JP3117021B2 - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JP3117021B2 JP3117021B2 JP02416291A JP41629190A JP3117021B2 JP 3117021 B2 JP3117021 B2 JP 3117021B2 JP 02416291 A JP02416291 A JP 02416291A JP 41629190 A JP41629190 A JP 41629190A JP 3117021 B2 JP3117021 B2 JP 3117021B2
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- JP
- Japan
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- surface acoustic
- acoustic wave
- wave filter
- electrodes
- piezoelectric substrate
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は弾性表面波フィルタに
関し、特に圧電体基板上にインタディジタルトランスデ
ューサとリフレクタとで形成される弾性表面波共振子が
２つ形成された弾性表面波フィルタに関する。
関し、特に圧電体基板上にインタディジタルトランスデ
ューサとリフレクタとで形成される弾性表面波共振子が
２つ形成された弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】図５はこの発明の背景となる従来の弾性
表面波フィルタの一例を示す図解図である。弾性表面波
フィルタ１は圧電体基板２を含む。圧電体基板２上に
は、２つの弾性表面波共振子３が形成される。弾性表面
波共振子３は、インタディジタルトランスデューサ４
と、インタディジタルトランスデューサ４の両側に形成
される２つのリフレクタ５とを含む。これらの２つの弾
性表面波共振子３は、圧電体基板２上の１つの直線に対
して、互いに線対称となるように対向して形成される。
そして、２つのインタディジタルトランスデューサ４か
ら入力端子６および出力端子７が引き出され、インタデ
ィジタルトランスデューサ４とリフレクタ５とを接続す
るようにしてアース端子８が引き出される。
表面波フィルタの一例を示す図解図である。弾性表面波
フィルタ１は圧電体基板２を含む。圧電体基板２上に
は、２つの弾性表面波共振子３が形成される。弾性表面
波共振子３は、インタディジタルトランスデューサ４
と、インタディジタルトランスデューサ４の両側に形成
される２つのリフレクタ５とを含む。これらの２つの弾
性表面波共振子３は、圧電体基板２上の１つの直線に対
して、互いに線対称となるように対向して形成される。
そして、２つのインタディジタルトランスデューサ４か
ら入力端子６および出力端子７が引き出され、インタデ
ィジタルトランスデューサ４とリフレクタ５とを接続す
るようにしてアース端子８が引き出される。
【０００３】このような弾性表面波フィルタ１では、２
つの弾性表面波共振子３が音響的に結合し、入力端子６
に入力された信号によって一方のインタディジタルトラ
ンスデューサ４で弾性表面波が励振されると、その弾性
表面波によって他方のインタディジタルトランスデュー
サ４で信号に変換され、出力端子７から信号が出力され
る。このとき、入力側と出力側の信号の位相の関係によ
り、対称共振モードや反対称共振モードの弾性表面波が
励振される。図５に示される弾性表面波フィルタ１の等
価回路が図６および図７に示される。図６において、Ｒ
S ，Ｌ S ，Ｃ S はそれぞれ共振モードにおける等価抵
抗，等価インダクタンス，等価容量であり、Ｒ a ，
Ｌ a ，Ｃ a はそれぞれ反共振モードにおける等価抵抗，
等価インダクタンス，等価容量である。また、図６およ
び図７に示す等価回路において、Ｌ1 ＝Ｌs ＝Ｌa ，Ｒ
1 ＝Ｒs ＝Ｒa ，１／Ｃm ＝１／Ｃa ＝１／Ｃs であ
る。ここで、Ｃ m は結合により生じる等価容量であり、
Ｃ o は各共振子間の並列容量である。この弾性表面波フ
ィルタ１は、たとえば帯域通過型フィルタとして形成さ
れる。
つの弾性表面波共振子３が音響的に結合し、入力端子６
に入力された信号によって一方のインタディジタルトラ
ンスデューサ４で弾性表面波が励振されると、その弾性
表面波によって他方のインタディジタルトランスデュー
サ４で信号に変換され、出力端子７から信号が出力され
る。このとき、入力側と出力側の信号の位相の関係によ
り、対称共振モードや反対称共振モードの弾性表面波が
励振される。図５に示される弾性表面波フィルタ１の等
価回路が図６および図７に示される。図６において、Ｒ
S ，Ｌ S ，Ｃ S はそれぞれ共振モードにおける等価抵
抗，等価インダクタンス，等価容量であり、Ｒ a ，
Ｌ a ，Ｃ a はそれぞれ反共振モードにおける等価抵抗，
等価インダクタンス，等価容量である。また、図６およ
び図７に示す等価回路において、Ｌ1 ＝Ｌs ＝Ｌa ，Ｒ
1 ＝Ｒs ＝Ｒa ，１／Ｃm ＝１／Ｃa ＝１／Ｃs であ
る。ここで、Ｃ m は結合により生じる等価容量であり、
Ｃ o は各共振子間の並列容量である。この弾性表面波フ
ィルタ１は、たとえば帯域通過型フィルタとして形成さ
れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような弾性表面波
フィルタを使用するとき、特に移動体通信機市場におい
ては、さらに急峻な選択度つまり良好なシェープファク
タが要求される場合が多い。このような場合、複数の弾
性表面波フィルタを縦続接続して、選択度を急峻にする
方法が一般的に行われている。
フィルタを使用するとき、特に移動体通信機市場におい
ては、さらに急峻な選択度つまり良好なシェープファク
タが要求される場合が多い。このような場合、複数の弾
性表面波フィルタを縦続接続して、選択度を急峻にする
方法が一般的に行われている。
【０００５】ところが、複数の弾性表面波フィルタを複
数縦続接続すると、選択度が急峻になると同時に、挿入
損失が大きくなり、また通過帯域幅も必要以上に狭くな
ってしまう。
数縦続接続すると、選択度が急峻になると同時に、挿入
損失が大きくなり、また通過帯域幅も必要以上に狭くな
ってしまう。
【０００６】それゆえに、この発明の主たる目的は、挿
入損失が大きくならず、また通過帯域幅が狭くならず
に、選択度を急峻にすることができる、弾性表面波フィ
ルタを提供することである。
入損失が大きくならず、また通過帯域幅が狭くならず
に、選択度を急峻にすることができる、弾性表面波フィ
ルタを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、圧電体基板
と、圧電体基板上に形成され、交互に交差する複数のく
し形電極からなるインタディジタルトランスデューサと
リフレクタとで形成される一方の弾性表面波共振子と、
圧電体基板上に形成され、交互に交差する複数のくし形
電極からなるインタディジタルトランスデューサとリフ
レクタとで形成される他方の弾性表面波共振子と、一方
の弾性表面波共振子のくし形電極の一方に接続される入
力端子と、他方の弾性表面波共振子のくし形電極の一方
に接続される出力端子と、一方の弾性表面波共振子のく
し形電極の他方および他方の弾性表面波共振子のくし形
電極の他方に接続されるアース端子とを含み、アース端
子に接続された２つのくし形電極が互いに隣接するよう
に、圧電体基板上の１つの直線に対して一方の弾性表面
波共振子および他方の弾性表面波共振子が線対称となる
ように対向して形成された弾性表面波フィルタであっ
て、入力端子と出力端子との間に静電容量を橋絡接続し
た、弾性表面波フィルタである。
と、圧電体基板上に形成され、交互に交差する複数のく
し形電極からなるインタディジタルトランスデューサと
リフレクタとで形成される一方の弾性表面波共振子と、
圧電体基板上に形成され、交互に交差する複数のくし形
電極からなるインタディジタルトランスデューサとリフ
レクタとで形成される他方の弾性表面波共振子と、一方
の弾性表面波共振子のくし形電極の一方に接続される入
力端子と、他方の弾性表面波共振子のくし形電極の一方
に接続される出力端子と、一方の弾性表面波共振子のく
し形電極の他方および他方の弾性表面波共振子のくし形
電極の他方に接続されるアース端子とを含み、アース端
子に接続された２つのくし形電極が互いに隣接するよう
に、圧電体基板上の１つの直線に対して一方の弾性表面
波共振子および他方の弾性表面波共振子が線対称となる
ように対向して形成された弾性表面波フィルタであっ
て、入力端子と出力端子との間に静電容量を橋絡接続し
た、弾性表面波フィルタである。
【０００８】
【作用】圧電体基板上の１つの直線に対して２つの弾性
表面波共振子が線対称となるように形成され、しかもア
ース端子に接続されたくし形電極が隣接するように配置
されることにより、逆相配置型の弾性表面波フィルタが
形成される。このような弾性表面波フィルタにおいて、
入力端子と出力端子との間に静電容量を橋絡接続するこ
とによって、弾性表面波フィルタの周波数特性が急峻な
形状となる。
表面波共振子が線対称となるように形成され、しかもア
ース端子に接続されたくし形電極が隣接するように配置
されることにより、逆相配置型の弾性表面波フィルタが
形成される。このような弾性表面波フィルタにおいて、
入力端子と出力端子との間に静電容量を橋絡接続するこ
とによって、弾性表面波フィルタの周波数特性が急峻な
形状となる。
【０００９】
【発明の効果】この発明によれば、挿入損失を大きくす
ることなく、また通過帯域幅を狭くすることなく、急峻
な選択度を有する弾性表面波フィルタを得ることができ
る。
ることなく、また通過帯域幅を狭くすることなく、急峻
な選択度を有する弾性表面波フィルタを得ることができ
る。
【００１０】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【００１１】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す図解図であ
る。弾性表面波フィルタ１０は圧電体基板１２を含む。
圧電体基板１２の材料としては、たとえばＳＴカット水
晶などが用いられる。圧電体基板１２上には、２つの弾
性表面波共振子１４，１６が形成される。一方の弾性表
面波共振子１４は、インタディジタルトランスデューサ
１８を含み、このインタディジタルトランスデューサ１
８の両側に２つのリフレクタ２０，２２が形成される。
る。弾性表面波フィルタ１０は圧電体基板１２を含む。
圧電体基板１２の材料としては、たとえばＳＴカット水
晶などが用いられる。圧電体基板１２上には、２つの弾
性表面波共振子１４，１６が形成される。一方の弾性表
面波共振子１４は、インタディジタルトランスデューサ
１８を含み、このインタディジタルトランスデューサ１
８の両側に２つのリフレクタ２０，２２が形成される。
【００１２】インタディジタルトランスデューサ１８
は、圧電体基板１２の長手方向の中央部に形成される。
インタディジタルトランスデューサ１８は、２つのくし
形電極１８ａおよび１８ｂが交互に交差するように形成
される。これらのくし形電極１８ａ，１８ｂの対数は、
この実施例では１３０対形成される。そして、この弾性
表面波フィルタ１０に励起される弾性表面波の波長をλ
とすると、インタディジタルトランスデューサ１８の交
差幅は９λに設定される。インタディジタルトランスデ
ューサ１８の一方のくし形電極１８ａは入力端子２４に
接続され、他方のくし形電極１８ｂはアース端子２６に
接続される。
は、圧電体基板１２の長手方向の中央部に形成される。
インタディジタルトランスデューサ１８は、２つのくし
形電極１８ａおよび１８ｂが交互に交差するように形成
される。これらのくし形電極１８ａ，１８ｂの対数は、
この実施例では１３０対形成される。そして、この弾性
表面波フィルタ１０に励起される弾性表面波の波長をλ
とすると、インタディジタルトランスデューサ１８の交
差幅は９λに設定される。インタディジタルトランスデ
ューサ１８の一方のくし形電極１８ａは入力端子２４に
接続され、他方のくし形電極１８ｂはアース端子２６に
接続される。
【００１３】リフレクタ２０，２２は、インタディジタ
ルトランスデューサ１８を中心として、圧電体基板１２
の長手方向の両側に形成される。リフレクタ２０，２２
は、圧電体基板１２の幅方向に延びる複数の電極を有
し、これらの電極がアース端子２６に接続される。この
実施例では、リフレクタ２０，２２の電極の数は、それ
ぞれ１３５本形成される。また、リフレクタ２０，２２
の開口長は、弾性表面波の波長をλとすると９λに設定
される。インタディジタルトランスデューサ１８および
リフレクタ２０，２２は、たとえばアルミニウムなどで
形成される。
ルトランスデューサ１８を中心として、圧電体基板１２
の長手方向の両側に形成される。リフレクタ２０，２２
は、圧電体基板１２の幅方向に延びる複数の電極を有
し、これらの電極がアース端子２６に接続される。この
実施例では、リフレクタ２０，２２の電極の数は、それ
ぞれ１３５本形成される。また、リフレクタ２０，２２
の開口長は、弾性表面波の波長をλとすると９λに設定
される。インタディジタルトランスデューサ１８および
リフレクタ２０，２２は、たとえばアルミニウムなどで
形成される。
【００１４】他方の弾性表面波共振子１６も、弾性表面
波共振子１４と同様に、インタディジタルトランスデュ
ーサ２８を含み、その両側にリフレクタ３０，３２が形
成される。インタディジタルトランスデューサ２８は２
つのくし形電極２８ａ，２８ｂを含む。そして、一方の
くし形電極２８ａが出力端子３４に接続され、他方のく
し形電極２８ｂがアース端子２６に接続される。また、
リフレクタ３０，３２は、たとえば１３５本の電極で形
成され、アース端子２６に接続される。この弾性表面波
共振子１６は、圧電体基板１２上の１つの直線に対し
て、別の弾性表面波共振子１４と線対称になるように対
向して形成される。このとき、アース端子２６に接続さ
れた２つのくし形電極１８ｂ，２８ｂが互いに隣接する
ように、２つの弾性表面波共振子１４，１６が形成され
る。２つの弾性表面波共振子１４，１６の間隙幅は、弾
性表面波の波長をλとすると、０．９λに設定される。
波共振子１４と同様に、インタディジタルトランスデュ
ーサ２８を含み、その両側にリフレクタ３０，３２が形
成される。インタディジタルトランスデューサ２８は２
つのくし形電極２８ａ，２８ｂを含む。そして、一方の
くし形電極２８ａが出力端子３４に接続され、他方のく
し形電極２８ｂがアース端子２６に接続される。また、
リフレクタ３０，３２は、たとえば１３５本の電極で形
成され、アース端子２６に接続される。この弾性表面波
共振子１６は、圧電体基板１２上の１つの直線に対し
て、別の弾性表面波共振子１４と線対称になるように対
向して形成される。このとき、アース端子２６に接続さ
れた２つのくし形電極１８ｂ，２８ｂが互いに隣接する
ように、２つの弾性表面波共振子１４，１６が形成され
る。２つの弾性表面波共振子１４，１６の間隙幅は、弾
性表面波の波長をλとすると、０．９λに設定される。
【００１５】入力端子２４と出力端子３４との間には、
静電容量３６が橋絡接続される。静電容量３６は、たと
えば圧電体基板１２上に形成される。この静電容量３６
によって、弾性表面波フィルタ１０の周波数特性の波形
を急峻にすることができる。
静電容量３６が橋絡接続される。静電容量３６は、たと
えば圧電体基板１２上に形成される。この静電容量３６
によって、弾性表面波フィルタ１０の周波数特性の波形
を急峻にすることができる。
【００１６】このような弾性表面波フィルタ１０では、
２つの弾性表面波共振子１４，１６が音響的に結合し、
入力端子２４に入力された信号によって一方のインタデ
ィジタルトランスデューサ１８で弾性表面波が励振され
ると、その弾性表面波によって他方のインタディジタル
トランスデューサ２８で信号に変換され、出力端子３４
から信号が出力される。このとき、入力側と出力側の信
号の位相の関係により、対称共振モードや反対称共振モ
ードの弾性表面波が励振される。しかも、２つのインタ
ディジタルトランスデューサ１８，２８が線対称となる
ように形成され、しかもアース端子２６に接続されたく
し形電極１８ｂ，２８ｂが隣接していることにより、逆
相配置型の弾性表面波フィルタが形成される。この弾性
表面波フィルタ１０の等価回路が図２および図３に示さ
れる。図２において、Ｒ S ，Ｌ S ，Ｃ S はそれぞれ共振
モードにおける等価抵抗，等価インダクタンス，等価容
量であり、Ｒ a ，Ｌ a ，Ｃ a はそれぞれ反共振モードに
おける等価抵抗，等価インダクタンス，等価容量であ
る。また、図２および図３に示す等価回路において、Ｌ
1 ＝Ｌs ＝Ｌa ，Ｒ1 ＝Ｒs ＝Ｒa ，１／Ｃm ＝１／Ｃ
a ＝１／Ｃs である。ここで、Ｃ m は結合により生じる
等価容量であり、Ｃ o は各共振子間の並列容量である。
また、ＣB は、入力端子２４と出力端子３４との間の静
電容量３６を示す。
２つの弾性表面波共振子１４，１６が音響的に結合し、
入力端子２４に入力された信号によって一方のインタデ
ィジタルトランスデューサ１８で弾性表面波が励振され
ると、その弾性表面波によって他方のインタディジタル
トランスデューサ２８で信号に変換され、出力端子３４
から信号が出力される。このとき、入力側と出力側の信
号の位相の関係により、対称共振モードや反対称共振モ
ードの弾性表面波が励振される。しかも、２つのインタ
ディジタルトランスデューサ１８，２８が線対称となる
ように形成され、しかもアース端子２６に接続されたく
し形電極１８ｂ，２８ｂが隣接していることにより、逆
相配置型の弾性表面波フィルタが形成される。この弾性
表面波フィルタ１０の等価回路が図２および図３に示さ
れる。図２において、Ｒ S ，Ｌ S ，Ｃ S はそれぞれ共振
モードにおける等価抵抗，等価インダクタンス，等価容
量であり、Ｒ a ，Ｌ a ，Ｃ a はそれぞれ反共振モードに
おける等価抵抗，等価インダクタンス，等価容量であ
る。また、図２および図３に示す等価回路において、Ｌ
1 ＝Ｌs ＝Ｌa ，Ｒ1 ＝Ｒs ＝Ｒa ，１／Ｃm ＝１／Ｃ
a ＝１／Ｃs である。ここで、Ｃ m は結合により生じる
等価容量であり、Ｃ o は各共振子間の並列容量である。
また、ＣB は、入力端子２４と出力端子３４との間の静
電容量３６を示す。
【００１７】この発明の弾性表面波フィルタ１０および
従来の弾性表面波フィルタとの周波数特性を図４に示
す。この周波数特性は、弾性表面波フィルタを２段縦続
接続した場合を示す特性である。図４において、Ａは静
電容量３６として０．０３５ｐＦのものを使用した特性
を示し、Ｂは静電容量３６として０．０１ｐＦのものを
使用した特性を示し、Ｃは従来の弾性表面波フィルタの
特性を示す。
従来の弾性表面波フィルタとの周波数特性を図４に示
す。この周波数特性は、弾性表面波フィルタを２段縦続
接続した場合を示す特性である。図４において、Ａは静
電容量３６として０．０３５ｐＦのものを使用した特性
を示し、Ｂは静電容量３６として０．０１ｐＦのものを
使用した特性を示し、Ｃは従来の弾性表面波フィルタの
特性を示す。
【００１８】図４からわかるように、この発明の弾性表
面波フィルタ１０では、従来の入出力端子間に静電容量
が形成されていないものに比べて、通過帯域における立
ち上がり部分の傾斜が大きくなっている。つまり、この
発明の弾性表面波フィルタ１０では、従来のものに比べ
て、選択度が向上しているのがわかる。したがって、少
ない多段接続数で弾性表面波フィルタの選択度を向上さ
せることができ、同一選択度の場合にはその挿入損失を
少なくすることができる。
面波フィルタ１０では、従来の入出力端子間に静電容量
が形成されていないものに比べて、通過帯域における立
ち上がり部分の傾斜が大きくなっている。つまり、この
発明の弾性表面波フィルタ１０では、従来のものに比べ
て、選択度が向上しているのがわかる。したがって、少
ない多段接続数で弾性表面波フィルタの選択度を向上さ
せることができ、同一選択度の場合にはその挿入損失を
少なくすることができる。
【００１９】また、この発明の弾性表面波フィルタ１０
では、従来のものに比べて、シェープファクタが向上
し、同一選択度の場合、通過帯域幅を必要以上に狭くす
ることがない。
では、従来のものに比べて、シェープファクタが向上
し、同一選択度の場合、通過帯域幅を必要以上に狭くす
ることがない。
【００２０】なお、図４の周波数特性では、弾性表面波
フィルタを２段縦続接続した場合の特性を示したが、弾
性表面波フィルタは１段だけの場合、または３段以上縦
続接続した場合においても、同様の効果を得ることがで
きる。
フィルタを２段縦続接続した場合の特性を示したが、弾
性表面波フィルタは１段だけの場合、または３段以上縦
続接続した場合においても、同様の効果を得ることがで
きる。
【００２１】さらに、インタディジタルトランスデュー
サ１８，２８の対数およびリフレクタ２０，２２，３
０，３２の電極の本数は、必要に応じて任意に設定可能
である。
サ１８，２８の対数およびリフレクタ２０，２２，３
０，３２の電極の本数は、必要に応じて任意に設定可能
である。
【図１】この発明の一実施例を示す図解図である。
【図２】図１に示す弾性表面波フィルタの等価回路図で
ある。
ある。
【図３】図２に示す等価回路と同等の等価回路図であ
る。
る。
【図４】この発明の弾性表面波フィルタおよび従来の弾
性表面波フィルタの周波数特性を示すグラフである。
性表面波フィルタの周波数特性を示すグラフである。
【図５】この発明の背景となる従来の弾性表面波フィル
タの一例を示す図解図である。
タの一例を示す図解図である。
【図６】図５に示す従来の弾性表面波フィルタの等価回
路図である。
路図である。
【図７】図６に示す等価回路と同等の等価回路図であ
る。
る。
１０ 弾性表面波フィルタ １２ 圧電体基板 １４ 弾性表面波共振子 １６ 弾性表面波共振子 １８ インタディジタルトランスデューサ ２０ リフレクタ ２２ リフレクタ ２４ 入力端子 ２８ インタディジタルトランスデューサ ３０ リフレクタ ３２ リフレクタ ３４ 出力端子 ３６ 静電容量
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−23611（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−212015（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−128957（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−221211（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−135113（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−222512（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電体基板、 前記圧電体基板上に形成され、交互に交差する複数のく
し形電極からなるインタディジタルトランスデューサと
リフレクタとで形成される一方の弾性表面波共振子、 前記圧電体基板上に形成され、交互に交差する複数のく
し形電極からなるインタディジタルトランスデューサと
リフレクタとで形成される他方の弾性表面波共振子、 前記一方の弾性表面波共振子の前記くし形電極の一方に
接続される入力端子、 前記他方の弾性表面波共振子の前記くし形電極の一方に
接続される出力端子、および 前記一方の弾性表面波共振
子の前記くし形電極の他方および前記他方の弾性表面波
共振子の前記くし形電極の他方に接続されるアース端子
を含み、 前記アース端子に接続された２つの前記くし形電極が互
いに隣接するように、前記圧電体基板上の１つの直線に
対して前記一方の弾性表面波共振子および前記他方の弾
性表面波共振子が 線対称となるように対向して形成され
た弾性表面波フィルタであって、前記入力端子と前記出力端子との 間に静電容量を橋絡接
続した、弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02416291A JP3117021B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 弾性表面波フィルタ |
| US07/816,291 US5223762A (en) | 1990-12-27 | 1991-12-27 | Surface acoustic wave filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02416291A JP3117021B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04249906A JPH04249906A (ja) | 1992-09-04 |
| JP3117021B2 true JP3117021B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=18524522
Family Applications (1)
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| JP (1) | JP3117021B2 (ja) |
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-
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- 1990-12-27 JP JP02416291A patent/JP3117021B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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