JPS58182312A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS58182312A JPS58182312A JP6468182A JP6468182A JPS58182312A JP S58182312 A JPS58182312 A JP S58182312A JP 6468182 A JP6468182 A JP 6468182A JP 6468182 A JP6468182 A JP 6468182A JP S58182312 A JPS58182312 A JP S58182312A
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- JP
- Japan
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- surface acoustic
- acoustic wave
- wave device
- bus bar
- reflection
- Prior art date
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- Pending
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/1452—Means for weighting by finger overlap length, apodisation
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- H—ELECTRICITY
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
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- H—ELECTRICITY
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14547—Fan shaped; Tilted; Shifted; Slanted; Tapered; Arched; Stepped finger transducers
-
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- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
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- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14573—Arrow type transducers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術９分野〕
本発明は不要反射波を除去した弾性表面波装置に関する
。
。
弾性表面波装置は、通常第１図に示されるように圧電材
料からなる基板上ＩＫ弾性表面波（＾ｃｏｕｓｔｉｃ８
ｕｒｆａｃｅＷａｗｅ ：以下８人Ｗと略す）の送受信
を行なう丸めの入カトラミスデエーサ２および出力トラ
ンスデ凰−サ３を具備してなる。これらのトランスデユ
ーサは、通常１対の互いに入りくんだくし歯形電極から
なるスダレ変換器（インターディジタル・トランスデー
−サ）が用いられる。入力電気信号は、入力トランスデ
ユーサ２で１９ＡＷに変換され、伝搬路を介して出力ト
ランスデユーサ３に到達する。この場合、人出カドラン
スデューサのどちらか一方（図では入力トランスデユー
サ２）に、所望の周波数特性を得る丸め、に、電極指の
対向部分の長さを８ＡＷの伝書方向に対する位置により
変化させたアポダイズド法と呼ばれる重み付けをほどこ
している。この図に示す例では入出力トランスデ凰−サ
２，３の各電極指は８ｏ１ｉｄ電極、すなわち電極指幅
がλ／４（λ：表面波波長）幅で形成されているが、こ
の５ｏｌｉｄ電極では電極指の存在する箇所と存在しな
い箇所での音響インピーダンスの葺によシ反射が生じて
しまう。従って。
料からなる基板上ＩＫ弾性表面波（＾ｃｏｕｓｔｉｃ８
ｕｒｆａｃｅＷａｗｅ ：以下８人Ｗと略す）の送受信
を行なう丸めの入カトラミスデエーサ２および出力トラ
ンスデ凰−サ３を具備してなる。これらのトランスデユ
ーサは、通常１対の互いに入りくんだくし歯形電極から
なるスダレ変換器（インターディジタル・トランスデー
−サ）が用いられる。入力電気信号は、入力トランスデ
ユーサ２で１９ＡＷに変換され、伝搬路を介して出力ト
ランスデユーサ３に到達する。この場合、人出カドラン
スデューサのどちらか一方（図では入力トランスデユー
サ２）に、所望の周波数特性を得る丸め、に、電極指の
対向部分の長さを８ＡＷの伝書方向に対する位置により
変化させたアポダイズド法と呼ばれる重み付けをほどこ
している。この図に示す例では入出力トランスデ凰−サ
２，３の各電極指は８ｏ１ｉｄ電極、すなわち電極指幅
がλ／４（λ：表面波波長）幅で形成されているが、こ
の５ｏｌｉｄ電極では電極指の存在する箇所と存在しな
い箇所での音響インピーダンスの葺によシ反射が生じて
しまう。従って。
実際の使用にあたっては、これらの反射を除去するため
に米国特許ｆａ３フ２７１５５号明細書に記載されてい
るようなスプリット電極あるいは米国特許第３７４８６
０３号明細書に記載されて（ハるようなλ／８−５λ４
′鑞極が用いられている０Ｊ９ＡＷの励振に寄与しない
ダオー電槓４は８ＡＷの波面のみだれを補償するための
もので、ここでは電気的に接続されていない浮きダミー
嵯極を用いている。ブスバー５は交差している全ての各
電極指に電気信号を印加するためのもので重み付けされ
た電極の各包絡線に沿った内線を形成している。この様
にブスバーを形成することによシ、不要な部分の電極指
の静電容量を低減できるとともＫ、電極指の断線により
生じていた製造時の歩留シを著しく改善できる。
に米国特許ｆａ３フ２７１５５号明細書に記載されてい
るようなスプリット電極あるいは米国特許第３７４８６
０３号明細書に記載されて（ハるようなλ／８−５λ４
′鑞極が用いられている０Ｊ９ＡＷの励振に寄与しない
ダオー電槓４は８ＡＷの波面のみだれを補償するための
もので、ここでは電気的に接続されていない浮きダミー
嵯極を用いている。ブスバー５は交差している全ての各
電極指に電気信号を印加するためのもので重み付けされ
た電極の各包絡線に沿った内線を形成している。この様
にブスバーを形成することによシ、不要な部分の電極指
の静電容量を低減できるとともＫ、電極指の断線により
生じていた製造時の歩留シを著しく改善できる。
しかしながら、ブスバーを重み付けの包絡ＩＮＫ沿った
内線に形成するととくよって生ずる欠点をも有している
。すなわち第２図に示すブスバーのλ部分の拡大図に示
すように、８ムＷが電極の存在する領域から存在しない
領域に通過するとき両領域における音響インピーダンス
が相異するため、ブスバーの最端部で反射が生じてしま
う。このブスバー最端部での反射は、ブスバーの内縁が
８ＡＷ伝搬方向く直角方向に近くなるほど、すなわち重
み付けの包結線が急峻なほど大きくなる。従って弾性表
面波装置をフィルタなどに適用した場合、比帯域幅が大
きくなると反射の影響があられれ、比帯域幅が１０−以
上になると、その影響は顕著になる。この反射波は、ス
プリアス信号として出力にあられれるため、弾性表面波
装置の特性を劣化させる原因となっていた。
内線に形成するととくよって生ずる欠点をも有している
。すなわち第２図に示すブスバーのλ部分の拡大図に示
すように、８ムＷが電極の存在する領域から存在しない
領域に通過するとき両領域における音響インピーダンス
が相異するため、ブスバーの最端部で反射が生じてしま
う。このブスバー最端部での反射は、ブスバーの内縁が
８ＡＷ伝搬方向く直角方向に近くなるほど、すなわち重
み付けの包結線が急峻なほど大きくなる。従って弾性表
面波装置をフィルタなどに適用した場合、比帯域幅が大
きくなると反射の影響があられれ、比帯域幅が１０−以
上になると、その影響は顕著になる。この反射波は、ス
プリアス信号として出力にあられれるため、弾性表面波
装置の特性を劣化させる原因となっていた。
本発明は、このような従来技−術の欠点を解決し反射に
よる不要なスプリアス信号を極力除去して高性能な弾性
表面波装置を提供することを目的とする〇 〔発明の概豐〕 この発明は、重み付は電極の包結線に沿った内縁を形成
してなるブスバーにおいて、ブスバーの外縁の最端部の
形状を工夫したもので、すなわち表面波伝搬方向への長
さをλ／４とし、伝搬方向と喬直に長さｊの凸凹部を形
成したことを特徴としている。長さ！は！＝λ、１＜λ
とし、凸部の！および凹部の１′は！＝７′とする。
よる不要なスプリアス信号を極力除去して高性能な弾性
表面波装置を提供することを目的とする〇 〔発明の概豐〕 この発明は、重み付は電極の包結線に沿った内縁を形成
してなるブスバーにおいて、ブスバーの外縁の最端部の
形状を工夫したもので、すなわち表面波伝搬方向への長
さをλ／４とし、伝搬方向と喬直に長さｊの凸凹部を形
成したことを特徴としている。長さ！は！＝λ、１＜λ
とし、凸部の！および凹部の１′は！＝７′とする。
この発明によれば音響インピーダンスの相異によるブス
バー最端部からの反射波は、凸凹部分のλ／４の段差に
より、各々の凸凹部ではλ／２の行路差となり、 １
８００ の位相差を生じることになる。
バー最端部からの反射波は、凸凹部分のλ／４の段差に
より、各々の凸凹部ではλ／２の行路差となり、 １
８００ の位相差を生じることになる。
従って反射波は逆相的に互いに打消され、不要な′ ス
プリアス信号が発生しなくなる。
プリアス信号が発生しなくなる。
以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。第３
図は本発明く係る弾性表面波装置の模履上面図である。
図は本発明く係る弾性表面波装置の模履上面図である。
本発明の説明に必要な重み付けされ九入力側の電極のみ
図示し、出力側の電極の図示は省略した。図では重み付
けされた各電極指はソリッド電極で構成されているが、
実際の使用にあたっては、前記したスプリット電極およ
びλβ−５λ７１電極が用いられる。
図示し、出力側の電極の図示は省略した。図では重み付
けされた各電極指はソリッド電極で構成されているが、
実際の使用にあたっては、前記したスプリット電極およ
びλβ−５λ７１電極が用いられる。
ブスバー５は、はぼ重み付けの包結線に宿って内縁を形
成してなされ、外縁部には表面波伝搬方向にλ／４の段
差をつけ九凸凹の突起８が形成されている。点線の丸印
で囲んだ８ｗ６分の拡大図を第４図に示す。ブスバーの
外縁の最端部を第４図のような形状にすることにより、
電極の存在する領域と存在しない領域との音響インピー
ダンスの相異による表面波の反射を除去できる。
成してなされ、外縁部には表面波伝搬方向にλ／４の段
差をつけ九凸凹の突起８が形成されている。点線の丸印
で囲んだ８ｗ６分の拡大図を第４図に示す。ブスバーの
外縁の最端部を第４図のような形状にすることにより、
電極の存在する領域と存在しない領域との音響インピー
ダンスの相異による表面波の反射を除去できる。
すなわち、第４図で示す矢印ｌ】の反射波を矢印１２の
反射波はλカの行路差があるため、その位相差は１８０
０ となり互いに打ち消されることになる。
反射波はλカの行路差があるため、その位相差は１８０
０ となり互いに打ち消されることになる。
各々の凸凹部で反射波は互いに打ち消されるため不要な
スプリアス信号は全て除去される。第４図にしいて、凸
凹部の！、！′の長さは等しく、シかもλ以下である。
スプリアス信号は全て除去される。第４図にしいて、凸
凹部の！、！′の長さは等しく、シかもλ以下である。
これらの凸凹部は、ブスバー外縁の最端部の片側のみに
設けてｔ喪い。
設けてｔ喪い。
最近、弾性表面波装置の設計、製造の技術が進歩するＫ
つれて、より為性能化を要求されているなかで、本発明
によシネ要なスプリアス信号のない高性能を有する弾性
表面波装置が実現で自る。
つれて、より為性能化を要求されているなかで、本発明
によシネ要なスプリアス信号のない高性能を有する弾性
表面波装置が実現で自る。
＃Ｉ５図は本発明による他の実施例の横形上面図である
。包路線の中の励振電極とダミー４極は省略しである。
。包路線の中の励振電極とダミー４極は省略しである。
この例では重み付は電極を傾斜して設けたティル） （
Ｔｉｌｔ）電極の場合であり、本発明による効果と全く
同様の効果が得られるものである。
Ｔｉｌｔ）電極の場合であり、本発明による効果と全く
同様の効果が得られるものである。
以上、本発明について実施例を説明して自走が本発明は
これらの実施例に限定されるものではなく、本発明の趣
旨を逸脱しない限り他の変形も可能である。
これらの実施例に限定されるものではなく、本発明の趣
旨を逸脱しない限り他の変形も可能である。
第１図は従来の弾性表面波装置の横形上面図、第２図は
第１図点線の丸印で囲んだＡ部分の拡大図、第３図は本
発明実施例の横形上面図、第４図は第３図点線の丸印で
囲んだＢ部分の拡大図、第５図は本発明の他の実施例の
横形上面図である。 １・・・圧電体基板、２・・・入カドランスデューサ、
３・・・出力トランスデユーサ、４・・・ダミー電極。 ５・・・ブスバー、６・・・シールド電極、７・・・吸
音材、 ８・・・凹凸の央起。 ｆｉａ図 第５図
第１図点線の丸印で囲んだＡ部分の拡大図、第３図は本
発明実施例の横形上面図、第４図は第３図点線の丸印で
囲んだＢ部分の拡大図、第５図は本発明の他の実施例の
横形上面図である。 １・・・圧電体基板、２・・・入カドランスデューサ、
３・・・出力トランスデユーサ、４・・・ダミー電極。 ５・・・ブスバー、６・・・シールド電極、７・・・吸
音材、 ８・・・凹凸の央起。 ｆｉａ図 第５図
Claims (2)
- （１）圧電基板上にインターディジタル電極が重み付け
して形成され、かつこの重み付は電極の包結線に沿って
ブスバーが形成され九弾性表面波装置において、前記ブ
スバーの表面波伝搬方向と交差する外縁の少くとも一部
に表面波伝搬方向への長さがλ／４（λ：表面波波長）
の複数の凹凸部を形成したことを特徴とする弾性表面波
装置。 - （２）凹部および凸部の表面波伝搬方向と直交する方向
の長さ！およびｊ′は！≦λ、ｌ＝ｌ’に形成されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表
面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6468182A JPS58182312A (ja) | 1982-04-20 | 1982-04-20 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6468182A JPS58182312A (ja) | 1982-04-20 | 1982-04-20 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58182312A true JPS58182312A (ja) | 1983-10-25 |
Family
ID=13265143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6468182A Pending JPS58182312A (ja) | 1982-04-20 | 1982-04-20 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58182312A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6213020U (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-26 | ||
| CN104504825A (zh) * | 2015-01-07 | 2015-04-08 | 浙江师范大学 | 一种公交车呼叫及报警装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5341152A (en) * | 1976-07-29 | 1978-04-14 | Plessey Handel Investment Ag | Surface acoustic wave filter |
-
1982
- 1982-04-20 JP JP6468182A patent/JPS58182312A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5341152A (en) * | 1976-07-29 | 1978-04-14 | Plessey Handel Investment Ag | Surface acoustic wave filter |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6213020U (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-26 | ||
| CN104504825A (zh) * | 2015-01-07 | 2015-04-08 | 浙江师范大学 | 一种公交车呼叫及报警装置 |
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