JP2600146B2 - 表面弾性波共振子 - Google Patents

表面弾性波共振子

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敦志 松井
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は映像機器等に用いられる表面弾性波共振子に
関するものである。
従来の技術 近年、機器の高周波化に伴い表面弾性波共振子が多く
使われるようになってきているが、さらに高周波化への
要望が強くなってきている。
従来、この種の表面弾性波共振子は、第3図に示すよ
うな構成であった。第3図において、11は圧電基板、12
は交叉電極指、13は反射電極指列であった。
発明が解決しようとする問題点 このような従来の構成では、表面弾性波の波長をλと
すれば、電極幅が1/4λになり、例えば圧電基板に水晶
を用いて、1GHzの表面弾性波共振子を得ようとすれば、
その電極幅は約0.8μmとなり、従来のフォトリソグラ
フィでは製造が非常に難しいという問題点があった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、所定の
共振周波数に対する電極幅を従来のものより太くするこ
とにより、さらに高周波への展開、あるいは歩留りの向
上を図ることを目的とするものである。
問題点を解決するための手段 この問題点を解決するために本発明の表面弾性波共振
子は、所望の共振周波数に対する表面弾性波の波長をλ
として、交叉電極指を3/8λの電極指幅をもつスプリッ
ト型電極として、反射電極の電極幅を3/4λ、ギャップ
幅を5/4λとするという構成としたものである。
作用 この構成により、交叉電極指は波長λの表面弾性波を
3次の高周波として励振することができ、また反射電極
は2λ毎に並んでいるため、波長λの表面弾性波が共振
される。また交叉電極指の基本波は波長が3λとなるた
め、反射電極内でキャンセルされ、励振されない。
実施例 第1図は本発明の一実施例における表面弾性波共振子
素子の上面図であり、第2図は断面から見た模式図であ
る。図中で1は圧電基板、2はスプリット型交叉電極
指、3は発射電極指列であり、第2図における波は波長
λの表面弾性波が定在波として閉じ込められた状態を示
したものである。
従来この種の表面弾性波共振子は、第3図のように中
央に電極幅1/4λの交叉電極指を配し、その両側に電極
幅、ギャップ幅が1/4λの反射電極指列を設けていた。
しかしながらこのような構成では、電極幅が1/4λにな
るため、高周波になると電極幅が細くなり、電極作成が
むずかしくなる。
本実施例では、所望の共振周波数に対する波長をλと
して、電極幅3/8λのスプリット型交叉電極指と、その
両側に電極幅3/4λ、ギャップ幅5/4λの反射電極指列を
配置するという構成としている。
交叉電極指はスプリット型になっているので、波長λ
の表面弾性波を3次の高周波として効率良く励振するこ
とができ、反射器の方も2λごとに並んでいるので、波
長λの表面弾性波を閉じ込めることができる。また交叉
電極指の基本波は、波長が3λになるために、反射器内
でキャンセルされ、励振されない。
なお、第1図では1ポート型表面弾性波共振子になっ
ているが、2ポート型についても同じであることは、い
うまでもない。
発明の効果 以上のように本発明によれば、電極幅3/8λのスプリ
ット型交叉電極指と、電極幅3/4λ、ギャップ幅5/4λの
反射電極指列によって、波長λの表面弾性波を励振する
ことができ、従来の1/4λに比べて3/8λと電極幅が1.5
倍になり、高周波化が可能となる。
また交叉電極指と反射電極指列の間隔は、第2図に示
すように13/16λとする時、最も効率が良くなる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例による表面弾性波共振子素子
の上面図、第2図は同素子を断面から見た模式図、第3
図は従来の表面弾性波共振子素子の上面図である。 1……圧電基板、2……スプリット型交叉電極指、3…
…反射電極指列。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】所望の共振周波数に対する表面弾性波の波
    長をλとした時、圧電基板上に3/8λのラインアンドス
    ペースをもつスプリット型交叉電極指を設け、かつその
    両側に3/4λの電極幅と5/4λのギャップ幅をもつ反射電
    極指列を設けたことを特徴とする表面弾性波共振子。
  2. 【請求項2】交叉電極指と反射電極指列の間隔がおよそ であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の表
    面弾性波共振子。
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