JP3203796B2 - 多重モード弾性表面波フィルタ - Google Patents
多重モード弾性表面波フィルタInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、同一の圧電性基板の表
面に複数の弾性表面波共振器を並列に配置したフィルタ
に関する。
面に複数の弾性表面波共振器を並列に配置したフィルタ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】２個の弾性表面波（以下、ＳＡＷと称す
る）共振器を近接配置して弾性的に横結合することによ
り得られる２重モードＳＡＷ共振器を、同一の圧電性基
板の表面に並列に配置することにより、高周波領域にお
ける４次の狭帯域フィルタが得られることが知られてい
る。
る）共振器を近接配置して弾性的に横結合することによ
り得られる２重モードＳＡＷ共振器を、同一の圧電性基
板の表面に並列に配置することにより、高周波領域にお
ける４次の狭帯域フィルタが得られることが知られてい
る。
【０００３】図３はその一般的な電極構成を示す平面図
で、水晶等の圧電性基板３０の表面に、２個の２重モー
ドＳＡＷ共振器３１と３２が、これらにより励起される
ＳＡＷの伝播方向に直交する方向に形成された構造を持
つ。各２重モードＳＡＷ共振器３１および３２は、それ
ぞれインターデジタルトランスジューサ（以下、ＩＤＴ
と称する）３１ａと３１ｂ、および、３２ａと３２ｂが
相互に近接して並列配置され、かつ、これをＳＡＷの伝
播路上で挟むように配置された反射器３１ｃと３１ｄ、
および、３２ｃと３２ｄによって構成されている。
で、水晶等の圧電性基板３０の表面に、２個の２重モー
ドＳＡＷ共振器３１と３２が、これらにより励起される
ＳＡＷの伝播方向に直交する方向に形成された構造を持
つ。各２重モードＳＡＷ共振器３１および３２は、それ
ぞれインターデジタルトランスジューサ（以下、ＩＤＴ
と称する）３１ａと３１ｂ、および、３２ａと３２ｂが
相互に近接して並列配置され、かつ、これをＳＡＷの伝
播路上で挟むように配置された反射器３１ｃと３１ｄ、
および、３２ｃと３２ｄによって構成されている。
【０００４】そして、２重モードＳＡＷ共振器３１と３
２を縦続接続することにより、ＩＤＴ３１ａ，３１ｂ，
３２ａ，３２ｂをそれぞれ１次〜４次とする、いわゆる
横結合２重モードＳＡＷフィルタが得られる。
２を縦続接続することにより、ＩＤＴ３１ａ，３１ｂ，
３２ａ，３２ｂをそれぞれ１次〜４次とする、いわゆる
横結合２重モードＳＡＷフィルタが得られる。
【０００５】このフィルタにおいては、ＩＤＴ３１ａの
片側の電極に接続された入力端子３３から入った信号
は、各ＩＤＴを経てＩＤＴ３２ｂの片側の電極に接続さ
れた出力端子３４から、図４に実験例を示すような特性
のもとに取り出される。
片側の電極に接続された入力端子３３から入った信号
は、各ＩＤＴを経てＩＤＴ３２ｂの片側の電極に接続さ
れた出力端子３４から、図４に実験例を示すような特性
のもとに取り出される。
【０００６】ところで、従来のこの種のフィルタにおい
ては、特に素子の小型化のために２個の２重モードＳＡ
Ｗ共振器３１と３２間の間隔を小さくした場合には、こ
れらの間に不要な弾性的結合が生じ、図４に示したよう
にスプリアスが発生しやすいという問題があった。この
ことは、２重モードＳＡＷフィルタに限らず、より一般
に、通常のＳＡＷ共振器を複数個並列に並べた多重モー
ドＳＡＷフィルタにおいても同様である。
ては、特に素子の小型化のために２個の２重モードＳＡ
Ｗ共振器３１と３２間の間隔を小さくした場合には、こ
れらの間に不要な弾性的結合が生じ、図４に示したよう
にスプリアスが発生しやすいという問題があった。この
ことは、２重モードＳＡＷフィルタに限らず、より一般
に、通常のＳＡＷ共振器を複数個並列に並べた多重モー
ドＳＡＷフィルタにおいても同様である。
【０００７】このような問題を解決するため、従来、弾
性的結合を生じさせるべきでない各ＳＡＷ共振器の間の
基板表面に、吸音材としての酸化亜鉛薄膜を形成した
り、あるいは溝を形成する等の方法が提案されている
（特開平１−３１１７１４号、特開平４−６５９１０
号）。
性的結合を生じさせるべきでない各ＳＡＷ共振器の間の
基板表面に、吸音材としての酸化亜鉛薄膜を形成した
り、あるいは溝を形成する等の方法が提案されている
（特開平１−３１１７１４号、特開平４−６５９１０
号）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上の各提案による対
策では、素子の製造工程中に吸音材の塗布工程または溝
の形成工程を追加する必要が生じるという欠点がある。
策では、素子の製造工程中に吸音材の塗布工程または溝
の形成工程を追加する必要が生じるという欠点がある。
【０００９】本発明の目的は、素子の製造工程中に特別
な工程を追加することなく、各ＳＡＷ共振器間に不要な
弾性的結合が生じることを防止することができ、もって
小型でスプリアスが発生せず、しかも安価な多重モード
ＳＡＷフィルタを提供することにある。
な工程を追加することなく、各ＳＡＷ共振器間に不要な
弾性的結合が生じることを防止することができ、もって
小型でスプリアスが発生せず、しかも安価な多重モード
ＳＡＷフィルタを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
あめの構成を、実施例図面である図１を参照しつつ説明
すると、本発明の多重モード弾性表面波フィルタは、圧
電性基板１０の表面に、ＩＤＴおよびそれを挟む反射器
を備えてなる共振器１、２が、弾性表面波の伝播方向に
直交する方向に複数個並列に形成された弾性表面波フィ
ルタにおいて、各共振器１、２が縦続接続されており、
各共振器１、２の間の圧電性基板１０の表面に、弾性表
面波の伝播方向に沿って反射器１ｃ，２ｃ，反射器１
ｄ，２ｄに挟まれたそれぞれの圧電性基板１０の領域に
伸びる金属薄膜からなる格子状の反射器５が形成されて
いるとともに、この反射器５は接地されていることによ
って特徴づけられる。
あめの構成を、実施例図面である図１を参照しつつ説明
すると、本発明の多重モード弾性表面波フィルタは、圧
電性基板１０の表面に、ＩＤＴおよびそれを挟む反射器
を備えてなる共振器１、２が、弾性表面波の伝播方向に
直交する方向に複数個並列に形成された弾性表面波フィ
ルタにおいて、各共振器１、２が縦続接続されており、
各共振器１、２の間の圧電性基板１０の表面に、弾性表
面波の伝播方向に沿って反射器１ｃ，２ｃ，反射器１
ｄ，２ｄに挟まれたそれぞれの圧電性基板１０の領域に
伸びる金属薄膜からなる格子状の反射器５が形成されて
いるとともに、この反射器５は接地されていることによ
って特徴づけられる。
【００１１】
【作用】一方のＳＡＷ共振器１または２から他方側に伝
播する振動エネルギは、これら両共振器１と２の間に設
けられた反射器５によって反射され、実質的にそれぞれ
の共振器１または２側に閉じ込められることになり、両
共振器１，２間での弾性的な結合が切られる。
播する振動エネルギは、これら両共振器１と２の間に設
けられた反射器５によって反射され、実質的にそれぞれ
の共振器１または２側に閉じ込められることになり、両
共振器１，２間での弾性的な結合が切られる。
【００１２】さらに、反射器５は接地されているので、
不要な弾性結合により格子状の反射器５に電荷が生じて
も電気的なシールドをすることができる。ここで、反射
器５は金属薄膜を格子状にパターニングしたものである
から、各ＳＡＷ共振器１、２のＩＤＴや反射器のフォト
リソグラフィ技術を用いたパターニング工程において同
時に形成することができ、所期の目的を達成できる。
不要な弾性結合により格子状の反射器５に電荷が生じて
も電気的なシールドをすることができる。ここで、反射
器５は金属薄膜を格子状にパターニングしたものである
から、各ＳＡＷ共振器１、２のＩＤＴや反射器のフォト
リソグラフィ技術を用いたパターニング工程において同
時に形成することができ、所期の目的を達成できる。
【００１３】
【実施例】図１は本発明を２重モードＳＡＷフィルタに
適用した実施例の構成を模式的に示す平面図である。
適用した実施例の構成を模式的に示す平面図である。
【００１４】圧電性基板１０の表面に、２個の２重モー
ドＳＡＷ共振器１と２が形成されている。各２重モード
ＳＡＷ共振器１および２は、それぞれ、２個のＩＤＴ１
ａと１ｂ、および２ａと２ｂと、これらを挟む２個の反
射器１ｃと１ｄ、および２ｃと２ｄを有している。この
２個の２重モードＳＡＷ共振器１と２は、ＩＤＴ１ｂお
よび２ａを介してライン６によって相互に縦続接続さ
れ、また、ＩＤＴ１ａの片側の電極は信号入力端子３
に、ＩＤＴ２ｂの片側の電極は信号出力端子４に接続さ
れている。更に、各ＩＤＴの他側の電極は、それぞれ共
通バスバー１ｅ，２ｅおよび後述する反射器５のライン
Ｌを介して接地される。
ドＳＡＷ共振器１と２が形成されている。各２重モード
ＳＡＷ共振器１および２は、それぞれ、２個のＩＤＴ１
ａと１ｂ、および２ａと２ｂと、これらを挟む２個の反
射器１ｃと１ｄ、および２ｃと２ｄを有している。この
２個の２重モードＳＡＷ共振器１と２は、ＩＤＴ１ｂお
よび２ａを介してライン６によって相互に縦続接続さ
れ、また、ＩＤＴ１ａの片側の電極は信号入力端子３
に、ＩＤＴ２ｂの片側の電極は信号出力端子４に接続さ
れている。更に、各ＩＤＴの他側の電極は、それぞれ共
通バスバー１ｅ，２ｅおよび後述する反射器５のライン
Ｌを介して接地される。
【００１５】２個の２重モードＳＡＷ共振器１と２の間
の圧電性基板１０の表面には、弾性表面波の伝播方向に
沿って伸びる金属薄膜製の複数本のラインＬ・・Ｌからな
る格子状の反射器５が形成されている。この反射器５
は、２個の２重モードＳＡＷ共振器１と２を縦続接続す
るためのライン６と接触しないように各ラインＬ・・Ｌは
それぞれライン６を挟んで左右に分割されており、左右
それぞれのラインはＬ・・Ｌは、前記した各ＩＤＴの他側
の電極に接続された共通バスバー１ｅまたは２ｅに接続
された状態で接地される。
の圧電性基板１０の表面には、弾性表面波の伝播方向に
沿って伸びる金属薄膜製の複数本のラインＬ・・Ｌからな
る格子状の反射器５が形成されている。この反射器５
は、２個の２重モードＳＡＷ共振器１と２を縦続接続す
るためのライン６と接触しないように各ラインＬ・・Ｌは
それぞれライン６を挟んで左右に分割されており、左右
それぞれのラインはＬ・・Ｌは、前記した各ＩＤＴの他側
の電極に接続された共通バスバー１ｅまたは２ｅに接続
された状態で接地される。
【００１６】以上の各２重モードＳＡＷ共振器１，２を
構成する各ＩＤＴとその両側の反射器、および、各共振
器１と２の間の共振器５は、その全てがアルミニウム等
の同一の金属薄膜によって構成されている。
構成する各ＩＤＴとその両側の反射器、および、各共振
器１と２の間の共振器５は、その全てがアルミニウム等
の同一の金属薄膜によって構成されている。
【００１７】なお、反射器５のラインＬ・・Ｌ間のピッチ
（周期）は、各ＩＤＴ周期の０．８〜１．２倍程度に設
定しておく。以上の構成においては、一方の２重モード
ＳＡＷ共振器１または２から他方側に向かう振動エネル
ギは、格子状の反射器５によって反射され、それぞれ他
方側の共振器に伝播されることがなく、両共振器１，２
間の弾性的な結合が阻止される。
（周期）は、各ＩＤＴ周期の０．８〜１．２倍程度に設
定しておく。以上の構成においては、一方の２重モード
ＳＡＷ共振器１または２から他方側に向かう振動エネル
ギは、格子状の反射器５によって反射され、それぞれ他
方側の共振器に伝播されることがなく、両共振器１，２
間の弾性的な結合が阻止される。
【００１８】図２は以上の本発明実施例のフィルタ特性
の実測例であり、各２重モードＳＡＷ共振器間に反射器
を持たない図４の実測例と比較すると、スプリアスが大
幅に減少していることがわかる。
の実測例であり、各２重モードＳＡＷ共振器間に反射器
を持たない図４の実測例と比較すると、スプリアスが大
幅に減少していることがわかる。
【００１９】以上の本発明実施例において特に注目すべ
き点は、各２重モード共振器１，２間に設けられる反射
器５を、各２重モードＳＡＷ共振器１，２を構成するＩ
ＤＴおよび反射器と同一の薄膜を用いて形成することが
できる点であり、これにより、反射器５を形成するに当
たっては、各２重モード共振器のフォトリソグラフィに
よる形成工程において、使用するフォトマスクに反射器
５のパターンを追加するだけで、別途特別な工程を追加
することなく、図２に示すような特性のフィルタを得る
ことができる。
き点は、各２重モード共振器１，２間に設けられる反射
器５を、各２重モードＳＡＷ共振器１，２を構成するＩ
ＤＴおよび反射器と同一の薄膜を用いて形成することが
できる点であり、これにより、反射器５を形成するに当
たっては、各２重モード共振器のフォトリソグラフィに
よる形成工程において、使用するフォトマスクに反射器
５のパターンを追加するだけで、別途特別な工程を追加
することなく、図２に示すような特性のフィルタを得る
ことができる。
【００２０】なお、本発明は上記した実施例の構造を持
つフィルタに限らず、複数のＳＡＷ共振器を用いる多重
モードＳＡＷフィルタに対して広く採用し得ることは勿
論である。
つフィルタに限らず、複数のＳＡＷ共振器を用いる多重
モードＳＡＷフィルタに対して広く採用し得ることは勿
論である。
【００２１】また、本発明では、各ＳＡＷ共振器内の反
射器、および各ＳＡＷ共振器間に設けられる反射器と
も、その反射効率を向上させるため、その表面に例えば
メッキ等によって他の金属薄膜を積層することを妨げな
い。
射器、および各ＳＡＷ共振器間に設けられる反射器と
も、その反射効率を向上させるため、その表面に例えば
メッキ等によって他の金属薄膜を積層することを妨げな
い。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
圧電性基板の表面に、ＩＤＴとそれにより励起される
弾性表面波の伝播路上にあってそのＩＤＴを挟む第１の
反射器を備えてなるＳＡＷ共振器が、弾性表面波の伝播
方向に直交する方向に複数個並列に形成された多重モー
ドＳＡＷフィルタにおいて、各ＳＡＷ共振器が縦続接続
されており、これら各ＳＡＷ共振器の間の圧電性基板の
表面に、上記弾性表面波の伝播方向に沿って第１の反射
器に挟まれた当該圧電性基板領域に伸びる金属薄膜製の
格子状の第２の反射器が形成されているとともに、この
第２の反射器は接地されている構成としたので、各ＳＡ
Ｗ共振器の振動エネルギが他のＳＡＷ共振器に漏れて不
要な弾性的結合を生起することがなく、小型でスプリア
スの少ない高性能のフィルタを得ることができる。しか
も、各ＳＡＷ共振器間に設けられる第２の反射器は、各
共振器の形成工程において同時に形成可能であり、従来
の対策のように別途特別な工程を追加する必要がなく、
従来の対策に比して製造コストを低く抑えることができ
る。
圧電性基板の表面に、ＩＤＴとそれにより励起される
弾性表面波の伝播路上にあってそのＩＤＴを挟む第１の
反射器を備えてなるＳＡＷ共振器が、弾性表面波の伝播
方向に直交する方向に複数個並列に形成された多重モー
ドＳＡＷフィルタにおいて、各ＳＡＷ共振器が縦続接続
されており、これら各ＳＡＷ共振器の間の圧電性基板の
表面に、上記弾性表面波の伝播方向に沿って第１の反射
器に挟まれた当該圧電性基板領域に伸びる金属薄膜製の
格子状の第２の反射器が形成されているとともに、この
第２の反射器は接地されている構成としたので、各ＳＡ
Ｗ共振器の振動エネルギが他のＳＡＷ共振器に漏れて不
要な弾性的結合を生起することがなく、小型でスプリア
スの少ない高性能のフィルタを得ることができる。しか
も、各ＳＡＷ共振器間に設けられる第２の反射器は、各
共振器の形成工程において同時に形成可能であり、従来
の対策のように別途特別な工程を追加する必要がなく、
従来の対策に比して製造コストを低く抑えることができ
る。
【００２３】また、各ＳＡＷ共振器間に設けられる反射
器のラインＬ・・Ｌ間の周期を変化させることにより、反
射させるべき振動周波数を変化させることが可能とな
り、これにより、スプリアス防止域を任意に設定するこ
とも可能となる。
器のラインＬ・・Ｌ間の周期を変化させることにより、反
射させるべき振動周波数を変化させることが可能とな
り、これにより、スプリアス防止域を任意に設定するこ
とも可能となる。
【００２４】更に、金属薄膜からなる格子構造は電気的
なシールド効果を有しているため、本発明の構造の採用
により、フィルタの減衰域における減衰能を向上させる
という効果も期待できる。
なシールド効果を有しているため、本発明の構造の採用
により、フィルタの減衰域における減衰能を向上させる
という効果も期待できる。
【図１】本発明実施例の構成を模式的に示す平面図
【図２】本発明実施例のフィルタ特性の実測結果を示す
グラフ
グラフ
【図３】従来の２重モードＳＡＷフィルタの一般的な構
成を模式的に示す平面図
成を模式的に示す平面図
【図４】図３に示した構造を持つフィルタの特性の実測
結果を示すグラフ
結果を示すグラフ
１，２ ２重モードＳＡＷ共振器 １ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ ＩＤＴ １ｃ，１ｄ，２ｃ，２ｄ 反射器 ３ 信号入力端子 ４ 信号出力端子 ５ 反射器 Ｌ・・Ｌ 金属薄膜性ライン １０ 圧電性基板
Claims (1)
- 【請求項１】圧電性基板の表面に、インターデジタルト
ランスジューサとそれにより励起される弾性表面波の伝
播路上にあって上記インターデジタルトランスジューサ
を挟む第１の反射器を備えてなる共振器が、弾性表面波
の伝播方向に直交する方向に複数個並列に形成された弾
性表面波フィルタにおいて、上記共振器が縦続接続され
ており、上記各共振器の間の圧電性基板の表面に、上記
弾性表面波の伝播方向に沿って上記第１の反射器に挟ま
れた当該圧電性基板領域に伸びる金属薄膜製の格子状の
第２の反射器が形成されているとともに、この第２の反
射器は接地されていることを特徴とする多重モード弾性
表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23798692A JP3203796B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 多重モード弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23798692A JP3203796B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 多重モード弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0685604A JPH0685604A (ja) | 1994-03-25 |
| JP3203796B2 true JP3203796B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=17023426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23798692A Expired - Fee Related JP3203796B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 多重モード弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3203796B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102277545B1 (ko) * | 2019-08-27 | 2021-07-16 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000196411A (ja) | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Nec Corp | 弾性表面波デバイスおよび弾性表面波フィルタ接続方法 |
| TW498614B (en) | 1999-12-09 | 2002-08-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Elastic surface wave device and communications equipment using the elastic surface wave device |
| US7453335B2 (en) * | 2005-03-28 | 2008-11-18 | Kyocera Corporation | Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave filter and surface acoustic wave duplexer, and communications equipment |
-
1992
- 1992-09-07 JP JP23798692A patent/JP3203796B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102277545B1 (ko) * | 2019-08-27 | 2021-07-16 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0685604A (ja) | 1994-03-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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