JPS5937723A - 弾性表面波共振器型フイルタ装置 - Google Patents
弾性表面波共振器型フイルタ装置Info
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- JPS5937723A JPS5937723A JP14841782A JP14841782A JPS5937723A JP S5937723 A JPS5937723 A JP S5937723A JP 14841782 A JP14841782 A JP 14841782A JP 14841782 A JP14841782 A JP 14841782A JP S5937723 A JPS5937723 A JP S5937723A
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- Japan
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- electrodes
- interdigital electrodes
- type filter
- electrode
- surface acoustic
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6489—Compensation of undesirable effects
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弾性表面波を用いた共振器型フィルタ装置に関
するものである。
するものである。
弾性表面波を用いた狭帯域フィルタ装置として、圧電基
板上に一対のすだれ状電極を対向するように配置したも
のがある。このような狭帯域フィルタ装置においては、
電極指の対の数を増すことにより電極指間隔によって決
まる中心周波数以外の弾性表面波の伝搬が抑制され振幅
特性は狭帯域なものとなる。しかし、電極指対数の増加
は電極作製時に発生する断線、短絡等の欠陥や、表面の
微細な音響的伝搬損失原因（例えば汚れ、キズ、突起等
）等による損失増加を招く。したがってよシ少ない電極
指対数で狭帯域なフィルタ装置を実現するためにすだれ
状電極の内部反射を積極的に利用した共振器型フィルタ
装置がある。
板上に一対のすだれ状電極を対向するように配置したも
のがある。このような狭帯域フィルタ装置においては、
電極指の対の数を増すことにより電極指間隔によって決
まる中心周波数以外の弾性表面波の伝搬が抑制され振幅
特性は狭帯域なものとなる。しかし、電極指対数の増加
は電極作製時に発生する断線、短絡等の欠陥や、表面の
微細な音響的伝搬損失原因（例えば汚れ、キズ、突起等
）等による損失増加を招く。したがってよシ少ない電極
指対数で狭帯域なフィルタ装置を実現するためにすだれ
状電極の内部反射を積極的に利用した共振器型フィルタ
装置がある。
第１図にこのような従来公知例の構成図を示す。
図において、圧電基板１０上に形成された入・出力用す
だれ状電極１３及び１４は、内部インピーダンス１１を
有する高周波電源１２及び負荷インピーダンス１５にそ
れぞれ接続されている、前記すだれ状電極１３及び１４
の電極指はシングル構造である。一般にすだれ状電極に
おける電極指部は電極の有無に基づき弾性表面波に対し
て質量（ツ加効果もしくは圧電反作用を介して音響イン
ピーダンスの不連続部となるので、弾性表面波の反射を
誘起するが、すだれ状電極が第２図の平面図に示すよう
な１波長λの中に１対の電極指をもつシングル構造の場
合には、各電極指端部で発生した反射弾性表面波は同相
で重なり合う。従って、この公知例のようなシングル構
造の電極構造では電極対数が増大すると各々のすだれ状
電極は電気・音響変換器であると同時に、表面波共振器
としての性質が強く現われる。したがってすだれ状電極
としての振幅特性は電極指の対の数で決まる帯域よシも
狭帯域なものとなる。このような共振器的性質を持つす
だれ状電極を互いに接近させて配置すると、一方のすだ
れ状電極の中で共振を起こしている弾性表面波の一部が
他方のすだれ状電極に伝搬する。したがって、前記２個
のすだれ状電極を入・出力変換器とした場合のフィルタ
装置としての振幅特性は２個のすだれ状電極が持つ振幅
特性の積となシ狭帯域なフィルタ装置が実現する。
だれ状電極１３及び１４は、内部インピーダンス１１を
有する高周波電源１２及び負荷インピーダンス１５にそ
れぞれ接続されている、前記すだれ状電極１３及び１４
の電極指はシングル構造である。一般にすだれ状電極に
おける電極指部は電極の有無に基づき弾性表面波に対し
て質量（ツ加効果もしくは圧電反作用を介して音響イン
ピーダンスの不連続部となるので、弾性表面波の反射を
誘起するが、すだれ状電極が第２図の平面図に示すよう
な１波長λの中に１対の電極指をもつシングル構造の場
合には、各電極指端部で発生した反射弾性表面波は同相
で重なり合う。従って、この公知例のようなシングル構
造の電極構造では電極対数が増大すると各々のすだれ状
電極は電気・音響変換器であると同時に、表面波共振器
としての性質が強く現われる。したがってすだれ状電極
としての振幅特性は電極指の対の数で決まる帯域よシも
狭帯域なものとなる。このような共振器的性質を持つす
だれ状電極を互いに接近させて配置すると、一方のすだ
れ状電極の中で共振を起こしている弾性表面波の一部が
他方のすだれ状電極に伝搬する。したがって、前記２個
のすだれ状電極を入・出力変換器とした場合のフィルタ
装置としての振幅特性は２個のすだれ状電極が持つ振幅
特性の積となシ狭帯域なフィルタ装置が実現する。
ところで、第１図の公知例における欠点はすだれ状電極
が共振特性を合わせ持つことによシ中心周波数の近傍に
不要なピークが現われ帯域外減衰量が劣化することであ
る。
が共振特性を合わせ持つことによシ中心周波数の近傍に
不要なピークが現われ帯域外減衰量が劣化することであ
る。
これについて以下に詳しく述べる。２電極構成の共振器
型フィルタ装置では、すだれ状電極間の多重反射の影響
を含めないトランスバーサル・フィルタとして動作する
とした場合には、周波数特性は次のようになる。
型フィルタ装置では、すだれ状電極間の多重反射の影響
を含めないトランスバーサル・フィルタとして動作する
とした場合には、周波数特性は次のようになる。
出力側の負荷にかかる電圧■、は入力側電圧を■ｏ 、
電極本数をＮ、角周波数をω、中心角周波数をω。とす
ると ω０ 従って、このような多重反射を含めない場合でも、電極
指対数を増していくに従い狭帯域化が進む。
電極本数をＮ、角周波数をω、中心角周波数をω。とす
ると ω０ 従って、このような多重反射を含めない場合でも、電極
指対数を増していくに従い狭帯域化が進む。
すだれ状電極がシングル構造の場合、電極指対数を増や
していくと多重反射の影響が現われ、１つのすだれ状電
極自身の共振が多重反射の影響を含めない場合の帯域内
の下端周波数にみられる。
していくと多重反射の影響が現われ、１つのすだれ状電
極自身の共振が多重反射の影響を含めない場合の帯域内
の下端周波数にみられる。
また、前記すだれ状電極２個をすだれ状電極間の間隔が
表面波の波長の１／２の奇数倍になるように対向させた
場合、すだれ状電極自身の共振の他に２個のすだれ状電
極間に共振が起きる。この場合の共振は、すだれ状電極
自身の帯域内の両端の周波数に現われる。したがって前
記２個のすだれ状電極を入・出力変換器とした場合のフ
ィルタ装置としての共振特性は入・出力用すだれ状電極
自身の共振とすだれ状電極間の共振の３個の共振の重な
シ具合によって決まる。
表面波の波長の１／２の奇数倍になるように対向させた
場合、すだれ状電極自身の共振の他に２個のすだれ状電
極間に共振が起きる。この場合の共振は、すだれ状電極
自身の帯域内の両端の周波数に現われる。したがって前
記２個のすだれ状電極を入・出力変換器とした場合のフ
ィルタ装置としての共振特性は入・出力用すだれ状電極
自身の共振とすだれ状電極間の共振の３個の共振の重な
シ具合によって決まる。
多重反射の影響を含めない場合の帯域内の下端周波数で
は、すだれ状電極自身の共振とすだれ状電極間の共振の
３個の共振が起き、振幅特性に大きなピークがみられる
。一方、帯域内の上端周波数ではすだれ状電極間の共振
だけが起き、振幅特性に小さなピークがみられる。この
ような場合の計算例が日本音響学会誌３３巻１０号（１
９７７）の５５７頁に掲載された小山田氏等による「多
対ＩＤＴを用いた２端子対弾性表面／波共振器」と題す
る論文の中で示されている。
は、すだれ状電極自身の共振とすだれ状電極間の共振の
３個の共振が起き、振幅特性に大きなピークがみられる
。一方、帯域内の上端周波数ではすだれ状電極間の共振
だけが起き、振幅特性に小さなピークがみられる。この
ような場合の計算例が日本音響学会誌３３巻１０号（１
９７７）の５５７頁に掲載された小山田氏等による「多
対ＩＤＴを用いた２端子対弾性表面／波共振器」と題す
る論文の中で示されている。
ここでは、電極指対数が１００と３００の場合の挿入損
失の計算例を第３図と第４図に示す。いずれの場合も、
基板は８Ｔカツト水晶であシ、電極金属はアルミニウム
、ｆは周波数、中心周波波ｆ。
失の計算例を第３図と第４図に示す。いずれの場合も、
基板は８Ｔカツト水晶であシ、電極金属はアルミニウム
、ｆは周波数、中心周波波ｆ。
は１５７ＭＩＩｚ、膜厚は０．２５１ｚｍ、電極指周期
は２０μｍ、′交ご幅は０．５ ｙｖ＋ｎである。この
計算例によると電極指対数が大きい場合には、共振特性
によシ前記で説明したように帯域内に大小のピークが現
われてくることがわかる。大きいピークは実際に通過域
として２使用し、一方、小さい方のピークは通過域近傍
での不要波である。また、この大小のピークは電極対数
を増やすに従い顕著になり、通過域として使用する大き
い方のピークは増大し、同時に狭帯域化が進む。しかし
、不要波である小さい方のピークも同じく増大する。従
って上記のような公知例では狭帯域化、低損失化を進め
ることが帯域外減衰量の劣化につながる。
は２０μｍ、′交ご幅は０．５ ｙｖ＋ｎである。この
計算例によると電極指対数が大きい場合には、共振特性
によシ前記で説明したように帯域内に大小のピークが現
われてくることがわかる。大きいピークは実際に通過域
として２使用し、一方、小さい方のピークは通過域近傍
での不要波である。また、この大小のピークは電極対数
を増やすに従い顕著になり、通過域として使用する大き
い方のピークは増大し、同時に狭帯域化が進む。しかし
、不要波である小さい方のピークも同じく増大する。従
って上記のような公知例では狭帯域化、低損失化を進め
ることが帯域外減衰量の劣化につながる。
本発明の目的は、通過域として使用する大きい方のピー
クが増大することによる低損失化と不要波である小さい
方のピークの抑制を同時に実現した弾性表面波共振器型
フィルタ装置を提供することにある。
クが増大することによる低損失化と不要波である小さい
方のピークの抑制を同時に実現した弾性表面波共振器型
フィルタ装置を提供することにある。
本発明の弾性表面波共振器型フィルタ装置は、第一およ
び第二のすだれ状電極を圧電基板上に設けて第一の弾性
表面波共振器型フィルタとし、第三および第四のすだれ
状電極を前記圧電基板上に設けて第二の弾性表面波共振
器型フィルタとし、前記第一および第三のすだれ状電極
により入力電気信号を弾性表面波に変換する入力変換器
を構成し、前記第二および第四のすだれ伏型５極によっ
て前記弾性表面波を出力電気信号に変換する出力変換器
を構成し、前記第一および第二のすだれ状電極の電極指
対数を前記第三および第四のすだれ状電極のそれと異な
らしめ、かつ前記第一および第二の弾性表面波共振器型
フィルタの実効的通過域がお互いに一致するように前記
第一ないし第四のすだれ状電極の電極指間隔を定めたこ
とを特徴とする。
び第二のすだれ状電極を圧電基板上に設けて第一の弾性
表面波共振器型フィルタとし、第三および第四のすだれ
状電極を前記圧電基板上に設けて第二の弾性表面波共振
器型フィルタとし、前記第一および第三のすだれ状電極
により入力電気信号を弾性表面波に変換する入力変換器
を構成し、前記第二および第四のすだれ伏型５極によっ
て前記弾性表面波を出力電気信号に変換する出力変換器
を構成し、前記第一および第二のすだれ状電極の電極指
対数を前記第三および第四のすだれ状電極のそれと異な
らしめ、かつ前記第一および第二の弾性表面波共振器型
フィルタの実効的通過域がお互いに一致するように前記
第一ないし第四のすだれ状電極の電極指間隔を定めたこ
とを特徴とする。
次に本発明について図面を参照しながら説明する。第５
図は、本発明による弾性表面波共振器型フィルタ装置の
第一の実施例を示す構成図で、共振器型フィルタ１を構
成するすだれ状電極６１゜６２と、別の共振器型フィル
タ２を構成するすだれ状電極６３．６４を同一圧電基板
上に配置したものである。ここでは、特性の異なるすだ
れ状電極６１と６３を並列に結線して１つの入力変換器
とし、すだれ状電極６２と６４を並列に結線して１つの
出力変換器とする。また、すだれ状電極６１゜６２をも
つ共振器型フィルタ１で、すだれ状電極６１と６２は、
両者とも電極指対数がＮ□ 、電極指間隔によって定ま
る中心周波数がｆｏであシ同一の特性を持つ。すだれ状
電極６３と６４をもつ別の共振器型フィルタ２でも、す
だれ状電極６３と６４は、両者とも電極指対数がＮ２
、電極指間隔によって定まる中心周波数がｆ２であり同
一の特性を持つ。
図は、本発明による弾性表面波共振器型フィルタ装置の
第一の実施例を示す構成図で、共振器型フィルタ１を構
成するすだれ状電極６１゜６２と、別の共振器型フィル
タ２を構成するすだれ状電極６３．６４を同一圧電基板
上に配置したものである。ここでは、特性の異なるすだ
れ状電極６１と６３を並列に結線して１つの入力変換器
とし、すだれ状電極６２と６４を並列に結線して１つの
出力変換器とする。また、すだれ状電極６１゜６２をも
つ共振器型フィルタ１で、すだれ状電極６１と６２は、
両者とも電極指対数がＮ□ 、電極指間隔によって定ま
る中心周波数がｆｏであシ同一の特性を持つ。すだれ状
電極６３と６４をもつ別の共振器型フィルタ２でも、す
だれ状電極６３と６４は、両者とも電極指対数がＮ２
、電極指間隔によって定まる中心周波数がｆ２であり同
一の特性を持つ。
ここで、フィルタ１とフィルタ２では電極指対数の関係
がＮ１）Ｎ、 であり、中心周波数の関係はｆｌ〈ｆ
２ とする。フィルタ１の振幅特性では電極指対数Ｎ１
がフィルタ２の電極指対数Ｎ２よりも多いためトランス
パーサル・フィルタトシテのみ考えた場合の帯域幅は狭
く、従って大小のピークの周波数の間隔は小さい。一方
、フィルタ２の振幅特性では電極指対数が少なく、従っ
て大小ノヒークの周波数の間隔は大きい。ここでフィル
タ２０大きい方のピークの共振周波数がフィルタ１の大
きいピークの共振周波数と一致するように中心周波数ｆ
２を選ぶ。つまシ、フィルタ１の中心周波数ｆ０よりも
ｆ２を高い周波数に置くのである。以上のような電極指
対数と中心周波数の関係を持ったフィルタ１とフィルタ
２の振幅特性を本実施例の構成によシ加え合わせて１つ
の振幅特性を得る。この振幅特性では、通過域として使
用する大きい方のピークは同一周波数で互いに強め合い
、一方、フィルタ１とフィルタ２において大小のピーク
の周波数間隔が異なっているため不要波である小さい方
のピークは周波数が異なシ互いに強め合うことはない。
がＮ１）Ｎ、 であり、中心周波数の関係はｆｌ〈ｆ
２ とする。フィルタ１の振幅特性では電極指対数Ｎ１
がフィルタ２の電極指対数Ｎ２よりも多いためトランス
パーサル・フィルタトシテのみ考えた場合の帯域幅は狭
く、従って大小のピークの周波数の間隔は小さい。一方
、フィルタ２の振幅特性では電極指対数が少なく、従っ
て大小ノヒークの周波数の間隔は大きい。ここでフィル
タ２０大きい方のピークの共振周波数がフィルタ１の大
きいピークの共振周波数と一致するように中心周波数ｆ
２を選ぶ。つまシ、フィルタ１の中心周波数ｆ０よりも
ｆ２を高い周波数に置くのである。以上のような電極指
対数と中心周波数の関係を持ったフィルタ１とフィルタ
２の振幅特性を本実施例の構成によシ加え合わせて１つ
の振幅特性を得る。この振幅特性では、通過域として使
用する大きい方のピークは同一周波数で互いに強め合い
、一方、フィルタ１とフィルタ２において大小のピーク
の周波数間隔が異なっているため不要波である小さい方
のピークは周波数が異なシ互いに強め合うことはない。
第６図は本発明になる弾性表面波共振器型フィルタ装置
の第二の実施例を示す構成図である。ここで共振器型フ
ィルタ３は中央のすだれ状電極７２の両側に２個のすだ
れ状電極７１．７３を配置したものであシ、共振器型フ
ィルタ４は同様に中央のすだれ状電極７５の両側に２個
のすだれ状電極７４．７６を配置したものである。フィ
ルタ３゜４とも中央のすだれ状電極を入力変換器とし両
側のすだれ状電極２個を並列に結線して出力変換器とし
ている。このようなフィルタ３とフィルタ４の各入力変
換器２個を並列に結線し出力変換器どうしも並列に結線
する。上記のような構成においてフィルタ３の多重反射
を含めない場合の帯域幅がフィルタ４のものよシ小さく
なるようフィルタ３とフィルタ４の各すだれ状電極の電
極指対数を決める。さらにフィルタ３とフィルタ４の共
振特性による実効的通過域が一致するように各フィルタ
の電極指間隔を選ぶ。つまり、本実施例では多重反射を
含めない場合の帯域幅が小さいフィルタ３の電極指間隔
をフィルタ４の電極指間隔より大きくするのである。
の第二の実施例を示す構成図である。ここで共振器型フ
ィルタ３は中央のすだれ状電極７２の両側に２個のすだ
れ状電極７１．７３を配置したものであシ、共振器型フ
ィルタ４は同様に中央のすだれ状電極７５の両側に２個
のすだれ状電極７４．７６を配置したものである。フィ
ルタ３゜４とも中央のすだれ状電極を入力変換器とし両
側のすだれ状電極２個を並列に結線して出力変換器とし
ている。このようなフィルタ３とフィルタ４の各入力変
換器２個を並列に結線し出力変換器どうしも並列に結線
する。上記のような構成においてフィルタ３の多重反射
を含めない場合の帯域幅がフィルタ４のものよシ小さく
なるようフィルタ３とフィルタ４の各すだれ状電極の電
極指対数を決める。さらにフィルタ３とフィルタ４の共
振特性による実効的通過域が一致するように各フィルタ
の電極指間隔を選ぶ。つまり、本実施例では多重反射を
含めない場合の帯域幅が小さいフィルタ３の電極指間隔
をフィルタ４の電極指間隔より大きくするのである。
以上のような電極指対数と電極指間隔の関係を持った構
成によυ、第５図の実施例と同じ理由から通過域として
使用する大きい方のピークによる低損失化と不要波であ
る小さい方のピークの抑制が同時に実現される。
成によυ、第５図の実施例と同じ理由から通過域として
使用する大きい方のピークによる低損失化と不要波であ
る小さい方のピークの抑制が同時に実現される。
以上本発明の実施例について説明したが、２個のフィル
タを同一圧電基板上に配置した構成で各入力用及び出力
用すだれ状電極を結線するには実施例のような並列接続
だけでなく直列接続によっても同様な効果が得られる。
タを同一圧電基板上に配置した構成で各入力用及び出力
用すだれ状電極を結線するには実施例のような並列接続
だけでなく直列接続によっても同様な効果が得られる。
また本発明に用いる弾性表面波にはＳ）（波型表面波も
含む。
含む。
以上の理由により本発明による共振器型フィルタ装置で
は通過域として使用する大きい方のピークが増大するこ
とによる低損失化と不要波である小さい方のピークの抑
制が同時に実現される。
は通過域として使用する大きい方のピークが増大するこ
とによる低損失化と不要波である小さい方のピークの抑
制が同時に実現される。
第１図は、従来の公知例を示す構成図、第２図は第１図
中のシングル構造のすだれ状電極を示す平面図、第３図
と第４図は８Ｔカツト水晶基板上ですだれ状電極の電極
指対数をそれぞれ１００ と３００ としたときの挿
入損失の計算例を示す特性図、第５図は本発明による第
一の実施例を示す構成図、第６図は本発明による第二の
実施例を示す構成図である。 １．２，３．４・・・・・・共振器型フィルタ、１０゜
６０．７０・・・・・・圧電基板、１２・・・・・・高
同波電源、１１・・・・・・高周波電源の内部インピー
ダンス、１５・・・・・・負荷インピーダンス、１３，
１４．６１〜６４゜７１〜７６・・・・・・すだれ状電
極。 第 ３ 図 第 ４ 図 ｊ−ｆｏ （ＭＨｚ） 第５図
中のシングル構造のすだれ状電極を示す平面図、第３図
と第４図は８Ｔカツト水晶基板上ですだれ状電極の電極
指対数をそれぞれ１００ と３００ としたときの挿
入損失の計算例を示す特性図、第５図は本発明による第
一の実施例を示す構成図、第６図は本発明による第二の
実施例を示す構成図である。 １．２，３．４・・・・・・共振器型フィルタ、１０゜
６０．７０・・・・・・圧電基板、１２・・・・・・高
同波電源、１１・・・・・・高周波電源の内部インピー
ダンス、１５・・・・・・負荷インピーダンス、１３，
１４．６１〜６４゜７１〜７６・・・・・・すだれ状電
極。 第 ３ 図 第 ４ 図 ｊ−ｆｏ （ＭＨｚ） 第５図
Claims (1)
- 第一および第二のすだれ状電極を圧電基板上に設けて第
一の弾性表面波共振器型フィルタとし、第三および第四
のすだれ状電極を前記圧電基板上に設けて第二の弾性表
面波共振器型フィルタとし、前記第一および第三のすだ
れ状雷、極により入力電気信号を弾性表面波に変換する
入力変換器を構成し、前記第二および第四のすだれ状電
極によって前記弾性表面波を出力電俄信号に変換する出
力変換器を構成し、前記第一および第二のすだれ状電極
の電極指対数を前記第三および第四のすだれ状電極のそ
れと異ならしめ、かつ前記第一および第二の弾性表面波
共振器型フィルタの実効的通過域がお互いに一致するよ
うに前記第一ないし第四のすだれ状電極の電極指間隔を
定めたことを特徴とする弾性表面波共振器型フィルタ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14841782A JPS5937723A (ja) | 1982-08-26 | 1982-08-26 | 弾性表面波共振器型フイルタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14841782A JPS5937723A (ja) | 1982-08-26 | 1982-08-26 | 弾性表面波共振器型フイルタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5937723A true JPS5937723A (ja) | 1984-03-01 |
Family
ID=15452322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14841782A Pending JPS5937723A (ja) | 1982-08-26 | 1982-08-26 | 弾性表面波共振器型フイルタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5937723A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61133326A (ja) * | 1984-12-04 | 1986-06-20 | Kawasaki Steel Corp | 直接熱処理線材用中高炭素鋼材の製造方法 |
| JPH06334476A (ja) * | 1993-05-19 | 1994-12-02 | Nec Corp | 弾性表面波フィルタ |
| EP0742655A1 (en) * | 1995-05-10 | 1996-11-13 | Nec Corporation | Timing separating circuit having a plurality of filters |
| US5592040A (en) * | 1992-08-24 | 1997-01-07 | Nec Corporation | Acoustic wave resonator filter |
| WO2020044979A1 (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置およびマルチプレクサ |
-
1982
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