JPH0514443B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0514443B2 JPH0514443B2 JP63225787A JP22578788A JPH0514443B2 JP H0514443 B2 JPH0514443 B2 JP H0514443B2 JP 63225787 A JP63225787 A JP 63225787A JP 22578788 A JP22578788 A JP 22578788A JP H0514443 B2 JPH0514443 B2 JP H0514443B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- interdigital electrode
- conductor pattern
- resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 45
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 12
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 12
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 12
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 2
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、表面弾性波共振器およびこれを用い
た表面弾性波フイルタに係るもので、不要な振動
モードを抑圧する構造に関するものである。
た表面弾性波フイルタに係るもので、不要な振動
モードを抑圧する構造に関するものである。
インターデジタル電極とそれを挟む反射器を用
いて定在波を発生させ、所定の周波数において共
振する表面弾性波共振器が各方面で用いられてい
る。また、これを多段に組み合わせてフイルタと
して用いたり、共振器間のモード結合を利用した
多重モードフイルタなども利用されている。
いて定在波を発生させ、所定の周波数において共
振する表面弾性波共振器が各方面で用いられてい
る。また、これを多段に組み合わせてフイルタと
して用いたり、共振器間のモード結合を利用した
多重モードフイルタなども利用されている。
この多重モードフイルタは、二個の表面弾性波
（SAW）共振器を近接して配置し、それらを弾性
的に結合させると、二つの振動モードを生じさせ
るものである。すなわち、対称モードと反対称モ
ードの二つの振動モードであり、対称モードの共
振周波数と反対称モードの反共振周波数を一致さ
せて、二重モードSAWフイルタを構成する。
（SAW）共振器を近接して配置し、それらを弾性
的に結合させると、二つの振動モードを生じさせ
るものである。すなわち、対称モードと反対称モ
ードの二つの振動モードであり、対称モードの共
振周波数と反対称モードの反共振周波数を一致さ
せて、二重モードSAWフイルタを構成する。
また、単一の共振器内で二つの振動モードを生
じるタイプのものもあり、その共振器を複数配置
する多重モードフイルタもある。
じるタイプのものもあり、その共振器を複数配置
する多重モードフイルタもある。
また、所望の特性を得るために、複数のIDTを
並べて直列あるいは並列に接続する種々のフイル
タがある。
並べて直列あるいは並列に接続する種々のフイル
タがある。
上記のような表面弾性波多重モードフイルタや
その他のフイルタにおいて、第４図に破線３５で
示したように通過帯域の上側（タイプによつては
下側）にスプリアスを生じる。これは、共振器間
に必要以上の横方向の弾性的な結合が生じ、モー
ドの再結合が生じるためである。
その他のフイルタにおいて、第４図に破線３５で
示したように通過帯域の上側（タイプによつては
下側）にスプリアスを生じる。これは、共振器間
に必要以上の横方向の弾性的な結合が生じ、モー
ドの再結合が生じるためである。
一般に共振器の間隔は、上記の再結合を防止す
るため、表面弾性波の波長の10倍程度必要である
とされている。しかし、共振器間の間隔を大きく
するとチツプサイズも大きくなるといつた問題を
生じる。
るため、表面弾性波の波長の10倍程度必要である
とされている。しかし、共振器間の間隔を大きく
するとチツプサイズも大きくなるといつた問題を
生じる。
また、単一の共振器内においても不要な振動モ
ードが発生し、特性の劣化の原因となる。
ードが発生し、特性の劣化の原因となる。
本発明は、このような問題を解決して、振動エ
ネルギーおよび弾性的な結合を調整することによ
り、特性の良好な表面弾性波多重モードフイルタ
等の共振器を得ようとするものである。
ネルギーおよび弾性的な結合を調整することによ
り、特性の良好な表面弾性波多重モードフイルタ
等の共振器を得ようとするものである。
また、最小のスペースで効率よく結合を調整す
るものである。
るものである。
本発明は、トランスデユーサ（IDT）の端部側
で生じる横方向の不要な結合を小さくするため
に、IDT端部の基板端面側に導体パターンを配置
して上記の課題を解決するものである。
で生じる横方向の不要な結合を小さくするため
に、IDT端部の基板端面側に導体パターンを配置
して上記の課題を解決するものである。
すなわち、圧電性基板表面にインターデジタル
電極とそれにより励振される表面弾性波の伝播路
上に設けた該インターデジタル電極を挟む反射器
とから成る共振器において、該インターデジタル
電極の端部に表面弾性波の伝播方向に直角の方向
に伸びる導体パターンを具えたことに特徴を有す
るものである。
電極とそれにより励振される表面弾性波の伝播路
上に設けた該インターデジタル電極を挟む反射器
とから成る共振器において、該インターデジタル
電極の端部に表面弾性波の伝播方向に直角の方向
に伸びる導体パターンを具えたことに特徴を有す
るものである。
また、これを共振器型フイルタにも用い、結合
の調整に利用するものである。
の調整に利用するものである。
上記のようにIDTの端部に配置された導体パタ
ーンにより、IDTの外側の導体パターン部分では
表面弾性波の音速が遅くなるので、この部分に
IDTの端部で発生する不要な振動モードのエネル
ギーを集中させ、出力に影響しないようにする。
ーンにより、IDTの外側の導体パターン部分では
表面弾性波の音速が遅くなるので、この部分に
IDTの端部で発生する不要な振動モードのエネル
ギーを集中させ、出力に影響しないようにする。
また、共振器間の結合においても、端部におい
て発生する不要なモード結合を抑圧することがで
きる。
て発生する不要なモード結合を抑圧することがで
きる。
以下、図面を参照して、本発明の実施例につい
て説明する。
て説明する。
第１図は本発明の実施例を示す平面図である。
水晶等の圧電性を有する基板１０の表面に、櫛歯
状の電極が対向して交叉したインターデジタル電
極（IDT）１１と、そこで励振された表面弾性波
の伝播方向（両側）に配置された反射器１２によ
つて一個の共振器が構成されている。反射器１２
は表面弾性波の伝播方向に垂直な方向に伸びるス
トリツプ電極で構成されており、この例では全体
が端部で接続されたシヨート型となつている。
水晶等の圧電性を有する基板１０の表面に、櫛歯
状の電極が対向して交叉したインターデジタル電
極（IDT）１１と、そこで励振された表面弾性波
の伝播方向（両側）に配置された反射器１２によ
つて一個の共振器が構成されている。反射器１２
は表面弾性波の伝播方向に垂直な方向に伸びるス
トリツプ電極で構成されており、この例では全体
が端部で接続されたシヨート型となつている。
IDTで励振された表面弾性波は反射器で多重反
射され、定在波を発生し、エネルギー閉じ込めが
生じる。
射され、定在波を発生し、エネルギー閉じ込めが
生じる。
IDT１１の端部には、電極指とは反対の方向、
すなわち基板１０の端面側に伸びる導体のストリ
ツプライン１４が形成されている。この例では、
端部のストリツプラインが最も長く、中央に近づ
くにつれて短くなるように形成している。
すなわち基板１０の端面側に伸びる導体のストリ
ツプライン１４が形成されている。この例では、
端部のストリツプラインが最も長く、中央に近づ
くにつれて短くなるように形成している。
上記のストリツプラインの代わりに、第２図の
ように、端部が広がつた形状の導体パターン１５
を隙間なく形成してもよい。いずれの場合にも、
IDTと同時に同じ工程で形成可能である。
ように、端部が広がつた形状の導体パターン１５
を隙間なく形成してもよい。いずれの場合にも、
IDTと同時に同じ工程で形成可能である。
この導体パターン１４は、IDT１１の端部で発
生する不要な振動モードのエネルギーをこの部分
に集中させる役割を果たす。この導体パターン１
４によつて、この部分は表面弾性波の進行速度、
音速が遅くなる。したがつて、振動のエネルギー
がここに集中し易くなり、出力に不要な振動モー
ドの影響が生じにくくなる。
生する不要な振動モードのエネルギーをこの部分
に集中させる役割を果たす。この導体パターン１
４によつて、この部分は表面弾性波の進行速度、
音速が遅くなる。したがつて、振動のエネルギー
がここに集中し易くなり、出力に不要な振動モー
ドの影響が生じにくくなる。
第３図は、本発明を表面弾性波多重モードフイ
ルタに適用した例を示している。水晶等の圧電性
を有する基板２０の表面に、櫛歯状の電極が対向
して交叉したインターデジタル電極（IDT）２１
ａと、そこで励振された表面弾性波の伝播方向
（両側）に配置された反射器２２ａによつて一個
の共振器が構成されている。反射器２２ａは表面
弾性波の伝播方向に垂直な方向に伸びるストリツ
プ電極で構成されており、この例では全体が端部
で接続されたシヨート型となつている。
ルタに適用した例を示している。水晶等の圧電性
を有する基板２０の表面に、櫛歯状の電極が対向
して交叉したインターデジタル電極（IDT）２１
ａと、そこで励振された表面弾性波の伝播方向
（両側）に配置された反射器２２ａによつて一個
の共振器が構成されている。反射器２２ａは表面
弾性波の伝播方向に垂直な方向に伸びるストリツ
プ電極で構成されており、この例では全体が端部
で接続されたシヨート型となつている。
また、IDT２１ａの電極指の長手方向、すなわ
ち表面弾性波の伝播方向に対して直角な方向に、
IDT２１ｂが配置され、同様に反射器２２ｂがそ
れを挟んで配置される。これによつて二個の共振
器が同じ基板２０上に形成され、前記の多重モー
ドフイルタが構成される。
ち表面弾性波の伝播方向に対して直角な方向に、
IDT２１ｂが配置され、同様に反射器２２ｂがそ
れを挟んで配置される。これによつて二個の共振
器が同じ基板２０上に形成され、前記の多重モー
ドフイルタが構成される。
この表面弾性波多重モードフイルタにおいても
IDT２１ａ，２１ｂの端部に、基板２０の端面に
伸びるストリツプライン２４ａ，２４ｂが形成さ
れている。これによつて、二つの共振器間の端部
の結合を小さくすることができるので、不要なモ
ード結合が生じにくくなる。
IDT２１ａ，２１ｂの端部に、基板２０の端面に
伸びるストリツプライン２４ａ，２４ｂが形成さ
れている。これによつて、二つの共振器間の端部
の結合を小さくすることができるので、不要なモ
ード結合が生じにくくなる。
上記のような構造の本発明による表面弾性波多
重モードフイルタの通過帯域特性を第４図の実線
３６で示す。従来に比較してスプリアスが大幅に
抑圧されている。
重モードフイルタの通過帯域特性を第４図の実線
３６で示す。従来に比較してスプリアスが大幅に
抑圧されている。
導体パターンの形状は、上記のような例に限ら
れるものではなく、中央部に少なく、端部に多く
存在するような形状であれば、どのような形状で
もよい。また、厚みを変えて実質的に端部の導体
の量を多く形成することもできる。
れるものではなく、中央部に少なく、端部に多く
存在するような形状であれば、どのような形状で
もよい。また、厚みを変えて実質的に端部の導体
の量を多く形成することもできる。
本発明によれば、IDTの端部における不要な振
動モードの発生、および不要なモード結合を防ぐ
ことができる。したがつて、スプリアスの発生を
抑圧することができる。
動モードの発生、および不要なモード結合を防ぐ
ことができる。したがつて、スプリアスの発生を
抑圧することができる。
また、それにより、共振器を近接して配置でき
るので、素子の小型化も可能となる。
るので、素子の小型化も可能となる。
第１図は本発明の実施例を示す平面図、第２図
と第３図は本発明の他の実施例を示す平面図であ
り、第４図は従来例と本発明による場合の特性を
比較した説明図である。 １１，２１……IDT、１２，２２……反射器、
１４，２４……ストリツプライン。
と第３図は本発明の他の実施例を示す平面図であ
り、第４図は従来例と本発明による場合の特性を
比較した説明図である。 １１，２１……IDT、１２，２２……反射器、
１４，２４……ストリツプライン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 圧電性基板表面にインターデジタル電極とそ
れにより励振される表面弾性波の伝播路上に設け
た該インターデジタル電極を挟む反射器とから成
る表面弾性波共振器において、該インターデジタ
ル電極の両端部に、表面弾性波の伝播方向に直角
の方向に該表面弾性波の伝播路の反対側に伸びる
少なくとも一つの導体パターンを具えたことを特
徴とする表面弾性波共振器。 ２ 該導体パターンは、該インターデジタル電極
の端部ほど長く形成された請求項第１項記載の表
面弾性波共振器。 ３ 該導体パターンは、複数のストリツプライン
で形成され、該インターデジタル電極の端部ほど
長く形成された請求項第１項記載の表面弾性波共
振器。 ４ 圧電性基板表面にインターデジタル電極とそ
れにより励振される表面弾性波の伝播路上に設け
た該インターデジタル電極を挟む反射器とから成
る表面弾性波共振器を表面弾性波の伝播方向に垂
直な方向な方向に複数個配置した表面弾性波共振
器型フイルタにおいて、該圧電性基板の端面に最
も近い該インターデジタル電極の両端部に、表面
弾性波の伝播方向に直角の方向に該表面弾性波の
伝播路の反対側に伸びる少なくとも一つの導体パ
ターンを具えたことを特徴とする表面弾性波共振
器型フイルタ。 ５ 該導体パターンは、該インターデジタル電極
の端部ほど長く形成された請求項第４項記載の表
面弾性波共振器型フイルタ。 ６ 該導体パターンは、複数のストリツプライン
で形成され、該インターデジタル電極の端部ほど
長く形成された請求項第４項記載の表面弾性波共
振器型フイルタ。 ７ 圧電性基板表面にインターデジタル電極とそ
れにより励振される表面弾性波の伝播路上に設け
た該インターデジタル電極を挟む反射器とから成
る表面弾性波共振器を表面弾性波の伝播方向に垂
直な方向な方向に複数個配置した表面弾性波多重
モード共振器型フイルタにおいて、該圧電性基板
の端面に最も近い該インターデジタル電極の両端
部に、表面弾性波の伝播方向に直角の方向に該表
面弾性波の伝播路の反対側に伸びる少なくとも一
つの導体パターンを具えたことを特徴とする表面
弾性波多重モード共振器型フイルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22578788A JPH0275215A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 表面弾性波共振器およびフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22578788A JPH0275215A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 表面弾性波共振器およびフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0275215A JPH0275215A (ja) | 1990-03-14 |
| JPH0514443B2 true JPH0514443B2 (ja) | 1993-02-25 |
Family
ID=16834771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22578788A Granted JPH0275215A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 表面弾性波共振器およびフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0275215A (ja) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54117733A (en) * | 1978-02-09 | 1979-09-12 | Foret Cellulose | Culture soil |
| JPS5642420A (en) * | 1979-09-13 | 1981-04-20 | Morio Onoe | Piezoelectric vibrator |
| JPS61142812A (ja) * | 1984-12-17 | 1986-06-30 | Toshiba Corp | 弾性表面波フイルタ |
| JPS61285814A (ja) * | 1985-06-12 | 1986-12-16 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 縦型２重モ−ドｓａｗフイルタ |
| JPS61288508A (ja) * | 1985-06-14 | 1986-12-18 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
| JPS6210520B2 (ja) * | 1980-01-18 | 1987-03-06 | Toyo Jozo Kk | |
| JPS6314510A (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-21 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6210520U (ja) * | 1985-07-03 | 1987-01-22 | ||
| JPS62139126U (ja) * | 1986-02-24 | 1987-09-02 |
-
1988
- 1988-09-09 JP JP22578788A patent/JPH0275215A/ja active Granted
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54117733A (en) * | 1978-02-09 | 1979-09-12 | Foret Cellulose | Culture soil |
| JPS5642420A (en) * | 1979-09-13 | 1981-04-20 | Morio Onoe | Piezoelectric vibrator |
| JPS6210520B2 (ja) * | 1980-01-18 | 1987-03-06 | Toyo Jozo Kk | |
| JPS61142812A (ja) * | 1984-12-17 | 1986-06-30 | Toshiba Corp | 弾性表面波フイルタ |
| JPS61285814A (ja) * | 1985-06-12 | 1986-12-16 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 縦型２重モ−ドｓａｗフイルタ |
| JPS61288508A (ja) * | 1985-06-14 | 1986-12-18 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
| JPS6314510A (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-21 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0275215A (ja) | 1990-03-14 |
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