JPH02250414A

JPH02250414A - 弾性表面波装置

Info

Publication number: JPH02250414A
Application number: JP7150089A
Authority: JP
Inventors: Koji Kawakatsu; 川勝　孝治
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1989-03-23
Filing date: 1989-03-23
Publication date: 1990-10-08

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、インターデジタルトランスデユーサの側方に
反射器を配した弾性表面波装置の改良に関し、特に、イ
ンターデジタルトランスデユーサ及び反射器の構造が改
良されたものに関する。

〔従来の技術〕

第２図は従来の弾性表面波装置の一例を示す平面図であ
る０弾性表面波装置ｌは、圧電性基板２上に、互いに間
挿し合うくし歯電極３，４からなるインターデジタルト
ランスデユーサ５と、インターデジタルトランスデユー
サ５の両側に配置された反射器６，７とを有する。イン
ターデジタルトランスデユーサ５を構成するくし歯電極
３．４の電極指３ａ、４ａは互いに間挿し合うように配
置されている。また、反射器６．７は、互いに平行に配
置された複数本のメタル・ストリップ６ａ７ａを連結部
６ｂ、７ｂで短絡させた構造を有する。

弾性表面波装置においても、他の電子部品と同様に、よ
り小型のものが求められている。そこで、従来の弾性表
面波装置１では、反射器６．７の反射効率を高めること
により反射器の大きさを低減し、それによって表面波装
置１全体を小型化することが試みられている。

すなわち、反射器６．７のメタル・ストリップ６ａ　　
７ａの膜厚を厚くすることにより、ストリップ−本当た
りの反射率を高め、それによってメタル・ストリップの
数を低減した構造が採用されていた。

（発明が解決しようとする技術的課題〕しかしながら、
反射器６．７のメタル・ストリップ６ａ、７ａ及び連結
部６ｂ、７ｂと、インターデジタルトランスデユーサ５
を構成するくし歯電極３．４とは、同一金属材料により
圧電性基板２上に同時に形成されることが多い、このよ
うな場合、インターデジタルトランスデユーサ５のくし
歯電極３．４の膜厚も、反射器６．７のメタル・ストリ
ップ６ａ、７ａの膜厚と共に厚くされることになり、そ
の結果、インターデジタルトランスデユーサ部分におい
て短絡事故が生じがちとなり、また膜厚のばらつきによ
り特性のばらつきが生じ易くなる。従って、膜厚のみを
増加させて反射効率を高めるにも限度があった。

他方、未だ公知ではないが、水晶基板上にＡｆｆｉから
なる金属膜によりインターデジタルトランスデユーサ及
び反射器のメタル・ストリップを形成した構造において
は、膜厚／波長を２％以上とし、デユーティ比、すなわ
ち電極指またはストリップの幅の電極指のピッチ又はス
トリップのピッチに対する割合を０．６以上とすれば反
射効率を大きくし得ることが見出されている。しかしな
がら、この方法を採用した場合においても、デユーティ
比が大きくなるためインターデジタルトランスデユーサ
部分における短絡のおそれがあり、歩留の低下を招くと
いう問題があった。

よって、本発明の目的は、反射器における反射効率を効
果的に高め得ることができ、かつインターデジタルトラ
ンスデユーサ部分の信鯨性の低下を招かない構造を備え
た弾性表面波装置を提供することにある。

〔技術的課題を解決するための手段〕

本発明の弾性表面波装置では、圧電性基板上に、互いに
間挿し合うくし歯電極からなるインターデジタルトラン
スデユーサと、このインターデジタルトランスデユーサ
の側方に設けられた反射器が形成されている。反射器は
、互いに平行な複数本の突部を有する。

そして、反射器における突部の幅の突部ピッチに対する
割合、すなわちデユーティ比ｄ、が、１゜０＞ｄ＋　＞
ｏ、５とされており、かつインターデジタルトランスデ
ユーサのくし歯電極の電極指の幅の隣接する電極指ピッ
チに対する割合、デユーティ比ｄｔが０．５以下とされ
ていることを特徴とするものである。

反射器を構成する互いに平行な複数本の突部は、基板上
に付与された複数本の導電性ストリップで構成してもよ
く、あるいは基板に互いに平行な複数本の溝を形成して
溝間の基板部分により構成してもよい。

〔作用〕

本発明では、反射器における突部のデユーティ比が０．
５より大きくされているので反射器の反射効率が効果的
に高められる。他方、インターデジタルトランスデユー
サ部分においては、電極指の幅の電極指ピッチに対する
割合ｄ８が０．５以下とされているので、すなわち雪掻
指間の間隙が比較的大きくされているので、短絡の可能
性が効果的に低減されている。

従って、インターデジタルトランスデユーサ部分の信鎖
性を維持したままで、反射器の大きさを小さくし得るの
で、全体として小型の弾性表面波装置を実現することが
できる。

なお、反射器では部分的に短絡が生じても特性への影響
は生じないことを指摘しておく。

〔実施例の説明〕

第１図は、本発明の一実施例の弾性表面波装置の平面図
である。弾性表面波装置１１では、平面形状が矩形の水
晶基板からなる圧電性基板１２の中央に、互いに間挿し
合うくし歯電極１３．１４からなるインターデジタルト
ランスデユーサ１５が形成されている。くし歯電極１３
．１４は、それぞれ、互いに間挿し合う複数本の電極指
１３ａ１４ａを有する。

インターデジタルトランスデユーサ１５の表面波伝搬方
向外側には、一対の反射器１６．１７が形成されている
０反射器１６．１７は、それぞれ、第２ｒｇＪに示した
反射器６．７と同様の構成を有する。但し、本実施例の
反射器１６．１７では、第３図に反射器１６の要部を拡
大して断面図で示すように、反射器１６の導電性ストリ
ップとしてのＡ２よりなるメタル・ストリップ１６ａの
幅ａのストリップ・ピッチ（ａ＋ｂ）に対する割合、す
なわちデユーティ比ｄ＋　ｍａ／　（ａ＋ｂ）が０゜５
より大きく１．０より小さくされている。

これは、添付の第５図から明らかなように、反射器にお
ける上記デユーティ比ｄ、を０．５より大きくすること
により、反射器の反射効率を高め得るからである。

他方の反射器１７においても、同様に、デユーティ比ｄ
、が０，５より太き（，１，０未満とされている。

さらに、インターデジタルトランスデユーサ１５部分で
は、くし歯電極１３または１４の電極指１３ａまたは１
４ａの幅の電極指ピッチに対する割合、すなわちデユー
ティ比ｄｔが０．５より小さくされている。これは、イ
ンターデジタルトランスデユーサ１５部分においても、
反射器１６゜１７と同様のデユーティ比とした場合には
、間挿し合う電極指１３ａ、１４ａ間で短絡が生じ易く
なるからである。従って、本実施例の構造では、インタ
ーデジタルトランスデエーサ部分における短絡の可能性
が低減されることがわかる。

より具体的な応用例として、圧電性基板として水晶基板
を用い、発振周波数が４６．２５ＭＨｚ及び５７．２５
ＭＨｚの２個の弾性表面波共振子を同一水晶基板上に構
成し、ハーメチックシール・ケースに封入する場合を想
定することにする。

この構造は、ＶＴＲのＲＦモジュレータ用のものである
が、例えば発振周波数が９１．２５ＭＨｚ及び９７．２
５ＭＨｚの２個の共振子が共通基板上に構成された弾性
表面波共振子の場合と同一のケースに収納することが規
格化の観点から望まれている。

従って、４６．２５ＭＩ（ｚ及び５７．２５ＭＨｚの２
個の共振子を同一基板に構成したものにおいても、より
高い発振周波数の弾性表面波共振子と同様に、チップ長
を１０−以下とすることが望まれていた。

チップ長を１０−以下とした４６．２５ＭＨｚ用共振子
側では、インターデジタルトランスデユーサの間挿し合
う電極指数を１００対とすると、反射器は４５本程度し
か並べることができない。

従って、１５０００程度の無負荷Ｑを実現するには、デ
ユーティ比ｄ＋−０，５では電極膜厚を波長の８％程度
にする必要がある。

また、この電極膜厚では波長の短い５’７．　２５ＭＨ
ｚ側では膜厚が波長の１０％程度となり、電極指の間隙
に対して膜厚が相対的に太き（なるのでエツチングの際
にショートが多発しがちとなる。

これに対して、本発明を応用して、４６．２５ＭＨｚ側
で反射器のデユーティ比を０．８にすれば、反射器にお
ける導電性ストリッ゛ブの膜厚は波長の５％程度でよく
、従って膜厚が薄い分だけインターデジタルトランスデ
エーサ部分における短絡の発生を防止することができる
。さらに、膜厚低減により特性のばらつきも小さくなる
。

第４図は、上記の２個の弾性表面波共振子が共通基板２
２上に構成された弾性表面波装置を示す平面図である。

上方に示された共振子は、発振周波数の高い側の共振子
であり、第２図従来例と同様に構成されている。他方、
下方の共振子は、発振周波数の低い側の共振子であり、
第１図実施例と同様に構成されている。共通基板２２上
に、発振周波数の異なる２個の弾性表面波共振子を同時
に形成する場合には、上述したように、発振周波数の低
い方の共振子側で十分な反射効率を取ることが困難であ
る。これは、波長が長くなるため、反射器の本数を十分
に増やすことができず、膜厚／波長が小さくなり導電性
ストリップ−本当たりの反射率が小さ（なるからである
。

しかしながら、第４図の弾性表面被装置２１においては
、発振側波数の低い側の共振子の反射器２６．２７側に
おいてのみ前述のデユーティ比ｄ、を０．５より太き（
することにより、無理なく発振周波数の低い方の共振子
が形成されている。

なお、本発明は、図示のような連結部により連結された
シッート・ストリップ型の反射器１６゜１７．２６．２
７のみならず、導電性ストリップが互いに隔てられたオ
ープン・ストリップ型の反射器にも適用することができ
る。のみならず、圧電性基板に複数本の平行な溝を形成
し、その溝間の残された基板部分により突部を構成する
場合であっても、本発明を適用することができる。また
、インターデジタルトランスデユーサ２個を用いた２ポ
一ト型弾性表面波共振子においても適用できる。

さらに、弾性表面波共振子のみならず、反射器を利用し
て低損失化を図ったフィルタ等の弾性表面波装置一般に
適用することができる。

なお、インターデジタルトランスデユーサのみで反射器
が設けられていない共振器では、インターデジタルトラ
ンスデユーサ内部での弾性表面波の反射率を上げるため
に、インターデジタルトランスデユーサのデユーティ比
を、本発明のように大きくすれば有効であるが、反射器
を用いた本発明装置のような構造では、インターデジタ
ルトランスデユーサのデユーティ比を高めることにより
、表面波の閉込め効率も高められる。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明では、反射器における突部の幅の
突部のピッチに対する割合すなわちデユーティ比ｄｌが
０．５より大きくされているので反射器の反射効率が効
果的に高められる。他方、インターデジタルトランスデ
ユーサ部分では、電極指の幅の電極指のピッチに対する
割合、すなわちデユーティ比ｄ、が０．５以下とされて
いるので、短絡の可能性が効果的に防止され、従って信
顧性の高い小型の弾性表面波装置を実現することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の弾性表面波装置の平面図、
第２図は従来の弾性表面波装置の平面図、第３図は第１
図の■−■線に沿う部分を拡大して示す断面図、第４図
は本発明の一実施例が適用された弾性表面波装置の平面
図、第５図は反射器のデユーティ比ｄ１と反射器−本あ
たりの反射効率を示す図である。図において、１１は弾性表面波装置、１２は圧電性基板
、１３．１４はくし歯電極、１３ａ、１４ａは電極指、
１５はインターデジタルトランスデユーサ、１６．ＩＴ
は反射器、１６ａ、１７ａは反射器の突部を構成するメ
タル・ストリップを示す。第３図第５図Ｔコー丁イ　ｉコ

Claims

【特許請求の範囲】　圧電性基板と、圧電性基板上に設けられており互いに
間挿し合うくし歯電極を有するインターデジタルトラン
スデューサと、前記インターデジタルトランスデューサ
の側方に設けられておりかつ互いに平行な複数本の突部
を有する反射器とを備え、前記反射器における突部の輻の突部のピッチに対する割
合ｄ＿１が、１．０＞ｄ＿１＞０．５とされており、か
つ前記インターデジタルトランスデューサの電極指の幅の
電極指のピッチに対する割合ｄ＿２が０．５以下とされ
ていることを特徴とする弾性表面波装置。