JPH0644232U - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧電性基板に帯電した電荷の放電に伴う素子
の破壊を防止し得る弾性表面波装置を提供する。 【構成】 インターデジタル電極２は、その電極指３
Ａ，４Ａ先端３ａ，４ａが弧状に形成されると共にイン
ターデジタル電極２を構成する一対のくし形電極３，４
が、隣接する異電位の電極どうしの間隔が均一となるよ
うに配置されて圧電基板上に形成される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は映像機器や無線通信機に使用される弾性表面波装置に関するものであ る。

【０００２】

【従来の技術】

弾性表面波装置は、図２に示すようにＬｉＮｂＯ3、ＬｉＴａＯ3、水晶等の圧 電性基板７上に、弾性表面波を励起もしくは受信するためのインターデジタル電 極８を形成して構成される。このインターデジタル電極８はフォトリソグラフィ ーにより形成される。なお、図２では１つのインターデジタル電極８のみを示し 、他の部分は省略している。

【０００３】 図２のようなインターデジタル電極８及び他の所定の電極が形成された圧電性 基板７は、複数の外部接続用端子が配置された金属性パッケージ内に裏面が接着 されて封入される。各外部接続用端子は夫々、圧電性基板７上の所定の電極に電 気的に接続される。

【０００４】 このような弾性表面波装置では、圧電性基板に帯電した電荷の放電により電極 が溶融したり、圧電基板表面が破壊される場合がある。例えば、以下のような場 合にこの問題が生じる。

【０００５】 弾性表面波装置を取り扱う際に、静電気が帯電したプラスチックの袋の接近に より、金属パッケージ及びそれに接着された圧電性基板裏面に電荷が誘導帯電す る。この状態で金属パッケージの外部接続用端子に人体や接地された金属が接触 すると、その外部接続用端子に電気的に接続された電極に対して、誘導電荷が放 電する。この放電により電極や圧電性基板表面が破壊される。また、外部接続用 端子間に静電気等のサージが印加された場合も同様の破壊が生じることがある。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

このような電荷の放電は、電極間の電界分布が一様でなく、電極指先端のエッ ジ部分８Ａに局部的に電荷が集中することにより生じる。本考案はこの電極形状 に起因して生じる放電が防止され、放電に伴う素子の破壊を防止し得る弾性表面 波装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上述の課題を解決するために、本考案の弾性表面波装置においては、インター デジタル電極は、その電極指先端が弧状に形成される共にインターデジタル電極 を構成する一対のくし形電極が、隣接する異電位の電極どうしの間隔がほぼ均一 となるように配置されて形成される。

【０００８】

【作用】

インターデジタル電極を上述のように構成すれば、電極指先端部分での電極間 の電界分布が一様になるので、圧電性基板に帯電した電荷の電極への放電が生じ ない。また、外部からの高周波のサージが電極に印加されても、電極間に放電が 生じない。

【０００９】

【実施例】

以下に本考案の一実施例を図面に基づき説明する。

【００１０】 図１は本考案の弾性表面波装置の一つのインターデジタル電極を示す図である 。本図において、１はＬｉＮｂＯ3、ＬｉＴａＯ3、水晶等の圧電性基板、２は圧 電性基板１上にフォトリソグラフィーにより形成されたインターデジタル電極で あり、第１及び第２のくし形電極３，４の電極指３Ａ，４Ａを交互に配置して構 成される。インターデジタル電極２はＡｌよりなり、その膜厚は約１μｍである 。

【００１１】 第１及び第２のくし形電極３，４の電極指３Ａ，４Ａの先端部３ａ，４ａは曲 率半径が約０．５μｍの弧状に形成されている。また、共通電極３Ｂ，４Ｂの電 極指３Ａ，４Ａの先端部３ａ，４ａと対向する部分３Ｃ，４Ｃは、第１のくし形 電極３の各部分と第２のくし形電極４の各部分の間隔がほぼ均一になるように、 電極指３Ａ，４Ａの先端部３ａ，４ａの弧に対応した弧状に形成されている。

【００１２】 ５，６はボンディングワイヤであり、一端が第１及び第２のくし形電極３，４ の共通電極３Ｂ，４Ｂに電気的に接続され、他端が図示しない外部接続用端子に 電気的に接続される。

【００１３】 インターデジタル電極２は上述のように、第１のくし形電極３の各部分と第２ のくし形電極４の各部分の間隔がほぼ均一であるので、各電極間の電界分布が一 様となる。したがって、外部接続用端子に高周波サージが印加されても電極指３ Ａ，４Ａの先端部３ａ，４ａに局部的に電荷が集中することを避けることができ 、電荷の放電が抑制される。 ところで、図２のような従来の電極をフォトリソ グラフィーにより、パターン形成する場合、電極指の先端のエッジ部分８Ａは完 全な直角には形成されず、ある程度の曲率半径を有する弧状に形成される。しか しながら、この程度の曲率半径では高周波サージによる電荷の集中は避けられな い。

【００１４】

【考案の効果】

以上に説明したように本考案の弾性表面波装置は、インターデジタル電極の電 極指の先端部を弧状に形成すると共にインターデジタル電極を構成する一対のく し形電極を、隣接する異電位の電極どうしの間隔が均一になるように形成したの で、各電極間の電界分布が一様となる。したがって、圧電性基板に電荷が帯電し ても、電極に対して電荷の放電が生じることがなく、また、外部からの高周波の サージが電極に印加されても、電極間に放電が生じないので、素子の破壊が防止 される。このように本考案によれば、製造プロセスを変えることなく、電荷の放 電によるサージや外部からのサージに対するサージ耐性が飛躍的に向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の弾性表面波装置のインターデジタル電
極部分を示す図である。

【図２】従来の弾性表面波装置のインターデジタル電極
部分を示す図である。

【符号の説明】

１ 圧電性基板 ２ インターデジタル電極 ３ 第１のくし形電極 ４ 第２のくし形電極 ３Ａ 電極指 ４Ａ 電極指

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電基板上に複数の電極指を備えた第１
   及び第２のくし形電極を、各くし形電極の電極指が交互
   に配置されるように形成してなる、弾性表面波を励起も
   しくは受信するためのインターデジタル電極を備えた弾
   性表面波装置において、 前記第１及び第２のくし形電極は、各電極指の先端が弧
   状に形成されると共に、前記前記第１のくし形電極の各
   部分と前記第２のくし形電極の各部分との間隔がほぼ均
   一になるように形成されていることを特徴とする弾性表
   面波装置。