JPH1188112A

JPH1188112A - 弾性表面波素子

Info

Publication number: JPH1188112A
Application number: JP24885897A
Authority: JP
Inventors: Takashi Matsuda; 隆志松田; Osamu Igata; 理伊形; Yoshio Sato; 良夫佐藤; Osamu Kawauchi; 治川内
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1997-09-12
Filing date: 1997-09-12
Publication date: 1999-03-30

Abstract

(57)【要約】【課題】この発明は、弾性表面波素子に関し、通過帯
域外抑圧度の改善と弾性表面波フィルタチップサイズの
減少を課題とする。【解決手段】所定の共振周波数を有する第１の１端子
対弾性表面波共振器を並列腕に、該第１の１端子対弾性
表面波共振器の反共振周波数に略一致する共振周波数を
有する第２の１端子対弾性表面波共振器を直列腕にそれ
ぞれ複数個配列した梯子型の弾性表面波素子であって、
前記第１及び第２の１端子対弾性表面波共振器が所定数
の電極指を有するくし形電極部から構成され、第１及び
第２の１端子対弾性表面波共振器のうち、少なくとも１
つの１端子対弾性表面波共振器の電極指が、２つ以上の
異なる周期を持つように形成されたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、弾性表面波素子
に関し、特に小型通信機器等のフィルタとして用いられ
る弾性表面波素子の構造に関する。弾性表面波素子とし
ては、インターデジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）
と、その両側に配置された反射器とから構成された弾性
表面波共振器がある。

【０００２】

【従来の技術】近年、移動体通信機器の開発が盛んに行
われているが、小型、軽量化、低コスト化の要求に対応
するためこれらの機器に用いられるフィルタとして弾性
表面波フィルタが利用されている。弾性表面波フィルタ
は、複数個の弾性表面波共振器を直列あるいは並列に接
続して構成される。以下、直列接続される弾性表面波共
振器を直列共振器、並列接続される弾性表面波共振器を
並列共振器と呼ぶ。

【０００３】図１３に、従来の弾性表面波共振器の構成
図を示す。弾性表面波共振器は、ＩＤＴ１と反射器２０
とから構成される。ここで、ＩＤＴ１は、くし形形状の
一定幅の電極指６が一定間隔で配置され、反射器２０は
一定間隔のスリットを持つ格子形状の電極５から構成さ
れている。また、ＩＤＴ１と反射器２０は、ともに中央
部分の励振部３と、その両側の信号端子部４とから構成
される。

【０００４】従来、励振する弾性表面波の周波数が決ま
れば、一つの弾性表面波共振器におけるＩＤＴの電極指
の幅、電極指の間隔、反射器の電極の幅、反射器のスリ
ット間隔は決定できるが、それぞれ一定の値として設計
していた。すなわち電極指及び反射器とも一つの周期を
有していた。たとえば、中心周波数ｆ：２４５ＭＨｚの
弾性表面波を励振する場合には、ＩＤＴのくし形電極の
幅：３．２μｍ、ＩＤＴのくし形電極の間隔：３．２μ
ｍ、ＩＤＴの電極周期λ：１２．８μｍ、反射器の電極
の幅：３．２μｍ、反射等のスリット間隔：３．２μ
ｍ，圧電基板の材料：ＳＴカット水晶とした弾性表面波
共振器を用いることができた。この場合、弾性表面波の
速度はｖ＝ｆλ＝３１３６ｍ／ｓｅｃ程度となる。

【０００５】このように、弾性表面波共振器の電極指の
幅等の寸法を一定の値とし、電極指がただ一つの周期を
持つ場合は、並列共振器の共振周波数、あるいは直列共
振器の反共振周波数の付近で、弾性表面波フィルタの通
過帯域特性の帯域外の抑圧度を大きくすることが可能で
あった。しかし、抑圧度を大きくすることのできる周波
数範囲はごく狭い範囲に限られていた。

【０００６】したがって、ある帯域幅について所定の抑
圧度が要求される場合には、異なった電極周期を持つ直
列共振器あるいは並列共振器を適当に組み合わせて抑圧
度を調整するようにしていた。すなわち、直列共振器の
反共振周波数及び並列共振器の共振周波数を異ならせ
て、いくつか組合わせることによって所定の周波数範囲
について所望の抑圧度を得ていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような異
なった周期を持つ複数の弾性表面波共振器を直列あるい
は並列に組み合わせたフィルタでは、共振器の数が増え
るため、フィルタのチップサイズ（面積）が大きくなる
という問題点があった。また、弾性表面波フィルタの通
過帯域の高周波側には、直列共振器の反射器の電極の周
期に依存したリップルが発生していた。このリップルは
周波数帯域外の抑圧度にも影響をもたらし、ある周波数
範囲の抑圧度を高く取ることができないという問題点も
あった。

【０００８】この発明は、以上のような事情を考慮して
なされたものであり、弾性表面波素子を用いた弾性表面
波フィルタのチップサイズを大きくすることなく、通過
帯域外の抑圧度を改善することのできる弾性表面波素子
を提供することを課題とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明は、所定の共振
周波数を有する第１の１端子対弾性表面波共振器を並列
腕に、該第１の１端子対弾性表面波共振器の反共振周波
数に略一致する共振周波数を有する第２の１端子対弾性
表面波共振器を直列腕にそれぞれ複数個配列した梯子型
の弾性表面波素子であって、前記第１及び第２の１端子
対弾性表面波共振器が所定数の電極指を有するくし形電
極部から構成され、第１及び第２の１端子対弾性表面波
共振器のうち、少なくとも１つの１端子対弾性表面波共
振器の電極指が、２つ以上の異なる周期を持つように形
成されたことを特徴とする弾性表面波素子を提供するも
のである。

【００１０】また、この発明は、所定の共振周波数を有
する第１の１端子対弾性表面波共振器を並列腕に、該第
１の１端子対弾性表面波共振器の反共振周波数に略一致
する共振周波数を有する第２の１端子対弾性表面波共振
器を直列腕にそれぞれ複数個配列し、前記第１及び第２
の１端子対弾性表面波共振器が所定数の電極指を有する
くし形電極部と、弾性表面波の伝搬方向と平行な方向で
あって前記くし形電極部の両側に、所定数の格子状電極
を有する反射器を備え、前記格子状電極は、弾性表面波
の伝搬方向と平行な方向に配列され、前記格子状電極の
幅及び間隔のそれぞれが任意の値を持つように形成して
その周期をランダムにしたことを特徴とする弾性表面波
素子を提供するものである。

【００１１】このような弾性表面波素子を用いて弾性表
面波フィルタを構成すれば、フィルタチップのサイズを
大きくすることなく、通過帯域外の抑圧度を改善するこ
とができる。

【００１２】以下、１端子対弾性表面波共振器を弾性表
面波共振器又は単に共振器と呼ぶ。弾性表面波共振器
は、圧電基板上に接着された金属材料で作られる。圧電
基板としては、水晶，ＬｉＴａＯ₃などが用いられ、金
属材料としては、アルミニウムＡｌ，金Ａｕ，銅Ｃｕ，
チタンＴｉなどが用いられる。金属材料は、０．３μｍ
程度の厚さの薄膜として形成される。くし形電極部はい
わゆるＩＤＴと呼ばれる部分であり、ここで所定の周波
数を有する弾性表面波が励振される。ＩＤＴは、一般
に、その中央部分にくし形に交差した電極指を備え、電
極指のつけ根部分は、電気信号を入出力するための信号
端子部が設けられる。信号端子部は、電極指と同じ金属
材料で形成され、一般に入力用と出力用に２つある。

【００１３】入力用信号端子部から延伸した複数の電極
指と、出力用信号端子部から延伸した複数の電極指とが
交互にくし形形状に交差するが、たとえば、入力用信号
端子部から延伸した電極指の配列の繰り返し間隔を「周
期」と呼ぶ。すなわち、電極指の幅とその間隔の和が一
周期である。この発明では、すべての電極指について周
期は一定ではなく、少なくとも１つの弾性表面波共振器
について２つ以上の周期を持つように、電極指の幅及び
間隔が設計される。ここで電極指の幅と間隔とによって
規定される周期の配置は、弾性表面波共振器のくし形電
極部の任意の位置にあればよく、特に限定するものでは
ない。たとえば、弾性表面波共振器のくし形電極部の左
側半分に１つの周期を配置し、その右側の一部に異なる
周期を配置し、さらにその右側にその他の周期を配置す
るようにしてもよい。また、２つ以上の周期をランダム
に配置してもよい。

【００１４】反射器は、その中央部分に格子状電極を備
え、格子状電極の両端のつけ根部分は、ＩＤＴの信号端
子部と同様の構造を持つ。すなわち反射器を構成する格
子状電極の両端は、それぞれ信号端子部によって電気的
に接続されている。隣接する格子状電極どおしの間には
金属材料のないスリットが形成されているが、格子状電
極の幅と間隔（スリットの幅）との合計が、格子状電極
の周期となる。この発明における弾性表面波共振器の反
射器の格子状電極の周期をすべて一定としてもよいが、
所定の弾性表面波共振器についてのみ反射器の格子状電
極の周期をランダムにしてもよい。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面に示す実施の形態に基
づいてこの発明を詳述する。なお、これによってこの発
明が限定されるものではない。第１実施例ここでは、弾性表面波共振器の反射器の格子状電極の周
期を異ならせた実施例を示す。図１は、この発明の第１
の実施例の弾性表面波共振器の構成図を示す。同図にお
いて、中央部分の電極パターンがくし形電極部１であ
り、弾性表面波を励起するいわゆるインターデジタルト
ランスデューサー（ＩＤＴ）となる部分である。ＩＤＴ
１の両側にある電極パターンが反射器２ａ，２ｂであ
る。

【００１６】これらの電極パターンはアルミニウムなど
の金属材料が用いられ、表面上に弾性波を励振すること
のできる圧電基板上に薄膜として形成される。圧電基板
としては、水晶，ＬｉＴａＯ₃などを用いる。ＩＤＴ１
は、２つの信号端子部４から、それぞれくし形形状に複
数本の電極指６が伸びており、電極指が交差する部分で
紙面の左右方向に弾性表面波が励振される。ＩＤＴ１の
電極指の紙面の左右方向の幅はすべて同一であり、隣接
する電極指間の間隔も同一とする。すなわち、ＩＤＴ１
の電極指の周期λは同一である。たとえば周期λ＝２．
０６μｍとする。

【００１７】反射器２ａ，２ｂは、複数の格子状電極５
からなる励振部３と、その両側の信号端子部４とから構
成される。ここで、従来の反射器とは異なり、格子状電
極５の幅及び間隔がランダムに異なることが特徴であ
る。

【００１８】たとえば、ＩＤＴの電極指の周期をλ（＝
２．０６μｍ）としたとき、反射器２ａ，２ｂの格子状
電極５の周期をλを中心として、λの±１．５％程度以
内で任意の値を持つようにする。すなわち、格子状電極
５の周期を、９９．８５λから１００．１５λの範囲内
でランダムに変化させる。具体的には、各格子状電極５
の周期が前記範囲内となるように、各格子状電極５の幅
及びその間隔を決定する。

【００１９】図１のような弾性表面波共振器は、弾性表
面波フィルタの直列共振器又は並列共振器のどちらに使
っても帯域外の抑圧度の改善が可能であるが、ここで
は、直列共振器に図１の弾性表面波共振器を使用した実
施例を示す。直列共振器のＩＤＴの電極指６を６２対と
し、反射器２ａ，２ｂの格子状電極５の数を１２４本と
する。

【００２０】図２に、第１実施例の弾性表面波共振器を
用いた弾性表面波フィルタの回路図を示す。ここで、Ｓ
１，Ｓ２，Ｓ３は直列共振器であり、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３
は並列共振器である。直列共振器Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３には
図１で示したように、反射器２ａ，２ｂの格子状電極５
の周期をランダムに変化させたものを用いる。並列共振
器Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３は、従来から用いられているものと
同様に、一定周期の格子状電極を持つ弾性表面波共振器
を用いるものとする。

【００２１】図３に、このような回路構成を持つ弾性表
面波フィルタの帯域通過特性（周波数−減衰量）を示
す。図３において、実線はこの発明の図１の共振器を直
列共振器に用いた場合の特性であり、破線は比較のため
に示した従来の特性である。従来のものは、図２と同じ
回路構成とし、直列共振器及び並列共振器とも一定周期
の格子状電極を備えるものである。

【００２２】この図を比較すれば、通過帯域１８５０Ｍ
Ｈｚ付近の特性はどちらもほぼ同じであるが、高域側の
帯域外の特性、すなわち抑圧度が実線の方が改善されて
いることがわかる。すなわち、直列共振器の反射器の格
子状電極の周期をランダムに変化させた場合、１９５０
ＭＨｚから２０５０ＭＨｚ付近にかけての減衰量が大き
くなっている。

【００２３】また、図３において、２０００ＭＨｚ付近
に出ていたリップルも実線の方が８ｄＢ程度減少してい
ることがかる。このようにリップルの大きさが減少した
のは、反射器の格子状電極５の周期をランダムに変化さ
せたことにより、この周期に依存していたリップルが分
散されたためと考えられる。すなわち、ある特定の周波
数帯域の抑圧度を低減させたい場合には、反射器の格子
状電極５の周期をランダムに変化させればよい。

【００２４】図１４に、この発明の第１実施例における
反射器の周期（規格化周波数）と反射率の関係のグラフ
を示す。ここで、反射器の格子状電極の本数は１００本
とする。横軸は、電極膜厚で規格化した周波数を示して
おり、中心周波数ｆ₀が１の位置となる。ＩＤＴの電極
周期ｌを４．８０μｍ，電極膜厚ｈを３３６ｎｍとする
と、ＩＤＴの周波数が８００ＭＨｚ帯の場合、ｈ／ｌ＝
０．０７となる。図１４のグラフでは、３通りのｈ／ｌ
に対する反射率の変化を示している。このグラフから規
格化周波数に対し、反射器の周期をずらしたときの反射
率の変化がわかる。反射率が高いほど、すなわち１に近
いほど反射器として有効に作用していることを意味す
る。たとえば、８００ＭＨｚ帯において、ｈ／ｌ＝０．
０７の場合、ｆ₀±２．３７％（すなわち、λ±２．３
７％）程度の範囲内であれば、反射率が１に近い値とな
り、反射器として十分な性能を発揮できる。

【００２５】第２実施例ここでは、弾性表面波フィルタの直列共振器のＩＤＴの
電極指が、２つの周期を持つ実施例について説明する。
図４に、この発明の第２実施例の弾性表面波フィルタの
回路図を示す。２つの直列共振器Ｓ４，Ｓ５と１つの並
列共振器Ｐ４とで構成されるフィルタであるが、直列共
振器Ｓ４，Ｓ５はともに２つの周期を持つ共振器とし、
並列共振器Ｐ４は１つの周期を持つ共振器とする。

【００２６】図５にこの発明の第２実施例の直列共振器
に用いる弾性表面波共振器の構成図を示す。図５におい
て、直列共振器のＩＤＴ１のくし形電極部は、２つの区
間に分離されており、区間１及び区間２の電極指６の周
期（λ₁，λ₂）が異なる。また、反射器２ａ，２ｂは、
図１の第１実施例で示したのと同様に、格子状電極５が
ランダムに変化した構成とする。

【００２７】図４の直列共振器Ｓ４において、ＩＤＴ１
の電極指の周期：λ₁＝４．６μｍ，λ₂＝４．５４μ
ｍ，開口長７＝１００μｍ，電極指の対数＝７８対と
し、直列共振第Ｓ５において、ＩＤＴ１の周期：λ₁＝
４．５８μｍ，λ₂＝４．５２μｍ，開口長７＝１００
μｍ，電極指の対数＝７８対とする。また、図４の並列
共振器Ｐ４では電極指の周期を４．８μｍ，開口長＝１
２０μｍ，電極指の対数＝７８対とする。ここで開口長
７とは、図５に示すように、弾性表面波の伝搬方向から
見て、ＩＤＴの隣接する電極指６が、互いに交差してい
る部分の長さをいう。また、区間１及び区間２の幅及び
その割合は特に限定するものではない。周期λ₁，λ₂が
２つの領域に分割されていればよい。

【００２８】直列共振器Ｓ４，Ｓ５は、それぞれ２つの
周期λ₁，λ₂を持つが、この周期に対応する共振周波数
をｆ₁，ｆ₂とする。一般に励振される弾性表面波の速度
をＶとすると、Ｖ（速度）＝ｆ（共振周波数）×λ（電
極指の周期）という関係式が成り立つ。速度Ｖは、使用
する圧電基板によって一定値に決定される。たとえば、
３６度ｙカットｘ伝搬ＬｉＴａＯ₃を用いると、Ｖ＝４
１００ｍ／ｓｅｃ程度となる。したがって周期λ₁＝
４．６０μｍのとき、ｆ₁＝８９１．３ＭＨｚ程度とな
る。

【００２９】図６に、この発明の第２実施例の帯域通過
特性図（周波数−減衰量）を示す。同図において、通過
帯域の高周波側の帯域外領域である８７１ＭＨｚから９
１５．６ＭＨｚの周波数領域で２０ｄＢ以上の抑圧度が
確保されていることがわかる。また、８６０ＭＨｚから
９００ＭＨｚの領域内にある４つの極小ピーク値は、そ
れぞれ直列共振器の周期４．６０μｍ，４．５８μｍ，
４．５４μｍと４．５２μｍに対応するものである。

【００３０】このように、４４．６ＭＨｚ（＝９１５．
６−８７１ＭＨｚ）という広範囲の通過帯域外で、２０
ｄＢ以上の抑圧度を確保できるので、所望の周波数領域
がこの４４．６ＭＨｚの帯域範囲内にある場合で高い抑
圧度を必要とする場合には、この第２実施例の弾性表面
波フィルタを利用することができる。すなわち従来のよ
うに、抑圧度を必要とする帯域に合うように、その都度
別々に共振器の数や周期を設計する必要はない。また後
述するように、１つの直列共振器内に、２つの周期を備
えているので、従来のように異なる周期を備えた直列共
振器をその周期の数だけ用意する場合よりもフィルタチ
ップ面積を小さくできる。

【００３１】比較例として、図７，図８，図９に、従来
用いられていた弾性表面波フィルタの通過特性図（周波
数−減衰量）を示す。図７，図８に示した従来の弾性表
面波フィルタの回路構成は、図４と同様に、２つの直列
共振器と１つの並列共振器からなる。ただし、図８に示
したものは、２つの直列共振器の周期すなわち共振周波
数が異なる場合である。

【００３２】また図９の従来の弾性表面波フィルタの回
路構成は、図１０に示すように、４つの直列共振器（Ｓ
１０〜Ｓ１３）と１つの並列共振器Ｐ１０からなり、４
つの直列共振器は、それぞれ異なる周期，共振周波数を
持つ。これらの従来の弾性表面波フィルタの直列共振器
及び並列共振器は、いずれも１つの周期を備えるもので
あり、この発明のように、１つの共振器の中に、２つ以
上の周期を備えるものではない。

【００３３】図７において、２つの直列共振器のＩＤＴ
の電極指の周期＝４．６０μｍ，並列共振器のＩＤＴの
電極指の周期＝４．８０μｍである。図８において、直
列共振器のＩＤＴの電極指の周期＝４．６０μｍ及び
４．５４μ，並列共振器のＩＤＴの電極指の周期＝４．
８０μｍである。図１０において、直列共振器のＩＤＴ
の電極指の周期＝４．６０μｍ，４．５４μｍ，４．５
８μｍ及び４．５２μ，並列共振器のＩＤＴの電極指の
周期＝４．８０μｍである。

【００３４】また、図７，図８，図１０のいずれの直列
共振器とも開口長＝１００μｍ，電極指の対数＝１５７
対とし、並列共振器の開口長＝１２０μｍ，電極指の対
数＝７８対とする。ここで、直列共振器の電極指の対数
は、インピーダンス整合条件（５０Ω）を満たすように
設定されたものである。

【００３５】図７の従来例では、通過帯域の高周波側の
抑圧度を見ると、８７０．８ＭＨｚから９０２．５ＭＨ
ｚの３１．７ＭＨｚの帯域幅で２０ｄＢ以上の抑圧度が
確保されている。これは前記した図６のこの発明の抑圧
度の帯域幅（４４．６ＭＨｚ）よりも狭い。図８の従来
例では、８６５ＭＨｚから８７５ＭＨｚと、８７７．５
ＭＨｚから８９０．８ＭＨｚの２つの領域で２０ｄＢ以
上の抑圧度が確保されているが、この発明の抑圧度の帯
域幅よりも狭い。図９の従来例では、８７０ＭＨｚから
９０７．５ＭＨｚの３７．５ＭＨｚの帯域幅で２０ｄＢ
以上の抑圧度が確保されているが、これもこの発明の第
２実施例の抑圧度よりも、帯域幅が狭い。

【００３６】次に、図４，図５に示したこの発明の第２
実施例の弾性表面波フィルタの方が、これと同様に４つ
の周期すなわち４つの共振周波数を持ち、ほぼ同等の通
過特性を持つ図１０の従来例よりも、フィルタチップ面
積が小さくなることを示す。

【００３７】ＩＤＴ１の電極指が形成されるくし形電極
部の面積は、電極指の周期Ｐ×電極指の対数Ａ×開口長
Ｂで決定できる。図１０においては、前記したように周
期Ｐ＝４．５２〜４．６０μｍであり４通りある。対数
Ａ＝１５７，開口長Ｂ＝１００μであるので、各直列共
振器の面積は、Ｐ（μｍ）×１５７×１００（μｍ）で
求められる。したがって、図１０のような従来の弾性表
面波フィルタでは、４つの直列共振器の面積の合計は、
Ｓａ＝約２８８×１０^-9ｍ²となる。

【００３８】これに対して、図４，５に示したこの発明
の第２実施例において、１つの直列共振器の面積は、Ｐ
（μｍ）×７８×１００（μｍ）で求められる。ここで
図４の直列共振器Ｓ４では、Ｐ＝４．６０μｍ又は４．
５４μｍ，直列共振器Ｓ５では、Ｐ＝４．５８μｍ又は
４．５２μｍである。ここで周期を最も長いＰ＝４．６
０μｍと考えると、１つの直列共振器の面積は３５．８
８×１０^-9ｍ²となり、２つの直列共振器Ｓ４，Ｓ５の
合計面積ではＳｂ＝７１．７６×１０^-9ｍ²となる。し
かし、図４では、周期Ｐは４．６０μｍより小さい部分
があるので、図４の実際の直列共振器の面積の合計はこ
れよりも少し小さい。

【００３９】上記の面積を比較すると、Ｓｂ＜Ｓａであ
り、この発明の第２実施例の直列共振器の合計面積の方
が約１／４であり、フィルタチップを小さくすることが
できる。

【００４０】図１１に、この発明の第２実施例のフィル
タチップのレイアウトの概略図を示し、図１２に、図１
０に示した従来のフィルタチップのレイアウトの概略図
を示す。フィルタチップを設計する際には、直列共振器
の面積の他に、反射器，並列共振器，接続引き回し配
線，入出力端子パッド等の面積も考慮しなければならな
いが、直列共振器の面積が１／４程度となれば、フィル
タチップ全体の大きさは１／２程度とすることが可能で
ある。

【００４１】以上のように、各直列共振器についてＩＤ
Ｔの電極指の周期を２つ備えるように電極パターンを設
計すれば、従来と同等の通過帯域特性を有し、かつ通過
帯域の高周波側での広い周波数範囲で所望の抑圧度を得
ることができる。さらに、フィルタチップの面積を従来
よりも小さくすることが可能である。

【００４２】以上の第２実施例では、２つの直列共振器
について、それぞれ２つの周期を備えた例を示したが、
これに限定されるものではない。たとえば直列共振器の
うちいずれか一つの直列共振器が図５に示すような構成
を備えれば、抑圧度，フィルタチップのサイズの低減が
可能である。

【００４３】また、３つ以上の直列共振器を備えたフィ
ルタを構成した場合には、すべての直列共振器が図５に
示す構成を備えてもよいが、少なくとも一つの直列共振
器が図５に示す構成を備えればよい。また、図５では、
２つの周期を備える場合を示したが、３つ以上の周期を
備えるように構成してもよい。また、図５では、２つの
区間に分けて周期の異なる電極指を配置しているが、３
つ以上の区間に分割してそれぞれの区間ごとに周期を変
えてもよい。

【００４４】さらに、主として直列共振器についてこの
発明の実施例を説明したが、並列共振器についても図５
に示す構成を備えるようにしてもよい。すなわち、並列
共振器のみについて複数の周期を持つ構成としてもよ
く、直列共振器の少なくとも１つと並列共振器の少なく
とも１つが複数の周期を持つような構成としてもよい。

【００４５】また、第１実施例で述べた反射器の格子状
電極のランダム配列と、第２実施例で述べたＩＤＴの電
極指の複数周期を持つ配置を組み合わせて、直列共振器
及び並列共振器を構成してもよい。この場合は、弾性表
面波フィルタを構成するすべての直列共振器と並列共振
器を対象としてもよいが、一部の直列共振器又は並列共
振器のみに格子状電極のランダム配列の構成を適用し、
他の一部の共振器にＩＤＴの電極指の複数周期配置の構
成を適用してもよい。また、一部の直列共振器又は並列
共振器に格子状電極のランダム配列とＩＤＴの電極指の
複数周期配置の両方を適用してもよい。

【００４６】すなわち、この発明の実施例で述べた構成
の組合せは種々のものが考えられ、要求される抑圧度，
フィルタチップ面積の制約などの条件に応じて適宜設計
すればよい。

【００４７】

【発明の効果】この発明によれば、１端子対弾性表面波
共振器の電極指を２つ以上の異なる周期を持つように形
成しているので、弾性表面波フィルタの大きさを大きく
することなく、通過帯域外の所定の周波数帯域において
所望の抑圧度を得ることができる。また、１端子対弾性
表面共振波の反射器の格子状電極が、その幅及び間隔の
それぞれについて任意の値を持つように形成しているの
で、通過帯域外の所定の周波数帯域の抑圧度の改善及び
リップルの低減ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例の弾性表面波共振器の構
成図である。

【図２】この発明の第１実施例の弾性表面波フィルタの
回路図である。

【図３】この発明の第１実施例の弾性表面波フィルタの
帯域通過特性図である。

【図４】この発明の第２実施例の弾性表面波フィルタの
回路図である。

【図５】この発明の第２実施例の弾性表面波共振器の構
成図である。

【図６】この発明の第２実施例の弾性表面波フィルタの
帯域通過特性図である。

【図７】従来の弾性表面波フィルタの帯域通過特性図で
ある。

【図８】従来の弾性表面波フィルタの帯域通過特性図で
ある。

【図９】従来の弾性表面波フィルタの帯域通過特性図で
ある。

【図１０】従来例の弾性表面波フィルタの回路図であ
る。

【図１１】この発明の第２実施例のフィルタチップのレ
イアウトの概略図である。

【図１２】図１０に示した従来のフィルタチップのレイ
アウトの概略図である。

【図１３】従来の弾性表面波共振器の構成図である。

【図１４】この発明の反射器の周期と反射率のグラフで
ある。

【符号の説明】

１ＩＤＴ（くし形電極部）２ａ，２ｂ反射器３励振部４信号端子部５格子状電極６電極指７開口長Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３直列共振器Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３並列共振器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者佐藤良夫神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (72)発明者川内治神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定の共振周波数を有する第１の１端子
対弾性表面波共振器を並列腕に、該第１の１端子対弾性
表面波共振器の反共振周波数に略一致する共振周波数を
有する第２の１端子対弾性表面波共振器を直列腕にそれ
ぞれ複数個配列した梯子型の弾性表面波素子であって、
前記第１及び第２の１端子対弾性表面波共振器が所定数
の電極指を有するくし形電極部から構成され、第１及び
第２の１端子対弾性表面波共振器のうち、少なくとも１
つの１端子対弾性表面波共振器の電極指が、２つ以上の
異なる周期を持つように形成されたことを特徴とする弾
性表面波素子。
【請求項２】少なくとも１つの１端子対弾性表面波共
振器の電極指が、所定の区間ごとに異なる周期を待つよ
うに形成されることを特徴とする請求項１記載の弾性表
面波素子。
【請求項３】２つ以上の異なる周期を持つ電極指が、
前記第２の１端子対弾性表面波共振器の一つに形成され
ていることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波素
子。
【請求項４】２つ以上の異なる周期を持つ電極指が、
前記第１の１端子対弾性表面波共振器の一つに形成され
ていることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波素
子。
【請求項５】前記第１の１端子対弾性表面波共振器と
第２の１端子対弾性表面波共振器は、それぞれ２つ以上
の異なる周期を持つ電極指が形成された１端子対弾性表
面波共振器を少なくとも１つ備えていることを特徴とす
る請求項１記載の弾性表面波素子。
【請求項６】前記第１及び第２の１端子対弾性表面波
共振器が、弾性表面波の伝搬方向と平行な方向であって
前記くし形電極部の両側に反射器を備え、その反射器は
所定数の格子形状の電極指を有し、前記電極指が、弾性
表面波の伝搬方向と平行な方向に配列され、かつランダ
ムな周期を持つことを特徴とする請求項１から５に記載
されたいずれかの弾性表面波素子。
【請求項７】所定の共振周波数を有する第１の１端子
対弾性表面波共振器を並列腕に、該第１の１端子対弾性
表面波共振器の反共振周波数に略一致する共振周波数を
有する第２の１端子対弾性表面波共振器を直列腕にそれ
ぞれ複数個配列し、前記第１及び第２の１端子対弾性表面波共振器が、所定
数の電極指を有するくし形電極部と、弾性表面波の伝搬
方向と平行な方向であって前記くし形電極部の両側に、
所定数の格子状電極を有する反射器を備え、前記格子状
電極は、弾性表面波の伝搬方向と平行な方向に配列さ
れ、前記格子状電極の幅及び間隔のそれぞれが任意の値
を持つように形成してその周期をランダムにしたことを
特徴とする弾性表面波素子。