JP3191551B2 - 圧電共振子 - Google Patents
圧電共振子Info
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- piezoelectric resonator
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＳＨタイプの表面波を
利用した圧電共振子に関し、特に、複数の共振特性を有
する圧電共振子に関する。
利用した圧電共振子に関し、特に、複数の共振特性を有
する圧電共振子に関する。
【０００２】
【従来の技術】テレビジョン受像機やビデオテープレコ
ーダーの映像中間周波段では、隣接チャンネルとのビー
ト障害を防止するために、図１に示すトラップ特性を有
するトラップ回路が使用されている。すなわち、隣接チ
ャネル映像信号周波数ｆap（アメリカのＮＴＳＣ方式で
は３９．７５ＭＨｚ）及び隣接チャンネル音声信号周波
数ｆas（アメリカのＮＴＳＣ方式では４７．２５ＭＨ
ｚ）において信号を十分に減衰させることが必要であ
る。
ーダーの映像中間周波段では、隣接チャンネルとのビー
ト障害を防止するために、図１に示すトラップ特性を有
するトラップ回路が使用されている。すなわち、隣接チ
ャネル映像信号周波数ｆap（アメリカのＮＴＳＣ方式で
は３９．７５ＭＨｚ）及び隣接チャンネル音声信号周波
数ｆas（アメリカのＮＴＳＣ方式では４７．２５ＭＨ
ｚ）において信号を十分に減衰させることが必要であ
る。
【０００３】上記のようなトラップ特性を実現するため
に、従来、隣接チャンネル映像信号周波数ｆapにおいて
減衰極を有するトラップと、隣接チャンネル音声信号周
波数ｆasに減衰極を有するトラップとの２個のトラップ
が用いられており、それぞれのトラップは、ＬＣ共振回
路や圧電共振子等により構成されている。
に、従来、隣接チャンネル映像信号周波数ｆapにおいて
減衰極を有するトラップと、隣接チャンネル音声信号周
波数ｆasに減衰極を有するトラップとの２個のトラップ
が用いられており、それぞれのトラップは、ＬＣ共振回
路や圧電共振子等により構成されている。
【０００４】また、このような用途に用いられる圧電共
振子として、ＢＧＳ波のようなＳＨタイプの表面波を利
用した圧電共振子が注目されている。図２は、ＢＧＳ波
を利用した端面反射型の表面波共振子を示す。
振子として、ＢＧＳ波のようなＳＨタイプの表面波を利
用した圧電共振子が注目されている。図２は、ＢＧＳ波
を利用した端面反射型の表面波共振子を示す。
【０００５】端面反射型表面波共振子１は、平面形状が
四角形の圧電基板２を用いて構成されている。圧電基板
２は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミック
スやＬｉＮｂＯ3 圧電単結晶、ＬｉＴａＯ3 圧電単結晶
などの圧電材料により構成されており、圧電セラミック
スの場合には図示の矢印Ｐ方向に分極処理されている。
圧電基板２の上面２ａには、一対のくし歯電極３，４が
形成されており、それによってインターデジタルトラン
スデューサが構成されている。くし歯電極３，４は、そ
れぞれ、複数本の電極指３ａ〜３ｃ及び４ａ〜４ｃを有
する。
四角形の圧電基板２を用いて構成されている。圧電基板
２は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミック
スやＬｉＮｂＯ3 圧電単結晶、ＬｉＴａＯ3 圧電単結晶
などの圧電材料により構成されており、圧電セラミック
スの場合には図示の矢印Ｐ方向に分極処理されている。
圧電基板２の上面２ａには、一対のくし歯電極３，４が
形成されており、それによってインターデジタルトラン
スデューサが構成されている。くし歯電極３，４は、そ
れぞれ、複数本の電極指３ａ〜３ｃ及び４ａ〜４ｃを有
する。
【０００６】端面反射型表面波共振子１では、くし歯電
極３，４から交流電圧を印加することにより、ＢＧＳ波
が励起され，該ＢＧＳ波は図示の矢印Ｘ方向に伝播され
る。このＢＧＳ波は圧電基板２の端面で反射される。
極３，４から交流電圧を印加することにより、ＢＧＳ波
が励起され，該ＢＧＳ波は図示の矢印Ｘ方向に伝播され
る。このＢＧＳ波は圧電基板２の端面で反射される。
【０００７】そして、この端面反射型表面波共振子１で
は、インターデジタルトランスデューサで決定される周
波数スペクトルと端面間の寸法で決定される周波数を一
致させることにより、有効な共振特性を得る。
は、インターデジタルトランスデューサで決定される周
波数スペクトルと端面間の寸法で決定される周波数を一
致させることにより、有効な共振特性を得る。
【０００８】上記端面反射型表面波共振子１の減衰量−
周波数スペクトル特性及びインピーダンス−周波数特性
を図３（ａ）及び（ｂ）に示す。図３（ａ）及び（ｂ）
から明らかなように、端面反射型表面波共振子１におい
ても、従来のＬＣ共振回路や他の形式の圧電共振子と同
様に、単一の共振特性を有する。
周波数スペクトル特性及びインピーダンス−周波数特性
を図３（ａ）及び（ｂ）に示す。図３（ａ）及び（ｂ）
から明らかなように、端面反射型表面波共振子１におい
ても、従来のＬＣ共振回路や他の形式の圧電共振子と同
様に、単一の共振特性を有する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来、
例えば図１に示したようなトラップ特性を実現するに
は、２個の共振回路や圧電共振子等を用意し、接続しな
ければならなかった。
例えば図１に示したようなトラップ特性を実現するに
は、２個の共振回路や圧電共振子等を用意し、接続しな
ければならなかった。
【００１０】他方、レイリー波を利用した弾性表面波共
振子においては、単一の共振子において２個の共振特性
を有するものが示されている（例えば、国際電気技報Ｎ
ｏ．１６、第１頁〜第７頁，１９９２）。すなわち、レ
イリー波を利用した表面波共振子フィルタにおいて、０
次縦モード（基本モード）と２次縦モードとを利用した
二重モード共振子が知られており、ここでは、２個の共
振特性が得られる。しかしながら、上記二重モード共振
子では、２個の共振特性を得るためには、２つ以上のイ
ンターデジタルトランスデューサと反射器が必要であっ
た。また、上記二重モード共振子では、その共振特性が
反射器の反射係数−周波数特性で決定されるが、反射係
数の大きい周波数領域が狭いために、２個の共振点の差
が約１ＭＨｚと非常に小さく、図１に示したようなトラ
ップフィルタを該二重モード共振子のみで構成すること
はできない。
振子においては、単一の共振子において２個の共振特性
を有するものが示されている（例えば、国際電気技報Ｎ
ｏ．１６、第１頁〜第７頁，１９９２）。すなわち、レ
イリー波を利用した表面波共振子フィルタにおいて、０
次縦モード（基本モード）と２次縦モードとを利用した
二重モード共振子が知られており、ここでは、２個の共
振特性が得られる。しかしながら、上記二重モード共振
子では、２個の共振特性を得るためには、２つ以上のイ
ンターデジタルトランスデューサと反射器が必要であっ
た。また、上記二重モード共振子では、その共振特性が
反射器の反射係数−周波数特性で決定されるが、反射係
数の大きい周波数領域が狭いために、２個の共振点の差
が約１ＭＨｚと非常に小さく、図１に示したようなトラ
ップフィルタを該二重モード共振子のみで構成すること
はできない。
【００１１】本発明の目的は、ＳＨタイプの表面波を利
用した圧電共振子であって、かつ複数の減衰極を単一の
素子で構成することができる圧電共振子を提供すること
にある。
用した圧電共振子であって、かつ複数の減衰極を単一の
素子で構成することができる圧電共振子を提供すること
にある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、圧電基板と、圧電基板上に形成されたインターデジ
タルトランスデューサとを備え、ＳＨタイプの表面波を
利用した圧電共振子であって、インターデジタルトラン
スデューサが少なくとも２つの共振特性を有し、前記イ
ンターデジタルトランスデューサが、互いに間挿し合う
電極指のうち適宜の電極指を間引いてなる、間引き電極
により構成されていることを特徴とする圧電共振子であ
る。また、請求項２に記載の発明は、圧電基板と、圧電
基板上に形成されたインターデジタルトランスデューサ
とを備え、ＳＨタイプの表面波を利用した圧電共振子で
あって、インターデジタルトランスデューサが少なくと
も２つの共振特性を有し、前記インターデジタルトラン
スデューサが、交叉幅重み付けを施されている構造を有
することを特徴とする圧電共振子である。
は、圧電基板と、圧電基板上に形成されたインターデジ
タルトランスデューサとを備え、ＳＨタイプの表面波を
利用した圧電共振子であって、インターデジタルトラン
スデューサが少なくとも２つの共振特性を有し、前記イ
ンターデジタルトランスデューサが、互いに間挿し合う
電極指のうち適宜の電極指を間引いてなる、間引き電極
により構成されていることを特徴とする圧電共振子であ
る。また、請求項２に記載の発明は、圧電基板と、圧電
基板上に形成されたインターデジタルトランスデューサ
とを備え、ＳＨタイプの表面波を利用した圧電共振子で
あって、インターデジタルトランスデューサが少なくと
も２つの共振特性を有し、前記インターデジタルトラン
スデューサが、交叉幅重み付けを施されている構造を有
することを特徴とする圧電共振子である。
【００１３】すなわち、本発明は、ＳＨタイプの表面波
を利用した圧電共振子において、少なくとも２つの共振
特性を有するようにインターデジタルトランスデューサ
が構成されていることを特徴とする。
を利用した圧電共振子において、少なくとも２つの共振
特性を有するようにインターデジタルトランスデューサ
が構成されていることを特徴とする。
【００１４】上記のように、少なくとも２つの共振特性
を有するようにインターデジタルトランスデューサを構
成する方法としては、請求項１に記載のように、互いに
間挿し合う電極指のうち適宜の電極指を間引いてなる、
間引き電極によりインターデジタルトランスデューサを
構成する構造、あるいは請求項２のように、交叉幅重み
付けが施されているインターデジタルトランスデューサ
が挙げられる。
を有するようにインターデジタルトランスデューサを構
成する方法としては、請求項１に記載のように、互いに
間挿し合う電極指のうち適宜の電極指を間引いてなる、
間引き電極によりインターデジタルトランスデューサを
構成する構造、あるいは請求項２のように、交叉幅重み
付けが施されているインターデジタルトランスデューサ
が挙げられる。
【００１５】また、本発明では、上記圧電共振子をトラ
ップ素子に用いることにより、請求項３に記載のよう
に、ＳＨタイプの表面波を利用した圧電共振子を用いた
トラップ素子であって、インターデジタルトランスデュ
ーサが少なくとも２つのトラップ周波数を有するように
構成することにより、単一の素子で２個のトラップ周波
数を有するトラップ素子を提供し得る。
ップ素子に用いることにより、請求項３に記載のよう
に、ＳＨタイプの表面波を利用した圧電共振子を用いた
トラップ素子であって、インターデジタルトランスデュ
ーサが少なくとも２つのトラップ周波数を有するように
構成することにより、単一の素子で２個のトラップ周波
数を有するトラップ素子を提供し得る。
【００１６】
【作用及び発明の効果】本発明では、少なくとも２つの
共振特性を有するようにインターデジタルトランスデュ
ーサが構成されている。すなわち、請求項１に記載のよ
うに間引き電極により、あるいは請求項２に記載のよう
に交叉幅重み付けを施すことにより、少なくとも２つの
共振特性を有するようにインターデジタルトランスデュ
ーサが構成されている。
共振特性を有するようにインターデジタルトランスデュ
ーサが構成されている。すなわち、請求項１に記載のよ
うに間引き電極により、あるいは請求項２に記載のよう
に交叉幅重み付けを施すことにより、少なくとも２つの
共振特性を有するようにインターデジタルトランスデュ
ーサが構成されている。
【００１７】このように、インターデジタルトランスデ
ューサを工夫することにより少なくとも２つの共振特性
を実現した構造では、後述の実施例から明らかなよう
に、複数の共振点の間の周波数差が例えば８ＭＨｚ程度
とかなり大きくされ得る。これは、インターデジタル
トランスデューサで決定される周波数スペクトルのメイ
ンローブの周波数と端面間の寸法で決定される周波数を
大きく離すように設計できること、あるいは周波数ス
ペクトルのメインローブを複数個設計できることによ
る。
ューサを工夫することにより少なくとも２つの共振特性
を実現した構造では、後述の実施例から明らかなよう
に、複数の共振点の間の周波数差が例えば８ＭＨｚ程度
とかなり大きくされ得る。これは、インターデジタル
トランスデューサで決定される周波数スペクトルのメイ
ンローブの周波数と端面間の寸法で決定される周波数を
大きく離すように設計できること、あるいは周波数ス
ペクトルのメインローブを複数個設計できることによ
る。
【００１８】よって、例えば図１に示したトラップ特性
のように、複数のトラップ周波数を必要とする用途に用
いる場合、単一の素子で複数のトラップ周波数に対応す
ることができるため、部品点数の低減及び組み立てコス
トの低減を図ることができる。また、請求項３に記載の
トラップ素子のように、複数のトラップ周波数を有する
単一のトラップ素子を提供することができる。
のように、複数のトラップ周波数を必要とする用途に用
いる場合、単一の素子で複数のトラップ周波数に対応す
ることができるため、部品点数の低減及び組み立てコス
トの低減を図ることができる。また、請求項３に記載の
トラップ素子のように、複数のトラップ周波数を有する
単一のトラップ素子を提供することができる。
【００１９】
【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ、本発明の非
限定的な実施例を説明する。図４は、本発明の第１の実
施例にかかる圧電共振子を示す平面図であり、図５は該
圧電共振子を示す斜視図である。
限定的な実施例を説明する。図４は、本発明の第１の実
施例にかかる圧電共振子を示す平面図であり、図５は該
圧電共振子を示す斜視図である。
【００２０】圧電共振子１１は、平面形状が矩形の圧電
基板１２を用いて構成されている。圧電基板１２は、例
えばチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスのような
適宜の圧電材料により構成されている。圧電基板１２
は、図示の矢印Ｐ方向すなわち主面と平行であり、かつ
電極指の延びる方向と平行な方向に分極処理されてい
る。
基板１２を用いて構成されている。圧電基板１２は、例
えばチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスのような
適宜の圧電材料により構成されている。圧電基板１２
は、図示の矢印Ｐ方向すなわち主面と平行であり、かつ
電極指の延びる方向と平行な方向に分極処理されてい
る。
【００２１】圧電基板１２の上面には、くし歯電極１
３，１４からなるインターデジタルトランスデューサ
（以下、ＩＤＴと略す。）１５が形成されている。くし
歯電極１３，１４は、それぞれ、複数本の電極指１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ及び１４ａ〜１４ｉを有す
る。すなわち、ＩＤＴ１５は、互いに間挿し合う複数本
の電極指のうち、幾本かの電極指が間引かれて、間引き
電極の形態で構成されている。
３，１４からなるインターデジタルトランスデューサ
（以下、ＩＤＴと略す。）１５が形成されている。くし
歯電極１３，１４は、それぞれ、複数本の電極指１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ及び１４ａ〜１４ｉを有す
る。すなわち、ＩＤＴ１５は、互いに間挿し合う複数本
の電極指のうち、幾本かの電極指が間引かれて、間引き
電極の形態で構成されている。
【００２２】より詳しくは、電極指１４ｃ〜１４ｇ間に
おいて、他方側のくし歯電極１３側の電極指が間引かれ
ている。この場合、電極指間領域のうち、両側の電極指
が異なる電位に接続される電極指である領域、すなわち
両側の電極指から電圧が印加されてＢＧＳ波が励振され
る領域を「１」、電極指が間引かれているため、両側の
電極指が同電位である、すなわちＢＧＳ波が励振されな
い電極指間領域を「０」と表現することにする。圧電共
振子１１では、電極指１４ａから電極指１４ｉまでの１
２個の領域は、順に、１，１，１，１，０，０，０，
０，１，１，１，１で表される。
おいて、他方側のくし歯電極１３側の電極指が間引かれ
ている。この場合、電極指間領域のうち、両側の電極指
が異なる電位に接続される電極指である領域、すなわち
両側の電極指から電圧が印加されてＢＧＳ波が励振され
る領域を「１」、電極指が間引かれているため、両側の
電極指が同電位である、すなわちＢＧＳ波が励振されな
い電極指間領域を「０」と表現することにする。圧電共
振子１１では、電極指１４ａから電極指１４ｉまでの１
２個の領域は、順に、１，１，１，１，０，０，０，
０，１，１，１，１で表される。
【００２３】なお、上記くし歯電極１３，１４において
は、電極指間の各領域の幅は、励振されるＢＧＳ波の波
長λとしたときに、λ／４とされており、かつ電極指１
４ａ，１４ｉを除く残りの電極指の幅もλ／４とされて
いる。また、最も外側に位置する電極指１４ａ，１４ｉ
の幅はλ／８とされており、電極指１４ａ，１４ｉは圧
電基板１２の端面１２ａ，１２ｂと上面との端縁に沿う
ように配置されている。
は、電極指間の各領域の幅は、励振されるＢＧＳ波の波
長λとしたときに、λ／４とされており、かつ電極指１
４ａ，１４ｉを除く残りの電極指の幅もλ／４とされて
いる。また、最も外側に位置する電極指１４ａ，１４ｉ
の幅はλ／８とされており、電極指１４ａ，１４ｉは圧
電基板１２の端面１２ａ，１２ｂと上面との端縁に沿う
ように配置されている。
【００２４】上記のようなくし歯電極１３，１４は、例
えば、圧電基板１２よりも幅方向がより大きな圧電基板
を用意し、λ／４ピッチで幅λ／４の電極指を多数形成
した後、上記くし歯電極１３，１４が得られるように圧
電基板をダイシングすることにより、すなわち電極指１
４ａ，１４ｉについては、上記ダイシングによりλ／４
の幅の電極指を半分の幅に切断することにより、形成す
ることができる。このようにして、上記ＩＤＴ１５と、
端面１２ａ，１２ｂを有する圧電共振子１１を得ること
ができる。
えば、圧電基板１２よりも幅方向がより大きな圧電基板
を用意し、λ／４ピッチで幅λ／４の電極指を多数形成
した後、上記くし歯電極１３，１４が得られるように圧
電基板をダイシングすることにより、すなわち電極指１
４ａ，１４ｉについては、上記ダイシングによりλ／４
の幅の電極指を半分の幅に切断することにより、形成す
ることができる。このようにして、上記ＩＤＴ１５と、
端面１２ａ，１２ｂを有する圧電共振子１１を得ること
ができる。
【００２５】圧電共振子１１では、図２に示した従来の
ＳＨタイプの表面波を利用した端面反射型表面波共振子
１と同様に、くし歯電極１３，１４から交流電圧を印加
することにより、電極指の延びる方向と直交する方向に
伝播するＢＧＳ波が励起され、該ＢＧＳ波は端面１２
ａ，１２ｂ間で反射される。
ＳＨタイプの表面波を利用した端面反射型表面波共振子
１と同様に、くし歯電極１３，１４から交流電圧を印加
することにより、電極指の延びる方向と直交する方向に
伝播するＢＧＳ波が励起され、該ＢＧＳ波は端面１２
ａ，１２ｂ間で反射される。
【００２６】従って、圧電共振子１１は、ＢＧＳ波を利
用した端面反射型の表面波共振子である。圧電共振子１
１の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス
−周波数特性を、図６及び図７にそれぞれ示す。
用した端面反射型の表面波共振子である。圧電共振子１
１の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス
−周波数特性を、図６及び図７にそれぞれ示す。
【００２７】図６及び図７から明らかなように、圧電共
振子１１では、２個の共振点Ｆｒ1及びＦｒ2 が現れ
る。すなわち、２つの共振特性が得られる。これは、Ｉ
ＤＴ１５が、上記のように１，１，１，１，０，０，
０，０，１，１，１，１で間引きされた間引き電極によ
り構成されているためである。すなわち、上記のような
形態の間引き電極でＩＤＴ１５が構成されているため、
ＩＤＴで決定される周波数スペクトルのメインローブを
２個設計できたことにより、２個の共振特性が得られ
る。
振子１１では、２個の共振点Ｆｒ1及びＦｒ2 が現れ
る。すなわち、２つの共振特性が得られる。これは、Ｉ
ＤＴ１５が、上記のように１，１，１，１，０，０，
０，０，１，１，１，１で間引きされた間引き電極によ
り構成されているためである。すなわち、上記のような
形態の間引き電極でＩＤＴ１５が構成されているため、
ＩＤＴで決定される周波数スペクトルのメインローブを
２個設計できたことにより、２個の共振特性が得られ
る。
【００２８】この場合、２個の共振点Ｆｒ1及びＦｒ2間
の周波数差は、約８ＭＨｚである。すなわち、前述した
レイリー波を利用した二重モード共振子フィルタの場合
に比べて、大きな周波数差の２つの共振特性が得られ
る。これは、ＩＤＴで決定される周波数スペクトルのメ
インローブを２個設計できたためと考えられる。従って
圧電基板１２の材料、寸法及びＩＤＴ１５における間引
き電極の態様や電極指の寸法等を調整することにより、
比較的大きな適宜の周波数差を有する２つの共振点を有
する圧電共振子１１を提供することができる。
の周波数差は、約８ＭＨｚである。すなわち、前述した
レイリー波を利用した二重モード共振子フィルタの場合
に比べて、大きな周波数差の２つの共振特性が得られ
る。これは、ＩＤＴで決定される周波数スペクトルのメ
インローブを２個設計できたためと考えられる。従って
圧電基板１２の材料、寸法及びＩＤＴ１５における間引
き電極の態様や電極指の寸法等を調整することにより、
比較的大きな適宜の周波数差を有する２つの共振点を有
する圧電共振子１１を提供することができる。
【００２９】よって、圧電共振子１１は、例えば図１に
示したテレビジョン受像機やビデオテープレコーダーの
中間映像周波段におけるトラップフィルタとして好適に
用いることができる。すなわち、圧電共振子１１は、単
一の素子で、２つのトラップ周波数を有するトラップ素
子として用いることができる。
示したテレビジョン受像機やビデオテープレコーダーの
中間映像周波段におけるトラップフィルタとして好適に
用いることができる。すなわち、圧電共振子１１は、単
一の素子で、２つのトラップ周波数を有するトラップ素
子として用いることができる。
【００３０】図８は本発明の第２の実施例にかかる圧電
共振子２１を示す平面図である。圧電共振子２１は、第
１の実施例と同様に、ＩＤＴ２５が間引き電極で構成さ
れているものであり、この間引きの態様が第１の実施例
の圧電共振子１１と異なる点を除いては、第１の実施例
と同様に構成されている。従って、ＩＤＴ２５の構成の
みを説明することとし、他の構成については第１の実施
例と同一の参照番号を付することにより、その説明は省
略する。
共振子２１を示す平面図である。圧電共振子２１は、第
１の実施例と同様に、ＩＤＴ２５が間引き電極で構成さ
れているものであり、この間引きの態様が第１の実施例
の圧電共振子１１と異なる点を除いては、第１の実施例
と同様に構成されている。従って、ＩＤＴ２５の構成の
みを説明することとし、他の構成については第１の実施
例と同一の参照番号を付することにより、その説明は省
略する。
【００３１】ＩＤＴ２５は、一対のくし歯電極２３，２
４を有する。くし歯電極２３は、複数本の電極指２３
ａ，２３ｂを有し、くし歯電極２４は、複数本の電極指
２４ａ〜２４ｉを有する。従って、ＩＤＴ２５における
電極指間の領域は、１０個構成されているが、この１０
個の領域は、前述した「０」及び「１」の表現では、図
面上左から右に向かって、０，０，０，１，１，１，
１，０，０，０，となる。
４を有する。くし歯電極２３は、複数本の電極指２３
ａ，２３ｂを有し、くし歯電極２４は、複数本の電極指
２４ａ〜２４ｉを有する。従って、ＩＤＴ２５における
電極指間の領域は、１０個構成されているが、この１０
個の領域は、前述した「０」及び「１」の表現では、図
面上左から右に向かって、０，０，０，１，１，１，
１，０，０，０，となる。
【００３２】このような間引き電極であるＩＤＴ２５を
用いた場合にも、第１の実施例と同様に、２つの共振点
が存在することが確かめられた。すなわち、インターデ
ジタルトランスデューサで決定される周波数スペクトル
のメインローブの周波数と端面間の寸法で決定される周
波数を大きく離すように設計できたことにより、２個の
共振特性が得られる。しかも、上記のように間引き電極
の形態が第１の実施例と異なるため、２つの共振点の差
は、第１の実施例と異なることが確認された。すなわ
ち、第２の実施例の圧電共振子２１では、第１の実施例
の圧電共振子１１に比べて、２つの共振点の差が８．６
ＭＨｚとされていることが確かめられた。
用いた場合にも、第１の実施例と同様に、２つの共振点
が存在することが確かめられた。すなわち、インターデ
ジタルトランスデューサで決定される周波数スペクトル
のメインローブの周波数と端面間の寸法で決定される周
波数を大きく離すように設計できたことにより、２個の
共振特性が得られる。しかも、上記のように間引き電極
の形態が第１の実施例と異なるため、２つの共振点の差
は、第１の実施例と異なることが確認された。すなわ
ち、第２の実施例の圧電共振子２１では、第１の実施例
の圧電共振子１１に比べて、２つの共振点の差が８．６
ＭＨｚとされていることが確かめられた。
【００３３】このように、間引き電極における間引きの
態様を変更することにより、２つの共振点の周波数差を
調整することができる。もっとも、２つの共振点の周波
数差は、間引き電極における間引きの態様だけでなく、
圧電共振子１１，２１における端面１２ａ，１２ｂ間の
距離や圧電基板材料、電極指のサイズ等によっても変わ
るため、一義的には定め得ない。すなわち、用途に応
じ、適宜、上記のような各ファクターを調整することに
より、所望の周波数差の２つの共振点を有する圧電共振
子を提供することができる。
態様を変更することにより、２つの共振点の周波数差を
調整することができる。もっとも、２つの共振点の周波
数差は、間引き電極における間引きの態様だけでなく、
圧電共振子１１，２１における端面１２ａ，１２ｂ間の
距離や圧電基板材料、電極指のサイズ等によっても変わ
るため、一義的には定め得ない。すなわち、用途に応
じ、適宜、上記のような各ファクターを調整することに
より、所望の周波数差の２つの共振点を有する圧電共振
子を提供することができる。
【００３４】図９は、本発明の第３の実施例にかかる圧
電共振子を示す平面図である。圧電共振子３１では、平
面形状が矩形の圧電基板３２を用いて構成されており、
圧電基板３２の端面３２ａ，３２ｂ間でＢＧＳ波が反射
される端面反射型の表面波共振子が構成されている。
電共振子を示す平面図である。圧電共振子３１では、平
面形状が矩形の圧電基板３２を用いて構成されており、
圧電基板３２の端面３２ａ，３２ｂ間でＢＧＳ波が反射
される端面反射型の表面波共振子が構成されている。
【００３５】圧電基板３２は、図示の矢印Ｐ方向に一様
に分極処理されている。また、ＩＤＴ３５は、前述した
実施例と同様に一対のくし歯電極３３，３４を有する。
もっとも、ＩＤＴ３５では、交叉幅重み付けが施されて
いる。すなわち、図示のように、くし歯電極３３，３４
の複数本の電極指の長さが適宜異ならされており、それ
によって隣接する電極指と表面波伝播方向において重な
り合っている部分（交叉部分）の幅（交叉幅）が表面波
伝播方向に沿って変化されている。このように、交叉幅
重み付けが施されたＩＤＴを用いた圧電共振子３１にお
いても、第１の実施例と同様に、２つの共振点が現れる
ことが確かめられた。すなわち、ＩＤＴで決定される
周波数スペクトルとメインローブを２個設計できたこと
により、２個の共振特性が得られたこと、あるいは周
波数スペクトルのメインローブを複数個設計できたこと
による。そして、この２つの共振点の差は、第１の実施
例と同様に、約９．２ＭＨｚ程度とされ得ることが確か
められた。なお、特に図示はしないが、圧電共振子３１
の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス−
周波数特性は、図６及び図７に示した第１の実施例にお
ける各特性と同様であることが確かめられた。
に分極処理されている。また、ＩＤＴ３５は、前述した
実施例と同様に一対のくし歯電極３３，３４を有する。
もっとも、ＩＤＴ３５では、交叉幅重み付けが施されて
いる。すなわち、図示のように、くし歯電極３３，３４
の複数本の電極指の長さが適宜異ならされており、それ
によって隣接する電極指と表面波伝播方向において重な
り合っている部分（交叉部分）の幅（交叉幅）が表面波
伝播方向に沿って変化されている。このように、交叉幅
重み付けが施されたＩＤＴを用いた圧電共振子３１にお
いても、第１の実施例と同様に、２つの共振点が現れる
ことが確かめられた。すなわち、ＩＤＴで決定される
周波数スペクトルとメインローブを２個設計できたこと
により、２個の共振特性が得られたこと、あるいは周
波数スペクトルのメインローブを複数個設計できたこと
による。そして、この２つの共振点の差は、第１の実施
例と同様に、約９．２ＭＨｚ程度とされ得ることが確か
められた。なお、特に図示はしないが、圧電共振子３１
の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス−
周波数特性は、図６及び図７に示した第１の実施例にお
ける各特性と同様であることが確かめられた。
【００３６】従って、ＩＤＴ３５のように、交叉幅重み
付けを施すことによっても、ＳＨタイプの表面波を利用
した端面反射型の表面波共振子において、比較的大きな
周波数差を有する複数の共振点を有する圧電共振子を提
供し得ることがわかる。
付けを施すことによっても、ＳＨタイプの表面波を利用
した端面反射型の表面波共振子において、比較的大きな
周波数差を有する複数の共振点を有する圧電共振子を提
供し得ることがわかる。
【００３７】なお、上述した第１〜第３の実施例では、
ＳＨタイプの表面波としてＢＧＳ波を利用したものを用
いたが、ラブ波などの他のＳＨタイプの表面波を利用し
ても、同様にＩＤＴを間引き電極としたり、交叉幅重み
付けを施したりすることにより、複数の共振点を有する
圧電共振子を提供することができる。
ＳＨタイプの表面波としてＢＧＳ波を利用したものを用
いたが、ラブ波などの他のＳＨタイプの表面波を利用し
ても、同様にＩＤＴを間引き電極としたり、交叉幅重み
付けを施したりすることにより、複数の共振点を有する
圧電共振子を提供することができる。
【００３８】さらに、上記実施例では、２つの共振点を
有する圧電共振子につき説明したが、間引き電極の態様
や交叉幅重み付けの態様を変更することにより、３以上
の共振点を有する圧電共振子を構成することも可能であ
る。
有する圧電共振子につき説明したが、間引き電極の態様
や交叉幅重み付けの態様を変更することにより、３以上
の共振点を有する圧電共振子を構成することも可能であ
る。
【図１】２つのトラップを有するトラップ回路の減衰量
−周波数スペクトル特性を示す図。
−周波数スペクトル特性を示す図。
【図２】従来のＳＨタイプの表面波を利用した端面反射
型表面波共振子を示す斜視図。
型表面波共振子を示す斜視図。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、図２に示した表面波共振
子の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス
−周波数特性を示す図。
子の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス
−周波数特性を示す図。
【図４】第１の実施例にかかる圧電共振子を示す平面
図。
図。
【図５】第１の実施例の圧電共振子の斜視図。
【図６】第１の実施例の圧電共振子の減衰量−周波数ス
ペクトル特性を示す図。
ペクトル特性を示す図。
【図７】第１の実施例の圧電共振子のインピーダンス−
周波数特性を示す図。
周波数特性を示す図。
【図８】第２の実施例の圧電共振子を示す平面図。
【図９】第３の実施例の圧電共振子を示す平面図。
１１，２１，３１…圧電共振子 １２，３２…圧電基板 １２ａ，１２ｂ，３２ａ，３２ｂ…端面 １３，１４，２３，２４，３３，３４…くし歯電極 １５，２５，３５…ＩＤＴ １３ａ〜１３ｄ，１４ａ〜１４ｉ…電極指 ２３ａ〜２３ｃ，２４ａ〜２４ｉ…電極指
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−130586（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−291869（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/64
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されたインターデジタルトランス
デューサとを備え、ＳＨタイプの表面波を利用した圧電
共振子であって、 前記インターデジタルトランスデューサが少なくとも２
つの共振特性を有し、前記インターデジタルトランスデ
ューサが、互いに間挿し合う電極指のうち適宜の電極指
を間引いてなる、間引き電極により構成されていること
を特徴とする、圧電共振子。 - 【請求項２】 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されたインターデジタルトランス
デューサとを備え、ＳＨタイプの表面波を利用した圧電
共振子であって、 前記インターデジタルトランスデューサが少なくとも２
つの共振特性を有し、 前記インターデジタルトランスデューサが、交叉幅重み
付けを施されている構造を有することを特徴とする、圧
電共振子。 - 【請求項３】 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されたインターデジタルトランス
デューサとを備え、ＳＨタイプの表面波を利用した圧電
共振子を用いたトラップ素子であって、 前記インターデジタルトランスデューサが少なくとも２
つのトラップ周波数を有することを特徴とするトラップ
素子。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03441594A JP3191551B2 (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | 圧電共振子 |
| TW084101313A TW256966B (ja) | 1994-03-04 | 1995-02-14 | |
| GB9503524A GB2287580B (en) | 1994-03-04 | 1995-02-22 | Piezoelectric resonators |
| SG1995000047A SG30304A1 (en) | 1994-03-04 | 1995-03-02 | Piezoelectric resonators |
| CN95102026A CN1089968C (zh) | 1994-03-04 | 1995-03-03 | 用于具有多个陷波频率的陷波电路的压电晶体谐振器 |
| KR1019950004657A KR100194185B1 (ko) | 1994-03-04 | 1995-03-04 | 다수의 트랩 주파수를 가진 트랩회로용 압전 공진기 |
| US08/746,150 US5767603A (en) | 1994-03-04 | 1996-11-06 | Piezoelectric resonators for trap circuits having a plurality of trap frequencies |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03441594A JP3191551B2 (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | 圧電共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07245544A JPH07245544A (ja) | 1995-09-19 |
| JP3191551B2 true JP3191551B2 (ja) | 2001-07-23 |
Family
ID=12413574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03441594A Expired - Fee Related JP3191551B2 (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | 圧電共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3191551B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6873226B2 (en) | 2001-03-19 | 2005-03-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Edge-reflection surface acoustic wave filter |
-
1994
- 1994-03-04 JP JP03441594A patent/JP3191551B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07245544A (ja) | 1995-09-19 |
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