JPS6382115A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS6382115A JPS6382115A JP22779386A JP22779386A JPS6382115A JP S6382115 A JPS6382115 A JP S6382115A JP 22779386 A JP22779386 A JP 22779386A JP 22779386 A JP22779386 A JP 22779386A JP S6382115 A JPS6382115 A JP S6382115A
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- acoustic wave
- electrode
- substrate
- power flow
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 76
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 51
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 33
- 229910012463 LiTaO3 Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明は、弾性表面波フィルタ、弾性表面波共振子、弾
性表面波遅延線等に適用するのに好適な弾性表面波装置
に関する。
性表面波遅延線等に適用するのに好適な弾性表面波装置
に関する。
（従来の技術）
近年、弾性表面波装置は、フィルタ、共振子、遅延線等
のデバイスとして広く用いられるようになってきた。
のデバイスとして広く用いられるようになってきた。
たとえば弾性表面波フィルタは、第４図に示すように、
矩形状の圧電基板１上に、一対の櫛歯電極２ａ、２ａを
交差してなる励振電極２と、同様に一対の櫛歯電極３ａ
、３ａを交差してなる受信電極３とが形成されてなるも
のであり、励振電極２から励振された弾性表面波が圧電
基板１上を伝搬し受信電極３で受信されるようになって
いる。
矩形状の圧電基板１上に、一対の櫛歯電極２ａ、２ａを
交差してなる励振電極２と、同様に一対の櫛歯電極３ａ
、３ａを交差してなる受信電極３とが形成されてなるも
のであり、励振電極２から励振された弾性表面波が圧電
基板１上を伝搬し受信電極３で受信されるようになって
いる。
なお、圧電基板１上の両端近傍には吸音剤４．４が形成
されており、この吸音材４により、この弾性表面波が圧
電基板１の端面で反射する反射波の防止すなわち吸収す
ることができる。
されており、この吸音材４により、この弾性表面波が圧
電基板１の端面で反射する反射波の防止すなわち吸収す
ることができる。
また、第５図は弾性表面波共振子の一例を示す図である
。この弾性表面波共振子は、同図に示すように、矩形状
の圧電基板５上に、一対の櫛歯電［ｉ６ａ、６ａを交差
してなる励振電′Ｉｆ１６と、この励１１ｉｉ電極６を
挟むように２組の反射電極７．７が形成されてなるもの
である。そして、励振電極６から励振された弾性表面波
は圧電基板５上を伝搬し反射電極７で反射され、この反
射電極７により弾性表面波のエネルギーがこの弾性表面
波共振子内に蓄積される。この結果、たとえば共振周波
数が１００ＭＨｚで設計されたものは１８０００程度の
高い無負荷Ｑが得られるようになっている。
。この弾性表面波共振子は、同図に示すように、矩形状
の圧電基板５上に、一対の櫛歯電［ｉ６ａ、６ａを交差
してなる励振電′Ｉｆ１６と、この励１１ｉｉ電極６を
挟むように２組の反射電極７．７が形成されてなるもの
である。そして、励振電極６から励振された弾性表面波
は圧電基板５上を伝搬し反射電極７で反射され、この反
射電極７により弾性表面波のエネルギーがこの弾性表面
波共振子内に蓄積される。この結果、たとえば共振周波
数が１００ＭＨｚで設計されたものは１８０００程度の
高い無負荷Ｑが得られるようになっている。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで上記したような各種の弾性表面波装置の圧電基
板に、たとえばＸｃｕ ｔ −１１２６Ｙ伝搬のＬ ｉ
Ｔ ａ Ｏ３基板のようにパワーフロー角を有する基
板すなわち弾性表面波の波面の法線方向（位相伝搬方向
）とこの弾性表面波のパワーフローの方向くエネルギー
流の方向）とが所定の角度（以下、パワーフロー角と呼
ぶ）を有する基板を用いた場合、種々の問題が生じる。
板に、たとえばＸｃｕ ｔ −１１２６Ｙ伝搬のＬ ｉ
Ｔ ａ Ｏ３基板のようにパワーフロー角を有する基
板すなわち弾性表面波の波面の法線方向（位相伝搬方向
）とこの弾性表面波のパワーフローの方向くエネルギー
流の方向）とが所定の角度（以下、パワーフロー角と呼
ぶ）を有する基板を用いた場合、種々の問題が生じる。
たとえば弾性表面波フィルタにおいては、励振電極２か
ら励振された弾性表面波は圧電基板１を伝搬する際上記
したパワーフロー角により傾きを生じ、受信電極３には
充分に受信されないことがある。また上記したように傾
きを生じて圧電基板１上を伝搬する弾性表面波には、圧
電基板１上の吸音剤４が形成されていない端部で反射し
、しかる後受信電極３で受信されるものがあるため、リ
ップルが大きくなるばかりでなく、所望の振幅、遅延時
間特性が得られないことがある。このため、たとえば第
６図に示すように、励振電極２および受信電極３の電極
パターンをパワーフローの方向に沿って形成したものが
知られている。しかしながらこの場合、圧電基板１の吸
音剤４が形成されていない端部での弾性表面波の反射波
が受信電極３へ受信された振幅、群遅延等の周波数特性
に悪影響をおよぼすことを防止することができないとい
う問題がある。
ら励振された弾性表面波は圧電基板１を伝搬する際上記
したパワーフロー角により傾きを生じ、受信電極３には
充分に受信されないことがある。また上記したように傾
きを生じて圧電基板１上を伝搬する弾性表面波には、圧
電基板１上の吸音剤４が形成されていない端部で反射し
、しかる後受信電極３で受信されるものがあるため、リ
ップルが大きくなるばかりでなく、所望の振幅、遅延時
間特性が得られないことがある。このため、たとえば第
６図に示すように、励振電極２および受信電極３の電極
パターンをパワーフローの方向に沿って形成したものが
知られている。しかしながらこの場合、圧電基板１の吸
音剤４が形成されていない端部での弾性表面波の反射波
が受信電極３へ受信された振幅、群遅延等の周波数特性
に悪影響をおよぼすことを防止することができないとい
う問題がある。
また、第５図に示した弾性表面波共振子においても同様
である。すなわち、励振電極６から励振された弾性表面
波には、圧電基板５上を伝搬する際上記したパワーフロ
ー角により傾きを生じ、反射電極７で直接反射されるこ
となく圧電基板５上の端部で反射し、しかる後励振電極
６に戻ってくるものがある。このため、圧電基板５端面
で反射したこの弾性表面波と反射電極７で直接反射され
な弾性表面波とで位相の差位が生じ、無負荷Ｑの低下を
招くことになる。このことを防止するためには、励振電
極６の電極指交差幅を大きくすることが考えられる。た
とえば上記しなＸｃｕｔ−１１２°Ｙ伝搬のＬｉＴａＯ
３基板上に、１９本の電極指からなる励振電極６と、２
５０本の電極からなる反射電極７とをそれぞれＭ厚が２
．３μｍとなるようにＡＪ２で形成し、かっ励振電極指
の交差幅を３波長、７波長、１３波長、３０波長とする
と無負荷Ｑはそれぞれ７５００、１４０００、１７５０
０．２００００となる。
である。すなわち、励振電極６から励振された弾性表面
波には、圧電基板５上を伝搬する際上記したパワーフロ
ー角により傾きを生じ、反射電極７で直接反射されるこ
となく圧電基板５上の端部で反射し、しかる後励振電極
６に戻ってくるものがある。このため、圧電基板５端面
で反射したこの弾性表面波と反射電極７で直接反射され
な弾性表面波とで位相の差位が生じ、無負荷Ｑの低下を
招くことになる。このことを防止するためには、励振電
極６の電極指交差幅を大きくすることが考えられる。た
とえば上記しなＸｃｕｔ−１１２°Ｙ伝搬のＬｉＴａＯ
３基板上に、１９本の電極指からなる励振電極６と、２
５０本の電極からなる反射電極７とをそれぞれＭ厚が２
．３μｍとなるようにＡＪ２で形成し、かっ励振電極指
の交差幅を３波長、７波長、１３波長、３０波長とする
と無負荷Ｑはそれぞれ７５００、１４０００、１７５０
０．２００００となる。
しかしながらこの場合、インピーダンスの低下、チップ
サイズの大型化につながるばがってなく、横モードによ
るスプリアスが増大するという問題が生じる。
サイズの大型化につながるばがってなく、横モードによ
るスプリアスが増大するという問題が生じる。
またパワーフロー角により弾性表面波がもれる臨界角に
ついて考えてみた場合、この臨界角を小さくするために
は圧電基板上の自由表面での弾性表面波の伝搬速度より
も電極パターン内での伝搬速度の方が充分に小さくなる
ことが必要であり、このためには電極パターンの膜厚を
充分に厚くすることが必要とされる。しかしながら電極
パターンの膜厚を膜質が良く、ばらつきが少なく、かつ
精度良く厚くすることは極めて困難であり、また製造コ
ストに影響を与えることになる。
ついて考えてみた場合、この臨界角を小さくするために
は圧電基板上の自由表面での弾性表面波の伝搬速度より
も電極パターン内での伝搬速度の方が充分に小さくなる
ことが必要であり、このためには電極パターンの膜厚を
充分に厚くすることが必要とされる。しかしながら電極
パターンの膜厚を膜質が良く、ばらつきが少なく、かつ
精度良く厚くすることは極めて困難であり、また製造コ
ストに影響を与えることになる。
本発明はこのような事情に基づいてなされてもので、弾
性表面波が電極パターンの配置方向および基板の端部形
状に沿って伝搬し、さらには製造コストの低減および小
型軽量化を図ることができる弾性表面波装置を提供する
ことを目的としている。
性表面波が電極パターンの配置方向および基板の端部形
状に沿って伝搬し、さらには製造コストの低減および小
型軽量化を図ることができる弾性表面波装置を提供する
ことを目的としている。
［発明の楕戒コ
（問題点を解決するための手段）
すなわち本発明の弾性表面波装置は、少なくとも対向す
る１組の辺が平行をなす弾性表面波を伝搬する基板と、
この基板上に前記１組の辺と直角以外の所定角度をなす
１組の辺に沿って配置された励振手段と、前記基板上に
前記１組の辺と直角以外の所定の角度をなす前記１組の
辺に沿い、かつ前記励振手段から励振された弾性表面波
を受信する受信手段と前記励振手段から励振された弾性
表面波を反射する反射器との少なくとも一方とから成る
。
る１組の辺が平行をなす弾性表面波を伝搬する基板と、
この基板上に前記１組の辺と直角以外の所定角度をなす
１組の辺に沿って配置された励振手段と、前記基板上に
前記１組の辺と直角以外の所定の角度をなす前記１組の
辺に沿い、かつ前記励振手段から励振された弾性表面波
を受信する受信手段と前記励振手段から励振された弾性
表面波を反射する反射器との少なくとも一方とから成る
。
（作 用）
本発明の弾性表面波装置において、弾性表面波を伝搬す
る基板の少なくとも対向する１組の辺が平行をなし、こ
の基板上の励振手段および受信手段もしくは反射器がこ
の１組の辺と直角以外の所定角度をなしかっこの１組の
辺に沿って配置されているので、弾性表面波が励振手段
および受信手段もしくは反射器の配置方向ならびに基板
の端部形状に沿って伝搬し、さらには製造コストの低減
および小型軽量化を図ることができるようになる。
る基板の少なくとも対向する１組の辺が平行をなし、こ
の基板上の励振手段および受信手段もしくは反射器がこ
の１組の辺と直角以外の所定角度をなしかっこの１組の
辺に沿って配置されているので、弾性表面波が励振手段
および受信手段もしくは反射器の配置方向ならびに基板
の端部形状に沿って伝搬し、さらには製造コストの低減
および小型軽量化を図ることができるようになる。
（実施例）
以下、本発明の実施例の詳細を図面に基づいて説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例に係る弾性表面波フィルタを
示す図である。同図において、符号１１はパワーフロー
角を有するＸｃｕｔ −１１２’ Ｙ伝搬のＬ ｉ Ｔ
ａ Ｏ３からなる圧電基板であり、この圧電基板１１
上には一対の櫛歯電極１２ａ、１２ａを交差してなる励
振電極１２と、同様に一対の櫛歯型＠！１３ ａ、１３
ａを交差してなる受信電極１３とが形成されている。ま
た、上記圧電基板１１の一方の対向する１組の辺は平行
をなし、かつパワーフローの方向（エネルギーの伝搬方
向）と平行をなしている。さらにまた、上記励振電極１
２および受信電極１３の櫛歯電極１２ａ、１３ａの電極
指１２ｂ・・・、１３ｂ・・・はパワーフローの方向に
沿って配置されている。換言するならば、励振電極１２
および受信電極１３のショートブスバー１２０．１３ｃ
はそれぞれ上記パワーフローの方向とほぼ同一方向に向
けて形成されている。なお、圧電基板１１」二の両端近
傍には吸音剤１４．１４が形成されており、この圧電基
板１１上の両端部での弾性表面波の乱反射の防止がなさ
れる。
示す図である。同図において、符号１１はパワーフロー
角を有するＸｃｕｔ −１１２’ Ｙ伝搬のＬ ｉ Ｔ
ａ Ｏ３からなる圧電基板であり、この圧電基板１１
上には一対の櫛歯電極１２ａ、１２ａを交差してなる励
振電極１２と、同様に一対の櫛歯型＠！１３ ａ、１３
ａを交差してなる受信電極１３とが形成されている。ま
た、上記圧電基板１１の一方の対向する１組の辺は平行
をなし、かつパワーフローの方向（エネルギーの伝搬方
向）と平行をなしている。さらにまた、上記励振電極１
２および受信電極１３の櫛歯電極１２ａ、１３ａの電極
指１２ｂ・・・、１３ｂ・・・はパワーフローの方向に
沿って配置されている。換言するならば、励振電極１２
および受信電極１３のショートブスバー１２０．１３ｃ
はそれぞれ上記パワーフローの方向とほぼ同一方向に向
けて形成されている。なお、圧電基板１１」二の両端近
傍には吸音剤１４．１４が形成されており、この圧電基
板１１上の両端部での弾性表面波の乱反射の防止がなさ
れる。
しかして、圧電基板１１はパワーフロー角を有するＸｃ
ｕ ｔ −１１２’ Ｙ伝搬のＬ ｉ Ｔ ａ Ｏ３
からなるものであるため、第２図に示すように、この圧
電基板１１上を伝搬する弾性表面波の波面の法線方向１
５とこの弾性表面波のパワーフローの方向１６とがパワ
ーフロー角に相当する角度φの差異を生じることになる
が、この実施例の弾性表面波フィルタにおいては励振電
極１２および受信量′ＩＩ７！１３の電極指１２ｂ、１
３ｂがパワーフローの方向に沿って形成されているので
、励振電極１２から励振された弾性表面波の大半が受信
電極１３に受信されることになり、この受信電極１３へ
の弾性表面波の受信量の低下を防止することができる。
ｕ ｔ −１１２’ Ｙ伝搬のＬ ｉ Ｔ ａ Ｏ３
からなるものであるため、第２図に示すように、この圧
電基板１１上を伝搬する弾性表面波の波面の法線方向１
５とこの弾性表面波のパワーフローの方向１６とがパワ
ーフロー角に相当する角度φの差異を生じることになる
が、この実施例の弾性表面波フィルタにおいては励振電
極１２および受信量′ＩＩ７！１３の電極指１２ｂ、１
３ｂがパワーフローの方向に沿って形成されているので
、励振電極１２から励振された弾性表面波の大半が受信
電極１３に受信されることになり、この受信電極１３へ
の弾性表面波の受信量の低下を防止することができる。
また、この弾性表面波が圧電基板１１上の吸音剤１４が
形成されない端部に伝搬することはほとんどなくなり、
所望とする振幅遅延時間特性が得られる。
形成されない端部に伝搬することはほとんどなくなり、
所望とする振幅遅延時間特性が得られる。
次に本発明装置を弾性表面波共振子に適用した第２の実
施例を第３図に基づいて説明する。同図において、符号
２１はパワーフロー角を有するＸｃｕｔ−１１２°Ｙ伝
搬のＬ ｉ Ｔ ａ Ｏ３からなる圧電基板であり、こ
の圧電基板２１上には一対の櫛歯電極２２ａ、２２ａを
交差してなる励振電極２２と、この励振電極２２を挟む
ように配置された２組の多数の電ｔｆ！２３ ａ・・・
をショートブスバー２３ｂで短絡してなる反射器′！ｆ
１２３とが形成されている。また、上記圧電基板２１の
一方の対向する１組の辺は平行をなし、かつパワーフロ
ーの方向と平行をなしている。さらにまた、励振電極２
２の電極指２２ｂおよび反射ｔ［ｒ２３の電！２３ａは
パワー７０−の方向に沿って配置されている。
施例を第３図に基づいて説明する。同図において、符号
２１はパワーフロー角を有するＸｃｕｔ−１１２°Ｙ伝
搬のＬ ｉ Ｔ ａ Ｏ３からなる圧電基板であり、こ
の圧電基板２１上には一対の櫛歯電極２２ａ、２２ａを
交差してなる励振電極２２と、この励振電極２２を挟む
ように配置された２組の多数の電ｔｆ！２３ ａ・・・
をショートブスバー２３ｂで短絡してなる反射器′！ｆ
１２３とが形成されている。また、上記圧電基板２１の
一方の対向する１組の辺は平行をなし、かつパワーフロ
ーの方向と平行をなしている。さらにまた、励振電極２
２の電極指２２ｂおよび反射ｔ［ｒ２３の電！２３ａは
パワー７０−の方向に沿って配置されている。
換言するならば、励振電極２２のショートブスバー２２
ｃおよび反射電極２３のショートブスバー２３ｂはそれ
ぞれ上記パワーフローの方向とほぼ同一方向に向けて形
成されている。
ｃおよび反射電極２３のショートブスバー２３ｂはそれ
ぞれ上記パワーフローの方向とほぼ同一方向に向けて形
成されている。
しかしてこの実施例の弾性表面波共振子によれば、励振
＠、＃！２２の電極指２２ｂおよび反射電極２３の電ｔ
１２３ａが弾性表面波のパワーフローの方向に沿って配
置されているため、励振電極２２から励振された弾性表
面波は反射電極２３で直接反射されることが多くなり、
また、この反射電極２３で直接反射することなく圧電基
板２１上の端部で反射するものは、この端部との反射角
が非常に小さいものとなる。このため、励振電極２２に
戻る弾性表面波の位相の差異はほとんどなくなり、高い
無負荷Ｑを得ることができるようになる。
＠、＃！２２の電極指２２ｂおよび反射電極２３の電ｔ
１２３ａが弾性表面波のパワーフローの方向に沿って配
置されているため、励振電極２２から励振された弾性表
面波は反射電極２３で直接反射されることが多くなり、
また、この反射電極２３で直接反射することなく圧電基
板２１上の端部で反射するものは、この端部との反射角
が非常に小さいものとなる。このため、励振電極２２に
戻る弾性表面波の位相の差異はほとんどなくなり、高い
無負荷Ｑを得ることができるようになる。
なお、上述した実施例の弾性表面波フィルタおよび弾性
表面波共振子はいずれも電極パターン形成の際圧電基板
の端部を基準位置として容易に形成をすることができる
。また、圧電基板の面積を縮小させることがでる。この
ため、製造コストの低減および小型軽量化を図ることが
できるようになる。また、上述の実施例では、反射器と
して複数の電極指から構成された反射電極で説明したが
、本発明はこれに限らず基板上に設けた複数の渭（グレ
ーグ）からなる反射器であっても良いことは言うまでも
ない ［発明の効果］ 以上説明したように本発明の弾性表面波装置によれば、
弾性表面波が電極パターンの配置方向および基板の端部
形状に沿って伝搬する。このため、たとえば弾性表面波
フィルタにおいては弾性表面波の受信量の低下を防止す
ることができ、また弾性表面波共振子においては高い無
負荷Ｑを得ることができるようになる。また製造コスト
の低減および小型軽量化を図ることができるようになる
。
表面波共振子はいずれも電極パターン形成の際圧電基板
の端部を基準位置として容易に形成をすることができる
。また、圧電基板の面積を縮小させることがでる。この
ため、製造コストの低減および小型軽量化を図ることが
できるようになる。また、上述の実施例では、反射器と
して複数の電極指から構成された反射電極で説明したが
、本発明はこれに限らず基板上に設けた複数の渭（グレ
ーグ）からなる反射器であっても良いことは言うまでも
ない ［発明の効果］ 以上説明したように本発明の弾性表面波装置によれば、
弾性表面波が電極パターンの配置方向および基板の端部
形状に沿って伝搬する。このため、たとえば弾性表面波
フィルタにおいては弾性表面波の受信量の低下を防止す
ることができ、また弾性表面波共振子においては高い無
負荷Ｑを得ることができるようになる。また製造コスト
の低減および小型軽量化を図ることができるようになる
。
第１図は本発明の一実施例に係る弾性表面波フィルタを
示す正面図、第２図はパワーフロー角を説明するための
図、第３図は本発明の他の実施例に係る弾性表面波共振
子を示す正面図、第４図および第６図は従来の弾性表面
波フィルタを示す正面図、第５図は従来の弾性表面波共
振子を示す正面図である。 １１・・・・・・・・・圧電基板 １２・・・・・・・・・励振電極 １３・・・・・・・・・受信電極 出願人 株式会社 東芝 代理人 弁理士 須 山 佐 − 第６図
示す正面図、第２図はパワーフロー角を説明するための
図、第３図は本発明の他の実施例に係る弾性表面波共振
子を示す正面図、第４図および第６図は従来の弾性表面
波フィルタを示す正面図、第５図は従来の弾性表面波共
振子を示す正面図である。 １１・・・・・・・・・圧電基板 １２・・・・・・・・・励振電極 １３・・・・・・・・・受信電極 出願人 株式会社 東芝 代理人 弁理士 須 山 佐 − 第６図
Claims (7)
- （１）少なくとも対向する１組の辺が平行をなす弾性表
面波を伝搬する基板と、 この基板上に前記１組の辺と直角以外の所定角度をなす
１組の辺に沿って配置された励振手段と、前記基板上に
前記１組の辺と直角以外の所定の角度をなす前記１組の
辺に沿い、かつ前記励振手段から励振された弾性表面波
を受信する受信手段と前記励振手段から励振された弾性
表面波を反射する反射器との少なくとも一方とから成る
ことを特徴とする弾性表面波装置。 - （２）前記基板が、パワーフロー角を有するものである
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表面
波装置。 - （３）前記基板の対向する１組の辺が、パワーフローの
方向と略平行をなしていることを特徴とする特許請求の
範囲第２項記載の弾性表面波装置。 - （４）前記励振手段は、複数の電極指から構成されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表
面波装置。 - （５）前記受信手段は、複数の電極指から構成されてて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性
表面波装置。 - （６）前記反射器は、複数の電極指から構成されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表面
波装置。 - （７）前記反射器は、前記基板上に設けられた複数の溝
から構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の弾性表面波波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22779386A JPS6382115A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22779386A JPS6382115A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6382115A true JPS6382115A (ja) | 1988-04-12 |
Family
ID=16866474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22779386A Pending JPS6382115A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6382115A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5895996A (en) * | 1994-09-29 | 1999-04-20 | Seiko Epson Corporation | Saw device |
| JP2008022227A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| US20180102760A1 (en) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | Qorvo Us, Inc. | Slanted apodization for acoustic wave devices |
-
1986
- 1986-09-26 JP JP22779386A patent/JPS6382115A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5895996A (en) * | 1994-09-29 | 1999-04-20 | Seiko Epson Corporation | Saw device |
| JP2008022227A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| US20180102760A1 (en) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | Qorvo Us, Inc. | Slanted apodization for acoustic wave devices |
| US11095266B2 (en) * | 2016-10-07 | 2021-08-17 | Qorvo Us, Inc. | Slanted apodization for acoustic wave devices |
| US11716069B2 (en) | 2016-10-07 | 2023-08-01 | Qorvo Us, Inc. | Slanted apodization for acoustic wave devices |
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