JP4024224B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents

Description

本発明は弾性表面波装置に関し、特に圧電体基板の基板端面で弾性表面波が反射されるＩＤＴ電極を備えた弾性表面波装置に適用して有効な技術に関するものである。

近年、携帯電話機をはじめとした移動体通信端末機（端末機）が急速に発展している。この端末機は、持ち運びの便利さから、特に小型軽量であることが望まれている。端末機の小型軽量化を達成するには、そこに使われる電子部品も小型軽量であることが必須であり、このため、端末機の高周波部や中間周波部には、小型軽量化および低背化に有利な弾性表面波装置、すなわち弾性表面波フィルタが多用されている。

ここで、弾性表面波フィルタの小型化低背化に関しては、ＳＨタイプの弾性表面波（ＳＡＷ − Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）を利用した端面反射型の共振子を用いたフィルタが注目されている。ＳＨタイプの表面波とは、表面波の伝搬方向に垂直でかつ基板表面に平行な変位を主成分とする表面波で、基板端面でモード変換なしに完全反射するという特徴を有している。従来のＳＡＷ共振子においては十分な長さのグレーティング反射器が必要であったが、このようなＳＨタイプの表面波の基板端面反射を用いると、グレーティング反射器が不要となり小型の弾性表面波装置を実現することが可能になる。

図１７に端面反射型の弾性表面波装置１０の一例を示す。図１７に示すように、矩形の圧電体基板１１上に、電極指が櫛歯状に構成されたインターディジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）電極が形成されている。

このような弾性表面波装置１０において、入力端子１５に高周波信号を印加するとＩＤＴ電極における電極指に直交する方向に弾性表面波が励振され、基板端面１１ａ，１１ｂにて反射される。圧電体基板１１の伝搬方向寸法は、ＩＤＴ電極の電極周期をλとすると、（λ／２）×ｎ（ｎは自然数）の長さに設定される。このような寸法に設定することにより、励振された弾性表面波と基板端面１１ａ，１１ｂからの反射波が共振周波数付近にて位相が一致し、共振特性を得ることができる。

このような端面反射型の弾性表面波装置を用いたフィルタの一例として、特開昭５３−１２３０５１号公報が開示されている。ここでは、複数の端面反射型弾性表面波装置を直列腕および並列腕に配置し、各々をラダー型回路として動作するようワイヤボンディング等により電気的接続を施している。

また、端面反射型の弾性表面波装置を用いたフィルタの他の一例として、特開平１１−４６１２７号公報が開示されている。ここでは、ワイヤボンディングによる電気的接続を最小限に抑えるため、短冊状の圧電体基板を用意し、短冊状圧電体基板の短手方向を表面波の伝搬方向とし、直列腕に配置された複数の弾性表面波装置を長手方向に直線状に並べた共振子列（直列腕共振子列）とし、同じく短冊状圧電体基板の短手方向を弾性表面波の伝搬方向とし、並列腕に配置された複数の弾性表面波装置を長手方向に直線状に並べた共振子列（並列腕共振子列）とし、これら２つの共振子列がラダー回路を構成するよう最小限のワイヤボンディング数にて電気的接続が施されている。また、同公報には、単一の圧電体基板上に直列腕共振子列と並列腕共振子列を構成し、２つの共振子列の間に反射面として動作する溝を形成したフィルタも開示されている。
特開昭５３−１２３０５１号公報 特開平１１−４６１２７号公報

しかしながら、特開昭５３−１２３０５１号公報に開示されている技術では、複数の端面反射型の弾性表面波装置を各々用意し、これらを相互に電気的接続を行う必要があり、製造工程が煩雑になるという問題があった。また、各弾性表面波装置間をワイヤボンディングにて接続する場合は、各弾性表面波装置子間に一定以上の距離が必要に、またワイヤのループ分だけの高さが必要になり、小型化および低背化には不利である。

また、特開平１１−４６１２７号公報に開示されている技術では、電気的接続を行う箇所が減じているものの、直列腕と並列腕間のワイヤボンディングによる電気的接続が必要であり、また短冊状の圧電体基板を２つ以上用意してパッケージ上に配置する手間が生じる。なお、同公報内の他の技術として、単一の圧電体基板上に直列腕共振子列と並列腕共振子列を構成し、２つの共振子列の間に反射面として動作する溝を形成する技術が開示されているが、共振子列間に溝を形成する必要があるために製造工程数の増加および基板強度の低下が懸念される。また、直列腕と並列腕間のワイヤボンディングによる電気的接続が必要な点は先の例と変わらず、小型化および低背化には不利である。

そこで、本発明は、相互に異なる電極周期を有するとともに圧電体基板の基板端面で弾性表面波が反射される複数のＩＤＴ電極を共振特性を損なうことなく同一の圧電体基板上に形成する弾性表面波装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明に係る弾性表面波装置は、単一の圧電体基板と、前記圧電体基板上において、弾性表面波の伝搬方向に沿って第１の電極周期λａで形成されるとともに前記圧電体基板の基板端面で前記弾性表面波が反射されるＩＤＴ電極が配置された第１の共振子列と、同じく前記圧電体基板上において、弾性表面波の伝搬方向に沿って前記第１の電極周期λａとは異なる第２の電極周期λｂで形成されるとともに前記圧電体基板の前記基板端面で前記弾性表面波が反射されるＩＤＴ電極が配置された第２の共振子列とを有し、前記第１の共振子列に配置された前記ＩＤＴ電極は入力端子と出力端子とを結ぶ第１の配線部に配置され、前記第２の共振子列に配置された前記ＩＤＴ電極は、前記第１の共振子列に配置された前記ＩＤＴ電極の共振周波数に一致する反共振周波数を有して前記第１の配線部と接地端子とを結ぶ第２の配線部に配置され、前記第１の共振子列および前記第２の共振子列の少なくとも何れかの共振子列には相互に対数が異なって音響結合した複数のＩＤＴ電極が形成され、これらのＩＤＴ電極の間に他方の共振子列のＩＤＴ電極が接続され、前記圧電体基板における前記弾性表面波の伝搬方向の長さが、（λａ／２）×ｎ−（λｂ／２）×ｍ＝０（ｎ、ｍは自然数）を満たす（λａ／２）×ｎまたは（λｂ／２）×ｍである、ことを特徴とする。

本発明の好ましい形態において、前記第１の共振子列に配置された前記ＩＤＴ電極と前記第２の共振子列に配置された前記ＩＤＴ電極とは相互に電気的に接続されていることを特徴とする。

本発明のさらに好ましい形態において、前記ＩＤＴ電極を構成する電極指の交差幅が少なくとも一部の前記ＩＤＴ電極の相互間で異なっていることを特徴とする。

本発明によれば以下の効果を奏することができる。

すなわち、本発明によれば、いずれの共振子列においても励振波と反射波の位相が一致するので、相互に異なる電極周期を有する端面反射型の複数のＩＤＴ電極を、共振特性を損なうことなく同一の圧電体基板上に形成することが可能になる。

これにより、不整合によるスプリアスがほとんど発生せず、リップルの少ない周波数特性を得ることが可能になる。

また、音響結合による損失が低減され、基板端面において表面波が完全に反射されてエネルギーの散逸が防止されるので、Ｑ特性の向上、帯域幅の拡大および装置の小型化が可能になる。

さらに、単一の圧電体基板上に形成された相互に異なる電極周期を有する共振子列間のＩＤＴ電極を直接電気的に接続することができるので、ワイヤボンディングが不要となり、装置の小型化および低背化、ならびに製造工程の簡素化を図ることが可能になる。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照しつつさらに具体的に説明する。ここで、添付図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。なお、ここでの説明は本発明が実施される最良の形態であることから、本発明は当該形態に限定されるものではない。

図１は本発明の一実施の形態であるフィルタを示す模式的平面図、図２は図１のフィルタに設けられたＩＤＴ電極の構成を概念的に示す説明図、図３は図１の回路図である。

図１に示すように、本実施の形態のフィルタ（弾性表面波装置）１０は、例えばＬｉＮｂＯ_３、ＬｉＴａＯ_３などの圧電単結晶や圧電薄膜あるいは圧電セラミックスなどからなり、矢印Ａの方向に分極処理された矩形状の圧電体基板１１上に、第１の共振器列および第２の共振子列が形成されている。

第１の共振子列には、第１の電極周期λａを有する２つのＩＤＴ電極１２，１３が弾性表面波の伝搬方向に沿って形成されている。また、第２の共振子列には、第１の電極周期λａとは異なる第２の電極周期λｂを有する１つのＩＤＴ電極１４が同じく弾性表面波の伝搬方向に沿って形成されている。そして、これらのＩＤＴ電極１２，１３，１４は、一対の電極指が櫛歯状に形成されて相互に相互に入り組んだ形状を有しており、前述したＳＨタイプの弾性表面波を利用することにより、交流電圧の印加により励振された当該表面波が圧電体基板１１の対向する２つ基板端面１１ａ，１１ｂでモード変換なしに完全反射される。なお、本実施の形態において、第１の電極周期λａと第２の電極周期λｂとは、λａ＜λｂの関係を有している。但し、第１の電極周期λａと第２の電極周期λｂとが相互に異なっていればよく、このような関係にはなくてもよい。

そして、このようなＩＤＴ電極１２，１３，１４の電極周期で決定される共振周波数と圧電体基板１１における弾性表面波の伝搬方向の長さで決定される周波数とを一致させることにより、所定の共振特性が得られる。

ここで、第１の電極周期λａを有するＩＤＴ電極１２の電極指対数は２．５対に設定されており、基板端面１１ａに接する電極指幅は１／８・λａ、それ以外の電極指幅は１／４・λａに設定されている。また、同じく第１の電極周期λａを有するＩＤＴ電極１３の電極指対数は３対に設定されており、基板端面１１ｂに接する電極指幅は１／８・λａ、それ以外の電極指幅は１／４・λａに設定されている。さらに、第２の電極周期λｂを有するＩＤＴ電極１４の電極指対数は４．５対に設定されており、各基板端面１１ａ，１１ｂに接する電極指幅は１／８・λｂ、それ以外の電極指幅は１／４・λｂに設定されている。

ＩＤＴ電極における電極周期および電極指幅について図２に示す。なお、図２はＩＤＴ電極１２，１３，１４そのものを指すのではなく、一般的な一端子対型のＩＤＴ電極を表している。

ＩＤＴ電極１２の一方の電極は入力端子１５に接続され、他方の電極はＩＤＴ電極１３の一方の電極と共通になっている。ＩＤＴ電極１２と接続されていない側のＩＤＴ電極１３の電極は出力端子１６に接続されている。ＩＤＴ電極１２とＩＤＴ電極１３の共通電極はＩＤＴ電極１４の一方の電極に接続され、ＩＤＴ電極１４の他方の電極は接地端子１７に接続されている。

そして、第２の共振子列に配置されたＩＤＴ電極１４は、第１の共振子列に配置された２つのＩＤＴ電極１２，１３の共振周波数に一致する反共振周波数を有している。

このようなフィルタ１０の回路図を図３に示す。

図示するように、第１の共振子列に配置されたＩＤＴ電極１２，１３は入力端子１５と出力端子１６とを結ぶ直列腕（第１の配線部）１８に位置し、第２の共振子列に配置されたＩＤＴ電極１４は直列腕１８と接地端子１７とを結ぶ並列腕（第２の配線部）１９に位置しており、全体として電気的にラダー型構造となっている。

但し、本発明は第１の共振子列に配置されたＩＤＴ電極と第２の共振子列に配置されたＩＤＴ電極とが相互に異なる電極周期を有している限り、必ずしも両者が直接（つまり、ワイヤなどの部材を介することなく）電気的に接続されている必要はない。

なお、本実施の形態では２つの共振子列が形成されているが、３つ以上であってもよい。また、１つの共振子列におけるＩＤＴ電極の数は、相互に同一の電極周期である限り、１つであってもよく、２つあるいは３つ以上でもよい。但し、１つの共振子列に複数のＩＤＴ電極を形成すれば、ＩＤＴ電極間で相互に音響結合が生じて弾性表面波の減衰が低減され、挿入損失の低減を図ることができる。

ここで、本願においては、弾性表面波が伝搬する電極指に垂直な方向の圧電体基板１１の長さ、つまり圧電体基板１１における弾性表面波の伝搬方向の長さは、（λａ／２）×ｎ−（λｂ／２）×ｍ＝０（ｎ、ｍは自然数）を満たす（λａ／２）×ｎまたは（λｂ／２）×ｍとなっている。

前述のように、端面反射型のフィルタ１０の場合には、ＩＤＴ電極の電極周期をλとした場合、圧電体基板の伝搬方向寸法は（λ／２）×ｎ（ｎは自然数）の長さにすることにより所定の共振特性が得られる。

したがって、電極周期が異なるＩＤＴ電極（一方の電極周期をλａ、他方の電極周期をλｂとする）について考えると、一方のＩＤＴ電極が形成された圧電体基板の伝搬方向寸法は（λａ／２）×ｎ（ｎは自然数）で、他方のＩＤＴ電極が形成された圧電体基板の伝搬方向寸法は（λｂ／２）×ｍ（ｍは自然数）となる。そして、このような電極周期が異なるＩＤＴ電極を同一の圧電体基板上の異なる共振子列に形成した場合（つまり図１に示す場合）、（λａ／２）×ｎの値と（λｂ／２）×ｍの値とを一致させれば、すなわち、圧電体基板１１における弾性表面波の伝搬方向の長さが（λａ／２）×ｎ−（λｂ／２）×ｍ＝０を満たす（λａ／２）×ｎまたは（λｂ／２）×ｍとなるようにすれば、それぞれのＩＤＴ電極（図１においては、ＩＤＴ電極１２，１３，１４）の共振特性を損なうことはない。

なお、このような条件を満たすｎ，ｍは無数に存在する。例えば第１の電極周期λａを８、第２の電極周期λｂを１０とすると、（ｎ，ｍ）の組み合わせは、（５，４），（１０，８），（１５，１２）等々となり、圧電体基板１１における弾性表面波の伝搬方向の長さは、それぞれ２０，４０，６０等々となる。よって、例えば当該長さが２０のときには、いずれの共振子列においても励振波と反射波の位相が一致する条件、すなわち（λａ／２）×１０あるいは（λｂ／２）×８を満たす。

以上説明したように、本実施の形態によれば、いずれの共振子列においても励振波と反射波の位相が一致する条件を満たすようになるので、相互に異なる電極周期λａ，λｂを有する端面反射型の複数のＩＤＴ電極１２，１３，１４を同一の圧電体基板１１上に形成しても、不整合によるスプリアスがほとんど発生せず、リップルの少ない周波数特性を得ることができる。したがって、このような端面反射型のフィルタ１０において、音響結合による損失が低減され、基板端面１１ａ，１１ｂにおいて表面波が完全に反射されてエネルギーの散逸が防止されるので、Ｑ特性の向上、帯域幅の拡大および装置の小型化が可能になる。

また、単一の圧電体基板１１上に形成された相互に異なる電極周期λａ，λｂを有する共振子列間のＩＤＴ電極（ここでは、ＩＤＴ電極１２，１３とＩＤＴ電極１４）を直接電気的に接続することができるので、ワイヤボンディングが不要となり、装置の小型化および低背化、ならびに製造工程の簡素化を図ることができる。

なお、各ＩＤＴ電極１２，１３，１４の特性を個別に制御するには、ＩＤＴ電極を構成する電極指の交差幅Ｗ（図２）を調整すればよい。つまり、各ＩＤＴ電極の交差幅Ｗを相互間で異ならせればよい。

以上においては、直列腕１８に複数の（図１では２つの）ＩＤＴ電極１２，１３を設けてこれらを相互に音響結合したラダー型のフィルタ１０が示されているが、本発明は単一の圧電体基板１１上において、複数の共振子列にそれぞれ配置されたＩＤＴ電極が相互に異なる電極周期を有している限り、様々なレイアウトを採用することができる。そこで次に、第１〜第４の変形例を示す。

第１の変形例は、図４〜図７に示すもので、並列腕に配置されたＩＤＴ電極を音響結合したものである。ここで、図４は本発明の実施の形態における第１の変形例であるフィルタを示す模式的平面図、図５は図４の回路図、図６は本発明の実施の形態における第１の変形例である他のフィルタを示す模式的平面図、図７は本発明の実施の形態における第１の変形例であるさらに他のフィルタを示す模式的平面図である。

図４に示すフィルタ１０の圧電体基板１１においては、第１の共振子列には、第１の電極周期λａを有する１つのＩＤＴ電極１２が弾性表面波の伝搬方向に沿って形成され、第２の共振子列には、第１の電極周期λａとは異なる第２の電極周期λｂを有する２つのＩＤＴ電極１３，１４が同じく弾性表面波の伝搬方向に沿って形成されている。

ＩＤＴ電極１２の一方の電極は入力端子１５に接続され、他方の電極は出力端子１６に接続されている。ＩＤＴ電極１２の入力端子１５に接続された電極はＩＤＴ電極１３の一方の電極に接続され、ＩＤＴ電極１２の出力端子１６に接続された電極はＩＤＴ電極１４の一方の電極に接続されている。ＩＤＴ電極１３の他方の電極とＩＤＴ電極１４の他方の電極とが共通になって接地端子１７に接続されている。

そして、図５に示すように、ＩＤＴ電極１２は入力端子１５と出力端子１６とを結ぶ直列腕（第１の配線部）１８に位置し、ＩＤＴ電極１３，１４は直列腕１８と接地端子１７とを結ぶ並列腕（第２の配線部）１９に位置しており、全体として電気的にラダー型構造となっている。

なお、図６に示すように、並列腕１９に配置されたＩＤＴ電極１３，１４と接地端子１７との間にはインダクタンス素子Ｌを配置してもよい。また、図７に示すように、ＩＤＴ電極１２の出力端子１６に接続された電極は一体化してもよい。

第２の変形例は、図８〜図１０に示すもので、直列腕および並列腕の双方に配置されたＩＤＴ電極を音響結合したものである。ここで、図８は本発明の実施の形態における第２の変形例であるフィルタを示す模式的平面図、図９は図８の回路図、図１０は本発明の実施の形態における第２の変形例である他のフィルタを示す模式的平面図である。

図８に示すフィルタ１０の圧電体基板１１においては、第１の共振子列には、第１の電極周期λａを有する２つのＩＤＴ電極１２，１３が弾性表面波の伝搬方向に沿って形成され、第２の共振子列には、第１の電極周期λａとは異なる第２の電極周期λｂを有する２つのＩＤＴ電極１４，２０が同じく弾性表面波の伝搬方向に沿って形成されている。

ＩＤＴ電極１２の一方の電極は入力端子１５に接続され、他方の電極はＩＤＴ電極１３の一方の電極と共通になっている。ＩＤＴ電極１３の他方の電極は出力端子１６に接続されている。ＩＤＴ電極１２の入力端子１５に接続された電極はＩＤＴ電極１４の一方の電極に接続され、ＩＤＴ電極１３の出力端子１６に接続された電極はＩＤＴ電極２０の一方の電極に接続されている。ＩＤＴ電極１４の他方の電極とＩＤＴ電極２０の他方の電極とが共通になって接地端子１７に接続されている。

そして、図９に示すように、ＩＤＴ電極１２，１３は入力端子１５と出力端子１６とを結ぶ直列腕（第１の配線部）１８に位置し、ＩＤＴ電極１４，２０は直列腕１８と接地端子１７とを結ぶ並列腕（第２の配線部）１９に位置しており、全体として電気的にラダー型構造となっている。

なお、図１０に示すように、並列腕１９に配置されたＩＤＴ電極１４，２０と接地端子１７との間にはインダクタンス素子Ｌを配置してもよい。

第３の変形例は、図１１〜図１３に示すもので、直列腕および並列腕の双方に配置されたＩＤＴ電極を音響結合してＴ型フィルタを構成したものである。ここで、図１１は本発明の実施の形態における第３の変形例であるフィルタを示す模式的平面図、図１２は図１１の回路図、図１３は本発明の実施の形態における第３の変形例である他のフィルタを示す模式的平面図である。

図１１に示すフィルタ１０の圧電体基板１１においては、第１の共振子列には、第１の電極周期λａを有する４つのＩＤＴ電極１２，１３，１４，２０が弾性表面波の伝搬方向に沿って形成され、第２の共振子列には、第１の電極周期λａとは異なる第２の電極周期λｂを有する２つのＩＤＴ電極２１，２２が同じく弾性表面波の伝搬方向に沿って形成されている。

ＩＤＴ電極１２の一方の電極は入力端子１５に接続され、ＩＤＴ電極２０の一方の電極は出力端子１６に接続されている。ＩＤＴ電極１３の一方の電極とＩＤＴ電極１４の一方の電極とは共通になっている。また、ＩＤＴ電極１２の他方の電極とＩＤＴ電極１３の他方の電極とはＩＤＴ電極２１の一方の電極に接続され、ＩＤＴ電極１４の他方の電極とＩＤＴ電極２０の他方の電極とはＩＤＴ電極２２の一方の電極に接続されている。ＩＤＴ電極２１の他方の電極とＩＤＴ電極２２の他方の電極とが共通になって接地端子１７に接続されている。

そして、図１２に示すように、ＩＤＴ電極１２，１３，１４，２０は入力端子１５と出力端子１６とを結ぶ直列腕（第１の配線部）１８に位置し、ＩＤＴ電極２１，２２は直列腕１８と接地端子１７とを結ぶ並列腕（第２の配線部）１９に位置している。

なお、図１３に示すように、並列腕１９に配置されたＩＤＴ電極２１，２２と接地端子１７との間にはインダクタンス素子Ｌを配置してもよく、ＩＤＴ電極２１の他方の電極とＩＤＴ電極２２の他方の電極とは分離されていてもよい。

第４の変形例は、図１４〜図１６に示すもので、並列腕に配置されたＩＤＴ電極を音響結合してπ型フィルタを構成したものである。ここで、図１４は本発明の実施の形態における第４の変形例であるフィルタを示す模式的平面図、図１５は図１４の回路図、図１６は本発明の実施の形態における第４の変形例である他のフィルタを示す模式的平面図である。

図１４に示すフィルタ１０の圧電体基板１１においては、第１の共振子列には第１の電極周期λａを有する２つのＩＤＴ電極１２，１３が、第２の共振子列には第１の電極周期λａとは異なる第２の電極周期λｂを有する１つのＩＤＴ電極１４が、第３の共振子列には第２の電極周期λｂを有する１つのＩＤＴ電極２０が、第４の共振子列には第１の電極周期λａを有する２つのＩＤＴ電極２１，２２が、それぞれ弾性表面波の伝搬方向に沿って形成されている。

ＩＤＴ電極１２，１３，２１，２２の一方の電極は、インダクタンス素子Ｌを介して接地端子１７に接続されている。ＩＤＴ電極１４の一方の電極はＩＤＴ電極１２の他方の電極と共通になって入力端子１５に接続され、ＩＤＴ電極２０の一方の電極はＩＤＴ電極２１の他方の電極と共通になって出力端子１６に接続されている。ＩＤＴ電極１４の他方の電極とＩＤＴ電極２０の他方の電極とが共通になり、さらにこれらの電極とＩＤＴ電極１３の他方の電極とＩＤＴ電極２２の他方の電極とが共通になっている。

そして、図１５に示すように、ＩＤＴ電極１４，２０は入力端子１５と出力端子１６とを結ぶ直列腕（第１の配線部）１８に位置し、ＩＤＴ電極１２，１３，２１，２２は直列腕１８と接地端子１７とを結ぶ並列腕（第２の配線部）１９に位置している。

なお、図１６に示すように、ＩＤＴ電極１４およびＩＤＴ電極２０を同一の共振子列に形成し、ＩＤＴ電極１２、ＩＤＴ電極１３およびＩＤＴ電極２１を同一の共振子列に形成することにより、直列腕１８および並列腕１９の双方に配置されたＩＤＴ電極を音響結合してπ型フィルタを構成してもよい。

本発明の一実施の形態であるフィルタを示す模式的平面図である。 図１のフィルタに設けられたＩＤＴ電極の構成を概念的に示す説明図である。 図１の回路図である。 本発明の実施の形態における第１の変形例であるフィルタを示す模式的平面図である。 図４の回路図である。 本発明の実施の形態における第１の変形例である他のフィルタを示す模式的平面図である。 本発明の実施の形態における第１の変形例であるさらに他のフィルタを示す模式的平面図である。 本発明の実施の形態における第２の変形例であるフィルタを示す模式的平面図である。 図８の回路図である。 本発明の実施の形態における第２の変形例である他のフィルタを示す模式的平面図である。 本発明の実施の形態における第３の変形例であるフィルタを示す模式的平面図である。 図１１の回路図である。 本発明の実施の形態における第３の変形例である他のフィルタを示す模式的平面図である。 本発明の実施の形態における第４の変形例であるフィルタを示す模式的平面図である。 図１４の回路図である。 本発明の実施の形態における第４の変形例である他のフィルタを示す模式的平面図である。 端面反射型の弾性表面波装置を用いたフィルタの一例を示す模式的平面図である。

符号の説明

１０ フィルタ（弾性表面波装置）
１１ 圧電体基板
１１ａ，１１ｂ 基板端面
１２，１３，１４，２０，２１，２２ ＩＤＴ電極
１５ 入力端子
１６ 出力端子
１７ 接地端子
１８ 直列腕（第１の配線部）
１９ 並列腕（第２の配線部）
Ｌ インダクタンス素子

Claims (3)

1. 単一の圧電体基板と、
   前記圧電体基板上において、弾性表面波の伝搬方向に沿って第１の電極周期λａで形成されるとともに前記圧電体基板の基板端面で前記弾性表面波が反射されるＩＤＴ電極が配置された第１の共振子列と、
   同じく前記圧電体基板上において、弾性表面波の伝搬方向に沿って前記第１の電極周期λａとは異なる第２の電極周期λｂで形成されるとともに前記圧電体基板の前記基板端面で前記弾性表面波が反射されるＩＤＴ電極が配置された第２の共振子列とを有し、
   前記第１の共振子列に配置された前記ＩＤＴ電極は入力端子と出力端子とを結ぶ第１の配線部に配置され、前記第２の共振子列に配置された前記ＩＤＴ電極は、前記第１の共振子列に配置された前記ＩＤＴ電極の共振周波数に一致する反共振周波数を有して前記第１の配線部と接地端子とを結ぶ第２の配線部に配置され、
   前記第１の共振子列および前記第２の共振子列の少なくとも何れかの共振子列には相互に対数が異なって音響結合した複数の前記ＩＤＴ電極が形成され、これらのＩＤＴ電極の間に他方の共振子列のＩＤＴ電極が接続され、
   前記圧電体基板における前記弾性表面波の伝搬方向の長さが、（λａ／２）×ｎ−（λｂ／２）×ｍ＝０（ｎ、ｍは自然数）を満たす（λａ／２）×ｎまたは（λｂ／２）×ｍである、
   ことを特徴とする弾性表面波装置。
2. 前記第１の共振子列に配置された前記ＩＤＴ電極と前記第２の共振子列に配置された前記ＩＤＴ電極とは相互に直接電気的に接続されていることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波装置。
3. 前記ＩＤＴ電極を構成する電極指の交差幅が少なくとも一部の前記ＩＤＴ電極の相互間で異なっていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性表面波装置。

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