JPH06350380A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】製造プロセスにおいて発生する電極指の破損を
防止して弾性表面波フィルタの歩留まりを向上させる。 【構成】浮き電極８を備えた一対の一方向性電極ＩＤＴ
４の間に双方向性電極ＩＤＴ３を配設してなり、かつ圧
電体基板ウエハ２上に、複数整列形成された弾性表面波
フィルタであって、前記圧電基板ウエハ２上に形成され
たフィルタ分割用のスクライブラインに沿って短絡パタ
ーン１１を形成するとともに、該短絡パターン１１に各
フィルタを構成するＩＤＴ３，４の櫛歯電極５，７それ
ぞれを接続した弾性表面波フィルタ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、浮き電極を備えた一方
向性電極ＩＤＴを組み込んでロスを低減させた弾性表面
波フィルタに関する。

【０００２】

【従来の技術】携帯電話等において高周波フィルタとし
て用いられる弾性表面波フィルタには、広帯域で低ロス
のものが必要とされている。そこで、従来から、このよ
うな用途に用いられる弾性表面波フィルタとして、双方
向性電極ＩＤＴと一方向性電極ＩＤＴとを組み合わせた
弾性表面波フィルタが知られている。すなわち、この弾
性表面波フィルタ５０は、図３に示すように、双方向性
電極ＩＤＴ５１の両端をそれぞれ一方向性電極ＩＤＴ５
２で挟む形でこれらＩＤＴ５１，５２，５２を圧電基板
５３上に形成して構成されている。双方向性電極ＩＤＴ
５１は、図４に示すように、ＩＤＴ５１を構成する一対
の櫛歯電極５４，５４が櫛歯電極基端部（バスバー）５
４ａから一対づつ互い違いに電極指５４ｂを延出させ
た、いわゆるスプリット型電極から構成されており、一
方向性電極ＩＤＴ５２は、図５に示すように、ＩＤＴを
構成する一対の櫛歯電極７，７の間の所定波長位置に、
どちらの櫛歯電極７，７にも接続されない浮き電極８を
配設したものである。なお、図中、符号７ａは櫛歯電極
７の基端部、７ｂは櫛歯電極７の電極指、５７は入出力
電極、５８は各ＩＤＴ５１，５２と入出力電極５７とを
接続する配線パターンである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このように
構成された弾性表面波フィルタ５０は、圧電基板５３が
焦電性を有しているために、その製造プロセスにおい
て、各ＩＤＴ５１，５２内の電極指５４ｂ，７ｂが破損
を起こしやすいという問題があった。すなわち、弾性表
面波フィルタ５０を製造する際には、まず、複数の弾性
表面波フィルタ５０，…を圧電体基板ウエハ上に整列形
成するが、圧電基板ウエハは焦電性を有しているため
に、弾性表面波フィルタ５０の製造プロセス中に電荷が
発生しやすく、発生した電荷は各弾性表面波フィルタ５
０を構成する各ＩＤＴ５１，５２に蓄積されてその電極
指５４ｂ，５４ｂ（７ｂ，７ｂ）間に電位を生させてし
まう。

【０００４】このようにして発生した電位が所定のしき
い値を越えると電極指５４ｂ，５４ｂ（７ｂ，７ｂ）間
に放電を発生させ、この放電によって電極指５４ｂ，７
ｂが破損していた。このような電極指破壊は従来の製造
プロセスにおいて、最大４５．３％の弾性表面波フィル
タ５０に発生しており、さらには、浮き電極８を備えた
一方向性電極ＩＤＴ５２が電荷を蓄積させやすいため
に、このような一方向性電荷ＩＤＴ５２を備えた従来の
弾性表面波フィルタ５０において顕著に発生し、そのた
めに、弾性表面波フィルタ５０の歩留まりが低下すると
いった不具合を生じさせていた。

【０００５】したがって、本発明においては、製造プロ
セスにおいて発生する電極指の破損を防止して弾性表面
波フィルタの歩留まりを向上させることを目的としてい
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、浮き電極を備えた一対の一方向性電極Ｉ
ＤＴの間に双方向性電極ＩＤＴを配設してなり、かつ圧
電体基板ウエハ上に、複数整列形成された弾性表面波フ
ィルタであって、前記圧電基板ウエハ上に形成されたフ
ィルタ分割用のスクライブラインに沿って短絡パターン
を形成するとともに、該短絡パターンに各フィルタを構
成するＩＤＴの櫛歯電極それぞれを接続して弾性表面波
フィルタを構成した。

【０００７】

【作用】上記構成によれば、スクライブラインに沿って
形成された短絡パターンに各ＩＤＴを構成する櫛歯電極
それぞれを接続しているで、これら櫛歯電極は互いに同
電位に短絡されることになる。そのため、これら櫛歯電
極において双極子モーメントの蓄積が抑止されることに
なって、櫛歯電極の間に放電を引き起こすような高い電
位が発生しなくなる。

【０００８】なお、各櫛歯電極は短絡パターンによって
短絡されており、この状態では各弾性表面波フィルタは
弾性表面波素子として作動しない。しかし、短絡パター
ンはスクライブラインに沿って形成されており、各弾性
表面波フィルタがスクライブラインに沿って分割される
ときに短絡パターンは消滅するので、分割後の弾性表面
波フィルタは弾性表面波素子として正常に作動すること
になる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳
細に説明する。図１は、本発明の一実施例の弾性表面波
フィルタの構造を示す平面図である。この弾性表面波フ
ィルタ１はページャダブルスーパー方式，ＲＦ用２８１
ＭＨｚフィルタであって、製造プロセス中においては、
圧電体基板ウエハ２上に、複数、未分割の状態で整列形
成されている。圧電体基板ウエハ２としては、ニオブ酸
リチウム基板、タンタル酸リチウム基板など、すべての
焦電性を有する圧電単結晶、圧電多結晶のウエハを用い
ることができる。

【００１０】各弾性表面波フィルタ１，…は、双方向性
電極ＩＤＴ３と、該双方向性電極ＩＤＴ３の両端それぞ
れに配設された一方向性電極ＩＤＴ４，４から構成され
ている。双方向性電極ＩＤＴ３は、図２に示すように、
ＩＤＴ３を構成する一対の櫛歯電極５，５が櫛歯電極基
端部（バスバー）５ａから一対づつ互い違いに電極指５
ｂを延出させたものであるスプリット型の電極から構成
されている。ただし、本実施例の双方向性電極ＩＤＴ３
は、従来のものとは異なり、対になって各櫛歯電極基端
部５ａから延出する電極指５ｂ，５ｂの先端どうしを連
結部６によって連結接続されている。電極指５ｂの先端
どうしを連結接続する理由は後述する。一方、一方向性
電極ＩＤＴ４はＩＤＴ４を構成する一対の櫛歯電極７，
７が、櫛歯電極基端部７ａから電極指７ｂを延出させる
とともに、電極基端部７ａの間の所定波長位置にどちら
の櫛歯電極７，７にも接続されない浮き電極８を配設し
たものであって、その構造は図５に示す従来例のものと
同様である。また、各弾性表面波フィルタ１はその外周
部に入出力電極９を備えており、各ＩＤＴ３，４は接続
パターン１０によって入出力電極９に接続されている。

【００１１】次に本発明の特徴となる構成を説明する。
圧電体基板ウエハ２上には、各弾性表面波フィルタ１に
分割する際の切断線であるスクライブライン１１が形成
されているが、本実施例では、このスクライブライン１
１が導電性を有する配線パターンからなっており、本発
明の請求項でいうところの短絡パターンを構成してい
る。このように本実施例では、スクライブライン１１そ
のものが短絡パターンとなっているが、このほか、スク
ライブライン１１とは別体に、スクライブライン１１に
沿って短絡パターンを設けてもよい。

【００１２】そして、各ＩＤＴ３，４を構成する櫛歯電
極５，７がスクライブライン１０に接続されている。具
体的には、各櫛歯電極５，７と導通している入出力電極
９がスクライブライン１１に接続されており、これによ
って各櫛歯電極５，７がスクライブライン１１に接続さ
れている。なお、図中符号１２は圧電基板ウエハ２上に
形成されたアライメントマークである。

【００１３】このように構成された弾性表面波フィルタ
１は、その製造プロセス中に、従来例と同様、焦電性に
起因する電荷が現れて電位が発生し、その電位は各ＩＤ
Ｔ５，７において強制的に櫛歯電極５，７の各電極指５
ｂ，７ｂに導かれることになる。しかしながら、櫛歯電
極５，５（７，７）はそれぞれスクライブライン１１を
介して互い短絡されているために、すべて同電位となっ
ている。そのため、電極指５ｂ，７ｂにおいて双極子モ
ーメントの蓄積が抑止されることとなって、電極指５
ｂ，５ｂ（７ｂ，７ｂ）の間で放電が起こすような高い
電位は発生せず、放電によって電極指５ｂ，７ｂが破壊
されることはなくなる。

【００１４】ところで、本実施例においては、前述した
ように、双方向性電極ＩＤＴ３を構成する櫛歯電極５の
電極指５ｂはそれぞれ対となって櫛歯電極基端部５ａか
ら延出するものどうしが、連結部６によって接続されて
いる。これは次にような理由によっている。すなわち、
各電極指５ｂを連結部６によって併設の電極指５ｂに接
続しているので、スクライブライン１１を介して櫛歯電
極５，７どうしを短絡しているにもかかわらず双方向電
極ＩＤＴ３内に放電が発生して電極指５ｂが破壊された
としても、破壊された電極指５ｂの先端部は連結部６を
介して併設の電極指５ｂとの接続が保持されるために櫛
歯電極基端部５ａから遊離することがなく、したがっ
て、このような電極指破壊による弾性表面波の乱れは起
きることがない。なお、連結部６によって互いに接続す
る電極指５ｂは櫛歯電極基端部５ａから対になって延出
するものどうしに限るものではなく、同一の極性を有す
るものであれば他の組み合わせの電極指どうしでもよい
のはいうまでもない。

【００１５】なお、各弾性表面波フィルタ１は各ＩＤＴ
３，４を構成する櫛歯電極５，７がスクライブライン１
１によって短絡されているために、このままでは弾性表
面波素子として作動しない。しかし、製造プロセスの最
終工程において、スクライブライン１１に沿って各弾性
表面波フィルタ１を分割すれば、スクライブライン１１
は消滅するので、櫛歯電極５，５（７，７）間の短絡関
係も消滅し各弾性表面波フィルタ１は弾性表面波素子と
して正常に作動することになる。

【００１６】さらには、本発明は、正規型の双方向性電
極ＩＤＴを備えた弾性表面波フィルタでも、重み付けを
型の双方向性電極ＩＤＴを弾性表面波フィルタでも同様
に実施することができるのもいうまでもない。

【００１７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、短絡パタ
ーンによって櫛歯電極が互いに同電位に短絡されるの
で、これら櫛歯電極において双極子モーメントの蓄積が
抑止されなくなって、櫛歯電極の間に放電を引き起こす
ような高い電位が発生しなくなった。そのため、製造プ
ロセス中に、櫛歯電極が放電によって破壊することがな
くなり、その分、弾性表面波フィルタの製造歩留まりが
向上した。

【００１８】なお、各櫛歯電極は短絡パターンによって
短絡されており、この状態では弾性表面波フィルタは弾
性表面波素子として作動しない。しかしながら、短絡パ
ターンは弾性表面波フィルタが分割されるときに消滅す
るので、分割後の弾性表面波フィルタは弾性表面波素子
として正常に作動し、何ら不都合を生じさせることがな
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る弾性表面波フィルタの
構造を示す平面図である。

【図２】実施例の弾性表面波フィルタを構成する双方向
性電極ＩＤＴの構造を示す部分拡大平面図である。

【図３】従来の弾性表面波フィルタの構造を示す平面図
である。

【図４】従来の弾性表面波フィルタを構成する双方向性
電極ＩＤＴの構造を示す部分拡大平面図である。

【図５】従来および実施例の弾性表面波フィルタを構成
する一方向性電極ＩＤＴの構造を示す部分拡大平面図で
ある。

【符号の説明】

１ 弾性表面波フィルタ ２ 圧電体基板ウエハ ３ 双方向性電極ＩＤＴ ４ 一方向性電極ＩＤＴ ５ 双方向性電極ＩＤＴの櫛歯電極 ７ 一方向性電極ＩＤＴの櫛歯電極 １１ スクライブライン（短絡パターン）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 浮き電極（８）を備えた一対の一方向性
   電極ＩＤＴ（４）の間に双方向性電極ＩＤＴ（３）を配
   設してなり、かつ圧電体基板ウエハ（２）上に、複数整
   列形成された弾性表面波フィルタであって、 前記圧電基板ウエハ（２）上に形成されたフィルタ分割
   用のスクライブラインに沿って短絡パターン（１１）を
   形成するとともに、該短絡パターン（１１）に各フィル
   タを構成するＩＤＴ（３，４）の櫛歯電極（５，７）そ
   れぞれを接続したことを特徴とする弾性表面波フィル
   タ。