数の区間のうち第1の区間において直列に接続され反共振周波数の差が第1の差である第1の共振器および第2の共振器と、前記複数の直列共振器に含まれ、前記複数の区間のうち第2の区間において直列に接続され反共振周波数の差が第2の差である第3の共振器および第4の共振器であって、前記第1の共振器と前記第3の共振器との反共振周波数の差である第3の差は第1の差および第2の差より小さい第3の共振器および第4の共振器と、を具備し、前記第2の共振器および前記第4の共振器の反共振周波数は、前記第1の共振器および前記第3の共振器の反共振周波数より高く、前記第1の区間は、前記複数の区間のうち最も前記入力端子に近い区間であり、前記複数の直列共振器は各々弾性波共振器であるフィルタである。
上記構成において、前記複数の直列共振器に含まれ、前記複数の区間のうち第3の区間において1つのみ接続された第5の共振器を具備する構成とすることができる。
上記構成において、前記第5の共振器と前記第1の共振器および前記第3の共振器との反共振周波数の差である第4の差は、前記第1の差および前記第2の差より小さい構成とすることができる。
上記構成において、前記第1の共振器は前記第2の共振器より前記入力端子に近く、前記第3の共振器は前記第4の共振器より前記入力端子に近い構成とすることができる。
上記構成において、前記第2の区間は、複数の区間のうち2番目に前記入力端子に近い区間である構成とすることができる。
上記構成において前記複数の直列共振器に含まれ、前記複数の区間のうち第4の区間において1つのみ接続された第6の共振器を具備し、前記第2の区間は、前記複数の区間のうち2番目に前記入力端子に近い区間であり、前記第3の区間は、前記複数の区間のうち3番目に前記入力端子に近い区間である構成とすることができる。
上記構成において、前記第1の共振器および前記第3の共振器は、前記フィルタの通過特性のスカートを形成し、前記第2の共振器および前記第4の共振器は、前記フィルタの減衰域を形成する構成とすることができる。
本発明は、上記フィルタを含むマルチプレクサである。
本発明は、共通端子と第1端子との間に接続された上記フィルタである第1フィルタと、前記共通端子と第2端子との間に接続され、前記第1フィルタより通過帯域が高い第2フィルタと、を具備するマルチプレクサである。
本発明によれば、耐電力を改善しつつ減衰特性を改善することができる。
図1(a)は、比較例1に係るラダー型フィルタの回路図、図1(b)および図1(c)は、各区間の共振器を示す図である。 図2(a)は、弾性波共振器の平面図、図2(b)は、図2(a)のA−A断面図である。 図3(a)は、比較例2に係るフィルタの回路図、図3(b)は、直列共振器の反共振周波数を示す図である。 図4は、比較例2におけるラダー型フィルタの通過特性を示す図である。 図5(a)は、比較例3に係るフィルタの回路図、図5(b)は、直列共振器の反共振周波数を示す図である。 図6(a)は、実施例1に係るフィルタの回路図、図6(b)および図6(c)は、実施例1および2の直列共振器の反共振周波数を示す図である。 図7は、実施例3に係るフィルタの回路図である。 図8は、実施例3に係るフィルタの平面図である。 図9(a)および図9(b)は、それぞれ実施例3および比較例4に係るフィルタの各共振器の対数、開口長およびピッチλを示す図である。 図10(a)は、実施例3における各直列共振器の通過特性を示す図、図10(b)は、実施例3および比較例4の通過特性を示す図である。 図11は、実施例4に係るデュプレクサの回路図である。
[比較例1]
比較例1を用いラダー型フィルタについて説明する。図1(a)は、比較例1に係るラダー型フィルタの回路図、図1(b)および図1(c)は、各区間の共振器を示す図である。図1(a)に示すように、ラダー型フィルタにおいては、直列共振器S1からS4および並列共振器P1からP3を有する。直列共振器S1からS4は、入力端子Tinと出力端子Toutとの間に直列に接続されている。並列共振器P1からP3は、入力端子Tinと出力端子Toutとの間に並列に接続されている。入力端子Tinと出力端子Toutとの間の直列経路30に並列共振器P1からP3が接続されるノードをそれぞれノードN1からN3とする。直列経路30は、入力端子Tin、出力端子ToutおよびノードN1からN3の隣接するノードまたは端子の間の区間32を含む。区間32は、入力端子Tin側から区間32a、32b、32cおよび32dとする。1つの区間32aから32dの両端は、入力端子TinとノードN1、ノードN1とN2、ノードN2とN3、またはノードN3と出力端子Toutであり、区間32aから32dの中間にはノードN1からN3は含まれない。
高周波信号は入力端子Tinから入力し、入力した高周波信号のうち通過帯域の信号が出力端子Toutから出力される。入力した高周波信号のうち通過帯域以外の信号は抑圧される。
図1(b)に示すように、直列共振器Sが分割されていないとき、1つの区間32に含まれる直列共振器Sは1つである。このときの直列共振器SのキャパシタンスをCoとする。
図1(c)のように、1つの区間32に含まれる直列共振器を2つの直列共振器SaおよびSbに分割する。このとき、区間32のキャパシタンスCoが図1(b)と異なると、区間32のインピーダンス等の特性が変わってしまう。そこで、区間32のキャパシタンスCoを変えないようするため、直列共振器SaおよびSbのキャパシタンスを各々2Coとする。これにより、区間32のキャパシタンスCoが図1(b)と変わらない。直列共振器SaおよびSbのキャパシタンスは互いに異なっていてもよいが、区間32のキャパシタンスを図1(b)と同じとするためには、直列共振器SaおよびSbのキャパシタンスはCoより大きくなる。
直列共振器S1からS4および並列共振器P1からP3として弾性表面波共振器を例に説明する。図2(a)は、弾性波共振器の平面図、図2(b)は、図2(a)のA−A断面図である。図2(a)および図2(b)に示すように、弾性波共振器18において、圧電基板10上にIDT16および反射器15が形成されている。IDT16および反射器15は、圧電基板10上に形成された金属膜11により形成される。IDT16は、対向する一対の櫛型電極14を備える。櫛型電極14は、複数の電極指12と、複数の電極指12が接続されたバスバー13を備える。一対の櫛型電極14は、電極指12がほぼ互い違いとなるように、対向して設けられている。
電極指12が励振する弾性波は、主に電極指12の配列方向に伝搬する。伝搬した弾性波は反射器15で反射される。電極指12のピッチがほぼ弾性波の波長λとなる。弾性波の伝搬方向をX方向、伝搬方向に直交する方向(すなわち電極指12の延伸方向)をY方向とする。X方向およびY方向は、圧電基板10の結晶方位のX軸方向およびY軸方向とは必ずしも対応しない。Y方向において電極指12が重なる長さが開口長Wである。圧電基板10として回転YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板またはニオブ酸リチウム基板を用いる場合、X方向は結晶方位のX軸方向となる。圧電基板10は、サファイア基板、スピネル基板、アルミナ基板等の絶縁基板またはシリコン基板等の半導体基板上に接合されていてもよい。金属膜11は、例えばアルミニウム膜または銅膜である。IDT16および反射器15を覆う保護膜または温度補償膜が設けられていてもよい。
図1(c)の直列共振器SaおよびSbのキャパシタンスを図1(b)の直列共振器Sの2倍とするためには、例えば図2(a)における開口長Wを2倍とする。または、電極指12に対数を2倍とする。このため、直列共振器SaおよびSbの合計の面積は直列共振器Sの面積の2倍以上となる。一方、直列共振器SaおよびSbでは、開口長Wまたは対数が増えるため、大電力が印加された場合でも、直列共振器Sに比べ破損されにくい。このように、直列共振器SをSaおよびSbに分割すると耐電力性が向上する。
[比較例2]
直列共振器を分割することにより耐電力を向上させた比較例2について説明する。図3(a)は、比較例2に係るフィルタの回路図、図3(b)は、直列共振器の反共振周波数を示す図である。図3(a)に示すように、比較例2では、比較例1に比べ、直列共振器S1が直列共振器S11およびS12に直列に分割されている。直列共振器S2が直列共振器S21およびS22に直列に分割されている。すなわち、区間32aにおいて直列共振器S11およびS12が直列に接続されており、区間32bにおいて直列共振器S21およびS22が直列に接続されている。図3(b)に示すように、直列共振器S11およびS12の反共振周波数はA1、直列共振器S21およびS22の反共振周波数はA2、直列共振器S3およびS4の反共振周波数はそれぞれB、Cである。直列共振器が分割された区間は、区間32aから32dのいずれの区間でもよい。その他の構成は比較例1と同じであり説明を省略する。
図4は、比較例2におけるラダー型フィルタの通過特性を示す図である。図4に示すように、ラダー型フィルタの通過特性は通過帯域50を有するバンドパスフィルタ特性である。ラダー型フィルタでは、直列共振器S1からS4の反共振点が通過帯域50の高周波側のスカート52および減衰域54を形成する。そこで、反共振周波数A1およびA2はスカート52を形成し、反共振周波数BおよびCは減衰域54を形成するように直列共振器S1からS4の反共振周波数を設定する。反共振周波数A1とA2はスカートを形成するため、A1とA2の差は小さい。反共振周波数とBとCは、通過帯域50から離れた周波数の減衰量を大きくする。このため、A2とBの差およびA2とCの差は、A1とA2の差より大きい。
比較例1では、入力端子Tinから大電力の高周波信号が入力すると、スカート52を形成する直列共振器S1およびS2には、大電力が印加される。これにより、大電力が印加される直列共振器S1およびS2が破損する。そこで、大電力が加わりやすい直列共振器S1およびS2を比較例2のように直列共振器S11およびS12並びにS21およびS22に分割する。これにより、耐電力性が向上する。通過帯域50から離れた減衰域54の減衰量を大きくする直列共振器S3およびS4には大電力が加わらない。よって、直列共振器S3およびS4は分割しない。
[比較例3]
図5(a)は、比較例3に係るフィルタの回路図、図5(b)は、直列共振器の反共振周波数を示す図である。図5(a)に示すように、比較例3では、比較例2に比べ、さらに大電力の高周波信号が入力する。このため、直列共振器S3をスカート52を形成する共振器とし、反共振周波数をA1およびA2に近いA3とする。さらに直列共振器S3を直列共振器S31および32に分割する。これにより、比較例2に比べ耐電力性が向上する。
比較例2および3では、直列共振器S1からS3を直列に分割することにより、耐電力性が向上する。しかしながら、分割した直列共振器同士は同じ周波数に共振周波数を形成するため、比較例2および3における通過特性は比較例1とほぼ同等である。このため、減衰域54の減衰特性を改善するため直列共振器S1からS3とは異なる反共振周波数を有する直列共振器を追加した場合、フィルタが大型化する。また、フィルタのサイズが限られている場合、直列共振器を分割することに加え、さらに直列共振器を追加することは難しい。したがって、耐電力を改善しつつ減衰特性を改善することが求められる。
図6(a)は、実施例1に係るフィルタの回路図、図6(b)および図6(c)は、実施例1および2の直列共振器の反共振周波数を示す図である。図6(a)に示すように、実施例1の回路図は比較例2と同じであり説明を省略する。
図6(b)に示すように、直列共振器S11およびS21はスカート52を形成するように反共振周波数をA1およびA2とする。直列共振器S12およびS22は減衰域54の減衰量を大きくするように反共振周波数をDおよびEとする。
直列共振器S11およびS21のキャパシタンスは、比較例1の直列共振器S1およびS2より大きくできる。よって、大電力の印加されるスカート52を形成する直列共振器S11およびS12の耐電力性を向上できる。直列共振器S12およびS22の反共振周波数DおよびEは減衰域54の減衰量を大きくするように設定する。比較例2では、減衰域54を形成する反共振周波数はBとCの2つであるが、実施例1では、減衰域54を形成する反共振周波数をBからEの4つにできる。これにより、減衰域54の減衰特性を向上できる。このように、比較例2と同程度の耐電力性を有しつつ、比較例2より減衰特性を向上できる。
図6(c)に示すように、直列共振器S3はスカート52を形成するように反共振周波数A3とする。その他の構成は実施例1と同じである。実施例2では、直列共振器S3の反共振周波数がA3のため、実施例1に比べ、耐電力性を向上できる。よって、例えば比較例2では耐電力性が足りない場合、比較例3のように直列共振器S3を分割しなくても耐電力性を向上できる。よって、フィルタが大型化することを抑制できる。
E−UTRA(Evolved Universal Terrestrial Radio Access) Operating Bandのバンド26(送信帯域:814−849MHz、受信帯域:859−894MHz)の送信フィルタについてシミュレーションを行った。図7は、実施例3に係るフィルタの回路図である。図7に示すように、入力端子Tinと直列共振器S11との間のノードN0と、グランドと、の間にキャパシタC1およびC2が直列に接続されている。キャパシタC1およびC2は、受信帯域における送信端子から受信端子へのアイソレーション特性を向上させるためのものである。その他の構成は比較例2および実施例1と同じであり説明を省略する。
図8は、実施例3に係るフィルタの平面図である。図8に示すように、圧電基板10上に弾性波共振器18として、直列共振器S11からS4および並列共振器P1からP3が設けられている。圧電基板10は、128°回転YカットX伝搬ニオブ酸リチウム基板である。弾性波共振器18の金属膜11は膜厚が0.06×λの銅膜である。圧電基板10上に電極指12を覆うように膜厚が0.25×λの酸化シリコン膜が温度補償膜として設けられている。圧電基板10上にキャパシタC1およびC2が設けられている。キャパシタC1およびC2は、各々対向する一対の櫛型電極により形成されている。圧電基板10上にパッド20として送信端子Tx、共通端子Antおよびグランド端子Gndが設けられている。弾性波共振器18間および弾性波共振器18とパッド20との間は圧電基板10上に形成された配線22により接続されている。送信端子TxがノードN0に相当し、直列共振器S12とS21との間の配線22がノードN1に相当し、直列共振器S21とS3との間の配線22がノードN2に相当し、直列共振器S3とS4との間の配線22がノードN3に相当する。
図9(a)および図9(b)は、それぞれ実施例3および比較例4に係るフィルタの各共振器の対数、開口長およびピッチλを示す図である。キャパシタC1およびC2は一対の櫛型電極により形成している。実施例3では、直列共振器S11とS12とのピッチが互いに異なり、直列共振器S21とS22とのピッチが互いに異なる。直列共振器S11とS21のピッチはほぼ同じである。これにより、直列共振器S11とS12との反共振周波数は互いに異なり、直列共振器S21とS22との反共振周波数は互いに異なる。直列共振器S11とS21の反共振周波数はほぼ同じである。実施例3における直列共振器S12、S22、S3およびS4のピッチは減衰域(受信帯域)の減衰特性がよくなるように最適化している。
比較例4では、直列共振器S11とS12とは対数、開口長およびピッチが同じである。直列共振器S21とS22とは対数、開口長およびピッチが同じである。比較例4における直列共振器S3およびS4のピッチは減衰域の減衰特性がよくなるように最適化している。比較例4のその他の項目は実施例3と同じである。
図10(a)は、実施例3における各直列共振器の通過特性を示す図、図10(b)は、実施例3および比較例4の通過特性を示す図である。図10(a)のように、実施例3では、スカートを形成する直列共振器S11、S21およびS3の反共振周波数を近づける。減衰域を形成する直列共振器S12、S22およびS4の反共振周波数を直列共振器S11、S12およびS3の反共振周波数から離れるように設ける。
図10(b)に示すように、実施例3は比較例4より受信帯域における減衰特性を改善できる。これは、比較例4では減衰域を形成するための直列共振器はS3およびS4の2個であったのに対し、実施例3では、減衰域を形成するための直列共振器をS12、S22およびS4の3個にできたためである。
実施例3および比較例4のチップ内における単位面積当たり消費電力の最大値をシミュレーションした。単位面積当たり消費電力が高い場所には電力が集中していることを示している。よって、チップ内における単位面積当たり消費電力の最大値が大きいと、耐電力性が悪いと考えられる。以下にシミュレーション結果を示す。
実施例3:4.2W/μm
比較例4:6.0W/μm
以上のシミュレーション結果から実施例3は比較例4より耐電力性が良好である。
このように、実施例3と比較例4とは、直列共振器の個数は同じであり、面積はほぼ同じである。減衰域の減衰特性および耐電力性は実施例3は比較例4より向上できる。よって、比較例3のように、直列共振器S3を分割しなくとも所望の耐電力性能を確保できる。
実施例1から3によれば、区間32a(第1の区間)において直列に接続された直列共振器S11(第1の共振器)とS12(第2の共振器)との反共振周波数の差をΔfa1(第1の差)とする。区間32b(第2の区間)において直列に接続された直列共振器S21(第3の共振器)とS22(第4の共振器)との反共振周波数の差をΔfa2(第2の差)とする。直列共振器S11とS21との反共振周波数の差をΔfa3(第3の差)とする。このとき、図10(a)に示すように、Δfa3がΔfa1およびΔfa2よりより小さい。
これにより、キャパシタンスの大きい直列共振器S11とS21とでスカートの電力を分散できるため、比較例1より耐電力性を向上できる。また、直列共振器S12とS22とはスカート以外に減衰極を形成できる。これにより、比較例2から4より減衰極の個数を増やすことができる。よって、設計自由度が増す。Δfa3は、Δfa1およびΔfa2の1/2以下または1/5以下とすることができる。
直列共振器S12およびS22の反共振周波数は、直列共振器S11およびS21の反共振周波数より高い。これにより、通過帯域の高周波数側に減衰域を形成することができる。
直列共振器S3(第5の共振器)は、区間32c(第3の区間)において1つのみ接続されている。このように、直列共振器が分割されていない区間を設けることで、フィルタを小型化できる。
図10(a)のように、直列共振器S3と直列共振器S11およびS21との反共振周波数の差のうち最も大きい差をΔfa4とする。Δfa4は、Δfa1およびΔfa2より小さい。これにより、直列共振器S11、S21およびS3でスカートの電力を分散できるため、耐電力性を向上できる。直列共振器S3は減衰域を形成する共振器でもよい。
実施例1から3においても同様に、直列共振器が分割された区間は、区間32aから32dのいずれの区間でもよい。入力端子Tinに近い区間は大電力が加わりやすい。このため、直列共振器が分割された区間の1つの区間32aは、最も入力端子Tinに近い区間であることが好ましい。さらに、直列共振器が分割された区間のうち他の1つの区間32bは2番目に入力端子Tinに近い区間であることがより好ましい。これにより、耐電力をより向上できる。
直列共振器S4(第6の共振器)は、区間32d(第4の区間)において1つのみ接続されている。このように、直列共振器が1つのみ接続された区間32cおよび32dが複数あるとき、スカートを形成する直列共振器S3を有する区間32cは、3番目に入力端子Tinに近い区間である。これにより、耐電力をより向上できる。
直列共振器S12およびS22の反共振周波数が近く、スカートを形成してもよい。より入力端子に近いという観点から、直列共振器S11およびS21の反共振周波数が近いことが好ましい。
実施例1から3では、区間が4個の例を説明したが、区間は複数であればよい。直列共振器が分割された区間を2個としたが、3個以上でもよい。区間32aおよび32bにおいて直列共振器を2個に分割する例を説明したが、分割数は3以上でもよい。
直列共振器S11からS4および並列共振器P1からP3として弾性表面波共振器の例を説明したが、圧電薄膜共振器でもよい。
実施例4は、マルチプレクサの例である。図11は、実施例4に係るデュプレクサの回路図である。図11に示すように、共通端子Antと送信端子Tx(第1端子)との間に送信フィルタ40(第1フィルタ)が接続されている。共通端子Antと受信端子Rx(第2端子)との間に受信フィルタ42(第2フィルタ)が接続されている。送信フィルタ40は送信端子Txから入力した高周波信号のうち送信帯域の信号を共通端子Antに通過させ、他の信号を抑圧する。受信フィルタ42は、共通端子Antに入力した高周波信号のうち受信帯域の信号を通過させ、他の信号を抑圧する。
受信帯域が送信帯域より高いとき、送信フィルタ40に実施例1から3のフィルタを用いる。これにより、受信帯域における減衰特性を向上できる。
マルチプレクサとしてデュプレクサの例を説明したが、トリプレクサまたはクワッドプレクサでもよい。第1フィルタが送信フィルタ、第2フィルタが受信フィルタの例を説明したが、第1フィルタが受信フィルタ、第2フィルタが送信フィルタでもよい。第1フィルタおよび第2フィルタはいずれも送信フィルタでもよく、受信フィルタでもよい。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
10 圧電基板
16 IDT
30 直列経路
32a−32d 区間
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ

Claims (9)

  1. 入力端子と出力端子との間に並列に接続された複数の並列共振器と、
    前記入力端子と前記出力端子との間に直列に接続された複数の直列共振器と、
    前記入力端子と前記出力端子との間の直列経路に前記複数の並列共振器がそれぞれ接続する複数のノードと、
    前記複数の直列共振器に含まれ、前記複数のノードと前記入力端子と前記出力端子とのうち隣接するノードまたは端子の間の前記直列経路である複数の区間のうち第1の区間において直列に接続され反共振周波数の差が第1の差である第1の共振器および第2の共振器と、
    前記複数の直列共振器に含まれ、前記複数の区間のうち第2の区間において直列に接続され反共振周波数の差が第2の差である第3の共振器および第4の共振器であって、前記第1の共振器と前記第3の共振器との反共振周波数の差である第3の差は第1の差および第2の差より小さい第3の共振器および第4の共振器と、
    を具備し、
    前記第2の共振器および前記第4の共振器の反共振周波数は、前記第1の共振器および前記第3の共振器の反共振周波数より高く、
    前記第1の区間は、前記複数の区間のうち最も前記入力端子に近い区間であり、
    前記複数の直列共振器は各々弾性波共振器であるフィルタ。
  2. 前記複数の直列共振器に含まれ、前記複数の区間のうち第3の区間において1つのみ接続された第5の共振器を具備する請求項1記載のフィルタ。
  3. 前記第5の共振器と前記第1の共振器および前記第3の共振器との反共振周波数の差である第4の差は、前記第1の差および前記第2の差より小さい請求項2記載のフィルタ。
  4. 前記第2の区間は、複数の区間のうち2番目に前記入力端子に近い区間である請求項1から3のいずれか一項記載のフィルタ。
  5. 前記複数の直列共振器に含まれ、前記複数の区間のうち第4の区間において1つのみ接続された第6の共振器を具備し、
    前記第2の区間は、前記複数の区間のうち2番目に前記入力端子に近い区間であり、
    前記第3の区間は、前記複数の区間のうち3番目に前記入力端子に近い区間である請求項3記載のフィルタ。
  6. 前記第1の共振器は前記第2の共振器より前記入力端子に近く、
    前記第3の共振器は前記第4の共振器より前記入力端子に近い請求項1から5のいずれか一項に記載のフィルタ。
  7. 前記第1の共振器および前記第3の共振器は、前記フィルタの通過特性のスカートを形成し、前記第2の共振器および前記第4の共振器は、前記フィルタの減衰域を形成する請求項1から6のいずれか一項記載のフィルタ。
  8. 請求項1からのいずれか一項記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
  9. 共通端子と第1端子との間に接続された請求項1からのいずれか一項記載のフィルタである第1フィルタと、
    前記共通端子と第2端子との間に接続され、前記第1フィルタより通過帯域が高い第2フィルタと、
    を具備するマルチプレクサ。
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