JP2020123854A - フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Abstract
Description
弾性波共振器R1とR2の反射器20の格子電極16のデュティ比を異ならせ、弾性波共振器の通過特性のシミュレーションを行った。シミュレーション条件は以下である。
圧電基板10a:厚さが20μmの42°YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板
支持基板10b:厚さが500μmのサファイア基板
金属膜12:圧電基板10a側から膜厚が50nmのチタン膜、膜厚が111nmのアルミニウム膜
IDT24のピッチ:2×Db1=2×Db2=2.13μm
IDT24の対数:152対
IDT24の開口長:21λ
IDT24のデュティ比:Pb1=Pb2=50%
反射器20のピッチ:2×Da1=2×Da2=2.15μm
反射器20の対数:10対
反射器20のデュティ比:Pa1=48%、Pa2=53%
図2(a)および図2(b)のように弾性波共振器R1およびR2を直列接続および並列接続し端子T1とT2との間の通過特性をシミュレーションした。
直列接続(図7(a))
実施例1:デュティ比Pa1=48%、Pa2=53%
比較例1:デュティ比Pa1=Pa2=48%
並列接続(図7(b))
実施例1:デュティ比Pa1=48%、Pa2=53%
比較例1:デュティ比Pa1=Pa2=48%
その他のシミュレーション条件はシミュレーション1と同じである。
10a 圧電基板
10b 支持基板
12 金属膜
14 電極指
16 格子電極
18 櫛型電極
20 反射器
24 IDT
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
Claims (10)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、複数の第1格子電極を有する一対の第1反射器と、前記一対の第1反射器の間に設けられ複数の第1電極指を有する一対の櫛型電極とを備える第1弾性波共振器と、
前記第1弾性波共振器と直列接続または並列接続され、前記圧電基板上に設けられ、前記複数の第1格子電極とデュティ比の平均値が異なる複数の第2格子電極を有する一対の第2反射器と、前記一対の第2反射器の間に設けられピッチの平均値が前記複数の第1電極指のピッチの平均値と略等しい複数の第2電極指を有する一対の第2櫛型電極とを備える第2弾性波共振器と、
を備えるフィルタ。 - 前記複数の第1格子電極のピッチの平均値と前記複数の第2格子電極のピッチの平均値とは略等しい請求項1に記載のフィルタ。
- 前記複数の第1格子電極のデュティ比の平均値と前記複数の第2格子電極のデュティ比の平均値との差は1%以上かつ20%以下である請求項1または2に記載のフィルタ。
- 前記第1弾性波共振器と前記第2弾性波共振器とは直列接続されている請求項1から3のいずれか一項に記載のフィルタ。
- 前記第1弾性波共振器と前記第2弾性波共振器とは並列接続されている請求項1から3のいずれか一項に記載のフィルタ。
- 前記第1弾性波共振器の共振周波数と前記第2弾性波共振器の共振周波数とは略等しい請求項1から5のいずれか一項に記載のフィルタ。
- 入力端子と出力端子との間に直列に接続された複数の直列共振器と、
前記入力端子と前記出力端子との間に並列に接続された1または複数の並列共振器と、
を備え、
前記複数の直列共振器は、前記第1弾性波共振器および前記第2弾性波共振器を含み、前記第1弾性波共振器および前記第2弾性波共振器は直列接続され、前記第1弾性波共振器と前記第2弾性波共振器との間には並列共振器は接続されていない請求項1から6のいずれか一項に記載のフィルタ。 - 入力端子と出力端子との間に直列に接続された1または複数の直列共振器と、
前記入力端子と前記出力端子との間に並列に接続された複数の並列共振器と、
を備え、
前記複数の並列共振器は前記第1弾性波共振器および前記第2弾性波共振器を含み、前記第1弾性波共振器および前記第2弾性波共振器は並列接続され、前記第1弾性波共振器と前記第2弾性波共振器との間には直列共振器は接続されていない請求項1から6のいずれか一項に記載のフィルタ。 - 前記圧電基板の前記第1弾性波共振器および前記第2弾性波共振器が設けられた面と反対の面に接合された支持基板を備える請求項1から8のいずれか一項に記載のフィルタ。
- 請求項1から9のいずれか一項に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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