JPS58686B2 - 弾性表面波デバイス - Google Patents
弾性表面波デバイスInfo
- Publication number
- JPS58686B2 JPS58686B2 JP52152933A JP15293377A JPS58686B2 JP S58686 B2 JPS58686 B2 JP S58686B2 JP 52152933 A JP52152933 A JP 52152933A JP 15293377 A JP15293377 A JP 15293377A JP S58686 B2 JPS58686 B2 JP S58686B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- electrode
- acoustic wave
- interdigital transducer
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02858—Means for compensation or elimination of undesirable effects of wave front distortion
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧電性基板上に２つくみ歯電極を交互にかみ
合わせた構造のインターデイジタルトランスデューザを
有する弾性表面波デバイスに関するものである。
合わせた構造のインターデイジタルトランスデューザを
有する弾性表面波デバイスに関するものである。
弾性表面波デバイスは一般に第１図に示すように圧電性
基板１と、くし歯状の２つの電極が交互にかみ合った構
造を有し、電気信号を弾性表面波に変換する入力インタ
ーディジタル・トランスデユーサ（以下、インターディ
ジタル・トランスデユーサをＩＤＴと略す）２と、弾性
表面波を伝搬させる伝搬路３と、入力ＩＤＴ２と同様の
構造を有し、伝搬してきた弾性表面波を電気信号に変換
する出力ＩＤＴ４とから構成される。
基板１と、くし歯状の２つの電極が交互にかみ合った構
造を有し、電気信号を弾性表面波に変換する入力インタ
ーディジタル・トランスデユーサ（以下、インターディ
ジタル・トランスデユーサをＩＤＴと略す）２と、弾性
表面波を伝搬させる伝搬路３と、入力ＩＤＴ２と同様の
構造を有し、伝搬してきた弾性表面波を電気信号に変換
する出力ＩＤＴ４とから構成される。
このような構成の弾性表面波デバイスで、複雑な周波数
特性を実現するには入力ＩＤＴ２および出力ＩＤＴ４の
少なくとも一方を、通常、第２図に示すように交叉幅に
よる重み付けを行ない、この重みによって生じる包絡線
５ａ、５ｂを所望の周波数特性のフーリエ変換に対応さ
せる。
特性を実現するには入力ＩＤＴ２および出力ＩＤＴ４の
少なくとも一方を、通常、第２図に示すように交叉幅に
よる重み付けを行ない、この重みによって生じる包絡線
５ａ、５ｂを所望の周波数特性のフーリエ変換に対応さ
せる。
また第２図のように重み付けを行なったＩＤＴでは伝搬
していく弾性表面波の波形歪をなくすため、上記包絡線
５ａ。
していく弾性表面波の波形歪をなくすため、上記包絡線
５ａ。
５ｂの外側部分にダミー電極６を形成する（米国特許３
６９９３６４により公知）ことが一般に用いられる。
６９９３６４により公知）ことが一般に用いられる。
さらに、電極部での反射をなくすためスプリット・コネ
クト（米国特許３７２７１５５により公知）と呼ばれる
ＩＤＴや、「Ｋｅｎｔａｒｏ Ｈａｎｍａ」の論文（１
９７６「ＵｌｔｒａｓｏｎｉｃｓＳｙｍｐｏｓｉｕｍＰ
ｒｏｃｅｅｄｉｎｇ」Ｐ、３２８〜３３１）に記載の「
Ｕｎｂａｌａｎｃｅｄ Ｄｏｕｂｌｅ」電極（略してＵ
ＢＤ電極）などが用いられるが、前者は弾性表面波の波
長をλとしてλ／８の電極幅を有したＩＤＴであり、後
者はλ／１６おをび３λ／１６の電極幅を有したＩＤＴ
であるため、例えば、５０ＭＨｚのテレビ用中間周波フ
ィルタに用いる場合でも１０μｍ以下の非常に細い電極
幅を必要とし、デバイスの歩留り低下の原因となってい
た。
クト（米国特許３７２７１５５により公知）と呼ばれる
ＩＤＴや、「Ｋｅｎｔａｒｏ Ｈａｎｍａ」の論文（１
９７６「ＵｌｔｒａｓｏｎｉｃｓＳｙｍｐｏｓｉｕｍＰ
ｒｏｃｅｅｄｉｎｇ」Ｐ、３２８〜３３１）に記載の「
Ｕｎｂａｌａｎｃｅｄ Ｄｏｕｂｌｅ」電極（略してＵ
ＢＤ電極）などが用いられるが、前者は弾性表面波の波
長をλとしてλ／８の電極幅を有したＩＤＴであり、後
者はλ／１６おをび３λ／１６の電極幅を有したＩＤＴ
であるため、例えば、５０ＭＨｚのテレビ用中間周波フ
ィルタに用いる場合でも１０μｍ以下の非常に細い電極
幅を必要とし、デバイスの歩留り低下の原因となってい
た。
また、非常に細い電極幅であることから電極の切断事故
さらには包絡線の外側の電極部と電極が存在しない間隙
部との比がまちまちである故、弾性表面波の波面歪が生
じるという欠点があった。
さらには包絡線の外側の電極部と電極が存在しない間隙
部との比がまちまちである故、弾性表面波の波面歪が生
じるという欠点があった。
本発明は上記した従来技術の欠点に鑑み、波面歪、電極
部での反射、歩留りなどの問題点を全て解決したＩＤＴ
を有する弾性表面波デバイスを提供するものである。
部での反射、歩留りなどの問題点を全て解決したＩＤＴ
を有する弾性表面波デバイスを提供するものである。
本発明は、重みによって生じる包絡線の外側の部分の電
極幅および電極間隙を弾性表面波の波長のほぼ１／２と
し、かつ上記包絡線を弾性表面波伝搬路の中心線に対し
て上下対称とし、さらに上記電極幅および電極間隙が伝
搬路中心線の上と下とでそれぞれ逆の位置にあるように
配置することによって上記した従来技術の欠点を解消し
たものである。
極幅および電極間隙を弾性表面波の波長のほぼ１／２と
し、かつ上記包絡線を弾性表面波伝搬路の中心線に対し
て上下対称とし、さらに上記電極幅および電極間隙が伝
搬路中心線の上と下とでそれぞれ逆の位置にあるように
配置することによって上記した従来技術の欠点を解消し
たものである。
以下、その其体的実施例を示し詳述する。
第３図は本発明の弾性表面波デバイスに用いられるイン
ターディジタル・トランスデユーサ（ＩＤＴ）の具体的
構成の一例図であって、同図は入、出力ＩＤＴのうち一
方のみを交叉幅で重み付けをした場合を示している。
ターディジタル・トランスデユーサ（ＩＤＴ）の具体的
構成の一例図であって、同図は入、出力ＩＤＴのうち一
方のみを交叉幅で重み付けをした場合を示している。
（なお、高特性を得る場合など、必要に応じて入、出力
ＩＤＴを交叉幅で重み付けすることもある）同図の如く
、ＩＤＴ１０ａ。
ＩＤＴを交叉幅で重み付けすることもある）同図の如く
、ＩＤＴ１０ａ。
１０ｂの交叉によって生じる包絡線５ａ、５ｂの外側す
なわち弾性表面波の発生または受信に寄与しない電極部
７ａ、７ｂの電極幅を弾性表面波の波長λの１／２とし
、従来のスプリット・コネクトあるいはＵＢＤ電極の４
〜８倍幅広にしである。
なわち弾性表面波の発生または受信に寄与しない電極部
７ａ、７ｂの電極幅を弾性表面波の波長λの１／２とし
、従来のスプリット・コネクトあるいはＵＢＤ電極の４
〜８倍幅広にしである。
また上記包絡線５ａ、５ｂの外側の電極部７ａ。
７ｂ各々と隣接する電極間隙部８ａ、８ｂをそれら電極
部７ａ、７ｂと同じ波長λの１／２にしてあり、それぞ
れ電極部７と、電極の存在しない電極空間部８の比は１
としである。
部７ａ、７ｂと同じ波長λの１／２にしてあり、それぞ
れ電極部７と、電極の存在しない電極空間部８の比は１
としである。
そして、包絡線５ａ、５ｂの内側にある弾性表面波の発
生または受信に寄与する電極部１１ａ、１１ｂは２本一
対で図示の如く形成しである。
生または受信に寄与する電極部１１ａ、１１ｂは２本一
対で図示の如く形成しである。
このように形成されたＩＤＴ１０ａ、１０ｂはさらに弾
性表面波伝搬路の中心線９に対し、包絡線５ａ、５ｂは
ほぼ上下対称になるように配置され、かつ前述のλ／２
の電極部７ａ、７ｂと電極間隙部８ａ、８ｂとは、上記
中心線９を境にそれぞれ逆の位置になるように配置しで
ある。
性表面波伝搬路の中心線９に対し、包絡線５ａ、５ｂは
ほぼ上下対称になるように配置され、かつ前述のλ／２
の電極部７ａ、７ｂと電極間隙部８ａ、８ｂとは、上記
中心線９を境にそれぞれ逆の位置になるように配置しで
ある。
したがって、第３図に示すインターディジタル・トラン
スデユーサによると、弾性表面波の発生または受信に直
接寄与しない電極部幅を従来のスプリット・コネクトあ
るいはＵＢＤ電極幅の４〜８倍と幅広にしであるので電
極の切断事故は大幅に減少し、歩留りは向上する。
スデユーサによると、弾性表面波の発生または受信に直
接寄与しない電極部幅を従来のスプリット・コネクトあ
るいはＵＢＤ電極幅の４〜８倍と幅広にしであるので電
極の切断事故は大幅に減少し、歩留りは向上する。
また、電極部７ａ。７ｂと電極間隙部８ａ、８ｂの比を
１としであるので、前述第２図のように電極間にダミー
電極を設けずとも弾性表面波に波面歪が生じる心配はな
い。
１としであるので、前述第２図のように電極間にダミー
電極を設けずとも弾性表面波に波面歪が生じる心配はな
い。
次に、電極部での反射が生じない理由について述べる。
第３図に示すそれぞれ電極間隙部８ａ電極部７ａの反射
波であるが、それぞれの電極幅がλ／２であるので、反
射波Ｂは反射波Ａに対してλ／２Ｘ２＝λ、すなわち、
３６０°の行路差を有しており、さらに反射波Ａが電極
間隙部８から電極部７へ進行したときの反射であるのに
対し、反射波Ｂは逆の反射であるため互いに１８０°の
位相差を生じ、結果においで反射波ＡとＢは互いに打消
し合うことになる。
波であるが、それぞれの電極幅がλ／２であるので、反
射波Ｂは反射波Ａに対してλ／２Ｘ２＝λ、すなわち、
３６０°の行路差を有しており、さらに反射波Ａが電極
間隙部８から電極部７へ進行したときの反射であるのに
対し、反射波Ｂは逆の反射であるため互いに１８０°の
位相差を生じ、結果においで反射波ＡとＢは互いに打消
し合うことになる。
さらにまた、電極部７と空間電極部８とが中心線９の上
下でそれぞれ逆の位置になるように配置しであるので、
第３図に示す反射波ＡとＣを比較すると、行路差はＯで
あるが、反射波Ａが電極間隙部８から電極部７へ進行し
たときの反射であるのに対し、反射波Ｃは逆の反射であ
るため、互いに１８０°の位相差を生じ、打消し合う。
下でそれぞれ逆の位置になるように配置しであるので、
第３図に示す反射波ＡとＣを比較すると、行路差はＯで
あるが、反射波Ａが電極間隙部８から電極部７へ進行し
たときの反射であるのに対し、反射波Ｃは逆の反射であ
るため、互いに１８０°の位相差を生じ、打消し合う。
このように２重に反射波を打消しあいその抑圧効果を大
きくしている。
きくしている。
上述の実施例からも明らかなように本発明によれば、イ
ンターディジタル・トランスデユーサを交叉幅で重み付
けし、その交叉によって生じる包絡線は弾性表面波伝搬
路の中心線に対して上下対称とし、さらに、弾性表面波
の発生または受信に寄与しないインターディジタル・ト
ランスデユーサ部の電極幅および電極間隙をその弾性表
面波の波長のほぼ１／２とし、かつ該１／２波長の電極
部および電極間隙が弾性表面波伝搬路の中心線の上下で
それぞれ逆の位置にあるように構成したものである。
ンターディジタル・トランスデユーサを交叉幅で重み付
けし、その交叉によって生じる包絡線は弾性表面波伝搬
路の中心線に対して上下対称とし、さらに、弾性表面波
の発生または受信に寄与しないインターディジタル・ト
ランスデユーサ部の電極幅および電極間隙をその弾性表
面波の波長のほぼ１／２とし、かつ該１／２波長の電極
部および電極間隙が弾性表面波伝搬路の中心線の上下で
それぞれ逆の位置にあるように構成したものである。
それにより、インターディジタル・トランスデユーサに
おける弾性表面波の波面歪、電極部での反射および歩留
り等の問題点を同時に解決でき、しかも弾性表面波の発
生または受信に寄与しないインターディジタル・トラン
スデユーサ部の電極幅を従来の４〜８倍幅広に形成した
故、電極の切断事故等もほとんどなく、この種のデバイ
スの発展に大きく寄与するものである。
おける弾性表面波の波面歪、電極部での反射および歩留
り等の問題点を同時に解決でき、しかも弾性表面波の発
生または受信に寄与しないインターディジタル・トラン
スデユーサ部の電極幅を従来の４〜８倍幅広に形成した
故、電極の切断事故等もほとんどなく、この種のデバイ
スの発展に大きく寄与するものである。
第１図は本発明の対象となる弾性表面波デバイスの全体
的構成を示す図、第２図は従来のインターディジタル・
トランスデユーサの概略構成図、第３図は本発明の一実
施例を示すインターディジタル・トランスデユーサの構
成図である。 ７ａ、７ｂ・・・・・・弾性表面波の発生または受信に
寄与しない電極部、８ａ、ａｂ・・・・・・電極間隙部
、９・・・・・・中心線、１０ａ、１０ｂ・・・・・・
インターディジタル・トランスデユーサ、１１ａ、１１
ｂ・・・・・・弾性表面波の発生または受信に寄与する
電極部。
的構成を示す図、第２図は従来のインターディジタル・
トランスデユーサの概略構成図、第３図は本発明の一実
施例を示すインターディジタル・トランスデユーサの構
成図である。 ７ａ、７ｂ・・・・・・弾性表面波の発生または受信に
寄与しない電極部、８ａ、ａｂ・・・・・・電極間隙部
、９・・・・・・中心線、１０ａ、１０ｂ・・・・・・
インターディジタル・トランスデユーサ、１１ａ、１１
ｂ・・・・・・弾性表面波の発生または受信に寄与する
電極部。
Claims (1)
- １ 圧電性基板上に、２つのくし歯状電極を交互にかみ
合わせた構造を有し、電気信号を弾性表面波に変換する
入力インターディジタル・トランスデユーサと、該入力
インターディジタル・トランスデユーサによって生じた
弾性表面波を伝搬させる伝搬路と、伝搬してきた弾性表
面波を電気信号に変換し、前記入力インターディジタル
・トランスデユーサと同様の構造を有する出力インター
ディジタル・トランスデユーサを具備し、前記入出力イ
ンターディジタル・トランスデユーサの少なくとも一方
は交叉幅で重み付けしてあり、該交叉によって生じる包
絡線は弾性表面波伝搬路の中心線に対してほぼ対称であ
り、さらに弾性表面波の発生または受信に寄与しないイ
ンターディジタル・トランスデユーサ部の電極幅および
電極間隙が該弾性表面波の波長のほぼ１／２であり、か
つ該１／２波長の電極部および電極間隙が弾性表面波伝
搬路の中心線の上と下とでそれぞれ逆の位置にあること
を特徴とする弾性表面波デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52152933A JPS58686B2 (ja) | 1977-12-21 | 1977-12-21 | 弾性表面波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52152933A JPS58686B2 (ja) | 1977-12-21 | 1977-12-21 | 弾性表面波デバイス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5486251A JPS5486251A (en) | 1979-07-09 |
| JPS58686B2 true JPS58686B2 (ja) | 1983-01-07 |
Family
ID=15551305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52152933A Expired JPS58686B2 (ja) | 1977-12-21 | 1977-12-21 | 弾性表面波デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58686B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5884517A (ja) * | 1981-11-16 | 1983-05-20 | Toshiba Corp | 弾性表面波トランスジユ−サ |
| JPS6181014A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表面弾性波デバイス |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138852A (ja) * | 1974-08-02 | 1976-03-31 | Philips Nv |
-
1977
- 1977-12-21 JP JP52152933A patent/JPS58686B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138852A (ja) * | 1974-08-02 | 1976-03-31 | Philips Nv |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5486251A (en) | 1979-07-09 |
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