JPH03119815A - 浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換器 - Google Patents
浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換器Info
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N endosulfan Chemical compound C12COS(=O)OCC2C2(Cl)C(Cl)=C(Cl)C1(Cl)C2(Cl)Cl RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）本発明は一方向性変換器、殊にト
ランスバーサル型弾性表面波フィルタを構成する際に使
用する変換器であってインタディジタルトランスジュー
サ（以下ＩＤＴと示す）電極指間に浮き電極を設けた浮
き電極内部反射型一方向性変換器に関する。
ランスバーサル型弾性表面波フィルタを構成する際に使
用する変換器であってインタディジタルトランスジュー
サ（以下ＩＤＴと示す）電極指間に浮き電極を設けた浮
き電極内部反射型一方向性変換器に関する。
（従来技術）通常の弾性表面波励振デバイス、即ちＩＤ
Ｔ電極によって励振された弾性表面波が当該デバイスの
左右双方向に均等に伝搬するデバイスを波動の送受（入
出力）に翔いるタイプのトランスバーサル型弾性表面波
フィルタにおいて基本的に存在する６ｄＢのロスを減少
せしめる為、従来から各種の一方向性弾性表面波変換器
が提案されてきた。
Ｔ電極によって励振された弾性表面波が当該デバイスの
左右双方向に均等に伝搬するデバイスを波動の送受（入
出力）に翔いるタイプのトランスバーサル型弾性表面波
フィルタにおいて基本的に存在する６ｄＢのロスを減少
せしめる為、従来から各種の一方向性弾性表面波変換器
が提案されてきた。
これらの一方向性弾性表面波変換器は大別すると、（ａ
）３種のｒＤＴ電極指に各々零度、１２０度及び２４０
度の位相差を有する信号を印加する三相一方向性デバイ
ス。
）３種のｒＤＴ電極指に各々零度、１２０度及び２４０
度の位相差を有する信号を印加する三相一方向性デバイ
ス。
（ｂ）一般のＩＤＴ電極指間を縫ってミアングラインを
設け、これを接地するグループ型一方向性変換器。
設け、これを接地するグループ型一方向性変換器。
（ｃ）アルミニウムＩＤＴｉ！！極指を金の如き大密度
金属の電極指（弾性表面波反射用）とをベアとし弾性表
面波励振の中心と反射の中心との間隔を励起した波動の
波長の１／８とした内部反射一方向性変換器。
金属の電極指（弾性表面波反射用）とをベアとし弾性表
面波励振の中心と反射の中心との間隔を励起した波動の
波長の１／８とした内部反射一方向性変換器。
の三種が存在するが、（ａ）の三相一方向性変換器は広
い周波数範囲で波動伝搬の一方向性が保たれるものの３
本のバスバーの１本から延びる電極指を他の１本のバス
バー上をオーバーブリッジせしめる必要があり、製造が
極めて困難、従って高価となるのみならずかなり複雑な
位相器を要するという欠陥があった。
い周波数範囲で波動伝搬の一方向性が保たれるものの３
本のバスバーの１本から延びる電極指を他の１本のバス
バー上をオーバーブリッジせしめる必要があり、製造が
極めて困難、従って高価となるのみならずかなり複雑な
位相器を要するという欠陥があった。
また、（ｂ）のグループ型一方向性変換器も９０度位相
器（具体的にはコイル）を必要とする上、ミアングライ
ンの総延長が長くなり、オーミックな損失に基づくフィ
ルタの挿入損失が大となるという欠陥があった。
器（具体的にはコイル）を必要とする上、ミアングライ
ンの総延長が長くなり、オーミックな損失に基づくフィ
ルタの挿入損失が大となるという欠陥があった。
更に（ｃ）の内部反射一方向性変換器は位相器は不要な
るもアルミニウム電極指の他にこれとベアになる全電極
指を別途蒸着する必要があり、工程が複雑となるという
欠陥があり、いずれも満足すべきものではなかった。
るもアルミニウム電極指の他にこれとベアになる全電極
指を別途蒸着する必要があり、工程が複雑となるという
欠陥があり、いずれも満足すべきものではなかった。
（発明の目的）本発明は上述したごとき従来の一方向性
弾性表面波の欠陥を除去すべくなされたものであって、
デバイスの製造工程簡易かつ位相器のごとき外部に付加
すべき回路を要せず、しかも損失の少ない弾性表面波一
方向性変換器を提供せんとするものである。
弾性表面波の欠陥を除去すべくなされたものであって、
デバイスの製造工程簡易かつ位相器のごとき外部に付加
すべき回路を要せず、しかも損失の少ない弾性表面波一
方向性変換器を提供せんとするものである。
（発明の概要）上述の目的を達成する為、本発明にかか
る弾性表面波一方向性変換器は、基本的にＩＤＴ電極の
正負電極指の電極幅を変化させ、その間に開放型の浮き
電極を挿入した構造成いはＩＤＴ電極の正負電極指の間
であって当該電極指間隙の中心位置からはずれた位置に
電気的にいすとも非接続の２種類の浮き電極を設けたも
のである。
る弾性表面波一方向性変換器は、基本的にＩＤＴ電極の
正負電極指の電極幅を変化させ、その間に開放型の浮き
電極を挿入した構造成いはＩＤＴ電極の正負電極指の間
であって当該電極指間隙の中心位置からはずれた位置に
電気的にいすとも非接続の２種類の浮き電極を設けたも
のである。
（実施例）以下、本発明を図面に示した実施例に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
さて、実施例の説明に入る前に本発明の理解を助けるた
め、本発明をなすに至った基本的な考え形について説明
するに、圧電・電歪基板上に通常一般の正負ＩＤＴｍ極
を設けそれぞれの電極指の間隔をλ／２とし、これら両
電極間に周波数ｒ・■／λ（ただし、Ｖは励起する波動
の伝搬速度）なる交流電界を印加すればλにほぼ等しい
弾性表面波が励起され、励起した弾性表面波は、基板１
表面をＩＤＴ電極指列に沿って左右均等に伝搬すること
は周知である。
め、本発明をなすに至った基本的な考え形について説明
するに、圧電・電歪基板上に通常一般の正負ＩＤＴｍ極
を設けそれぞれの電極指の間隔をλ／２とし、これら両
電極間に周波数ｒ・■／λ（ただし、Ｖは励起する波動
の伝搬速度）なる交流電界を印加すればλにほぼ等しい
弾性表面波が励起され、励起した弾性表面波は、基板１
表面をＩＤＴ電極指列に沿って左右均等に伝搬すること
は周知である。
ここで第３図のように、圧電、電歪基板！上に正負ＩＤ
Ｔ電極２．３を設け、これからすだれ状に延びるＩＤＴ
電極指２ａ１３ｂ、 ５ａの幅及び空隙を例えばλ／１
０と仮定し、電極指間隙の間にいずれの部分とも電気的
に非接続の浮き電極指４ａ、４ａを設けたとしても電極
構成の対称性の為前記ＩＤＴ電極指によって励起された
波動の前記浮き電極４ａ、４ａによる反射は左右均等に
なされるので、このような電極構成を有するデバイスの
波動伝搬はやはり左右均等である。
Ｔ電極２．３を設け、これからすだれ状に延びるＩＤＴ
電極指２ａ１３ｂ、 ５ａの幅及び空隙を例えばλ／１
０と仮定し、電極指間隙の間にいずれの部分とも電気的
に非接続の浮き電極指４ａ、４ａを設けたとしても電極
構成の対称性の為前記ＩＤＴ電極指によって励起された
波動の前記浮き電極４ａ、４ａによる反射は左右均等に
なされるので、このような電極構成を有するデバイスの
波動伝搬はやはり左右均等である。
そこで、本発明である第１図のように、第３図の電極指
３ｂの幅を例えば３）〕の場合の２倍、即ちλ／５と４
−れば、励起波と反射波の対称性が崩れＩＤＴ電極指列
の左右いずれか一方に伝搬する波動エネルギが人となる
であろう。 即ち、第１図は上述したごとき考えかたｉ
、二ｘづいて構成した本発明にかかる浮き電極を有ケる
一方向性弾性表面波変換器の基本実施例を示す電極構成
図であって、例えば、正電極に接続されている電極指２
ａの幅はえ／ＩＯ１その間隙がλ／ｌ［ｌで負電極に接
続された電極指３ａの電極幅がλ／５．３ａと４ａと間
隙がλ／１０で開放型の浮き電極指４ａの幅がλ／１０
、その間隙がλ／１０で負電極に接続された電極指５ａ
、次ぎに電極指５ａと電極指２ａの間隙がλ／１０で正
電極に接続されている電極指２ａを周期とする一方向性
変換器とすることのより、励起した波動エネルギが一方
向に強く伝搬ケるいわゆる一方向性弾性表面波変換器が
得られる。この場合、電極幅及び間隙は必ずしも正確に
これらの値である必要はなく、中心周波数で谷々の波の
位相が同位相となるような値であれば良い。
３ｂの幅を例えば３）〕の場合の２倍、即ちλ／５と４
−れば、励起波と反射波の対称性が崩れＩＤＴ電極指列
の左右いずれか一方に伝搬する波動エネルギが人となる
であろう。 即ち、第１図は上述したごとき考えかたｉ
、二ｘづいて構成した本発明にかかる浮き電極を有ケる
一方向性弾性表面波変換器の基本実施例を示す電極構成
図であって、例えば、正電極に接続されている電極指２
ａの幅はえ／ＩＯ１その間隙がλ／ｌ［ｌで負電極に接
続された電極指３ａの電極幅がλ／５．３ａと４ａと間
隙がλ／１０で開放型の浮き電極指４ａの幅がλ／１０
、その間隙がλ／１０で負電極に接続された電極指５ａ
、次ぎに電極指５ａと電極指２ａの間隙がλ／１０で正
電極に接続されている電極指２ａを周期とする一方向性
変換器とすることのより、励起した波動エネルギが一方
向に強く伝搬ケるいわゆる一方向性弾性表面波変換器が
得られる。この場合、電極幅及び間隙は必ずしも正確に
これらの値である必要はなく、中心周波数で谷々の波の
位相が同位相となるような値であれば良い。
また、各々の電極幅がλ／８で各々の電極間距離がλ／
４であり、正電極指９、ｌＯ及び短絡電極指１３で接続
され短絡型の浮き電極指Ｉ！、１２、及び開放型の浮き
電極指Ｊ４と１５と負電極指１６、Ｊ７を半周期とた一
方向性変換器であって、この場合、正負電極間の短絡型
浮き電極指１１．１３と負正間の短絡型の浮き電極指１
８．１９を接続した構造あって、各々の電極幅λ／８及
び各々の電極間距離λ／４の値が１８０％の範囲にある
ような浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変
換器とすることにより、広い電極幅で良好な一方向性変
換器が得られる。この場合、電極指９．１０或いは１６
．１７は、−っ？こまとめた電極としてもよい。また、
正負電極間を接続する電極２２は正負間のみ、或いは正
負正の間などを接続する方法も本特許に含まれるものと
する。
４であり、正電極指９、ｌＯ及び短絡電極指１３で接続
され短絡型の浮き電極指Ｉ！、１２、及び開放型の浮き
電極指Ｊ４と１５と負電極指１６、Ｊ７を半周期とた一
方向性変換器であって、この場合、正負電極間の短絡型
浮き電極指１１．１３と負正間の短絡型の浮き電極指１
８．１９を接続した構造あって、各々の電極幅λ／８及
び各々の電極間距離λ／４の値が１８０％の範囲にある
ような浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変
換器とすることにより、広い電極幅で良好な一方向性変
換器が得られる。この場合、電極指９．１０或いは１６
．１７は、−っ？こまとめた電極としてもよい。また、
正負電極間を接続する電極２２は正負間のみ、或いは正
負正の間などを接続する方法も本特許に含まれるものと
する。
また、特許請求の範囲第２項において、開放型の浮き電
極の同位相同士１４と２０．１５と２１などを接続した
構造の弾性表面波変換器とすることにより、大きな反射
係数の一方向性変換器が得られる。
極の同位相同士１４と２０．１５と２１などを接続した
構造の弾性表面波変換器とすることにより、大きな反射
係数の一方向性変換器が得られる。
以上の一方向性変換器の動作周波数として、基本波動作
、２倍、３倍、・・・のどの高調波を行わせる内部反射
型一方向性弾性表面波変換器も本特許に含まれるしのと
する。また、上記の説明では、）Ｔｉ而面のＦ側２を正
電極、上側３を負電極としたが、■二を正電極に下を負
とした構造も本特許に含まれるものとする。
、２倍、３倍、・・・のどの高調波を行わせる内部反射
型一方向性弾性表面波変換器も本特許に含まれるしのと
する。また、上記の説明では、）Ｔｉ而面のＦ側２を正
電極、上側３を負電極としたが、■二を正電極に下を負
とした構造も本特許に含まれるものとする。
（発明の効果）本発明にかかる一方向性弾性表面波変換
器は以北説明したごとく構成するものであるから、一般
には、唯−度の蒸着−露光−エブヂング「程を以て電極
形成が可能であるから通常−般の弾性表面波デバイスと
同等のコストで安価に製造可能であるのみならず格別の
位相器を必要とせずして、一方向性変換器を得ることか
でき、しかも格別の損失を発生ずる要因が存在しない為
、これを人出力変換器に用いれば、一方向性変換器本来
の特性たるＴＴＥ（トリプルトランジェットエコー）に
基づくリップルが少なく、挿入損失の小さなフィルタを
安価に提供する上で著しい効果を奏する。また、同じ位
相の浮き電極同士を接続する方法についても、陽極酸化
多層配線法などを用いて、容易に作製できるので、上記
の特徴を失うむのではない。
器は以北説明したごとく構成するものであるから、一般
には、唯−度の蒸着−露光−エブヂング「程を以て電極
形成が可能であるから通常−般の弾性表面波デバイスと
同等のコストで安価に製造可能であるのみならず格別の
位相器を必要とせずして、一方向性変換器を得ることか
でき、しかも格別の損失を発生ずる要因が存在しない為
、これを人出力変換器に用いれば、一方向性変換器本来
の特性たるＴＴＥ（トリプルトランジェットエコー）に
基づくリップルが少なく、挿入損失の小さなフィルタを
安価に提供する上で著しい効果を奏する。また、同じ位
相の浮き電極同士を接続する方法についても、陽極酸化
多層配線法などを用いて、容易に作製できるので、上記
の特徴を失うむのではない。
第１図、第２図、は本発明に係る一方向性変換器の実施
例を示す電極構成の平面図及び断面図である。また、第
３図は、本発明に至る過程を説明するための図である。 ｌ・・基板、２．３・・・正、負ＩＤＴｉ極、２ａ、
３ａ、 ５ａ、 ９．１０．１６、ｌ ７−＝正負１１
）Ｔｉ電極指４ａ、 ！４．１５．２０．２ト・・開放
型の浮き電極指、１Ｌ１２．１８．１９・・・短絡型の
浮き電極指、１３．２２・・・短絡用の電極。
例を示す電極構成の平面図及び断面図である。また、第
３図は、本発明に至る過程を説明するための図である。 ｌ・・基板、２．３・・・正、負ＩＤＴｉ極、２ａ、
３ａ、 ５ａ、 ９．１０．１６、ｌ ７−＝正負１１
）Ｔｉ電極指４ａ、 ！４．１５．２０．２ト・・開放
型の浮き電極指、１Ｌ１２．１８．１９・・・短絡型の
浮き電極指、１３．２２・・・短絡用の電極。
Claims (4)
- （１）圧電・電歪物質基板１の表面或いは圧電薄膜基板
にインターディジタル・トランスジューサ電極を配置し
て弾性表面波を励振或いは伝搬してきた弾性表面波を受
信するデバイスにおいて、基本動作周波数での波長をλ
として、前記インターディジタルトランスジューサ電極
の正電極指２ａの幅がλ／１０、次にその中心間距離が
λ／４でその幅がλ／５の負電極指３ａ、次にその中心
間距離がλ／４でその幅がλ／１０でいずれの電極にも
接続されていない開放型の浮き電極指４ａ、次にその中
心間距離がλ／５でその幅がλ／１０の負電極指５ａ、
次にその中心間距離がλ／５でその幅がλ／１０の正電
極指２ａを周期とするインタディジタルトランスジュー
サであって、これらの中心間距離及びこれらの電極幅の
範囲が±８０％の範囲にあるような浮き電極をもつ内部
反射型一方向性弾性表面波変換器。 - （２）各々の電極幅がλ／８で各々の電極間距離がλ／
４であり、正電極指９、１０及び短絡電極指１３で接続
され短絡型の浮き電極指１１、１２、及び開放型の浮き
電極指１４と１５と負電極指１６、１７を半周期とた一
方向性変換器であって、この場合、正負電極間の短絡型
浮き電極指１１、１３と負正間の短絡型の浮き電極指１
８、１９を電極２２で接続した構造あって、各々の電極
幅λ／８及び各々の電極間距離λ／４の値が±８０％の
範囲にあるような浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾
性表面波変換器。 - （３）特許請求の範囲第２項において、開放型の浮き電
極の同位相同士１４と２０、１５と２１などを接続した
構造の弾性表面波変換器。 - （４）特許請求の範囲第１項或いは第２項或いは第３項
において、上記の構造の一方向性変換器の動作周波数を
、Ｎを１、２、３などの整数とし、ωを動作周波数の波
長λに対応させた時、Ｎωで動作させる浮き電極をもつ
内部反射型一方向性弾性表面波変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25750989A JPH03119815A (ja) | 1989-10-01 | 1989-10-01 | 浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25750989A JPH03119815A (ja) | 1989-10-01 | 1989-10-01 | 浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03119815A true JPH03119815A (ja) | 1991-05-22 |
Family
ID=17307289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25750989A Pending JPH03119815A (ja) | 1989-10-01 | 1989-10-01 | 浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03119815A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2702899A1 (fr) * | 1993-03-19 | 1994-09-23 | Thomson Csf | Transducteur à ondes de surface à réflexion acoustique distribuée et filtre comportant un tel transducteur. |
| US5698927A (en) * | 1994-09-28 | 1997-12-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US7173360B2 (en) * | 2003-10-08 | 2007-02-06 | Rf Saw Components, Inc. | Single phase undirectional surface acoustic wave transducer and improved reflectors |
-
1989
- 1989-10-01 JP JP25750989A patent/JPH03119815A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2702899A1 (fr) * | 1993-03-19 | 1994-09-23 | Thomson Csf | Transducteur à ondes de surface à réflexion acoustique distribuée et filtre comportant un tel transducteur. |
| WO1994022217A1 (fr) * | 1993-03-19 | 1994-09-29 | Thomson-Csf | Transducteur a ondes de surface a reflexion acoustique distribuee et filtre comportant un tel transducteur |
| US5698927A (en) * | 1994-09-28 | 1997-12-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US7173360B2 (en) * | 2003-10-08 | 2007-02-06 | Rf Saw Components, Inc. | Single phase undirectional surface acoustic wave transducer and improved reflectors |
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