JPH08316773A - 表面弾性波装置 - Google Patents
表面弾性波装置Info
- Publication number
- JPH08316773A JPH08316773A JP12248495A JP12248495A JPH08316773A JP H08316773 A JPH08316773 A JP H08316773A JP 12248495 A JP12248495 A JP 12248495A JP 12248495 A JP12248495 A JP 12248495A JP H08316773 A JPH08316773 A JP H08316773A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- electrode
- shield
- idt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は、表面弾性波装置に関し、入力用
ＩＤＴと出力用ＩＤＴ間の電気的結合を抑制して通過帯
域内の特性劣化を防ぐことのできる表面弾性波装置を提
供することを目的とする。 【構成】 表面弾性波を伝搬させる基板と、基板表面上
に表面弾性波を励振する入力用すだれ状電極と、基板表
面上を伝搬してきた表面弾性波を受信する出力用すだれ
状電極と、前記入力用すだれ状電極と出力用すだれ状電
極との間にあって入力用すだれ状電極と出力用すだれ状
電極との電気的結合を抑制する一対のシールド電極を備
え、前記シールド電極が、互いに平行であり、表面弾性
波の伝搬経路に対して垂直に配置され、互いに独立して
接地され、さらに、各シールド電極の端面で発生する反
射波が互いに打ち消し合うように各シールド電極が対向
して配置されることを特徴とする。
ＩＤＴと出力用ＩＤＴ間の電気的結合を抑制して通過帯
域内の特性劣化を防ぐことのできる表面弾性波装置を提
供することを目的とする。 【構成】 表面弾性波を伝搬させる基板と、基板表面上
に表面弾性波を励振する入力用すだれ状電極と、基板表
面上を伝搬してきた表面弾性波を受信する出力用すだれ
状電極と、前記入力用すだれ状電極と出力用すだれ状電
極との間にあって入力用すだれ状電極と出力用すだれ状
電極との電気的結合を抑制する一対のシールド電極を備
え、前記シールド電極が、互いに平行であり、表面弾性
波の伝搬経路に対して垂直に配置され、互いに独立して
接地され、さらに、各シールド電極の端面で発生する反
射波が互いに打ち消し合うように各シールド電極が対向
して配置されることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、表面弾性波装置に関
し、特に入力電極と出力電極との電気的結合を抑制する
ために表面弾性波の伝搬経路上にシールド電極を配置し
た表面弾性波装置に関する。
し、特に入力電極と出力電極との電気的結合を抑制する
ために表面弾性波の伝搬経路上にシールド電極を配置し
た表面弾性波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、表面弾性波装置は、携帯電話等の
無線通信機器に組込まれて利用されている。特に数十〜
百数十ＭＨｚ帯の比較的低周波の信号を扱う表面弾性波
装置では、機器全体に占める表面弾性波装置の割合が大
きくなり、機器の小型化のために表面弾性波装置も小型
化の要求が強い。
無線通信機器に組込まれて利用されている。特に数十〜
百数十ＭＨｚ帯の比較的低周波の信号を扱う表面弾性波
装置では、機器全体に占める表面弾性波装置の割合が大
きくなり、機器の小型化のために表面弾性波装置も小型
化の要求が強い。
【０００３】一般に表面弾性波装置は、入力用のすだれ
状電極（Ｉｎｔｅｒ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕ
ｃｅｒ：以下、入力用ＩＤＴという）と出力用のすだれ
状電極（出力用ＩＤＴ）からなるが、小型化の要求か
ら、１つの入力用ＩＤＴと１つの出力用ＩＤＴとを備
え、かつ入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間隔が非常に
接近した構造を持つトランスバーサル型フィルタが広く
利用されている。
状電極（Ｉｎｔｅｒ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕ
ｃｅｒ：以下、入力用ＩＤＴという）と出力用のすだれ
状電極（出力用ＩＤＴ）からなるが、小型化の要求か
ら、１つの入力用ＩＤＴと１つの出力用ＩＤＴとを備
え、かつ入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間隔が非常に
接近した構造を持つトランスバーサル型フィルタが広く
利用されている。
【０００４】しかし、このような表面弾性波装置では、
入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間に浮遊容量が存在す
るため、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴが電気的に結合
し、フィルタ特性のうち通過帯域外抑圧度が悪化してし
まい実用上問題がある。そこで、この不要な電気的結合
を抑制するため、図６に示すように、入力用ＩＤＴと出
力用ＩＤＴとの間の表面弾性波伝搬経路上に接地された
１つのシールド電極が配置された表面弾性波装置が提案
されている。図６において、１０は圧電基板、１１は入
力用ＩＤＴ、１２はシールド電極、１３は出力用ＩＤＴ
であり、１４はシールド電極１２の左側の端面であり、
１５はシールド電極１２の右側の端面、１６は全ＩＤＴ
幅を示している。
入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間に浮遊容量が存在す
るため、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴが電気的に結合
し、フィルタ特性のうち通過帯域外抑圧度が悪化してし
まい実用上問題がある。そこで、この不要な電気的結合
を抑制するため、図６に示すように、入力用ＩＤＴと出
力用ＩＤＴとの間の表面弾性波伝搬経路上に接地された
１つのシールド電極が配置された表面弾性波装置が提案
されている。図６において、１０は圧電基板、１１は入
力用ＩＤＴ、１２はシールド電極、１３は出力用ＩＤＴ
であり、１４はシールド電極１２の左側の端面であり、
１５はシールド電極１２の右側の端面、１６は全ＩＤＴ
幅を示している。
【０００５】この他に、特開昭５２−１３７９５３号公
報には、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴ間の電磁結合の抑
圧を損なうことのない程度の空隙部を形成したシールド
電極を備えた弾性表面波フィルタが記載されている。こ
こでは、具体例として様々な形状のシールド電極が示さ
れているが、いずれも１本につながった形状で１つのア
ースに接地されている。
報には、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴ間の電磁結合の抑
圧を損なうことのない程度の空隙部を形成したシールド
電極を備えた弾性表面波フィルタが記載されている。こ
こでは、具体例として様々な形状のシールド電極が示さ
れているが、いずれも１本につながった形状で１つのア
ースに接地されている。
【０００６】また、特開昭６４−８４９０４号公報に
は、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間ではなく、一対
の入力用電極と一対の出力用電極との間の基板上に一対
のシールド電極を設けた弾性表面波装置が記載されてい
る。
は、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間ではなく、一対
の入力用電極と一対の出力用電極との間の基板上に一対
のシールド電極を設けた弾性表面波装置が記載されてい
る。
【０００７】しかしながら、扱っている周波数が数十Ｍ
Ｈｚ以上であること、また、電磁波を伴った表面弾性波
がシールド電極下を伝搬していることを考えると、入力
用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間に、入力用ＩＤＴと出力
用ＩＤＴとに共通な１つのシールド電極を配置した場
合、このシールド電極を通じて電流が流れてしまうの
で、完全な入出力電極間の電気的分離は望めない。
Ｈｚ以上であること、また、電磁波を伴った表面弾性波
がシールド電極下を伝搬していることを考えると、入力
用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間に、入力用ＩＤＴと出力
用ＩＤＴとに共通な１つのシールド電極を配置した場
合、このシールド電極を通じて電流が流れてしまうの
で、完全な入出力電極間の電気的分離は望めない。
【０００８】また、図６のように、表面弾性波の伝搬経
路上にシールド電極を配置した場合、電極が存在しない
自由表面の領域と電極を層荷した領域との境界面、すな
わちシールド電極の端面１４，１５で表面弾性波の反射
が生ずる。このような反射波が再び入力用ＩＤＴで反射
され、出力用ＩＤＴに到達すると、通過帯域内のフィル
タ特性が劣化する。そのため、この反射波が出力用ＩＤ
Ｔに到達するのを防ぐために、従来図７に示すように、
シールド電極を伝搬経路に対して傾斜させて配置した表
面弾性波装置が提案されている。傾斜させることで、反
射波の大部分は入力用ＩＤＴに戻らずに、基板の上下端
面から外部へ逃げていく。
路上にシールド電極を配置した場合、電極が存在しない
自由表面の領域と電極を層荷した領域との境界面、すな
わちシールド電極の端面１４，１５で表面弾性波の反射
が生ずる。このような反射波が再び入力用ＩＤＴで反射
され、出力用ＩＤＴに到達すると、通過帯域内のフィル
タ特性が劣化する。そのため、この反射波が出力用ＩＤ
Ｔに到達するのを防ぐために、従来図７に示すように、
シールド電極を伝搬経路に対して傾斜させて配置した表
面弾性波装置が提案されている。傾斜させることで、反
射波の大部分は入力用ＩＤＴに戻らずに、基板の上下端
面から外部へ逃げていく。
【０００９】しかしながら、表面弾性波の伝搬経路に対
して傾斜させてシールド電極を配置した場合、自由表面
下と電極面下での表面弾性波の伝搬速度が異なるため、
表面弾性波がシールド電極に入射、およびシールド電極
から出射する際に屈折現象が生ずる。
して傾斜させてシールド電極を配置した場合、自由表面
下と電極面下での表面弾性波の伝搬速度が異なるため、
表面弾性波がシールド電極に入射、およびシールド電極
から出射する際に屈折現象が生ずる。
【００１０】図７におけるシールド電極付近の拡大図を
図８に示す。図８において、１０は圧電基板、１７はシ
ールド電極、１８，１９はシールド電極の端面である。
また、２０はシールド電極がないときの本来の表面弾
性波の伝搬経路であり、２１はシールド電極の端面１８
及び１９により屈折させられた表面弾性波の伝搬経路を
示している。
図８に示す。図８において、１０は圧電基板、１７はシ
ールド電極、１８，１９はシールド電極の端面である。
また、２０はシールド電極がないときの本来の表面弾
性波の伝搬経路であり、２１はシールド電極の端面１８
及び１９により屈折させられた表面弾性波の伝搬経路を
示している。
【００１１】図８において、左側から入力された表面弾
性波は、シールド電極の端面１８および１９で屈折させ
られる。その結果、表面弾性波の伝搬経路が本来の経路
からずれ、フィルタ特性における挿入損失の増加を引き
起こすことになる。また、シールド電極を表面弾性波の
伝搬経路に対して傾けて配置する場合、反射によるＩＤ
Ｔの戻り波を完全になくすには、シールド電極を表面弾
性波の伝搬経路に対して４５°傾ける必要がある。この
場合、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間隔を、ＩＤＴ
の開口長（交叉幅）以上に広げることになる。
性波は、シールド電極の端面１８および１９で屈折させ
られる。その結果、表面弾性波の伝搬経路が本来の経路
からずれ、フィルタ特性における挿入損失の増加を引き
起こすことになる。また、シールド電極を表面弾性波の
伝搬経路に対して傾けて配置する場合、反射によるＩＤ
Ｔの戻り波を完全になくすには、シールド電極を表面弾
性波の伝搬経路に対して４５°傾ける必要がある。この
場合、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間隔を、ＩＤＴ
の開口長（交叉幅）以上に広げることになる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】従って、反射波による
影響を少なくしてフィルタ特性を良くしようとすると、
表面弾性波装置の小型化を妨げることになり、逆に表面
弾性波装置の小型化の要求を満たそうとすると、入力用
ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの距離が接近するため、入力用
ＩＤＴと出力用ＩＤＴとを十分に電気的に分離させるこ
とが困難であるという問題を生じていた。
影響を少なくしてフィルタ特性を良くしようとすると、
表面弾性波装置の小型化を妨げることになり、逆に表面
弾性波装置の小型化の要求を満たそうとすると、入力用
ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの距離が接近するため、入力用
ＩＤＴと出力用ＩＤＴとを十分に電気的に分離させるこ
とが困難であるという問題を生じていた。
【００１３】そこで、この発明は、以上のような事情を
考慮してなされたものであり、入力用ＩＤＴと出力用Ｉ
ＤＴとの距離が接近した場合にも、入力用ＩＤＴと出力
用ＩＤＴ間の電気的結合を抑制して、通過帯域外の抑圧
度を高めるとともに、さらに、「表面弾性波の伝搬経路
に対して傾斜させてシールド電極を配置する」というチ
ップサイズを増大させる手段を用いることなく、シール
ド電極からの不要な表面弾性波の反射をなくし、通過帯
域内の特性劣化を防ぐことのできる表面弾性波装置を提
供することを目的とする。
考慮してなされたものであり、入力用ＩＤＴと出力用Ｉ
ＤＴとの距離が接近した場合にも、入力用ＩＤＴと出力
用ＩＤＴ間の電気的結合を抑制して、通過帯域外の抑圧
度を高めるとともに、さらに、「表面弾性波の伝搬経路
に対して傾斜させてシールド電極を配置する」というチ
ップサイズを増大させる手段を用いることなく、シール
ド電極からの不要な表面弾性波の反射をなくし、通過帯
域内の特性劣化を防ぐことのできる表面弾性波装置を提
供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この発明は、表面弾性波
を伝搬させる基板と、基板表面上に表面弾性波を励振す
る入力用すだれ状電極と、基板表面上を伝搬してきた表
面弾性波を受信する出力用すだれ状電極と、前記入力用
すだれ状電極と出力用すだれ状電極との間にあって入力
用すだれ状電極と出力用すだれ状電極との電気的結合を
抑制する一対のシールド電極を備え、前記各シールド電
極が、互いに平行であり、表面弾性波の伝搬経路に対し
て垂直に配置され、互いに独立して接地され、さらに、
各シールド電極の端面で発生する反射波が互いに打ち消
し合うように各シールド電極が対向して配置されること
を特徴とする表面弾性波装置を提供するものである。
を伝搬させる基板と、基板表面上に表面弾性波を励振す
る入力用すだれ状電極と、基板表面上を伝搬してきた表
面弾性波を受信する出力用すだれ状電極と、前記入力用
すだれ状電極と出力用すだれ状電極との間にあって入力
用すだれ状電極と出力用すだれ状電極との電気的結合を
抑制する一対のシールド電極を備え、前記各シールド電
極が、互いに平行であり、表面弾性波の伝搬経路に対し
て垂直に配置され、互いに独立して接地され、さらに、
各シールド電極の端面で発生する反射波が互いに打ち消
し合うように各シールド電極が対向して配置されること
を特徴とする表面弾性波装置を提供するものである。
【００１５】また、前記シールド電極が、表面弾性波の
伝搬経路に対して垂直な方向が長い長方形状であるよう
にしてもよい。
伝搬経路に対して垂直な方向が長い長方形状であるよう
にしてもよい。
【００１６】また、前記各シールド電極の幅とシールド
電極間の間隔とが、各シールド電極の端面で発生する反
射波が互いに打ち消し合える長さであるようにすること
が好ましい。さらに、前記各シールド電極の端面で発生
する反射波の位相が、互いにπだけずれるように、シー
ルド電極の幅とシールド電極間の間隔を設定することが
好ましい。
電極間の間隔とが、各シールド電極の端面で発生する反
射波が互いに打ち消し合える長さであるようにすること
が好ましい。さらに、前記各シールド電極の端面で発生
する反射波の位相が、互いにπだけずれるように、シー
ルド電極の幅とシールド電極間の間隔を設定することが
好ましい。
【００１７】ここで、前記一対のシールド電極それぞれ
の左側の端面間の距離と、右側の端面間の距離が、すだ
れ状電極の電極周期λ（フィルタ中心周波数での表面弾
性波の波長にほぼ等しい）の１／４の奇数倍となるよう
に、各シールド電極の幅及びシールド電極間の間隔を設
定してもよい。また、前記一対のシールド電極のうち一
方のシールド電極の左側の端面と他方のシールド電極の
右側の端面との距離が、すだれ状電極の電極周期λの１
／２の整数倍、一方のシールド電極の右側の端面と他方
のシールド電極の左側の端面との距離が、λ／２の整数
倍となるように、各シールド電極の幅及びシールド電極
間の間隔を設定してもよい。また、前記一対のシールド
電極の幅が、それぞれすだれ状電極の電極周期λの１／
２の整数倍となるように、各シールド電極の幅を設定し
てもよい。
の左側の端面間の距離と、右側の端面間の距離が、すだ
れ状電極の電極周期λ（フィルタ中心周波数での表面弾
性波の波長にほぼ等しい）の１／４の奇数倍となるよう
に、各シールド電極の幅及びシールド電極間の間隔を設
定してもよい。また、前記一対のシールド電極のうち一
方のシールド電極の左側の端面と他方のシールド電極の
右側の端面との距離が、すだれ状電極の電極周期λの１
／２の整数倍、一方のシールド電極の右側の端面と他方
のシールド電極の左側の端面との距離が、λ／２の整数
倍となるように、各シールド電極の幅及びシールド電極
間の間隔を設定してもよい。また、前記一対のシールド
電極の幅が、それぞれすだれ状電極の電極周期λの１／
２の整数倍となるように、各シールド電極の幅を設定し
てもよい。
【００１８】この発明において、基板は、その表面上に
表面弾性波を伝搬することのできる基板であればよい
が、たとえば圧電基板を用いることができる。圧電基板
の材料としては、水晶、ＬｉＮｂＯ3，ＬｉＴａＯ3など
を用いることができる。入力用すだれ状電極（入力用Ｉ
ＤＴ）、出力用すだれ状電極（出力用ＩＤＴ）及びシー
ルド電極の材料としては、Ａｌ，Ｃｕ，Ｔｉ，又はＡｌ
−Ｃｕ合金（Ａｌ−１％Ｃｕ，Ａｌ−２％Ｃｕ）などを
用いることができる。
表面弾性波を伝搬することのできる基板であればよい
が、たとえば圧電基板を用いることができる。圧電基板
の材料としては、水晶、ＬｉＮｂＯ3，ＬｉＴａＯ3など
を用いることができる。入力用すだれ状電極（入力用Ｉ
ＤＴ）、出力用すだれ状電極（出力用ＩＤＴ）及びシー
ルド電極の材料としては、Ａｌ，Ｃｕ，Ｔｉ，又はＡｌ
−Ｃｕ合金（Ａｌ−１％Ｃｕ，Ａｌ−２％Ｃｕ）などを
用いることができる。
【００１９】入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとしては、通
常のλ／４幅すだれ状電極の他に、いわゆる正負励振電
極が２本一組となった形状であるダブル電極型のＩＤＴ
や、一方向性ＩＤＴを用いることができる。ここで、す
だれ状電極とは、１対の対向する電極から複数本の細長
い枝部が互いにつき出し、それぞれの電極の枝部が平行
でかつ交互に配置されて、すだれ状に形成された電極で
ある。
常のλ／４幅すだれ状電極の他に、いわゆる正負励振電
極が２本一組となった形状であるダブル電極型のＩＤＴ
や、一方向性ＩＤＴを用いることができる。ここで、す
だれ状電極とは、１対の対向する電極から複数本の細長
い枝部が互いにつき出し、それぞれの電極の枝部が平行
でかつ交互に配置されて、すだれ状に形成された電極で
ある。
【００２０】入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴは、圧電基板
の同一表面上に所定間隔だけ離れて配置され、入力用Ｉ
ＤＴと出力用ＩＤＴの間に形成される空間に１対のシー
ルド電極が配置される。また、この入力用ＩＤＴと出力
用ＩＤＴの間に形成される空間は表面弾性波の伝搬経路
となる。すなわち、表面弾性波は、入力用ＩＤＴの枝部
から出力され、圧電基板の表面上を伝搬して出力用ＩＤ
Ｔの枝部へ入力されるが、シールド電極は伝搬される表
面弾性波の伝搬経路上に配置される。また、１対のシー
ルド電極は、互いに独立して接地されるが、入力用ＩＤ
Ｔに近い方のシールド電極が入力用ＩＤＴ側を遮蔽し、
出力用ＩＤＴに近い方のシールド電極が出力用ＩＤＴ側
を遮蔽するように独立に接地した構成とすることが好ま
しい。
の同一表面上に所定間隔だけ離れて配置され、入力用Ｉ
ＤＴと出力用ＩＤＴの間に形成される空間に１対のシー
ルド電極が配置される。また、この入力用ＩＤＴと出力
用ＩＤＴの間に形成される空間は表面弾性波の伝搬経路
となる。すなわち、表面弾性波は、入力用ＩＤＴの枝部
から出力され、圧電基板の表面上を伝搬して出力用ＩＤ
Ｔの枝部へ入力されるが、シールド電極は伝搬される表
面弾性波の伝搬経路上に配置される。また、１対のシー
ルド電極は、互いに独立して接地されるが、入力用ＩＤ
Ｔに近い方のシールド電極が入力用ＩＤＴ側を遮蔽し、
出力用ＩＤＴに近い方のシールド電極が出力用ＩＤＴ側
を遮蔽するように独立に接地した構成とすることが好ま
しい。
【００２１】
【作用】この発明によれば、シールド電極が、互いに平
行であり、表面弾性波の伝搬経路に対して垂直に配置さ
れ、互いに独立して接地され、さらに各シールド電極の
端面で発生する反射波が互いに打ち消し合うように各シ
ールド電極が対向して配置されるので、入出力間の電気
的な結合を抑制することができる。
行であり、表面弾性波の伝搬経路に対して垂直に配置さ
れ、互いに独立して接地され、さらに各シールド電極の
端面で発生する反射波が互いに打ち消し合うように各シ
ールド電極が対向して配置されるので、入出力間の電気
的な結合を抑制することができる。
【００２２】さらに実装サイズを増大させることなく、
通過帯域での特性劣化を防ぎ、帯域外の抑圧度も向上さ
せることができる。また、各シールド電極の端面で発生
する反射波が互いに打ち消し合えるようにシールド電極
の幅とシールド電極間の間隔を設定しているので、不要
な反射波による通過帯域での特性劣化を防ぐことができ
る。
通過帯域での特性劣化を防ぎ、帯域外の抑圧度も向上さ
せることができる。また、各シールド電極の端面で発生
する反射波が互いに打ち消し合えるようにシールド電極
の幅とシールド電極間の間隔を設定しているので、不要
な反射波による通過帯域での特性劣化を防ぐことができ
る。
【００２３】
【実施例】以下、図に示す実施例に基づいてこの発明を
詳述する。なお、これによって限定されるものではな
い。図１に、この表面弾性波装置の構造の実施例を示
す。１は圧電基板であり、その表面上に表面弾性波を励
振するための入力用ＩＤＴ２、および受信するための出
力用ＩＤＴ５があり、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴの間
の表面弾性波の伝搬経路上に、入力用ＩＤＴと出力用Ｉ
ＤＴとの電気的結合を抑制し、分離するための１対のシ
ールド電極（３，４）が配置されている。このシールド
電極３、４は、その端面６、７、８、９から反射された
表面弾性波が打ち消しあうように、それぞれ幅Ｗ、間隔
ｄが設定され、それぞれ独立に接地される。
詳述する。なお、これによって限定されるものではな
い。図１に、この表面弾性波装置の構造の実施例を示
す。１は圧電基板であり、その表面上に表面弾性波を励
振するための入力用ＩＤＴ２、および受信するための出
力用ＩＤＴ５があり、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴの間
の表面弾性波の伝搬経路上に、入力用ＩＤＴと出力用Ｉ
ＤＴとの電気的結合を抑制し、分離するための１対のシ
ールド電極（３，４）が配置されている。このシールド
電極３、４は、その端面６、７、８、９から反射された
表面弾性波が打ち消しあうように、それぞれ幅Ｗ、間隔
ｄが設定され、それぞれ独立に接地される。
【００２４】入力用ＩＤＴ２は、図に示すように、端子
部ａ，ｂと、この端子から互いにつき出たすだれ状の枝
部ｃ１，ｃ２とから形成される。この枝部を励振電極と
もいう。端子部ａ，ｂの一方、たとえばｂが接地されて
おり、このａ，ｂ間に入力信号が入力され、枝部ｃ１及
びｃ２から右側の出力用ＩＤＴ５に向かって表面弾性波
が圧電基板１の表面上を伝搬する。
部ａ，ｂと、この端子から互いにつき出たすだれ状の枝
部ｃ１，ｃ２とから形成される。この枝部を励振電極と
もいう。端子部ａ，ｂの一方、たとえばｂが接地されて
おり、このａ，ｂ間に入力信号が入力され、枝部ｃ１及
びｃ２から右側の出力用ＩＤＴ５に向かって表面弾性波
が圧電基板１の表面上を伝搬する。
【００２５】出力用ＩＤＴ５も、入力用ＩＤＴ２と同様
に端子部と枝部からなり、表面弾性波を枝部によって受
信し、端子部から出力信号が取り出される。シールド電
極３，４は、表面弾性波の伝搬方向に対して垂直な方向
に長い長方形状であり、互いに平行である。また、入力
用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間の空間に位置し、表面弾
性波の伝搬経路をさえぎるように配置される。
に端子部と枝部からなり、表面弾性波を枝部によって受
信し、端子部から出力信号が取り出される。シールド電
極３，４は、表面弾性波の伝搬方向に対して垂直な方向
に長い長方形状であり、互いに平行である。また、入力
用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間の空間に位置し、表面弾
性波の伝搬経路をさえぎるように配置される。
【００２６】次に、このような構成を持つ表面弾性波装
置の一般的特性について述べる。この種の表面弾性波装
置では、数十ＭＨｚ以上の周波数の信号を扱うため、入
力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間に浮遊容量が存在し、
このため電気的結合が生じる。
置の一般的特性について述べる。この種の表面弾性波装
置では、数十ＭＨｚ以上の周波数の信号を扱うため、入
力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴとの間に浮遊容量が存在し、
このため電気的結合が生じる。
【００２７】図１に示す実施例においても、入力用ＩＤ
Ｔ２とシールド電極３との間、及び出力用ＩＤＴ５とシ
ールド電極４との間には、浮遊容量が存在し、電気的に
結合している。しかし、シールド電極３と４とは、独立
に接地されているので、シールド電極３と４との間には
電位差はほとんどない。したがってシールド電極３と４
とは電気的な結合はなく、入力用ＩＤＴ２側と出力用Ｉ
ＤＴ５側がそれぞれ独立した接地線によって遮蔽された
構成となっているため、入出力間に共通な１本のシール
ド電極を配置したものに比べて、図１の表面弾性波装置
の方が、入力用ＩＤＴ側と出力用ＩＤＴ側との電気的な
分離度が向上する。
Ｔ２とシールド電極３との間、及び出力用ＩＤＴ５とシ
ールド電極４との間には、浮遊容量が存在し、電気的に
結合している。しかし、シールド電極３と４とは、独立
に接地されているので、シールド電極３と４との間には
電位差はほとんどない。したがってシールド電極３と４
とは電気的な結合はなく、入力用ＩＤＴ２側と出力用Ｉ
ＤＴ５側がそれぞれ独立した接地線によって遮蔽された
構成となっているため、入出力間に共通な１本のシール
ド電極を配置したものに比べて、図１の表面弾性波装置
の方が、入力用ＩＤＴ側と出力用ＩＤＴ側との電気的な
分離度が向上する。
【００２８】また、一般に、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤ
Ｔとの間にシールド電極を備えると、このシールド電極
の端面で反射波が生じるが、図１に示したこの発明の実
施例でも、シールド電極の端面６、７、８及び９におい
て反射波が生じる。この反射波は、前記したように表面
弾性波装置の特性劣化要因となるため、できるだけ反射
波を生じにくくすることが好ましい。
Ｔとの間にシールド電極を備えると、このシールド電極
の端面で反射波が生じるが、図１に示したこの発明の実
施例でも、シールド電極の端面６、７、８及び９におい
て反射波が生じる。この反射波は、前記したように表面
弾性波装置の特性劣化要因となるため、できるだけ反射
波を生じにくくすることが好ましい。
【００２９】ここで、シールド電極の端面で生じる反射
波の位相シフト量について考えると、シールド電極３の
端面６とシールド電極４の端面８での反射においては、
位相シフト量は等しい。またシールド電極３の端面７と
シールド電極４の端面９での反射の位相シフト量は等し
い。さらに、端面６及び８での位相シフト量と、端面７
及び９での位相シフト量は、互いにπだけ異なることが
知られている。
波の位相シフト量について考えると、シールド電極３の
端面６とシールド電極４の端面８での反射においては、
位相シフト量は等しい。またシールド電極３の端面７と
シールド電極４の端面９での反射の位相シフト量は等し
い。さらに、端面６及び８での位相シフト量と、端面７
及び９での位相シフト量は、互いにπだけ異なることが
知られている。
【００３０】したがって、たとえば、端面６での反射波
ｗ1と端面８での反射波ｗ2の伝搬距離の差を電極周期λ
の１／４の奇数倍とすれば、反射波ｗ1とｗ2とが互いに
逆位相で重ね合わされるため、打ち消し合って特性劣化
要因を取り除くことができる。端面７での反射波ｗ3と
端面９での反射波ｗ4についても同様である。実際に
は、シールド電極の端面６と端面８との距離ｗ＋ｄ、及
び端面７と端面９との距離ｗ＋ｄを、それぞれ電極周期
λの１／４の奇数倍とすればよい。
ｗ1と端面８での反射波ｗ2の伝搬距離の差を電極周期λ
の１／４の奇数倍とすれば、反射波ｗ1とｗ2とが互いに
逆位相で重ね合わされるため、打ち消し合って特性劣化
要因を取り除くことができる。端面７での反射波ｗ3と
端面９での反射波ｗ4についても同様である。実際に
は、シールド電極の端面６と端面８との距離ｗ＋ｄ、及
び端面７と端面９との距離ｗ＋ｄを、それぞれ電極周期
λの１／４の奇数倍とすればよい。
【００３１】また、この他に任意の２つの端面からの反
射波が打ち消し合う構成としても、同様に特性劣化要因
を取り除くことができる。たとえば、シールド電極３の
端面６とシールド電極４の端面９とで生じる反射波の位
相シフト量はπだけ異なるため、端面６と端面９との距
離２ｗ＋ｄをλ／２の整数倍とすればよい。シールド電
極３の端面７とシールド電極の端面８についても同様
に、端面７と端面８との間隔ｄをλ／２の整数倍とすれ
ばよい。また、シールド電極３の端面６と端面７とで生
じる反射波、およびシールド電極４の端面８と端面９と
で生じる反射波についても、それぞれの端面間の距離ｗ
がλ／２の整数倍となるようにすれば、それぞれの反射
波は打ち消し合う。
射波が打ち消し合う構成としても、同様に特性劣化要因
を取り除くことができる。たとえば、シールド電極３の
端面６とシールド電極４の端面９とで生じる反射波の位
相シフト量はπだけ異なるため、端面６と端面９との距
離２ｗ＋ｄをλ／２の整数倍とすればよい。シールド電
極３の端面７とシールド電極の端面８についても同様
に、端面７と端面８との間隔ｄをλ／２の整数倍とすれ
ばよい。また、シールド電極３の端面６と端面７とで生
じる反射波、およびシールド電極４の端面８と端面９と
で生じる反射波についても、それぞれの端面間の距離ｗ
がλ／２の整数倍となるようにすれば、それぞれの反射
波は打ち消し合う。
【００３２】以上のように、この発明の表面弾性波装置
では、図１に示すように入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴと
の間に、互いに平行で、表面弾性波の伝搬経路に垂直な
方向に長方形状の２本のシールド電極を備えている。さ
らに、２本のシールド電極は互いに独立して接地され、
シールド電極の端面で発生する表面弾性波の反射波が互
いに打ち消し合うように構成している。したがって、実
装サイズを増大させることなく入出力ＩＤＴ間の電気的
分離を向上させ、不要な反射波による通過帯域での特性
劣化を防ぐことができる。
では、図１に示すように入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴと
の間に、互いに平行で、表面弾性波の伝搬経路に垂直な
方向に長方形状の２本のシールド電極を備えている。さ
らに、２本のシールド電極は互いに独立して接地され、
シールド電極の端面で発生する表面弾性波の反射波が互
いに打ち消し合うように構成している。したがって、実
装サイズを増大させることなく入出力ＩＤＴ間の電気的
分離を向上させ、不要な反射波による通過帯域での特性
劣化を防ぐことができる。
【００３３】次に、この発明の表面弾性波装置の具体的
な例について説明する。圧電基板１は、前記したよう
に、その材料としてＬｉＴａＯ3やＬｉＮｂＯ3が用いら
れるが、ここでは表面弾性波装置の小型化に有利なよう
に、表面弾性波の伝搬速度が遅く、また、安定した温度
特性を示すことから、Ｘ−１１２° Ｙ：ＬｉＴａＯ3
を用いることが好ましい。
な例について説明する。圧電基板１は、前記したよう
に、その材料としてＬｉＴａＯ3やＬｉＮｂＯ3が用いら
れるが、ここでは表面弾性波装置の小型化に有利なよう
に、表面弾性波の伝搬速度が遅く、また、安定した温度
特性を示すことから、Ｘ−１１２° Ｙ：ＬｉＴａＯ3
を用いることが好ましい。
【００３４】入力用ＩＤＴ及び出力用ＩＤＴとしては、
浮き電極を有する内部反射型のものや、励振電極が２本
一組となったダブル電極型のものなど、従来から利用さ
れている種々の構造を持つＩＤＴを用いることができ
る。
浮き電極を有する内部反射型のものや、励振電極が２本
一組となったダブル電極型のものなど、従来から利用さ
れている種々の構造を持つＩＤＴを用いることができ
る。
【００３５】ここでは、一実施例として、入力用ＩＤＴ
２は、図２に示すような浮き電極を有する内部反射型一
方向性ＩＤＴを用いることにする。また、出力用ＩＤＴ
５としては、出力ＩＤＴでの表面弾性波の反射を抑制す
るため、図３に示すようなダブル電極タイプのＩＤＴを
用いることにする。また、帯域外抑制度を向上するた
め、間引き重みづけを施している。
２は、図２に示すような浮き電極を有する内部反射型一
方向性ＩＤＴを用いることにする。また、出力用ＩＤＴ
５としては、出力ＩＤＴでの表面弾性波の反射を抑制す
るため、図３に示すようなダブル電極タイプのＩＤＴを
用いることにする。また、帯域外抑制度を向上するた
め、間引き重みづけを施している。
【００３６】また、図５に示した実施例として用いる表
面弾性波装置のＩＤＴに関し、表面弾性波の中心周波数
が４０ＭＨｚ、電極周期λは８２μｍ、電極材料はＡｌ
−１％Ｃｕ、電極膜厚は０．１μｍ、各ＩＤＴの交叉幅
ｅは３３λ、全ＩＤＴ幅ｆは約３．１ｎｍとし、入力用
ＩＤＴの電極対数は２０対、出力用ＩＤＴの電極対数は
２８対とする。また、シールド電極３及び４の幅ｗ、す
なわち端面６と７との距離、端面８と９との距離をλ／
８とし、端面６と８との距離及び端面７と９との距離ｗ
＋ｄを３λ／４とした。さらに、入力用ＩＤＴと出力用
ＩＤＴとの間隔ｋを３．２５λとした。
面弾性波装置のＩＤＴに関し、表面弾性波の中心周波数
が４０ＭＨｚ、電極周期λは８２μｍ、電極材料はＡｌ
−１％Ｃｕ、電極膜厚は０．１μｍ、各ＩＤＴの交叉幅
ｅは３３λ、全ＩＤＴ幅ｆは約３．１ｎｍとし、入力用
ＩＤＴの電極対数は２０対、出力用ＩＤＴの電極対数は
２８対とする。また、シールド電極３及び４の幅ｗ、す
なわち端面６と７との距離、端面８と９との距離をλ／
８とし、端面６と８との距離及び端面７と９との距離ｗ
＋ｄを３λ／４とした。さらに、入力用ＩＤＴと出力用
ＩＤＴとの間隔ｋを３．２５λとした。
【００３７】ここで、シールド電極の端面で発生する反
射波を回路外部へ逃がしてやるために、シールド電極を
表面弾性波の伝搬経路に対して４５°だけ傾けた場合と
比較すると、シールド電極を４５°だけ傾けた場合の方
が、この発明の実施例よりもＩＤＴの交叉幅、すなわち
３３λ＝２．７ｍｍだけ入出力ＩＤＴ間に余分な幅が必
要となり、非常に広い面積が無駄となる。なお、実用上
交叉幅はλの数十倍は必要である。
射波を回路外部へ逃がしてやるために、シールド電極を
表面弾性波の伝搬経路に対して４５°だけ傾けた場合と
比較すると、シールド電極を４５°だけ傾けた場合の方
が、この発明の実施例よりもＩＤＴの交叉幅、すなわち
３３λ＝２．７ｍｍだけ入出力ＩＤＴ間に余分な幅が必
要となり、非常に広い面積が無駄となる。なお、実用上
交叉幅はλの数十倍は必要である。
【００３８】したがって、この発明における入出力ＩＤ
Ｔ間の間隔は３．２５λであってシールド電極を４５°
だけ傾けた場合の１／１０以下ですむため、表面弾性波
装置を小型化するのに有利である。
Ｔ間の間隔は３．２５λであってシールド電極を４５°
だけ傾けた場合の１／１０以下ですむため、表面弾性波
装置を小型化するのに有利である。
【００３９】次に、図４に、表面弾性波装置のフィルタ
特性を示す。図４（ａ）は、シールド電極が１つの場合
の特性であり、シールド電極は表面弾性波の伝搬経路に
対して垂直であり、シールド電極幅は４／３λ、ＩＤＴ
の交叉幅は２．７ｍｍ、入出力ＩＤＴ間の距離は３．２
５λとした。
特性を示す。図４（ａ）は、シールド電極が１つの場合
の特性であり、シールド電極は表面弾性波の伝搬経路に
対して垂直であり、シールド電極幅は４／３λ、ＩＤＴ
の交叉幅は２．７ｍｍ、入出力ＩＤＴ間の距離は３．２
５λとした。
【００４０】図４（ｂ）は、この発明の実施例のフィル
タ特性である。図４（ｂ）を図４（ａ）と比較すると、
通過帯域での特性劣化はなく、通過帯域外である４２Ｍ
Ｈｚと３０ＭＨｚから３８ＭＨｚ付近で、５ｄＢ程度通
過帯域外での抑圧度が向上していることがわかる。
タ特性である。図４（ｂ）を図４（ａ）と比較すると、
通過帯域での特性劣化はなく、通過帯域外である４２Ｍ
Ｈｚと３０ＭＨｚから３８ＭＨｚ付近で、５ｄＢ程度通
過帯域外での抑圧度が向上していることがわかる。
【００４１】したがって、この発明のように、２本のシ
ールド電極を配置し、シールド電極を互いに独立して接
地して入出力ＩＤＴ間の電気的な結合を抑え、さらに不
要な反射波を打ち消すようにしているので、通過帯域内
の特性劣化を防ぎ、通過帯域外での抑圧度を向上させる
ことができる。
ールド電極を配置し、シールド電極を互いに独立して接
地して入出力ＩＤＴ間の電気的な結合を抑え、さらに不
要な反射波を打ち消すようにしているので、通過帯域内
の特性劣化を防ぎ、通過帯域外での抑圧度を向上させる
ことができる。
【００４２】
【発明の効果】この発明によれば、シールド電極が、互
いに平行であり、表面弾性波の伝搬経路に対して垂直に
配置され、互いに独立して接地され、さらに各シールド
電極の端面で発生する反射波が互いに打ち消し合うよう
に各シールド電極が対向して配置されるので、入出力間
の電気的な結合を抑制することができる。
いに平行であり、表面弾性波の伝搬経路に対して垂直に
配置され、互いに独立して接地され、さらに各シールド
電極の端面で発生する反射波が互いに打ち消し合うよう
に各シールド電極が対向して配置されるので、入出力間
の電気的な結合を抑制することができる。
【００４３】さらに実装サイズを増大させることなく、
通過帯域での特性劣化を防ぎ、帯域外の抑圧度も向上さ
せることができる。また、各シールド電極の端面で発生
する反射波が互いに打ち消し合えるようにシールド電極
の幅とシールド電極間の間隔を設定しているので、不要
な反射波による通過帯域での特性劣化を防ぐことができ
る。
通過帯域での特性劣化を防ぎ、帯域外の抑圧度も向上さ
せることができる。また、各シールド電極の端面で発生
する反射波が互いに打ち消し合えるようにシールド電極
の幅とシールド電極間の間隔を設定しているので、不要
な反射波による通過帯域での特性劣化を防ぐことができ
る。
【図１】この発明の表面弾性波装置の一実施例の構成図
である。
である。
【図２】浮き電極を有する内部反射型一方向性ＩＤＴの
一実施例の構成図である。
一実施例の構成図である。
【図３】間引き重みづけを施したダブル電極タイプのＩ
ＤＴの一実施例の構成図である。
ＤＴの一実施例の構成図である。
【図４】表面弾性波装置のフィルタ特性の比較図であ
る。
る。
【図５】この発明の一実施例における構成要素を示した
図である。
図である。
【図６】従来における表面弾性波装置の構成図を示す。
【図７】従来における表面弾性波装置の構成図を示す。
【図８】従来における表面弾性波装置のシールド電極付
近の拡大図である。
近の拡大図である。
【符号の説明】 １ 圧電基板 ２ 入力用ＩＤＴ ３ シールド電極 ４ シールド電極 ５ 出力用ＩＤＴ ６ シールド電極の端面 ７ シールド電極の端面 ８ シールド電極の端面 ９ シールド電極の端面
Claims (7)
- 【請求項１】 表面弾性波を伝搬させる基板と、 基板表面上に表面弾性波を励振する入力用すだれ状電極
と、 基板表面上を伝搬してきた表面弾性波を受信する出力用
すだれ状電極と、 前記入力用すだれ状電極と出力用すだれ状電極との間に
あって入力用すだれ状電極と出力用すだれ状電極との電
気的結合を抑制する一対のシールド電極を備え、 前記各シールド電極が、互いに平行であり、表面弾性波
の伝搬経路に対して垂直に配置され、互いに独立して接
地され、さらに、各シールド電極の端面で発生する反射
波が互いに打ち消し合うように各シールド電極が対向し
て配置されることを特徴とする表面弾性波装置。 - 【請求項２】 前記シールド電極が、表面弾性波の伝搬
経路に対して垂直な方向が長い長方形状であることを特
徴とする請求項１記載の表面弾性波装置。 - 【請求項３】 前記各シールド電極の幅とシールド電極
間の間隔とが、各シールド電極の端面で発生する反射波
が互いに打ち消し合える長さであることを特徴とする請
求項２記載の表面弾性波装置。 - 【請求項４】 前記各シールド電極の端面で発生する反
射波の位相が、互いにπだけずれるように、シールド電
極の幅とシールド電極間の間隔を設定したことを特徴と
する請求項１又は２記載の表面弾性波装置。 - 【請求項５】 前記一対のシールド電極それぞれの左側
の端面間の距離と、右側の端面間の距離が、すだれ状電
極の電極周期λの１／４の奇数倍となるように、各シー
ルド電極の幅及びシールド電極間の間隔を設定したこと
を特徴とする請求項４記載の表面弾性波装置。 - 【請求項６】 前記一対のシールド電極のうち一方のシ
ールド電極の左側の端面と他方のシールド電極の右側の
端面との距離が、すだれ状電極の電極周期λの１／２の
整数倍、一方のシールド電極の右側の端面と他方のシー
ルド電極の左側の端面との距離がλ／２の整数倍となる
ように、各シールド電極の幅及びシールド電極間の間隔
を設定したことを特徴とする請求項４記載の表面弾性波
装置。 - 【請求項７】 前記一対のシールド電極の幅が、それぞ
れすだれ状電極の電極周期λの１／２の整数倍となるよ
うに、各シールド電極の幅を設定したことを特徴とする
請求項４記載の表面弾性波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12248495A JPH08316773A (ja) | 1995-05-22 | 1995-05-22 | 表面弾性波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12248495A JPH08316773A (ja) | 1995-05-22 | 1995-05-22 | 表面弾性波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08316773A true JPH08316773A (ja) | 1996-11-29 |
Family
ID=14836997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12248495A Withdrawn JPH08316773A (ja) | 1995-05-22 | 1995-05-22 | 表面弾性波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08316773A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006008922A1 (ja) * | 2004-07-15 | 2006-01-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波フィルタ |
| JP2006157536A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Epson Toyocom Corp | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス |
| WO2014034215A1 (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-06 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置及びデュプレクサ |
| US10476482B2 (en) | 2016-11-29 | 2019-11-12 | Skyworks Solutions, Inc. | Filters including loop circuits for phase cancellation |
| US11038487B2 (en) | 2018-07-18 | 2021-06-15 | Skyworks Solutions, Inc. | FBAR filter with integrated cancelation circuit |
-
1995
- 1995-05-22 JP JP12248495A patent/JPH08316773A/ja not_active Withdrawn
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006008922A1 (ja) * | 2004-07-15 | 2006-01-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波フィルタ |
| US7271685B2 (en) | 2004-07-15 | 2007-09-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter |
| KR100773700B1 (ko) * | 2004-07-15 | 2007-11-05 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성 표면파 필터 |
| JP2006157536A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Epson Toyocom Corp | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス |
| US9628049B2 (en) | 2012-08-30 | 2017-04-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filter device and duplexer |
| JPWO2014034215A1 (ja) * | 2012-08-30 | 2016-08-08 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置及びデュプレクサ |
| WO2014034215A1 (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-06 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置及びデュプレクサ |
| US20170179929A1 (en) * | 2012-08-30 | 2017-06-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filter device and duplexer |
| US10063213B2 (en) * | 2012-08-30 | 2018-08-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filter device and duplexer |
| US20180367122A1 (en) * | 2012-08-30 | 2018-12-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filter device and duplexer |
| US10622968B2 (en) * | 2012-08-30 | 2020-04-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filter device and duplexer |
| US10476482B2 (en) | 2016-11-29 | 2019-11-12 | Skyworks Solutions, Inc. | Filters including loop circuits for phase cancellation |
| US11038487B2 (en) | 2018-07-18 | 2021-06-15 | Skyworks Solutions, Inc. | FBAR filter with integrated cancelation circuit |
| US12136911B2 (en) | 2018-07-18 | 2024-11-05 | Skyworks Solutions, Inc. | FBAR filter with integrated cancelation circuit |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7501916B2 (en) | Elastic wave device having an electrode finger with a side edge projection | |
| JP3233087B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3226472B2 (ja) | 弾性表面波多重モードフィルタ | |
| US7479855B2 (en) | Longitudinally-coupled-resonator-type elastic wave filter device | |
| US7843285B2 (en) | Piezoelectric thin-film filter | |
| JPH06260876A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3385169B2 (ja) | 弾性表面波多重モードフィルタ | |
| US5818146A (en) | Surface acoustic wave resonator filter apparatus | |
| JPH08316773A (ja) | 表面弾性波装置 | |
| JP3137064B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP4821079B2 (ja) | 弾性表面波用のくし型電極部、弾性表面波装置、通信装置 | |
| EP1786100A1 (en) | Balance type elastic surface-wave filter | |
| JPH09172342A (ja) | ２重モ−ド弾性表面波共振子フィルタ | |
| JP4457914B2 (ja) | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス | |
| JP7132841B2 (ja) | 弾性表面波素子、分波器および通信装置 | |
| JP3117021B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| US6781282B1 (en) | Longitudinally coupled resonator-type surface acoustic wave device | |
| JPH05251986A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3068035B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP2003133889A (ja) | 縦結合型弾性表面波共振子フィルタ | |
| JPH10145183A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP4506394B2 (ja) | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス | |
| JP3456810B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP2004363824A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH09326661A (ja) | 弾性表面波フィルタ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020806 |