JPH027527B2 - - Google Patents

Description

請求の範囲 １ (イ) 圧電材料から成る少くとも１つの表面層
１４を持つ基板手段１２と、 (ロ) この基板手段１２の圧電表面１４上に配置さ
れ、電気信号と前記基板手段１２の圧電表面１
４上を伝搬する表面音波との間の変換を行なう
ように動作できる表面音波変換器手段１６，１
８と、 (ハ) 表面波装置上に反射構造２２を形成し、表面
音波に応答し、そのときに前記変換器手段１
６，１８を配置した圧電表面１４の一部分に表
面音波の反射を生じさせる、前記変換器手段１
６，１８とは異なる手段２０と を含んで成る表面波装置であつて、 (a) 前記表面音波変換器手段１６，１８に、分割
電極変換器を形成するように櫛形の関係の交互
の対の電極２８，３０を持つ互いに対向するパ
ツド２４，２６を設け、 (b) 前記表面音波変換器手段１６，１８に、所定
の重み関数を持たせ、 (c) 前記反射構造２２形成手段として、前記圧電
表面１４にみぞ２０を形成すると共に、これ等
のみぞ２０の長さを変化させることにより前記
表面音波変換器手段１６，１８の所定の重み関
数とは異なる所定の重み関数を持たせた ことを特徴とする表面波装置。

２ 前記反射構造２２形成手段として、前記の交
互の対の電極２８，３０の間で前記圧電表面１４
にみぞを形成して成る請求の範囲第１項記載の表
面波装置。

３ 前記反射構造２２形成手段として、前記各対
を構成する電極間で前記圧電表面１４にみぞを形
成して成る請求の範囲第１項記載の表面波装置。

４ 前記反射構造２２形成手段２０として、前記
圧電表面１４にみぞを形成して成り、前記表面音
波変換器手段１６，１８として、前記各電極２
８，３０を前記みぞ内に入れた櫛形変換器を形成
するように、櫛形の関係の交互の電極２８，３０
を持つ互いに対向するパツド２４，２６を設けた
請求の範囲第１項記載の表面波装置。

５ 前記反射構造２２形成手段２０が、前記圧電
表面１４にみぞを形成しており、前記表面音波変
換器手段１６，１８に、前記交互の対の電極２
８，３０のうちの１つ置きの電極をみぞ内に入れ
た分割電極変換器を形成する櫛形の関係の交互の
対の電極２８，３０を持つ互いに対向するパツド
２４，１６を設けた請求の範囲第１項記載の表面
波装置。

６ 前記表面音波変換器手段１６，１８に、電極
２８，３０を持つ互いに対向するパツド２４，１
６を設け、前記反射構造２２形成手段２０に、少
くとも若干の前記電極２８，３０上に重ねた反射
構造を設けた請求の範囲第１項記載の表面波装
置。

７ 前記表面音波変換器手段１６，１８に、分割
電極変換器を形成するように、櫛形の関係の交互
の対の電極２８，３０を持つ互いに対向するパツ
ド２４，２６を設け、前記反射構造２２形成手段
２０に、前記交互の電極上に重ねた付加的に付着
させた反射材料を設けた請求の範囲第１項記載の
表面波装置。

技術分野 本発明は一般に表面波装置、ことにこのような
装置を使う帯域フイルタに関する。

SAW装置として知られている表面音波装置は、
UHF及びVHFの周波数範囲で多くの用途があ
る。SAW装置はこれ等の周波数範囲では帯域フ
イルタとしてとくに有用である。

背景技術 米国特許第3360749号明細書には櫛形電極変換
器を使用する基本的SAW装置を示してある。こ
のようなSAW装置は、圧電材料から成る少くと
も１つの表面層を持つ基板と、この圧電表面に配
置した表面音波変換器とを備えている。これ等の
変換器は電気信号と圧電表面で伝搬する表面音波
との間の変換を行う。各変換器は入力電気信号を
出力表面音波に、又は入力表面音波を出力電気信
号に変換することができる。極めてよく知られて
いる構造では、1973年４月刊行のIEEEトランザ
クシヨンズ・オン・マイクロウエイブ・セオリ
ー・エンド・テクニクス（Transactions on
Microwave Theory and Techniques）MTT−
21巻第４号第162ないし175頁の本発明者と共にデ
イー・テイー・ベル・ジユニア（D.T.Bell、Jr）
及びアー・スイー・ローゼンフエルド（R.C.
Rosenfeld）による論文『表面音波フイルタのイ
ンパルス・モデル設計』に指摘してあるように、
変換器のインパルス応答とその電極の幾何学的形
状との間には１対１の対応がある。この種の変換
器により形成したような装置は、表面音波が入力
変換器構造から出力変換器構造への単一の横波を
生ずる点で一般に横フイルタと呼ばれる。

SAW装置の第２の主な範疇は、1974年刊行の
IEEEウルトラソニツク・シンポジウム・プロス
イーデイングス（Ultrasonic Symposium
Proceedings）の論文『UHF表面音波共振器』と
カタログ第74号CHO896−ISUと米国特許第
3886504号明細書とで本発明者及びその他の人々
により最初に開示された共振装置を含んでいる。
基本的共振装置は、表面音波共振構造を形成する
ように設けた２組の格子形反射器から成つてい
る。櫛形SAW変換器は通常、この共振構造内に
又共振構造からエネルギーを結合するために、共
振器の空どう領域内に位置させられる。共振器
は、表面波が多数回にわたり前後にはね返るので
反復装置と呼ばれることが多い。共振器は一般
に、VHF及びUHFの周波数範囲で狭い帯域のろ
波と周波数制御用とに有用である。

共振器に対する配分した反射構造を形成する格
子配列は、圧電結晶の表面に付着させた金属質又
は誘電性の条片、結晶の表面に食刻したみぞ、表
面にイオン注入した不純物、或は表面音波反射の
生ずる表面に対するその他任意の妨害手段でよ
い。正常なSAW櫛形変換器内の変換器電極は、
反射を引き起すことができる。SAW変換器の内
部のこれ等の反射は、1972年７月刊行のIEEEト
ランザクシヨンズ・オン・ソニツクス・エンド・
ウルトラソニツクス（Transactions on Sonics
and Ultrasonics）SU−19巻第３号の本発明者及
びその他による論文『表面波装置の２次効果』と
1975年11月刊行のIEEEトランザクシヨンズ・オ
ン・マイクロウエイブ・セオリー・エンド・テク
ニク（Transactions on Microwave Theory
and Technique）MTT−23巻第11号のダブリ
ユ・リチヤード・スミス（W.Richard Smith）
及びウイリアム・エフ・パドラー（Wiliam F.
Padler）による『基本及び調和の周波数回路−
随意金属化比及び極性順序を持つ櫛形変換器のモ
デル解析』とに指摘されているように一層伝統的
な櫛形変換装置の２次又は一層高次の効果と呼ば
れている。内部反射は、変換器インパルス応答及
び電極幾何学的形状の間の１対１の応答を破壊
し、従つて横形装置には有害に見える。横形フイ
ルタの内部反射の影響は、音波波長当たりの電極
の個数を増すことによりなくなり、この結果1972
年刊行のIEEEウルトラソニツク・シンポジウ
ム・プロスイーデイングス第72号CHO708−8SU
のド・ブリエ（de Vries）等による『３種のID
変換器からの表面波の反射』と、ド・ブリエを発
見者とする米国特許第3727155号明細書とに指摘
してあるように波長当たり４個の電極を持つ分割
電極幾何学的形状が得られた。分割電極変換器に
おいては、変換器１個の電極からの反射は、隣接
する変換器電極からの反射により相殺される。本
発明者及びウイリアム・エス・ジヨンズ
（William S.Jones）による米国特許第3686618号
明細書に示してある波長当たり３電極形において
は、３個の電極からの反射を考えるときだけ、反
射波の同様な相殺が起る。

ド・ブリエ等の論文には、最初の櫛形電極構成
及び分割電極構造のほかに、各電極指状片を分割
電極変換器の場合と同様に２つの分割し、ただし
分割した指状片の一方だけを母線バー又はパツド
に接続した分割・隔離電極構造について述べてあ
る。

発明の開示 本発明によれば、表面波装置は、圧電材料から
成る少くとも１つの表面層を持つ基板を備えてい
る。表面音波変換器は、電気信号と圧電表面に伝
搬する表面音波との間の変換のために、圧電表面
に配置される。この装置の反射構造は、表面音波
に応答し、そして反射構造を形成する手段によ
り、表面音波変換器を配置した圧電表面の部分に
表面音波の反射を生じさせる。

本発明においては、配分された反射は、変換器
内の反射を防ぐ従来の場合とは異つて、或る所望
の効果を実現するように櫛形変換器により故意に
統合される。従来の装置の変換器の内部の機械的
反射の振幅及び位相は共に表面に対する各変換器
電極の相互作用の一層高次の効果の単なる副生物
であるが、これに反して反射と、変換器発生位相
との間の種種の位相関係が本発明の最適の使用に
必要である。本発明における反射器格子の振幅及
び配置は、櫛形変換器励振強さの配置及び振幅に
必ずしも合致しない。すなわち格子反射及び変換
器発生は、本発明においては必ずしも同じ重み関
数を持たない。

配列の一例においては変換器手段は、櫛形変換
器を形成するように櫛形関係の交互の電極を持つ
互に対向するパツドを備えている。そして反射構
造を形成する手段は、交互の電極間で圧電表面に
みぞを備えている。又別の配列においては、櫛形
変換器電極はみぞ内にある。

本発明によるなお他の配列の一例においては変
換器手段は、分割電極変換器を形成するように櫛
形関係の交互の対の電極を持つ互に対向するパツ
ドを備えている。このような配列においては反射
構造を形成する手段は、各対を構成する電極間で
圧電表面にみぞを形成している。なお異る配列に
おいては圧電表面のみぞは、交互の対の電極間に
ある。なお別の配列においては１つ置きの交互の
電極がみぞの１つ内にある。

本発明による若干の配列においては、反射構造
を形成する手段は電極の若干に重ねた反射器を備
えている。１例では分割電極変換器の交互の電極
に重ねた付加的な付着金属を備えている。

本発明による表面波共振装置は、圧電表面に配
置した入力変換器手段と、圧電表面に配置した出
力変換器手段と、圧電表面で組合わされた表面音
波変換器手段の互いに対向する側に第１及び第２
の反射格子構造を形成する手段と、表面音波に応
答して前記入力変換器手段及び出力変換器手段を
配置した圧電気面の部分に音波の反射を生じさせ
る反射構造を形成する、変換器手段以外の手段と
を備えている。

本発明のこれ等の又その他の目的、利点及び特
徴は、本発明の好適とする実施例を示した添付図
面についての以下の説明から明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるSAW装置の一部分を拡
大し一部を切欠いて示す斜視図（一定の比例に応
じて描いてない）である。

第２図は第１図の２−２線に沿う部分断面図
（一定の比例に応じて描いてない）である。

第３図は電極の各対間にみぞを形成した本発明
による分割電極SAW装置の第２図と同様な部分
断面図である。

第４図は各対の電極から成る電極間にみぞを形
成した本発明による分割電極SAW装置の第２図
と同様な部分断面図である。

第５図は各電極をみぞに入れた櫛形SAW装置
の第２図と同様な部分断面図である。

第６図は各電極の対の一方の電極をみぞに入れ
た本発明による分割電極SAW装置の第２図と同
様な部分断面図である。

第７図はみぞ内の電極の順序を逆にした第６図
と同様な部分断面図である。

第８図は本発明による表面波共振装置の平面図
である。

第９図は第８図の９−９線に沿う断面図であ
る。

第１０図は位置による反射器重み関数を表わす
線図である。

第１１図は第１０図の位置による反射器重み関
数を持つ本発明装置の周波数による反射器帯域応
答を表わす線図である。

第１２図は本発明に使う変換器重み関数の線図
である。

第１３図は第１２図の変換器重み関数に対する
変換器周波数応答を表わす線図である。

第１４図は重なり変換器重みつけを使用する本
発明による表面波共振装置を一部を切欠いて示す
斜視図である。

第１５図は第１４図の装置の１５−１５線に沿
う断面図である。

第１６図は本発明装置の周波数応答を表わす線
図である。

第１７図は第１６図の周波数応答のピーク部の
拡大図である。

第１８図は分割電極共振器を使用する本発明に
よる表面波共振装置を一部を切欠いて示す斜視図
である。

第１９図は第１８図の１９−１９線に沿う断面
図である。

第２０図は本発明による２極帯域フイルタのブ
ロツク線図である。

第２１図は第２０図の入力変換器手段の周波数
応答を表わす線図である。

第２２図は第２０図のフイルタの出力変換器手
段の周波数応答を表わす線図である。

第２３図は第２０図のフイルタの格子結合器応
答を表わす線図である。

第２４図は第２０図のフイルタの複合周波数応
答を表わす線図である。

第２５図は本発明による４極帯域フイルタのブ
ロツク線図である。

発明を実施するための最良の形態 第１図及び第２図に示すように本発明による表
面波装置１０は、圧電材料から成る少くとも１つ
の表面層すなわち圧電表面１４を持つ基板手段１
２と、基板１２の圧電表面１４に配置され電気信
号と基板手段１２の圧電表面に伝搬する表面音波
との間の変換を行うように動作する表面音波変換
器手段１６，１８とを備えている。表面波装置１
０は又、表面音波に応答する反射構造２２を表面
波装置１０に形成する、表面音波変換器手段１
６，１８又はその他の変換器手段とは異なる手段
２０を備えている。反射構造２２を持つ手段２０
は、組合わせた表面音波変換器手段１６，１８を
配置した圧電表面１４の部分に表面音波の反射を
生じさせる。

図示の実施例では表面音波変換器手段１６，１
８は、それぞれ導電性材料から成り、櫛形変換器
を形成するように櫛形の関係の交互の電極２８，
３０を持つ互いに対向するパツド２４，２６を備
えている。反射構造２２を形成する手段２０は、
圧電表面１４に交互の電極２８，３０間に形成し
た便宜上参照数字２０を使つたみぞを備えてい
る。

表面波装置１０を、各入力用の表面音波変換器
手段１６，１８に入力電気信号を加えることによ
り、表面波発生器として使う場合には、前向きに
発生する表面波と、前進方向として定義するこの
同じ寸法に移動する反射との関係は、これ等の２
つの波が−90゜に等しい−ｊの相対位相関係を持
つことである。図示の場合には後向きに生ずる波
と、後方に反射する波とに対しても同じ位相関係
が生ずる。

第３図に示した変型による本発明の表面波装置
３２は、前記した実施例の導電性のパツド２４，
２６と同様な互いに対向するパツドを持つ表面音
波変換器手段を備えている。これ等のパツドは分
割電極変換器を形成するように、櫛形の関係の電
極３８から成る交互の対３４，３６を備えてい
る。反射構造４２を形成する手段４０は、圧電表
面１４に交互の対の電極間において形成したみぞ
を備えている。表面波装置３２を音波発生器とし
て接続するときは、表面波装置３２は、表面波装
置１０と同様に、前向きに発生した表面波と、前
進方向に移動する反射との間に同じ相対位相関係
を持つ。しかし普通の非分割電極櫛形変換器にお
いては、電極２８，３０及びみぞ２０は、反射効
果の一助となる。この特定の場合にはこれ等は付
加的である。

第４図に示した別の実施例による表面波装置４
４も又表面波装置１０のパツド２４，２６と同様
な導電性材料から成る互に対向するパツドを備え
ている。しかし表面波装置４４の変換器手段は、
分割電極変換器を形成するように櫛形の関係の電
極４６Ａ，４６Ｂ，４８Ａ，４８Ｂから成る交互
の対４６，４８を備えている。反射構造を形成す
る手段５０は、圧電表面１４に、各対から成る電
極間においてすなわち電極４６Ａ，４６Ｂ間に又
電極４８Ａ，４８Ｂ間にみぞを形成している。表
面波装置４４は、前向きの発生波と前進方向に反
射する波との間に＋90゜に等しい＋ｊの位相関係
を持ち、２つの後進波に対しても同様である。

第５図に示した別の実施例による表面波装置５
４においては、反射構造５８を形成する手段５６
は、圧電表面１４にみぞを形成している。表面波
装置１０の表面音波変換器手段１６，１８と同様
な表面音波変換器手段は、表面波装置１０のパツ
ド２４，２６と同様に櫛形変換器を形成するよう
に、櫛形の関係に交互の電極６０，６２を持つ互
に対向するパツドを備えている。しかしこの場合
電極６０，６２は手段５６により形成されたみぞ
内にある。表面波装置５４は、表面波装置４４の
場合と同様な位相関係にある。しかし表面波装置
５４の場合には、非分割電極による反射は、圧電
表面１４に形成したみぞに基づく反射から差し引
かれる。

第６図に示したなお別の実施例による表面波装
置６４は、反射構造６８を形成する手段６６を備
えている。手段６６は、圧電表面１４にみぞを形
成している。表面波装置６４は、表面波装置１０
のパツド２４，２６と同様に電極７０Ａ，７０
Ｂ，７２Ａ，７２Ｂから成る交互の対７０，７２
を持つ互に対向するパツドを備えた表面音波変換
器手段を備えている。このようにして表面音波変
換器手段は、分割電極変換器を形成する、交互の
対の電極の１つおきの電極すなわち電極７０Ｂ，
７２Ｂはみぞ内にある。前向きに移動する波が右
方になるように表面波装置６４を見るときは、各
電極の対の最も右方の電極は反射器みぞ内に入れ
てある。前向きに反射する波と前向きに電気的に
発生する波とはこの場合同相になる。後向きに反
射する波と後向きに発生する波とは位相がずれ
る。この場合この構造は優先的に右方に放射す
る。

第７図に示した実施例による装置７４は、圧電
表面１４にみぞを形成する反射構造７８を形成す
る手段７６を備えている。装置７４は、表面波装
置１０と同様であるが分割電極変換器を形成する
櫛形の関係の電極８０Ａ，８０Ｂ，８２Ａ，８２
Ｂから成る交互の対８０，８２を持つ互に対向す
るパツドを持つ表面音波変換器を備えている。交
互の電極の１つ置きの電極すなわち電極８０Ａ，
８２Ａはみぞ内にある。装置７４は、反対の位相
関係と左方向への好適とする放射とを持ち、表面
波装置６４と互いに補足し合う。

各装置１０，３２，４４，５４，６４，７４
は、中間範囲の周波数に対し波長当たり２条のみ
ぞを形成するが、電気励振及び音響反射間の位相
が互に異る。実際上１対１の対応を破り、電気的
変換と音響反射とに対し独立して誘導される重み
関数を生ずることが望ましい。変換器電極に対す
る重なり重みつけは、当業界にはよく知られてい
る。この場合電気的励振強さは、互いに隣接する
電極間の重なり量を変えることにより変化する。
変換器重みつけは又、当業界にはよく知られてい
る容量重みつけによつて得られる。又はみぞの反
射性は、種種のみぞの深さを変えることにより変
えることができる。しかしみぞの幅又はイオン注
入した反射器の場合には注入量を変えることによ
り、同様な効果が得られる。電気変換器励振と音
響反射とは共にウイズドローワル（with
drawal）重みつけにより重みつけすることがで
きる。このウイズドローワル重みつけにおいては
変換器又は反射器配列は、電極又は反射構造を除
くことにより選択的に薄くされる。変換関数を格
子関数で積分することにより、これ等の２つの関
数間に若干の交互作用を生ずる。この場合１次効
果は変換器配列内の内部反射により変換関数のひ
ずみである。

第８図及び第９図には装置６４，７４に類似の
若干の特性を持つ実施例による本発明装置８４を
示してある。装置８４は、導電性材料から成り分
割電極変換器を形成するように櫛形関数に交互の
対の電極９０，９２を持つ互いに対向するパツド
８６，８８を持つ表面音波変換器手段を備えてい
る。装置８４は又反射構造を形成する手段９４を
備えている。この実施例においては手段９４は、
交互の電極すなわち電極９０Ａ，９２Ａに重ねた
付加的に付着させた反射材料を備えている。手段
９４の反射材料は、誘電体又は導電体でもある。
このような場合には交互の電極に重ねた導電体は
変換器として作用しない。図示のようにこの実施
例は、電気的変換及び音響反射の効果に重みつけ
してない。１構造例では音響反射効果及び電気的
変換反射効果は同様な通過帯域を持つように、こ
れ等の２つの効果は互いに別々に重みつけされ
る。又第１０図、第１１図、第１２図及び第１３
図に示すように格子すなわち反射構造を形成する
手段に対しなめらかに単調に減小する重み関数す
なわち第１０図に示した重み関数により、音響反
射重み関数に対する高度に有用な平らな頂部の通
過帯域特性が生ずる。又第１２図に示すような位
相反転側のローブを持つ重み関数は、第１３図に
示すような変換周波数応答に対し同様な帯域形状
を実現するのに必要である。本発明の好適とする
形で互に異る２つの重み関数は、平らな通過帯域
及び単向SAW変換器を形成するように同じ変換
器関数で使用される。

横装置に対する本発明による装置の１応用例
は、1976年刊行のIEEEウルトラソニツクス・シ
ムポジウム・プロスイーデイングズのカタログ番
号CH1120−SSUのダブリユ・リチヤード・スミ
スの論文『SAW変換器の設計及び部品仕様にお
けるキー・トレドオフ』に記載してあるそう入損
及びトリプル・トランシツト・サプレツシヨン
（triple transit suppression）の間のトレードオ
フ（tradeoff）を減らすことである。従来は、こ
のための最も有効な手段は、本発明者の米国特許
第3686518号に記載されたような単向多相変換器
を使用することであつた。本発明においては、装
置６４，７４，８４のような装置に対し変換器
は、エネルギーを相互関係により示すことのでき
る１方向に優先的に放射し、音響ポートからの音
響反射をなくす。音響反射をなくすことによりト
リプル・トランシツト現象をなくす。本発明にお
いては変換器の電気的変換性に基づく変換器から
の反射が変換器上に重ねた音響格子反射器に基づ
く反射により相殺されるので、変換器からのトリ
プル・トランシツト・エコーは相殺される。

本発明の変換器構造は、SAW共振装置に使う
のに有利である。SAW共振装置における疑似の
縦モードは、２つの格子間の間隔が、格子反射係
数の帯域幅内の複数の周波数で共振条件が満足さ
れるほど十分に大きい距離だけ広げられるとき
に、生ずる。これ等のモードを抑制する必要によ
り正規の共振器構造に小さい有効空どう寸法を使
わなければならないから、小さい結合変換器を使
うことになり、普通のSAW共振器構造では電気
的結合が極めて弱くなる。本発明の反射手段と変
換器手段との組合わせにより、各結合変換器が格
子反射器自体の内部部分に重なるのでこのやつか
いなトレード・オフがなくなる。この構造により
余分な縦モードを導入しないで理論的に最も有効
な電気的結合が得られる。これはこの構造の主な
利点の１つである。

第１４図及び第１５図に示した本発明による表
面波共振装置９６は、圧電材料から成る少くとも
１つの表面層すなわち圧電表面１４を持つ基板手
段１２と、圧電表面１４に配置され入力電気信号
を、圧電表面１４上を伝搬する表面音波に変換す
るように動作する表面音波入力変換器手段９８
と、圧電表面１４に配置され圧電表面１４上を伝
搬する表面音波を出力電気信号に変換するように
動作する表面音波出力変換器手段１００と、組合
わされた表面音波変換器手段９８，１００の互い
に対向する側で圧電表面１４に第１及び第２の反
射格子構造１０２，１０４を形成する手段とを備
えている。第１及び第２の反射格子構造１０２，
１０４を形成する手段は、圧電表面１４上を伝搬
する表面音波に応答する。表面波共振装置９６は
さらに、表面音波に応答して、表面波共振装置９
６上に反射構造を形成する、変換器手段９８，１
００以外の手段１０６を備えている。手段１０６
により、入力変換器手段９８及び出力変換器手段
１００を配置した圧電表面１４の部分に音波の反
射を生じさせる。入力変換器手段９８は、導電性
材料から成り、それぞれ重なり（overlap）重み
つけを形成するように種種の重なり度を持つ櫛形
の関係の交互の電極１１２，１１４を持つ互いに
対向するパツド１０８，１１０を備えている。手
段１０６は、入力変換器手段９８の交互の電極１
１２，１１４の間で圧電表面１４にみぞを形成す
ることにより、反射構造を形成する。手段１０６
を組合わせた第１及び第２の反射格子１０２，１
０４の格子反射配列によりこれ等の２配列間の間
隔を極めて小さくすることができ、疑似の縦モー
ドの問題がなくなる。２個の結合変換器手段９
８，１００は、変換器の結合強さを高める多くの
有効波長を含むように作ることができる。この方
法を使つて作つた共振装置の実験的周波数応答は
第１６図及び第１７図に示してある。高いピーク
を持つ特性共振応答１１８が得られるが、さらに
この装置特性曲線の高周波側に又極めて深いトラ
ンスミツシヨン・ノツチ（transmission notch）
１２０が得られる。トランスミツシヨン・ノツチ
１２０は又共振装置内に本発明の変換器構造を使
うことに直接関連する。

第１８図及び第１９図に示した本発明の他の実
施例による表面波共振装置１２２も又、圧電表面
１４に配置され入力電気信号を圧電表面１４上を
伝搬する表面音波に変換するように動作する表面
音波入力変換器手段１２４と、圧電表面１４に配
置され圧電表面１４上を伝搬する表面音波を出力
電気信号に変換するように動作する表面音波出力
変換器手段１２６と、組合わされた表面音波変換
器手段１２４，１２６の互いに対向する側で圧電
表面１４にそれぞれ第１及び第２の反射格子構造
１２８，１３０を形成し圧電表面１４上を伝搬す
る表面音波に応答する手段とを備えている。表面
波共振装置１２２はさらに、反射構造１３４を形
成する、変換器手段１２４，１２６以外の手段１
３２を備えている。反射構造１３４を形成する手
段１３２により、入力変換器手段１２４及び出力
変換器手段１２６を配置した圧電表面１４の部分
に音波の反射を生ずる。入力変換器手段１２４
は、導電性材料から成り、分割電極変換器を形成
するように櫛形の関係の電極から成る交互の対１
４０，１４２を持つ互いに対向するパツド１３
６，１３８を備えている。出力変換器手段１２６
は同様に構成される。反射構造１３４を形成する
手段１３２は、各対１４０，１４２の電極間すな
わち電極１４０Ａ，１４０Ｂ間及び各電極１４２
Ａ，１４２Ｂ間で圧電表面１４にみぞを形成して
いる。表面波共振装置９６又は表面波共振装置１
２２では入力変換器手段又は出力変換器手段を除
き単一ポート共振装置を形成する。

第２０図に示した本発明による２極フイルタ１
４４は、表面波共振装置１２２の入力変換器手段
１２４と同様な重みつき入力変換器手段１４６
と、表面波共振装置１２２の出力変換器手段１２
６と同様な重みつき出力変換器手段１４８とを備
えている。２極フイルタ１４４は又、組合わせら
れた表面音波変換器手段１４６，１４８の互いに
対向する側でそれぞれ表面波共振装置１２２の反
射格子構造１２８，１３０と同様な第１及び第２
の反射格子構造１５０，１５２を形成し、圧電表
面上を伝搬する表面音波に応答する手段を備えて
いる。２極フイルタ１４４は又表面音波変換器手
段１４６，１４８の間で圧電表面に配置した同様
な格子構造１５４を備えている。２極フイルタ１
４４は又、表面波共振装置１２２の手段１３２と
同様で２極フイルタ１４４の反射構造を形成し入
力変換器手段１４６及び出力変換器手段１４８を
配置した圧電表面の部分に音波の反射を生じさせ
る手段（図示してない）を備えている。SAW装
置の空どう１５６として知られる入力変換器手段
１４６のまわりの応答区域で、空どう１５６は、
第２１図に示したのと同様な周波数応答１６０を
持つ。同様に出力変換器手段１４８のまわりの空
どう１５８は第２２図に示したのと同様な応答１
６２を持つ。格子結合器１５４は、第２３図に示
したのと同様な周波数応答１６３を持ち、２極フ
イルタ１４４の複合の応答は第２４図の高いピー
クを持つ２極周波数応答１６４である。

第２５図に示した本発明による４極フイルタ１
６８は、２極フイルタ１４４、装置１４４Ａ，１
４４Ｂと同様な２つの構造を備えている。この場
合同様な部品には第２０図の対応部品と同様な参
照数字を使つてある。入力変換器手段１４６Ａは
４極フイルタ１６８の入力端子であり、出力変換
器手段１４８Ｂは４極フイルタ１６８の出力であ
る。出力変換器手段１４８Ａは入力変換器手段１
４６Ｂに電気的に結合してある。しかしこの結合
は又音響的にも行われる。

以上述べた所から明らかなように本発明は前記
した全部の目的と共に本装置に固有のその他の利
点を達成することができる。

若干の特長及び副組合わせがその他の特長及び
副組合わせに関係なく利用しうることができるの
はもちろんである。これは本発明の範囲内であ
る。

本発明ではその範囲を逸脱しないで多くの実施
例が得られるから、本文に詳述し添付図面に示し
たすべてのことは例示したにとどまり、それに限
定することを意味するものではないのはもちろん
である。