JPH0270114A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
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- JPH0270114A JPH0270114A JP22148188A JP22148188A JPH0270114A JP H0270114 A JPH0270114 A JP H0270114A JP 22148188 A JP22148188 A JP 22148188A JP 22148188 A JP22148188 A JP 22148188A JP H0270114 A JPH0270114 A JP H0270114A
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- JP
- Japan
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- electrode
- electrodes
- thin film
- surface acoustic
- acoustic wave
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- Pending
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 23
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005616 pyroelectricity Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は弾性表面波共振子に関し、特に実用上問題とな
る焦電効果によシ発生する不要電荷の低減手段に関する
ものである。
る焦電効果によシ発生する不要電荷の低減手段に関する
ものである。
従来、この種の弾性表面波共振子は、第２図に示すより
に圧電性基板１上に交叉指状電極２と、グレーティング
反射器としてのグレーティング電極３ 、４と、ボンデ
ィング用パター７５．６と、文字パターンなどとが形成
されて構成されており、これらのパターン以外の圧電性
基板１上の表面はパターンが形成されていない。なお、
７．８はワイヤ線である。
に圧電性基板１上に交叉指状電極２と、グレーティング
反射器としてのグレーティング電極３ 、４と、ボンデ
ィング用パター７５．６と、文字パターンなどとが形成
されて構成されており、これらのパターン以外の圧電性
基板１上の表面はパターンが形成されていない。なお、
７．８はワイヤ線である。
上述した従来の弾性表面波共振子の圧電性基板１の表面
は、交叉指状電極２以外にワイヤボンディング等で電気
的に接続される部分はない。ところで、弾性表面波素子
は圧電性基板１を一般的に用いるが、この圧電性基板１
は、熱変化によって電荷が生じる焦電性も合わせ持って
おり、この焦電性によって急激な熱変化があると、電荷
が生じ、その電荷がパターンに放電することにより、こ
の弾性表面波共振子の端子にパルス雑音が発生し、結果
的に装置の性能を著しく劣化させるという問題があつ次
。
は、交叉指状電極２以外にワイヤボンディング等で電気
的に接続される部分はない。ところで、弾性表面波素子
は圧電性基板１を一般的に用いるが、この圧電性基板１
は、熱変化によって電荷が生じる焦電性も合わせ持って
おり、この焦電性によって急激な熱変化があると、電荷
が生じ、その電荷がパターンに放電することにより、こ
の弾性表面波共振子の端子にパルス雑音が発生し、結果
的に装置の性能を著しく劣化させるという問題があつ次
。
したがって本発明は前述し九従来の問題に鑑みてなされ
次ものであり、その目的は、焦電効果で生じた不要電荷
を吸収させ、パルス雑音の発生を軽減させて装置の性能
を向上させることができる弾性表面波共振子を提供する
ことにある。
次ものであり、その目的は、焦電効果で生じた不要電荷
を吸収させ、パルス雑音の発生を軽減させて装置の性能
を向上させることができる弾性表面波共振子を提供する
ことにある。
本発明の弾性表面波共振子は、この弾性表面波共振子を
構成する交叉指状電極およびグレーティングｔｉから共
複周波数における弾性表面波の波長の５倍以上の距離を
隔てた圧電性基板表面上を導体薄膜電極で覆い、かつそ
の導体薄膜電極が接地される構成を有している。
構成する交叉指状電極およびグレーティングｔｉから共
複周波数における弾性表面波の波長の５倍以上の距離を
隔てた圧電性基板表面上を導体薄膜電極で覆い、かつそ
の導体薄膜電極が接地される構成を有している。
本発明においては、焦電効果で生じた電荷の大部分が導
体薄膜電極に吸収される。
体薄膜電極に吸収される。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の弾性表面波共振子のパター
ン図でちゃ、前述の図と同一部分には同一符号を付しで
ある。同図において、圧電性基板１上には、交叉指状電
極２およびグレーティング電極３．４を囲んでその周縁
部に導体薄膜電極９がパターン形成され、この導体薄膜
電極９はワイヤ線１０により図示しない金属ケースへ接
地されている。この場合、導体薄膜電極９は、交叉指状
電極２およびグレーティング電極３，４から弾性表面波
の伝搬方向に対して横方向の距離りが弾性表面波の波長
の５倍以上の距離を隔てて形成配置されている。また、
グレーティング電極２，３は導体パターン１１により導
体薄膜電極９と導通されており、同様に接地されている
。
ン図でちゃ、前述の図と同一部分には同一符号を付しで
ある。同図において、圧電性基板１上には、交叉指状電
極２およびグレーティング電極３．４を囲んでその周縁
部に導体薄膜電極９がパターン形成され、この導体薄膜
電極９はワイヤ線１０により図示しない金属ケースへ接
地されている。この場合、導体薄膜電極９は、交叉指状
電極２およびグレーティング電極３，４から弾性表面波
の伝搬方向に対して横方向の距離りが弾性表面波の波長
の５倍以上の距離を隔てて形成配置されている。また、
グレーティング電極２，３は導体パターン１１により導
体薄膜電極９と導通されており、同様に接地されている
。
このような構成によると、圧電性基板１の表面に形成さ
れ次交叉指状電極２およびグレーティング電極３，４ｔ
−囲んで圧電性基板１の周縁表面部分を導体薄膜電極９
のパターンで覆い。しかもこの導体薄膜電極３をあるい
はグレーティング電極３．４も含めて接地することで、
焦電効果で生じた電荷の大部分はこの導体薄膜電極９で
吸収され、アース・＼逃げてしまう。したがってパルス
雑音はほとんど生じることはなくなる。さらにこの導体
薄膜電極９は交叉指状電極２およびグレーティング電極
３，４から弾性表面波の波長の５倍以上隔っているため
、弾性表面波のガイド効果による横モード分布への導体
薄膜電極９の影響も無視できる。
れ次交叉指状電極２およびグレーティング電極３，４ｔ
−囲んで圧電性基板１の周縁表面部分を導体薄膜電極９
のパターンで覆い。しかもこの導体薄膜電極３をあるい
はグレーティング電極３．４も含めて接地することで、
焦電効果で生じた電荷の大部分はこの導体薄膜電極９で
吸収され、アース・＼逃げてしまう。したがってパルス
雑音はほとんど生じることはなくなる。さらにこの導体
薄膜電極９は交叉指状電極２およびグレーティング電極
３，４から弾性表面波の波長の５倍以上隔っているため
、弾性表面波のガイド効果による横モード分布への導体
薄膜電極９の影響も無視できる。
以上説明したように本発明によれば、交叉指状電極およ
びグ［／−ティング反射器からの弾性表面波の伝搬方向
に対して横方向の距離が弾性表面波波長の５倍以上隔て
た圧電性基板表面上に接地される導体薄膜電極を設けた
ことにより、焦電効果で生じた不要電荷の大部分がこの
導体薄膜に吸収され接地されるので、パルス雑音の発生
がなくなり、装置の性能を大幅に向上させることができ
るという極めて優れた効果が得られる。
びグ［／−ティング反射器からの弾性表面波の伝搬方向
に対して横方向の距離が弾性表面波波長の５倍以上隔て
た圧電性基板表面上に接地される導体薄膜電極を設けた
ことにより、焦電効果で生じた不要電荷の大部分がこの
導体薄膜に吸収され接地されるので、パルス雑音の発生
がなくなり、装置の性能を大幅に向上させることができ
るという極めて優れた効果が得られる。
第１図は本発明の一実施例による弾性表面波共振子のパ
ターン図、第２図は従来の弾性表面波共振子のパターン
図である。 １・・・・圧電性基板、２・・・・交叉指状電極、３，
４・・・・グレーティング電極、５，６−・Ｑ・ボンデ
ィング用パターン、７ 、９ ａ １１ ＠・ボンディ
ングワイヤ、９・・・・導体薄膜電極、１０・・−−接
地用ボンディングワイヤ、１１・・・・導体パターン。
ターン図、第２図は従来の弾性表面波共振子のパターン
図である。 １・・・・圧電性基板、２・・・・交叉指状電極、３，
４・・・・グレーティング電極、５，６−・Ｑ・ボンデ
ィング用パターン、７ 、９ ａ １１ ＠・ボンディ
ングワイヤ、９・・・・導体薄膜電極、１０・・−−接
地用ボンディングワイヤ、１１・・・・導体パターン。
Claims (1)
- 圧電性基板の表面に交叉指状電極およびグレーティング
反射器がパターン形成された弾性表面波共振子において
、前記交叉指状電極およびグレーティング反射器からの
弾性表面波の伝搬方向に対して横方向の距離が弾性表面
波波長の５倍以上隔てた前記圧電性基板表面上に接地さ
れる導体薄膜電極を設けたことを特徴とする弾性表面波
共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22148188A JPH0270114A (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22148188A JPH0270114A (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0270114A true JPH0270114A (ja) | 1990-03-09 |
Family
ID=16767388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22148188A Pending JPH0270114A (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0270114A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06164295A (ja) * | 1992-11-27 | 1994-06-10 | Nec Corp | 弾性表面波ろ波器 |
| FR2764440A1 (fr) * | 1997-06-10 | 1998-12-11 | Thomson Csf | Composant a ondes acoustiques de surface avec suppression de perturbation pyroelectrique |
| WO2002087080A1 (en) * | 2001-04-19 | 2002-10-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and its manufacture method, and electronic part using it |
| WO2003001666A1 (fr) * | 2001-06-21 | 2003-01-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dispositif a ondes acoustiques de surface, procede de fabrication et composant electronique utilisant ledit dispositif et ledit procede |
| JP2005331885A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Fujitsu Ltd | 音響光学デバイスおよび音響光学デバイスの製造方法 |
| JP2006042007A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Kyocera Corp | 弾性表面波素子および通信装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56149109A (en) * | 1980-04-19 | 1981-11-18 | Fujitsu Ltd | Elastic surface wave device |
-
1988
- 1988-09-06 JP JP22148188A patent/JPH0270114A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56149109A (en) * | 1980-04-19 | 1981-11-18 | Fujitsu Ltd | Elastic surface wave device |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH06164295A (ja) * | 1992-11-27 | 1994-06-10 | Nec Corp | 弾性表面波ろ波器 |
| FR2764440A1 (fr) * | 1997-06-10 | 1998-12-11 | Thomson Csf | Composant a ondes acoustiques de surface avec suppression de perturbation pyroelectrique |
| WO1998057426A1 (fr) * | 1997-06-10 | 1998-12-17 | Thomson-Csf | Composant a ondes acoustiques de surface avec suppression de perturbation pyroelectrique |
| WO2002087080A1 (en) * | 2001-04-19 | 2002-10-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and its manufacture method, and electronic part using it |
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| EP1381156A4 (en) * | 2001-04-19 | 2004-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | SURFACE ACOUSTIC WAVE PROCESSING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND ELECTRONIC COMPONENT USING THE SAME |
| US6972509B2 (en) | 2001-04-19 | 2005-12-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device method of manufacturing the same, and electronic component using the same |
| WO2003001666A1 (fr) * | 2001-06-21 | 2003-01-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dispositif a ondes acoustiques de surface, procede de fabrication et composant electronique utilisant ledit dispositif et ledit procede |
| US7064471B2 (en) | 2001-06-21 | 2006-06-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device, method of manufacturing the device, and electronic component using the device and method |
| JP2005331885A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Fujitsu Ltd | 音響光学デバイスおよび音響光学デバイスの製造方法 |
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| JP4498049B2 (ja) * | 2004-07-28 | 2010-07-07 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子、弾性表面波装置および通信装置 |
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