JP2600145B2 - 表面弾性波共振子 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は映像機器等に用いられる表面弾性波共振子に
関するものである。

従来の技術 近年、機器の高周波化に伴い、表面弾性波共振子が多
く使われるようになってきているが、さらに高周波化へ
の要望が強くなってきている。

従来、この種の表面弾性波共振子は、第３図に示すよ
うな構成であった。第３図において、11は圧電基板、12
は交叉電極指、13は反射電極指列であった。

発明が解決しようとする問題点 このような従来の構成では、表面弾性波の波長をλと
すれば、電極が1/4λになり、例えば圧電基板に水晶を
用いて、1GHzの表面弾性波共振子を得ようとすれば、そ
の電極幅は約0.8μｍとなり、従来のフォトリングラフ
ィでは製造が非常に難しいという問題点があった。

本発明はこのような問題点を解決するもので、所定の
共振周波数に対する電極幅を従来のものより太くするこ
とにより、さらに高周波への展開、あるいは歩留りの向
上を図ることを目的とするものである。

問題点を解決するための手段 この問題点を解決するために本発明の表面弾性波共振
子は、所望の共振周波数に対する表面弾性波の波長をλ
として、交叉電極指の電極幅を3/4λ、反射電極の電極
幅を3/4λ、ギャッ幅を5/4λとしたものである。

作用 この構成により、交叉電極指は波長λの表面弾性波を
３次の高調波として励振することができ、また反射電極
は２λ毎に並んでいるため、波長λの表面弾性波が共振
される。また交叉電極指の基本波は波長が３λとなるた
め、反射電極内でキャンセルされ、励振されない。

実施例 第１図は本発明の一実施例における表面弾性波共振子
素子の上面図であり、第２図は断面から見た模式図であ
る。図中で、１は圧電基板、２は交叉電極指、３は反射
電居指列であり、第２図における波は波長λの表面弾性
波が定在波として閉じ込められた状態を示したものであ
る。

従来この種の表面弾性波共振子は、第３図のように中
央に電極幅1/4λの交叉電極指を配し、その両側に電極
幅、ギャップ幅が1/4λの反射電極指列を設けていた。
しかしながらこのような構成では、電極幅が1/4λにな
るため、高周波になると電極幅が細くなり、電極作成が
むずかしくなる。

本実施例では、所望の共振周波数に対する波長をλと
して、電極幅3/4λの交叉電極指を設けるとともに、そ
の両側に電極幅3/4λ、ギャップ幅5/4λの反射電極指列
を配置するという構成としている。

交叉電極指は3/4λの電極幅とギャップ幅をもってい
るが、反射電極が２λ毎に並んでいるため、基本波とな
る波長３λの波は反射電極内でキャンセルされて励振さ
れない。一方、３次の高調波である波長λの波は反射電
極で共振されるため、波長λの表面弾性波のみが励振さ
れる。

なお、第１図では、１ポート型表面弾性波共振子にな
っているが、２ポート型の場合についても同じであるこ
とは、いうまでもない。

発明の効果 以上のように電極幅3/4λの交叉電極指と、電極幅3/4
λ、ギャップ幅5/4λの反射電極指列によって、波長λ
の表面弾性波を励振することができ、従来の1/4λに比
べえて3/4λと電極幅が３倍になり、高周波化が可能と
なり、その実用的価値は大きい。

また交叉電極指と反射電極指列の間隔は、第２図に示
すように7/8λとする時、最も効率が良くなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による表面弾性波共振子素子
の上面図、第２図は同素子を断面から見た模式図、第３
図は従来の表面弾性波共振子素子の上面図である。 １……圧電基板、２……交叉電極指、３……反射電極指
列。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所望の共振周波数に対する表面弾性波の波
   長をλとして、圧電基板上に、3/4λのラインアンドス
   ペースをもつ交叉電極指を設け、かつその両側に3/4λ
   の電極幅と5/4λのギャップ幅をもつ反射電極指列を設
   けたことを特徴とする表面弾性波共振子。
2. 【請求項２】交叉電極指と反射電極指列の間隔がおよそ であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の表
   面弾性波共振子。