JPS63102413A - 表面弾性波共振子 - Google Patents
表面弾性波共振子Info
- Publication number
- JPS63102413A JPS63102413A JP24778386A JP24778386A JPS63102413A JP S63102413 A JPS63102413 A JP S63102413A JP 24778386 A JP24778386 A JP 24778386A JP 24778386 A JP24778386 A JP 24778386A JP S63102413 A JPS63102413 A JP S63102413A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- surface acoustic
- width
- acoustic wave
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は映像機器等に用いられる表面弾性波共振子に関
するものである。
するものである。
従来の技術
近年、機器の高周波化に伴い表面弾性波共振子が多く使
われるようになってきているが、さらに高周波化への要
望が強くなってきている。
われるようになってきているが、さらに高周波化への要
望が強くなってきている。
従来、この種の表面弾性波共振子は、第３図に示すよう
な構成であった。第３図において、１１は圧電基板、１
２は交叉電極指、１３は反射電極指列であった。
な構成であった。第３図において、１１は圧電基板、１
２は交叉電極指、１３は反射電極指列であった。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の構成では、表面弾性波の波長をλとす
れば、電極幅がＡλになり、例えば圧電基板に水晶を用
いて、１ＧＨ２の表面弾性波共振子を得ようとすれば、
その電極幅は約０．８μｍとなり、従来のフォトリング
ラフィでは製造が非常に難しいという問題点があった。
れば、電極幅がＡλになり、例えば圧電基板に水晶を用
いて、１ＧＨ２の表面弾性波共振子を得ようとすれば、
その電極幅は約０．８μｍとなり、従来のフォトリング
ラフィでは製造が非常に難しいという問題点があった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、所定の共
振周波数に対する電極幅を従来のものより太くすること
により、さらに高周波への展開、あるいは歩留りの向上
を図ることを目的とするものである。
振周波数に対する電極幅を従来のものより太くすること
により、さらに高周波への展開、あるいは歩留りの向上
を図ることを目的とするものである。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明の表面弾性波共振子
は、所望の共振周波数に対する表面弾性波の波長をλと
して、交叉電極指を３／８λの電極指幅をもつスプリン
ト型電極とし、反射電極の電極幅を％λ、ギャップ幅を
気λとするという構成としたものである。
は、所望の共振周波数に対する表面弾性波の波長をλと
して、交叉電極指を３／８λの電極指幅をもつスプリン
ト型電極とし、反射電極の電極幅を％λ、ギャップ幅を
気λとするという構成としたものである。
作用
この構成により、交叉電極指は波長λの表面弾性波を３
次の高周波として励振することができ、また反射電極は
２λ毎に並んでいるため、波長λの表面弾性波が共振さ
れる。また交叉電極指の基本波は波長が３λとなるため
、反射電極内でキャンセルされ、励振されない。
次の高周波として励振することができ、また反射電極は
２λ毎に並んでいるため、波長λの表面弾性波が共振さ
れる。また交叉電極指の基本波は波長が３λとなるため
、反射電極内でキャンセルされ、励振されない。
実施例
第１図は本発明の一実施例における表面弾性波共振子素
子の上面図であり、第２図は断面から見た模式図である
。図中で１は圧電基板、２はスプリット型交叉電極指、
３は反射電極指列であり、第２図における波は波長λの
表面弾性波が定在波として閉じ込められた状態を示した
ものである。
子の上面図であり、第２図は断面から見た模式図である
。図中で１は圧電基板、２はスプリット型交叉電極指、
３は反射電極指列であり、第２図における波は波長λの
表面弾性波が定在波として閉じ込められた状態を示した
ものである。
従来この種の表面弾性波共振子は、第３図のように中央
に電極幅３／８λの交叉電極指を配し、その両側に電極
幅、ギャップ幅が３／８λの反射電極指列を設けていた
０しかしながらこのような構成では、電極幅がＡλにな
るため、高周波になると電極幅が細くなり、電極作成が
むずかしくなる０本実施例では、所望の共振周波数に対
する波長をλとして、電極幅３／８λのスプリット型交
叉電極指と、その両仰［に電極幅％λ、ギャップ幅Ｘλ
の反射電極指列を配置するという構成としている０交叉
電極指はスプリット型になっているので、波長λの表面
弾性波を３次の高周波として効率良く励振することがで
き、反射器の方も２λごとに並んでいるので、波長λの
表面弾性波を閉じ込めることができる０また交叉電極指
の基本波は、波長が３λになるために、反射器内でキャ
ンセルされ、励振されない。
に電極幅３／８λの交叉電極指を配し、その両側に電極
幅、ギャップ幅が３／８λの反射電極指列を設けていた
０しかしながらこのような構成では、電極幅がＡλにな
るため、高周波になると電極幅が細くなり、電極作成が
むずかしくなる０本実施例では、所望の共振周波数に対
する波長をλとして、電極幅３／８λのスプリット型交
叉電極指と、その両仰［に電極幅％λ、ギャップ幅Ｘλ
の反射電極指列を配置するという構成としている０交叉
電極指はスプリット型になっているので、波長λの表面
弾性波を３次の高周波として効率良く励振することがで
き、反射器の方も２λごとに並んでいるので、波長λの
表面弾性波を閉じ込めることができる０また交叉電極指
の基本波は、波長が３λになるために、反射器内でキャ
ンセルされ、励振されない。
なお、第１図では１ボ一ト型表面弾性波共振子になって
いるが、２ポート型についても同じであることは、いう
までもない。
いるが、２ポート型についても同じであることは、いう
までもない。
発明の効果
以上のように本発明によれば、電極幅３／８λのスプリ
ット型交叉電極指と、電極幅％λ、ギャップ幅Ａλの反
射電極指列によって、波長λの表面弾性波を励振するこ
とができ、従来の賃λに比べて％λと電極幅が１・５倍
になり、高周波化が可能となる。
ット型交叉電極指と、電極幅％λ、ギャップ幅Ａλの反
射電極指列によって、波長λの表面弾性波を励振するこ
とができ、従来の賃λに比べて％λと電極幅が１・５倍
になり、高周波化が可能となる。
また交叉電極指と反射電極指列の間隔は、第２図に示す
ように１ン、λとする時、最も効率が良くなる。
ように１ン、λとする時、最も効率が良くなる。
第１図は本発明の一実施例による表面弾性波共振子素子
の上面図、第２図は同素子を断面から見た模式図、第３
図は従来の表面弾性波共振子素子の上面図である。 １・・・・・−圧電基板、２・・・・・・スプリット型
交叉電極指、３・・・・・・反射電極指列。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 五Ｏふ
の上面図、第２図は同素子を断面から見た模式図、第３
図は従来の表面弾性波共振子素子の上面図である。 １・・・・・−圧電基板、２・・・・・・スプリット型
交叉電極指、３・・・・・・反射電極指列。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 五Ｏふ
Claims (2)
- （１）所望の共振周波数に対する表面弾性波の波長をλ
とした時、圧電基板上に３／８λのラインアンドスペー
スをもつスプリット型交叉電極指を設け、かつその両側
に３／４λの電極幅と５／４λのギャップ幅をもつ反射
電極指列を設けたことを特徴とする表面弾性波共振子。 - （２）交叉電極指と反射電極指列の間隔がおよそ（５／
１６＋ｎ／２）λ（ｎ＝１、２、………）であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の表面弾性波共振
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24778386A JP2600146B2 (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 表面弾性波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24778386A JP2600146B2 (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 表面弾性波共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63102413A true JPS63102413A (ja) | 1988-05-07 |
| JP2600146B2 JP2600146B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=17168585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24778386A Expired - Lifetime JP2600146B2 (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 表面弾性波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2600146B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02311007A (ja) * | 1989-05-26 | 1990-12-26 | Hitachi Ltd | 弾性表面波デバイス |
| JP2017228945A (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
-
1986
- 1986-10-17 JP JP24778386A patent/JP2600146B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02311007A (ja) * | 1989-05-26 | 1990-12-26 | Hitachi Ltd | 弾性表面波デバイス |
| JP2017228945A (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2600146B2 (ja) | 1997-04-16 |
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