JP2539789Y2 - 弾性表面波フィルタの電極構造 - Google Patents
弾性表面波フィルタの電極構造Info
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- JP2539789Y2 JP2539789Y2 JP1990059090U JP5909090U JP2539789Y2 JP 2539789 Y2 JP2539789 Y2 JP 2539789Y2 JP 1990059090 U JP1990059090 U JP 1990059090U JP 5909090 U JP5909090 U JP 5909090U JP 2539789 Y2 JP2539789 Y2 JP 2539789Y2
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- Japan
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- electrode
- common electrode
- finger
- input
- reflector
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、弾性表面波を利用してなる二重モードフィ
ルタの電極構造に関する。
ルタの電極構造に関する。
従来の弾性表面波フィルタの電極構造としては、特願
昭56−206816号及び特願昭57−131855号等があった。
昭56−206816号及び特願昭57−131855号等があった。
しかし、前述の従来技術では二重モードフィルタを構
成する第１と第２の弾性表面波共振子間の振動変位の弾
性的結合が安定的に行なわれず対称モードと斜対称モー
ドの入力インピーダンスが等しくなりにくいという問題
点を有する。そこで本考案はこのような問題点を解決す
るもので、その目的とするところは、通過帯域の減衰特
性が傾きなく平坦で、かつ安定な弾性表面波フィルタを
市場に提供することにある。
成する第１と第２の弾性表面波共振子間の振動変位の弾
性的結合が安定的に行なわれず対称モードと斜対称モー
ドの入力インピーダンスが等しくなりにくいという問題
点を有する。そこで本考案はこのような問題点を解決す
るもので、その目的とするところは、通過帯域の減衰特
性が傾きなく平坦で、かつ安定な弾性表面波フィルタを
市場に提供することにある。
本考案の弾性表面波フィルタの電極構造は、 弾性表面波を放射する放射器と、前記弾性表面波を反
射する第１の反射器と第２の反射器とを前記放射器を挟
んで配置し、前記第１の反射器の端部と前記放射器の端
部と前記第２の反射器の端部とが共通電極により接続さ
れるとともに接地される第１の正規型電極指と、 前記第１の正規型電極指と前記共通電極に対し線対称
に配設される第２の正規型電極指と、 からなり、互いに異なる共振周波数をもつ対称モード
と斜対称モードにより合成された周波数特性を有する弾
性表面波フィルタの電極構造において、 前記第１の反射器と前記第２の反射器とを構成する電
極指は、前記共通電極を挟んで配設された入出力側バス
バー導体から前記共通電極に延設され接続される第１の
電極指と、前記入出力側バスバー導体と接続され前記入
出力側バスバー導体から前記共通電極に向かって延設さ
れ前記共通電極に接続されない第２の電極指とが、交互
に配設されてなり、 前記放射器を構成する電極指は、前記共通電極を挟ん
で配設された接続端子用入出力側バスバー導体から前記
共通電極に向かって延設され前記共通電極に接続されな
い第３の電極指と、前記共通電極から前記接続端子用入
出力側バスバー導体に向かって延設され前記接続端子用
入出力側バスバー導体に接続されない第４の電極指との
間で櫛歯電極を構成してなり、 前記第１の電極指、前記第２の電極指、前記第３の電
極指及び前記第４の電極指はほぼ同一の間隔で配設さ
れ、 前記共通電極近傍で、前記第２の電極指と前記共通電
極との間隔と、前記第３の電極指と前記共通電極との間
隔が等しいことを特徴とする。
射する第１の反射器と第２の反射器とを前記放射器を挟
んで配置し、前記第１の反射器の端部と前記放射器の端
部と前記第２の反射器の端部とが共通電極により接続さ
れるとともに接地される第１の正規型電極指と、 前記第１の正規型電極指と前記共通電極に対し線対称
に配設される第２の正規型電極指と、 からなり、互いに異なる共振周波数をもつ対称モード
と斜対称モードにより合成された周波数特性を有する弾
性表面波フィルタの電極構造において、 前記第１の反射器と前記第２の反射器とを構成する電
極指は、前記共通電極を挟んで配設された入出力側バス
バー導体から前記共通電極に延設され接続される第１の
電極指と、前記入出力側バスバー導体と接続され前記入
出力側バスバー導体から前記共通電極に向かって延設さ
れ前記共通電極に接続されない第２の電極指とが、交互
に配設されてなり、 前記放射器を構成する電極指は、前記共通電極を挟ん
で配設された接続端子用入出力側バスバー導体から前記
共通電極に向かって延設され前記共通電極に接続されな
い第３の電極指と、前記共通電極から前記接続端子用入
出力側バスバー導体に向かって延設され前記接続端子用
入出力側バスバー導体に接続されない第４の電極指との
間で櫛歯電極を構成してなり、 前記第１の電極指、前記第２の電極指、前記第３の電
極指及び前記第４の電極指はほぼ同一の間隔で配設さ
れ、 前記共通電極近傍で、前記第２の電極指と前記共通電
極との間隔と、前記第３の電極指と前記共通電極との間
隔が等しいことを特徴とする。
第１図は本考案の実施例に於る弾性表面波フィルタの
電極構造の平面図である。図中の各部位について説明す
ると100は圧電体平板であって、水晶、LiTaO3、LiNbO3
等の圧電材料からなる。
電極構造の平面図である。図中の各部位について説明す
ると100は圧電体平板であって、水晶、LiTaO3、LiNbO3
等の圧電材料からなる。
120と121は正規型電極指、101,102,103は出力側バス
バー導体、104,105,106は入力側バスバー導体であっ
て、前記正規型電極指のバスバー導体を４ケ所で切断し
てできる部分である。次に107と108は各々出力側及び入
力側バスバー導体に接続する出力端子部（107）と入力
端子部（108）であって、さらにこれらは、ワイヤーボ
ンディング、ギャグボンド等の手段により出力端子109
と入力端子110に接続される。次に122は共通電極であっ
て、２つの正規型電極指120と121の相接続する側のバス
バー導体を一体として形成されたものである。113と117
は各々第１の接地端子部と第２の接地端子部であって、
前記122の共通電極に接続する。さらに114と118は本実
施例の弾性表面波フィルタのチップをマウントするメタ
ル又はセラミック等のケース側の接地部位であって、ワ
イヤーボンディング、ギャグボンド等の手段により前記
117及び113に接続する。次に111,112,115,116の各導体
は各々101,104及び103,106の各バスバー導体と第１の接
地端子部及び第２の接地端子部を接続するための導体で
ある。さらに共通電極122の一部の電極指は101,103,10
4,106のバスバー導体に延長して接続されている。以上
述べた各電極及び導体の製法は、圧電体平板100の表面
を鏡面とした上で、Al、Au、Ag等の金属を蒸着、スパッ
タ等の手段により薄膜形成して後ホトリソグラフィ等の
加工によりパターン形成してなる。前記120及び121の正
規型電極指については、必ずしも等ピッチである必要は
なく、可変ピッチ又は階段状に変化するピッチの電極指
であっても良いし、又正規型電極指の膜厚が一様でなく
ても良く適切に設定されるべきである。
バー導体、104,105,106は入力側バスバー導体であっ
て、前記正規型電極指のバスバー導体を４ケ所で切断し
てできる部分である。次に107と108は各々出力側及び入
力側バスバー導体に接続する出力端子部（107）と入力
端子部（108）であって、さらにこれらは、ワイヤーボ
ンディング、ギャグボンド等の手段により出力端子109
と入力端子110に接続される。次に122は共通電極であっ
て、２つの正規型電極指120と121の相接続する側のバス
バー導体を一体として形成されたものである。113と117
は各々第１の接地端子部と第２の接地端子部であって、
前記122の共通電極に接続する。さらに114と118は本実
施例の弾性表面波フィルタのチップをマウントするメタ
ル又はセラミック等のケース側の接地部位であって、ワ
イヤーボンディング、ギャグボンド等の手段により前記
117及び113に接続する。次に111,112,115,116の各導体
は各々101,104及び103,106の各バスバー導体と第１の接
地端子部及び第２の接地端子部を接続するための導体で
ある。さらに共通電極122の一部の電極指は101,103,10
4,106のバスバー導体に延長して接続されている。以上
述べた各電極及び導体の製法は、圧電体平板100の表面
を鏡面とした上で、Al、Au、Ag等の金属を蒸着、スパッ
タ等の手段により薄膜形成して後ホトリソグラフィ等の
加工によりパターン形成してなる。前記120及び121の正
規型電極指については、必ずしも等ピッチである必要は
なく、可変ピッチ又は階段状に変化するピッチの電極指
であっても良いし、又正規型電極指の膜厚が一様でなく
ても良く適切に設定されるべきである。
次に本実施例によって得られる二重モードフィルタの
特徴につき第２図と第３図さらに第４図を使って説明す
る。第２図と第３図は第１図実施例に於ける二重モード
フィルタが有する対称と斜対称モードの変位を示した変
位図である。まず第２図は、前記対称と斜対称モードの
第１図実施例の水平方向をｘ軸とした場合の振幅変位
（201）を示したもので、中央で振幅が大きく両端で振
幅はほぼ零に減少しているエネルギ閉込状態を実現して
いる。次に第３図は第１図実施例に於ける縦方向ｙ軸の
振動変位の振幅変化を示しものであり、図中の300が本
考案による対称モードの変位、301は斜対称モードの変
位である。さらに従来と本考案の実施例との特性の差を
比較したものが第４図の特性図である。図中、左側縦軸
は本考案の弾性表面波フィルタの入力インピーダンスｚ
を又右側縦軸は同フィルタの動作減衰量の振幅|H|であ
る。さらに横軸は周波数ｆである。図中の400は第１図
実施例が示す入力インピーダンス特性、401はその動作
減衰量の振幅特性である。又402は従来品の例にみられ
た入力インピーダンス特性であって、第２の共振ピーク
f2のインピーダンスが第１のピークf1より大きい。結果
としてその動作減衰量の振幅特性403は通過帯域の高域
側の減衰量が増大し、非対称となって好ましくない。こ
の問題に関して種々の実験を行った結果、本考案のよう
に共通電極122側の電極指の形状を弾性表面波の伝播方
向である水平方向に一様とすることで共振子の長手方向
全体で一様な横弾性結合が実現できることがわかった。
特徴につき第２図と第３図さらに第４図を使って説明す
る。第２図と第３図は第１図実施例に於ける二重モード
フィルタが有する対称と斜対称モードの変位を示した変
位図である。まず第２図は、前記対称と斜対称モードの
第１図実施例の水平方向をｘ軸とした場合の振幅変位
（201）を示したもので、中央で振幅が大きく両端で振
幅はほぼ零に減少しているエネルギ閉込状態を実現して
いる。次に第３図は第１図実施例に於ける縦方向ｙ軸の
振動変位の振幅変化を示しものであり、図中の300が本
考案による対称モードの変位、301は斜対称モードの変
位である。さらに従来と本考案の実施例との特性の差を
比較したものが第４図の特性図である。図中、左側縦軸
は本考案の弾性表面波フィルタの入力インピーダンスｚ
を又右側縦軸は同フィルタの動作減衰量の振幅|H|であ
る。さらに横軸は周波数ｆである。図中の400は第１図
実施例が示す入力インピーダンス特性、401はその動作
減衰量の振幅特性である。又402は従来品の例にみられ
た入力インピーダンス特性であって、第２の共振ピーク
f2のインピーダンスが第１のピークf1より大きい。結果
としてその動作減衰量の振幅特性403は通過帯域の高域
側の減衰量が増大し、非対称となって好ましくない。こ
の問題に関して種々の実験を行った結果、本考案のよう
に共通電極122側の電極指の形状を弾性表面波の伝播方
向である水平方向に一様とすることで共振子の長手方向
全体で一様な横弾性結合が実現できることがわかった。
以上述べたように、本考案は次のような効果を奏す
る。
る。
反射器において、第２の電極指と共通電極とが接続さ
れていないため、その部分に電極指が存在していない。
そのため、対称モードに対して反射効率が低下してイン
ピーダンスが多少大きくなる。一方、斜対称モードに対
しては、共通電極近傍に表面波エネルギーが少ないた
め、インピーダンスは変化しない。このような電極指の
断線箇所がなければ、通常、対称モードのインピーダン
スのほうが小さい。したがって、このような断線箇所を
設けることによって、両モードのインピーダンスが等し
くなり、フィルタの通過特性が平坦になるという効果が
ある。
れていないため、その部分に電極指が存在していない。
そのため、対称モードに対して反射効率が低下してイン
ピーダンスが多少大きくなる。一方、斜対称モードに対
しては、共通電極近傍に表面波エネルギーが少ないた
め、インピーダンスは変化しない。このような電極指の
断線箇所がなければ、通常、対称モードのインピーダン
スのほうが小さい。したがって、このような断線箇所を
設けることによって、両モードのインピーダンスが等し
くなり、フィルタの通過特性が平坦になるという効果が
ある。
また、反射器において、第１の電極指が入出力側バス
バー導体と共通電極に接続されているために、共通電極
から入出力側バスバー導体を経由して接地に到る導通経
路が共通電極に並列に加わる結果、接地に到る導通抵抗
を低減できるという効果がある。
バー導体と共通電極に接続されているために、共通電極
から入出力側バスバー導体を経由して接地に到る導通経
路が共通電極に並列に加わる結果、接地に到る導通抵抗
を低減できるという効果がある。
しかも、第１の電極指と入出力電極指とが接続されて
いる箇所は、表面波エネルギーが閉じ込められている領
域、すなわち、櫛歯電極の電極指が交差している領域の
外側に位置しているため、伝搬する表面波に影響を与え
ない。その結果、反射器としての特性は損なわれず、フ
ィルタの通過特性にも影響がないという効果がある。
いる箇所は、表面波エネルギーが閉じ込められている領
域、すなわち、櫛歯電極の電極指が交差している領域の
外側に位置しているため、伝搬する表面波に影響を与え
ない。その結果、反射器としての特性は損なわれず、フ
ィルタの通過特性にも影響がないという効果がある。
第１図は本考案の弾性表面波フィルタの電極構造の一実
施例を示す平面図、第２図は第１図実施例の示す変位
図、第３図は同様に第１実施例の示す変位図、第４図は
本考案が示すフィルタの特性図である。 100……圧電体平板 120,121……正規型電極指 122……共通電極
施例を示す平面図、第２図は第１図実施例の示す変位
図、第３図は同様に第１実施例の示す変位図、第４図は
本考案が示すフィルタの特性図である。 100……圧電体平板 120,121……正規型電極指 122……共通電極
Claims (1)
- 【請求項１】弾性表面波を放射する放射器と、前記弾性
表面波を反射する第１の反射器と第２の反射器とを前記
放射器を挟んで配置し、前記第１の反射器の端部と前記
放射器の端部と前記第２の反射器の端部とが共通電極に
より接続されるとともに接地される第１の正規型電極指
と、 前記第１の正規型電極指と前記共通電極に対し線対称に
配設される第２の正規型電極指と、 からなり、互いに異なる共振周波数をもつ対称モードと
斜対称モードにより合成された周波数特性を有する弾性
表面波フィルタの電極構造において、 前記第１の反射器と前記第２の反射器とを構成する電極
指は、前記共通電極を挟んで配設された入出力側バスバ
ー導体から前記共通電極に延設され接続される第１の電
極指と、前記入出力側バスバー導体と接続され前記入出
力側バスバー導体から前記共通電極に向かって延設され
前記共通電極に接続されない第２の電極指とが、交互に
配設されてなり、 前記放射器を構成する電極指は、前記共通電極を挟んで
配設された接続端子用入出力側バスバー導体から前記共
通電極に向かって延設され前記共通電極に接続されない
第３の電極指と、前記共通電極から前記接続端子用入出
力側バスバー導体に向かって延設され前記接続端子用入
出力側バスバー導体に接続されない第４の電極指との間
で櫛歯電極を構成してなり、 前記第１の電極指、前記第２の電極指、前記第３の電極
指及び前記第４の電極指はほぼ同一の間隔で配設され、 前記共通電極近傍で、前記第２の電極指と前記共通電極
との間隔と、前記第３の電極指と前記共通電極との間隔
が等しい ことを特徴とする弾性表面波フィルタの電極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990059090U JP2539789Y2 (ja) | 1990-06-04 | 1990-06-04 | 弾性表面波フィルタの電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990059090U JP2539789Y2 (ja) | 1990-06-04 | 1990-06-04 | 弾性表面波フィルタの電極構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0419019U JPH0419019U (ja) | 1992-02-18 |
| JP2539789Y2 true JP2539789Y2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=31585288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990059090U Expired - Lifetime JP2539789Y2 (ja) | 1990-06-04 | 1990-06-04 | 弾性表面波フィルタの電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2539789Y2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5921116A (ja) * | 1982-07-27 | 1984-02-03 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 反射器型高周波狭帯域多重モ−ド・フイルタの電極構造 |
| JPS5921114A (ja) * | 1982-07-27 | 1984-02-03 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 高周波狭帯域多重モ−ド・フイルタの電極構造 |
| JPS63211910A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-05 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振子装置 |
-
1990
- 1990-06-04 JP JP1990059090U patent/JP2539789Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0419019U (ja) | 1992-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |