JPH03119816A - 単一モード２端子対弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタ - Google Patents
単一モード２端子対弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタInfo
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- JPH03119816A JPH03119816A JP25704689A JP25704689A JPH03119816A JP H03119816 A JPH03119816 A JP H03119816A JP 25704689 A JP25704689 A JP 25704689A JP 25704689 A JP25704689 A JP 25704689A JP H03119816 A JPH03119816 A JP H03119816A
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の属する技術分野）
本発明は、弾性表面波共振子に関し、特にエネルギー閉
じ込め型２端子対弾性表面波共振子および弾性表面波フ
ィルタに関するものである。
じ込め型２端子対弾性表面波共振子および弾性表面波フ
ィルタに関するものである。
（従来技術とその問題点）
エネルギー閉じ込め型２端子対弾性表面波共振子は、通
常第１図（ａ）に示すように弾性表面波を伝搬せしめる
圧電基板１の表面の弾性表面波伝搬路上に電気信号を弾
性表面波に変換する２つのすだれ状変換器（Ｉｎｔｅｒ
ｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ；以下ＩＤＴ
と略記する）すなわち、ＩＤＴ（２八）とＩＤＴ （２
Ｂ）が直列に配設され、その両側に前記ＩＤＴ （２Ａ
）から励振される弾性表面波を反射するための周期的構
造をもつグレーティング（格子状）反射器３が配置され
た構成を有している。入力端子４と接地端子Ｅおよび出
力端子５と接地端子Ｅ゛ とで２端子対を構成する。
常第１図（ａ）に示すように弾性表面波を伝搬せしめる
圧電基板１の表面の弾性表面波伝搬路上に電気信号を弾
性表面波に変換する２つのすだれ状変換器（Ｉｎｔｅｒ
ｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ；以下ＩＤＴ
と略記する）すなわち、ＩＤＴ（２八）とＩＤＴ （２
Ｂ）が直列に配設され、その両側に前記ＩＤＴ （２Ａ
）から励振される弾性表面波を反射するための周期的構
造をもつグレーティング（格子状）反射器３が配置され
た構成を有している。入力端子４と接地端子Ｅおよび出
力端子５と接地端子Ｅ゛ とで２端子対を構成する。
第１図及び以降の図でグレーティング反射器３の中間電
極の図示は省略゛した。また、ｒＤＴ（２Ａ） 。
極の図示は省略゛した。また、ｒＤＴ（２Ａ） 。
（２Ｂ）の電極対数は任意に設けられるが、第１図（ａ
）の場合はそれぞれ２対で代表させて示してあり、第１
図以降の図面においても電極対数は特定したものではな
く代表例で示す。
）の場合はそれぞれ２対で代表させて示してあり、第１
図以降の図面においても電極対数は特定したものではな
く代表例で示す。
圧電基板１の材料は、通常、タンタル酸リチウム（Ｌｉ
ＴａＯ＋） 、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯｚ）、
水晶等の圧電単結晶基板が用いられ、ＩＤＴ （２Ａ）
、 （２Ｂ）およびグレーティング反射器３の電極材
料にはアルミニウム（Ａ２）や金（＾Ｕ）等が用いられ
る。また、第２図以降では圧電基板１の図示は省略する
。
ＴａＯ＋） 、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯｚ）、
水晶等の圧電単結晶基板が用いられ、ＩＤＴ （２Ａ）
、 （２Ｂ）およびグレーティング反射器３の電極材
料にはアルミニウム（Ａ２）や金（＾Ｕ）等が用いられ
る。また、第２図以降では圧電基板１の図示は省略する
。
第１図（ａ）に示した従来の電極構成の２端子対弾性表
面波共振子に於いて、ＩＤＴ（２Ａ）及び（２Ｂ）が弾
性表面波伝搬路上（矢印で図示）に直列に配置されてい
るため、ｒＤＴ （２Ａ）によって励振された表面波は
反射器３を介さずに直接ＩＤＴ （２Ｂ ）により受信
されることになり、いわゆるトランスパーサルフィルタ
の特性を呈し共振子の通過特性に重畳される。このよう
な共振子でフィルタを構成した場合、ＩＤＴ（２Ａ）と
ＩＤＴ（２Ｂ）が表面波の伝搬路上に直列にあるために
生ずるｒＤＴ同志の結合は帯域外減衰量を劣化させる原
因となる。
面波共振子に於いて、ＩＤＴ（２Ａ）及び（２Ｂ）が弾
性表面波伝搬路上（矢印で図示）に直列に配置されてい
るため、ｒＤＴ （２Ａ）によって励振された表面波は
反射器３を介さずに直接ＩＤＴ （２Ｂ ）により受信
されることになり、いわゆるトランスパーサルフィルタ
の特性を呈し共振子の通過特性に重畳される。このよう
な共振子でフィルタを構成した場合、ＩＤＴ（２Ａ）と
ＩＤＴ（２Ｂ）が表面波の伝搬路上に直列にあるために
生ずるｒＤＴ同志の結合は帯域外減衰量を劣化させる原
因となる。
第１図（ロ）は、第１図（ａ）の電極構成を有する共振
子の縦方向振動モードのエネルギ分布を示すものであり
、６は基本（０次）縦モード（対称モード（ＳＯ））の
振動の変位分布を示し、７は非調和１次縦モード（反対
称モード（ａ、））の振動の変位分布を示す、第１図（
ａ）と（ｂ）において、共振子の容量比γ（共振周波数
と反共振周波数の差の逆数に比例する値）を小さくすれ
ば、フィルタを構成した場合、通過帯域幅を広くできる
ことが知られている。
子の縦方向振動モードのエネルギ分布を示すものであり
、６は基本（０次）縦モード（対称モード（ＳＯ））の
振動の変位分布を示し、７は非調和１次縦モード（反対
称モード（ａ、））の振動の変位分布を示す、第１図（
ａ）と（ｂ）において、共振子の容量比γ（共振周波数
と反共振周波数の差の逆数に比例する値）を小さくすれ
ば、フィルタを構成した場合、通過帯域幅を広くできる
ことが知られている。
共振子の容量比γを小さくするためにＩＤＴ （２Ａ）
と（２Ｂ）の電極対数を多くすると、共振器長が長くな
るためＩＤＴ （２Ａ）及び（２Ｂ）がこのモードと結
合してスプリアスとなる欠点があった。
と（２Ｂ）の電極対数を多くすると、共振器長が長くな
るためＩＤＴ （２Ａ）及び（２Ｂ）がこのモードと結
合してスプリアスとなる欠点があった。
この欠点を改善するた、め、第２図（ａ）に示すように
、グレーティング反射器３の間に２つのＩＤＴ （２Ｃ
） 。
、グレーティング反射器３の間に２つのＩＤＴ （２Ｃ
） 。
（２Ｄ）を弾性表面波伝搬方向に対して並列に配設させ
た２端子対弾性表面波共振子の電極構成を提案している
。（平成１年２月１４日付出願した２端子対弾性表面波
共振子） 第２図（ｂ）は縦方向の振動モードを示し、（Ｃ）は横
方向（表面波の伝搬方向に対して直角な方向）の３種類
の振動モード９．１０．１１を示す。９は基本（０次）
横モード、１０は１次横モード、１１は２次横モードで
ある。
た２端子対弾性表面波共振子の電極構成を提案している
。（平成１年２月１４日付出願した２端子対弾性表面波
共振子） 第２図（ｂ）は縦方向の振動モードを示し、（Ｃ）は横
方向（表面波の伝搬方向に対して直角な方向）の３種類
の振動モード９．１０．１１を示す。９は基本（０次）
横モード、１０は１次横モード、１１は２次横モードで
ある。
第２図（ａ）の電極構成によれば、２つのＩＤＴ （２
Ｃ） 。
Ｃ） 。
（２Ｄ）は弾性表面波伝搬路上に直列に配設されていな
いため、いわゆるトランスバーサルフィルタの特性を呈
することはなく、また、弾性表面波伝搬方向には１つの
ｉＤＴが反射器間の中心付近に配設されていることに相
当するため、第１図（ｂ）の７に相当する１次縦モード
とは結合しない。すなわち、１次縦モードによるスプリ
アスが現れない利点がある。
いため、いわゆるトランスバーサルフィルタの特性を呈
することはなく、また、弾性表面波伝搬方向には１つの
ｉＤＴが反射器間の中心付近に配設されていることに相
当するため、第１図（ｂ）の７に相当する１次縦モード
とは結合しない。すなわち、１次縦モードによるスプリ
アスが現れない利点がある。
しかしながら、反射器３は弾性表面波導波路を形成して
おり、反射器３の幅８（ガイド幅）が大きくなると第２
図（Ｃ）に示すように高次横モード１０゜１１が現れる
ようになりＩＤＴ （２Ｃ）及び（２Ｄ）と結合してス
プリアスとなる不具合があった。
おり、反射器３の幅８（ガイド幅）が大きくなると第２
図（Ｃ）に示すように高次横モード１０゜１１が現れる
ようになりＩＤＴ （２Ｃ）及び（２Ｄ）と結合してス
プリアスとなる不具合があった。
通常、ＩＤＴ （２Ｃ） 、 （２Ｄ）のそれぞれの交
差幅（または交差指長）の和は反射器３のガイド幅８と
同程度に形成されるため、以下特に断らない限りガイド
幅８はＩＤＴ （２Ｃ） 、 （２Ｄ）の交差幅の和と
ほぼ等しいとして扱う。
差幅（または交差指長）の和は反射器３のガイド幅８と
同程度に形成されるため、以下特に断らない限りガイド
幅８はＩＤＴ （２Ｃ） 、 （２Ｄ）の交差幅の和と
ほぼ等しいとして扱う。
第４図は、第２図（ａ）の電極構成による共振子の入力
インピーダンス特性例である。両図において、交差幅＝
１６０Ｑ（＝１０λ。）、ＩＤＴ（２Ａ） 、 （２８
）の対数がそれぞれ５０対、電極ピッチ８μｍ、反射器
格子の本数３００本、Ｘ −１１２’ Ｙ ＬｉＴａＯ
３基機の場合の入力インピーダンスの実測例である。す
なわら、ガイド幅＝１０λ。のとき、第２図（Ｃ）の基
本（０次）横モード９による第４図の特性すと、第２図
（Ｃ）の１次横モード１０による第４図の特性ａとの２
つのモードが存在していることがわかる。
インピーダンス特性例である。両図において、交差幅＝
１６０Ｑ（＝１０λ。）、ＩＤＴ（２Ａ） 、 （２８
）の対数がそれぞれ５０対、電極ピッチ８μｍ、反射器
格子の本数３００本、Ｘ −１１２’ Ｙ ＬｉＴａＯ
３基機の場合の入力インピーダンスの実測例である。す
なわら、ガイド幅＝１０λ。のとき、第２図（Ｃ）の基
本（０次）横モード９による第４図の特性すと、第２図
（Ｃ）の１次横モード１０による第４図の特性ａとの２
つのモードが存在していることがわかる。
また、第９図はガイド幅８と共振子の基本モードのＱと
の関係を示す特性図であり、第１０図はガイド幅８と横
モード９．１０．１１の共振周波数との関係を示す特性
図である。第１０図かられかるように、１次横モード１
０が現れるガイド幅８は約６λ８であり、２次横モード
１１が現れるガイド幅８は約２０λ。である。高次横モ
ードの現れ方は若干の膜厚依存を示すが、第２図（ａ）
に示す電極構成に於いて、ガイド幅８が６λ。以上では
、必ず、１次または１次と２次の横モードスプリアスが
混在することになる。所望の０次（基本）横モード９の
み存在させるためには、ガイド幅８を数λ。以下（Ｘ
１１２ ’ Ｙ Ｌ ｉ Ｔ ａ ０３の場合６λ。
の関係を示す特性図であり、第１０図はガイド幅８と横
モード９．１０．１１の共振周波数との関係を示す特性
図である。第１０図かられかるように、１次横モード１
０が現れるガイド幅８は約６λ８であり、２次横モード
１１が現れるガイド幅８は約２０λ。である。高次横モ
ードの現れ方は若干の膜厚依存を示すが、第２図（ａ）
に示す電極構成に於いて、ガイド幅８が６λ。以上では
、必ず、１次または１次と２次の横モードスプリアスが
混在することになる。所望の０次（基本）横モード９の
み存在させるためには、ガイド幅８を数λ。以下（Ｘ
１１２ ’ Ｙ Ｌ ｉ Ｔ ａ ０３の場合６λ。
以下）にしなければならない。
しかしながら、第９図に示すようにガイド幅８を狭くす
ると、グレーティング反射器３を伝搬する表面波は回折
による損失が増えるため共振子のＱが低下する傾向があ
る。Ｑが低下した共振子でフィルタを構成する場合、挿
入損失が増加する欠点があった。
ると、グレーティング反射器３を伝搬する表面波は回折
による損失が増えるため共振子のＱが低下する傾向があ
る。Ｑが低下した共振子でフィルタを構成する場合、挿
入損失が増加する欠点があった。
また、共振子のインピーダンスは、ＩＤＴ対数および交
差幅によって決まる静電容量により決定される。従って
、交差幅が数λ。以下に限定されると、インピーダンス
設計の自由度が限定されるという欠点があった。
差幅によって決まる静電容量により決定される。従って
、交差幅が数λ。以下に限定されると、インピーダンス
設計の自由度が限定されるという欠点があった。
次に、弾性表面波フィルタについて述べる。
弾性表面波共振子でフィルタを構成する場合、単一モー
ド２端子対弾性表面波共振子を複数個縦続接続する方法
が知られている。第６図は、同一構造の単一モード共振
子を２個縦続接続した２重モード共振子フィルタの構成
例である。すなわち、第１図に示した従来の電極構成の
２端子対弾性表面波共振子を同一基板１ （図示は省略
）上に弾性表面波伝搬方向が平行で、かつ、互いに音Ｃ
結合による影響が無視できる程度の間隔で並設され電気
的に縦続接続されたものである。
ド２端子対弾性表面波共振子を複数個縦続接続する方法
が知られている。第６図は、同一構造の単一モード共振
子を２個縦続接続した２重モード共振子フィルタの構成
例である。すなわち、第１図に示した従来の電極構成の
２端子対弾性表面波共振子を同一基板１ （図示は省略
）上に弾性表面波伝搬方向が平行で、かつ、互いに音Ｃ
結合による影響が無視できる程度の間隔で並設され電気
的に縦続接続されたものである。
第１図の共振子の電極構成について前述したように、Ｉ
ＤＴ （２Ａ）とＩＤＴ （２Ｂ）は弾性表面波の伝搬
路上に直列に配設されているため、いわゆるトランスバ
ーサルフィルタの特性が重畳されて、フィルタの帯域外
特性が劣化するという欠点および、１次縦モードによる
スプリアスが現れる欠点があった。
ＤＴ （２Ａ）とＩＤＴ （２Ｂ）は弾性表面波の伝搬
路上に直列に配設されているため、いわゆるトランスバ
ーサルフィルタの特性が重畳されて、フィルタの帯域外
特性が劣化するという欠点および、１次縦モードによる
スプリアスが現れる欠点があった。
（発明の目的）
本発明の目的は、Ｑの低下をさけるためガイド幅８をあ
る程度大きくすると同時に、インピーダンス設計の自由
度を上げ、かつ、１次縦モードのスプリアスおよび１次
横モードのスプリアスが現れない電極構成の単一モード
２端子対弾性表面波共振子を提供することにある。また
、２端子対共振子を複数個縦続接続して構成されるフィ
ルタに於いて、挿入損失の低下がなく、インピーダンス
設計の自由度を上げ、かつ、１次縦モードのスプリアス
及び１次横モードのスプリアスのない弾性表面波フィル
タを提供することにある。
る程度大きくすると同時に、インピーダンス設計の自由
度を上げ、かつ、１次縦モードのスプリアスおよび１次
横モードのスプリアスが現れない電極構成の単一モード
２端子対弾性表面波共振子を提供することにある。また
、２端子対共振子を複数個縦続接続して構成されるフィ
ルタに於いて、挿入損失の低下がなく、インピーダンス
設計の自由度を上げ、かつ、１次縦モードのスプリアス
及び１次横モードのスプリアスのない弾性表面波フィル
タを提供することにある。
（発明の構成及び作用）
まず、弾性表面波共振子について述べる。
本発明による２端子対弾性表面波共振子は、弾性表面波
を伝搬せしめる圧電基板上に設けられた２つのグレーテ
ィング反射器の間に該２つのグレーティング反射器を共
用して電気信号を弾性表面波に変換するすだれ状変換器
３個が並列にかつ前記グレーティング反射器の幅の中心
線に対して対称に配置され、該中心線上にあるすだれ状
変換器は一方の端子対となり前記中心線に対して対称の
位置にある外側のすだれ状変換器は電気的に並列接続さ
れて他方の端子対となるように構成されたことを特徴と
するものであり、 弾性表面波を伝搬せしめる圧電基板上に設けられた２つ
のグレーティング反射器の間に該２つのグレーティング
反射器を共用して電気信号を弾性表面波に変換するすだ
れ状変換器４個が並列にかつ前記グレーティング反射器
の幅の中心線に対して対称に配置され、該中心線に対し
て対称の位置にある内側の２つのすだれ状変換器及び外
側の２つのすだれ状変換器がそれぞれ電気的に並列接続
されて一方が入力端子対となり他方が出力端子対となる
ように構成されたことを特徴とするものである。 以下
本発明による２端子対弾性表面波共振子について図面に
より詳細に説明する。
を伝搬せしめる圧電基板上に設けられた２つのグレーテ
ィング反射器の間に該２つのグレーティング反射器を共
用して電気信号を弾性表面波に変換するすだれ状変換器
３個が並列にかつ前記グレーティング反射器の幅の中心
線に対して対称に配置され、該中心線上にあるすだれ状
変換器は一方の端子対となり前記中心線に対して対称の
位置にある外側のすだれ状変換器は電気的に並列接続さ
れて他方の端子対となるように構成されたことを特徴と
するものであり、 弾性表面波を伝搬せしめる圧電基板上に設けられた２つ
のグレーティング反射器の間に該２つのグレーティング
反射器を共用して電気信号を弾性表面波に変換するすだ
れ状変換器４個が並列にかつ前記グレーティング反射器
の幅の中心線に対して対称に配置され、該中心線に対し
て対称の位置にある内側の２つのすだれ状変換器及び外
側の２つのすだれ状変換器がそれぞれ電気的に並列接続
されて一方が入力端子対となり他方が出力端子対となる
ように構成されたことを特徴とするものである。 以下
本発明による２端子対弾性表面波共振子について図面に
より詳細に説明する。
第３図（ａ）は本発明による第１の実施例であり、４つ
のＩＤＴを用いた場合の２端子対弾性表面波共振子の電
極構成図である。第３図（ｂ）（Ｃ）はそれぞれ縦方向
、横方向の変位分布を示す。２組のグレーティング反射
器３の間に、弾性表面波伝搬方向に対して並列に、かつ
、グレーティング反射器３の幅（ガイド幅）８の中心線
に対して対称な位置に配設された４つのＩＤＴ（２Ｅ、
２Ｆ、２Ｇ、２１１）は、それぞれ独立した電極構成と
してもよいが、本実施例では、２つずつのＩＤＴ （２
Ｅと２Ｆ及び２Ｇと２１（）の接地側電極を共通にした
構成とし、それぞれ対称な位置にある２つのＩＤＴ（２
Ｆと２Ｇ及び２Ｅと２Ｈ）はそれぞれ電気的に接続され
て入力ＩＤＴ、出力ＩＤＴとした構成である。入力端子
１４と接地端子Ｅおよび出力端子１５と接地端子Ｅ゛と
で２端子対を構成する。
のＩＤＴを用いた場合の２端子対弾性表面波共振子の電
極構成図である。第３図（ｂ）（Ｃ）はそれぞれ縦方向
、横方向の変位分布を示す。２組のグレーティング反射
器３の間に、弾性表面波伝搬方向に対して並列に、かつ
、グレーティング反射器３の幅（ガイド幅）８の中心線
に対して対称な位置に配設された４つのＩＤＴ（２Ｅ、
２Ｆ、２Ｇ、２１１）は、それぞれ独立した電極構成と
してもよいが、本実施例では、２つずつのＩＤＴ （２
Ｅと２Ｆ及び２Ｇと２１（）の接地側電極を共通にした
構成とし、それぞれ対称な位置にある２つのＩＤＴ（２
Ｆと２Ｇ及び２Ｅと２Ｈ）はそれぞれ電気的に接続され
て入力ＩＤＴ、出力ＩＤＴとした構成である。入力端子
１４と接地端子Ｅおよび出力端子１５と接地端子Ｅ゛と
で２端子対を構成する。
第８図は本発明の第２の実施例であり、３つのＩＤＴを
用いた場合の２端子対弾性表面波共振子の電極構成図で
ある。第３図（ａ）に示した第１の実施例では、ＩＤＴ
（２Ｆ）とＩＤＴ （２Ｇ）は電極の一部を共用する
ことで電気的に接続しているが、この第２の実施例では
ＩＤＴ （２Ｆ）とＩＤＴ （２Ｇ）とを併合して１つ
のＩＤＴ（２Ｉ）を形成し、かつ、ＩＤＴ（２１）と（
２＋１）の接地側電極を共通にした３つのＩＤＴ （２
Ｅ、 ２Ｉ 、 ２Ｈ）の電極構成となっており、電気
的特性は第１の実施例の場合と同じになることは明白で
ある。以下第３図の第１の実施例について説明する。
用いた場合の２端子対弾性表面波共振子の電極構成図で
ある。第３図（ａ）に示した第１の実施例では、ＩＤＴ
（２Ｆ）とＩＤＴ （２Ｇ）は電極の一部を共用する
ことで電気的に接続しているが、この第２の実施例では
ＩＤＴ （２Ｆ）とＩＤＴ （２Ｇ）とを併合して１つ
のＩＤＴ（２Ｉ）を形成し、かつ、ＩＤＴ（２１）と（
２＋１）の接地側電極を共通にした３つのＩＤＴ （２
Ｅ、 ２Ｉ 、 ２Ｈ）の電極構成となっており、電気
的特性は第１の実施例の場合と同じになることは明白で
ある。以下第３図の第１の実施例について説明する。
第３図（ａ）の電極構成に於いて、第２図（ａ）の場合
と同様に各ＩＤＴ（２Ｅ） （２Ｆ） （（２Ｇ） （
２Ｈ）は非調和１次縦モードとは結合することはなく、
従って、従来構成にみられた１次縦モードによるスプリ
アスによる特性劣化やトランスバーサルフィルタ特性の
重畳による特性劣化も生じないことは明白である。
と同様に各ＩＤＴ（２Ｅ） （２Ｆ） （（２Ｇ） （
２Ｈ）は非調和１次縦モードとは結合することはなく、
従って、従来構成にみられた１次縦モードによるスプリ
アスによる特性劣化やトランスバーサルフィルタ特性の
重畳による特性劣化も生じないことは明白である。
また、第３図（ａ）の電極構成に於いて、弾性表面波伝
搬方向に直角な方向に対しては、弾性表面波導波路の中
心線に対して対称にＩＤＴが配設され、かつ、対称な位
置にある２つのＩＤＴはそれぞれ電気的に接続されてい
るため、入出力ＩＤＴは１次横モード１０と結合しない
。
搬方向に直角な方向に対しては、弾性表面波導波路の中
心線に対して対称にＩＤＴが配設され、かつ、対称な位
置にある２つのＩＤＴはそれぞれ電気的に接続されてい
るため、入出力ＩＤＴは１次横モード１０と結合しない
。
第５図は、第３図（ａ）の構成の共振子の入力インピー
ダンス特性例であり、Ｘ １１２’ Ｙ ＬｉＴａ０
．基板を用い、ＩＤＴ対数５０対、反射器の電極本数３
００本、ガイド幅８を１０λ。とした場合の実測値であ
る。
ダンス特性例であり、Ｘ １１２’ Ｙ ＬｉＴａ０
．基板を用い、ＩＤＴ対数５０対、反射器の電極本数３
００本、ガイド幅８を１０λ。とした場合の実測値であ
る。
この図から明らかなように、第４図にみられた１次槽モ
ードのスプリアスａがきれいに抑圧されて基本（０次）
横モード９による特性すのみが得られていることがわか
る。
ードのスプリアスａがきれいに抑圧されて基本（０次）
横モード９による特性すのみが得られていることがわか
る。
従って、第１０図からもわかるように単一モード２端子
対弾性表面波共振子を実現する場合、第２図（ａ）の構
成ではガイド幅８が１次横モード１０が現れる直前（お
よそ６λ０）以下に限られていたものが、第３図（ａ）
の構成とすることにより２次槽モー１１１が現れる直前
（およそ２０λ０）まで拡張することができ、共振子の
Ｑを高くすることができる。
対弾性表面波共振子を実現する場合、第２図（ａ）の構
成ではガイド幅８が１次横モード１０が現れる直前（お
よそ６λ０）以下に限られていたものが、第３図（ａ）
の構成とすることにより２次槽モー１１１が現れる直前
（およそ２０λ０）まで拡張することができ、共振子の
Ｑを高くすることができる。
次に、弾性表面波フィルタについて述べる。
第７図は、本発明の弾性表面波フィルタの電極構成例で
あり、第３図に示した本発明の第１の実施例である単一
千−ド２端子対弾性表面波共振子２個が同一基板１（図
示は省略）上に弾性表面波伝搬方向が平行で、かつ、互
いに音響結合による影響が無視できる程度の間隔で並設
され、電気的に縦続接続されたものである。第８図に示
した本発明の第２の実施例である２端子対弾性表面波共
振子２個を同様に構成することも勿論有効である。
あり、第３図に示した本発明の第１の実施例である単一
千−ド２端子対弾性表面波共振子２個が同一基板１（図
示は省略）上に弾性表面波伝搬方向が平行で、かつ、互
いに音響結合による影響が無視できる程度の間隔で並設
され、電気的に縦続接続されたものである。第８図に示
した本発明の第２の実施例である２端子対弾性表面波共
振子２個を同様に構成することも勿論有効である。
第７図の実施例では２個の共振子によって構成されてい
るが、例えばフィルタの減衰特性を更に良くするために
は共振子の数を増せばよいことは明白である。
るが、例えばフィルタの減衰特性を更に良くするために
は共振子の数を増せばよいことは明白である。
この構成によるフィルタの特徴は、構成要素である共振
子に本発明による単一セード２端子対性表面波共振子を
用いていることである。従って、共振子の利点がそのま
まフィルタの利点になる。
子に本発明による単一セード２端子対性表面波共振子を
用いていることである。従って、共振子の利点がそのま
まフィルタの利点になる。
すなわち、第６図の従来の構成に比べ、本発明の構成で
は、特性を劣化させる１次縦モードが現れないため、４
つのＩＤＴ （２Ｅ〜２）１）の電極対数を、２次縦モ
ードが現れる直前まで多くして共振子の容量比を小さく
することができるため、フィルタの通過帯域幅を広くと
ることができる。さらに、弾性表面波伝搬路上にＩＤＴ
が直列に配設されていないため、入出力のＩＤＴによる
トランスバーサルフィルタ特性が重畳されることなく所
望の帯域外減衰量が確保される。また、【口Ｔのガイド
幅を２次横モードが現れる直前まで長くしても１次横モ
ードによるスプリアスが現れないため、共振子のＱの低
下が抑えられフィルタの挿入損失の増加が抑えられる。
は、特性を劣化させる１次縦モードが現れないため、４
つのＩＤＴ （２Ｅ〜２）１）の電極対数を、２次縦モ
ードが現れる直前まで多くして共振子の容量比を小さく
することができるため、フィルタの通過帯域幅を広くと
ることができる。さらに、弾性表面波伝搬路上にＩＤＴ
が直列に配設されていないため、入出力のＩＤＴによる
トランスバーサルフィルタ特性が重畳されることなく所
望の帯域外減衰量が確保される。また、【口Ｔのガイド
幅を２次横モードが現れる直前まで長くしても１次横モ
ードによるスプリアスが現れないため、共振子のＱの低
下が抑えられフィルタの挿入損失の増加が抑えられる。
さらに、ＩＤＴ対数を多くできることと合わせて考えれ
ばインピーダンス設計の自由度を大きくすることができ
る。
ばインピーダンス設計の自由度を大きくすることができ
る。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明による単一モードの
２端子対弾性表面波共振子は、スプリアスや特性劣化の
要因となる１次縦モード及び１次横モードを抑圧して単
一モードすなわち、縦モード、横モードともに基本（０
次）モードの有効利用範囲が拡げられるため、単一モー
ド共振子としてガイド幅を数λ。から１０数λ。にまで
拡張してＱの向上を図ることができると同時に、インピ
ーダンス設計の自由度が大きくなるという著しい効果が
ある。
２端子対弾性表面波共振子は、スプリアスや特性劣化の
要因となる１次縦モード及び１次横モードを抑圧して単
一モードすなわち、縦モード、横モードともに基本（０
次）モードの有効利用範囲が拡げられるため、単一モー
ド共振子としてガイド幅を数λ。から１０数λ。にまで
拡張してＱの向上を図ることができると同時に、インピ
ーダンス設計の自由度が大きくなるという著しい効果が
ある。
また、本発明による弾性表面波フィルタは、１次縦モー
ド及び１次横モードによるスプリアスや特性劣化がなく
、かつ、挿入損失が小さく、従来より帯域幅が広くイン
ピーダンス設計の自由度が大きいフィルタが構成できる
という著しい効果がある。
ド及び１次横モードによるスプリアスや特性劣化がなく
、かつ、挿入損失が小さく、従来より帯域幅が広くイン
ピーダンス設計の自由度が大きいフィルタが構成できる
という著しい効果がある。
第１図は従来の２端子対弾性表面波共振子の電極構成別
図、第２図は先に提案した２端子対弾性表面波共振子の
電極構成別図、第３図は本発明による２端子対弾性表面
波共振子の第１の実施例の電極構成別図、第４図は第２
図の２端子対弾性表面波共振子の入力インピーダンス特
性別図、第５図は本発明の第３図の構成による２端子対
弾性表面波共振子の入力インピーダンス特性別図、第６
図は従来の２重モード弾性表面波フィルタの電極構成別
図、第７図は本発明の２重モード弾性表面波フィルタの
電極構成別図、第８図は本発明による共振子の第２の実
施例を示す電極構成別図、第９図はガイド幅とＱとの関
係を示す特性図、第１０図はガイド幅と横モードの共振
周波数との関係を示す特性図である。 １・・・圧電基板、 ２Ａ， ２Ｂ， ２Ｃ， ２Ｄ，
２Ｅ， ２Ｆ， ２Ｇ。 ２１１、 ２１・・・ＩＤＴ、 ３・・・グレーティ
ング反射器、４、１２．１４・・・入力端子、 ５．１
３．１５・・・出力端子、 ６，７・・・縦モードの振
動変位分布、訃・・ガイド幅、 ９．１０．１１・・・
横モードの振動変位分布。
図、第２図は先に提案した２端子対弾性表面波共振子の
電極構成別図、第３図は本発明による２端子対弾性表面
波共振子の第１の実施例の電極構成別図、第４図は第２
図の２端子対弾性表面波共振子の入力インピーダンス特
性別図、第５図は本発明の第３図の構成による２端子対
弾性表面波共振子の入力インピーダンス特性別図、第６
図は従来の２重モード弾性表面波フィルタの電極構成別
図、第７図は本発明の２重モード弾性表面波フィルタの
電極構成別図、第８図は本発明による共振子の第２の実
施例を示す電極構成別図、第９図はガイド幅とＱとの関
係を示す特性図、第１０図はガイド幅と横モードの共振
周波数との関係を示す特性図である。 １・・・圧電基板、 ２Ａ， ２Ｂ， ２Ｃ， ２Ｄ，
２Ｅ， ２Ｆ， ２Ｇ。 ２１１、 ２１・・・ＩＤＴ、 ３・・・グレーティ
ング反射器、４、１２．１４・・・入力端子、 ５．１
３．１５・・・出力端子、 ６，７・・・縦モードの振
動変位分布、訃・・ガイド幅、 ９．１０．１１・・・
横モードの振動変位分布。
Claims (4)
- （１）弾性表面波を伝搬せしめる圧電基板上に設けられ
た２つのグレーティング反射器の間に該２つのグレーテ
ィング反射器を共用して電気信号を弾性表面波に変換す
るすだれ状変換器３個が並列にかつ前記グレーティング
反射器の幅の中心線に対して対称に配置され、該中心線
上にあるすだれ状変換器は一方の端子対となり前記中心
線に対して対称の位置にある外側のすだれ状変換器は電
気的に並列接続されて他方の端子対となるように構成さ
れた２端子対弾性表面波共振子。 - （２）複数の２端子対弾性表面波共振子が、弾性表面波
を伝搬せしめる圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向が全
て平行でかつ互いに音響結合による影響が無視できる程
度の間隔で並設され、電気的に縦続接続されて構成され
、 前記複数の２端子対弾性表面波共振子のそれぞれが、前
記圧電基板上に設けられた２つのグレーティング反射器
の間に該２つのグレーティング反射器を共用して電気信
号を弾性表面波に変換するすだれ状変換器３個が並列に
かつ前記グレーティング反射器の幅の中心線に対して対
称に配置され、該中心線上にあるすだれ状変換器は一方
の端子対となり、前記中心線に対して対称の位置にある
外側のすだれ状変換器は電気的に並列接続されて他方の
端子対となるように構成されたことを特徴とする弾性表
面波フィルタ。 - （３）弾性表面波を伝搬せしめる圧電基板上に設けられ
た２つのグレーティング反射器の間に該２つのグレーテ
ィング反射器を共用して電気信号を弾性表面波に変換す
るすだれ状変換器４個が並列にかつ前記グレーティング
反射器の幅の中心線に対して対称に配置され、該中心線
に対して対称の位置にある内側の２つのすだれ状変換器
及び外側の２つのすだれ状変換器がそれぞれ電気的に並
列接続されて一方が入力端子対となり他方が出力端子対
となるように構成された２端子対弾性表面波共振子。 - （４）複数の２端子対弾性表面波共振子が、弾性表面波
を伝搬せしめる圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向が全
て平行でかつ互いに音響結合による影響が無視できる程
度の間隔で並設され、電気的に縦続接続されて構成され
、 前記複数の２端子対弾性表面波共振子のそれぞれが、前
記圧電基板上に設けられた２つのグレーティング反射器
の間に該２つのグレーティング反射器を共用して電気信
号を弾性表面波に変換するすだれ状変換器４個が並列に
かつ前記グレーティング反射器の幅の中心線に対して対
称に配置され、該中心線に対して対称の位置にある内側
の２つのすだれ状変換器及び外側の２つのすだれ状変換
器がそれぞれ電気的に並列接続されて一方が入力端子対
となり他方が出力端子対となるように構成されたことを
特徴とする弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1257046A JPH0767060B2 (ja) | 1989-10-03 | 1989-10-03 | 単一モード２端子対弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1257046A JPH0767060B2 (ja) | 1989-10-03 | 1989-10-03 | 単一モード２端子対弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03119816A true JPH03119816A (ja) | 1991-05-22 |
| JPH0767060B2 JPH0767060B2 (ja) | 1995-07-19 |
Family
ID=17300986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1257046A Expired - Lifetime JPH0767060B2 (ja) | 1989-10-03 | 1989-10-03 | 単一モード２端子対弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0767060B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0599475A1 (en) * | 1992-11-25 | 1994-06-01 | R.F. Monolithics, Inc. | Surface acoustic wave device for generating an output signal with only a symmetric or only an asymmetric vibration mode acoustic wave |
| US5426339A (en) * | 1994-04-01 | 1995-06-20 | Rf Monolithics, Inc. | Surface acoustic wave devices with mode changing characteristics |
| US6801100B2 (en) | 1996-05-23 | 2004-10-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Inter-digital transducer, surface acoustic wave filter and communication apparatus using the same |
| JP2009230148A (ja) * | 2007-03-22 | 2009-10-08 | Seiko Epson Corp | プロジェクタ |
| US9847770B2 (en) | 2013-09-06 | 2017-12-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave resonator, elastic wave filter apparatus, and duplexer |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63285018A (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-22 | Nec Corp | 弾性表面波多重モ−ドフィルタ |
-
1989
- 1989-10-03 JP JP1257046A patent/JPH0767060B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63285018A (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-22 | Nec Corp | 弾性表面波多重モ−ドフィルタ |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0599475A1 (en) * | 1992-11-25 | 1994-06-01 | R.F. Monolithics, Inc. | Surface acoustic wave device for generating an output signal with only a symmetric or only an asymmetric vibration mode acoustic wave |
| JPH06216694A (ja) * | 1992-11-25 | 1994-08-05 | Rf Monolithics Inc | 対称振動モード弾性波のみまたは対称振動モード弾性波のみを有する出力信号を発生する弾性表面波装置 |
| US5374908A (en) * | 1992-11-25 | 1994-12-20 | Rf Monolithics, Inc. | Surface acoustic wave device for generating an output signal with only a symmetric or only an asymmetric vibration mode acoustic wave |
| US5426339A (en) * | 1994-04-01 | 1995-06-20 | Rf Monolithics, Inc. | Surface acoustic wave devices with mode changing characteristics |
| US6801100B2 (en) | 1996-05-23 | 2004-10-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Inter-digital transducer, surface acoustic wave filter and communication apparatus using the same |
| JP2009230148A (ja) * | 2007-03-22 | 2009-10-08 | Seiko Epson Corp | プロジェクタ |
| US7959299B2 (en) | 2007-03-22 | 2011-06-14 | Seiko Epson Corporation | Projector having reduced color shading |
| US9847770B2 (en) | 2013-09-06 | 2017-12-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave resonator, elastic wave filter apparatus, and duplexer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0767060B2 (ja) | 1995-07-19 |
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Legal Events
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