JP3191551B2 - 圧電共振子 - Google Patents
圧電共振子Info
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- JP3191551B2 JP3191551B2 JP03441594A JP3441594A JP3191551B2 JP 3191551 B2 JP3191551 B2 JP 3191551B2 JP 03441594 A JP03441594 A JP 03441594A JP 3441594 A JP3441594 A JP 3441594A JP 3191551 B2 JP3191551 B2 JP 3191551B2
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- piezoelectric resonator
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、SHタイプの表面波を
利用した圧電共振子に関し、特に、複数の共振特性を有
する圧電共振子に関する。
利用した圧電共振子に関し、特に、複数の共振特性を有
する圧電共振子に関する。
【0002】
【従来の技術】テレビジョン受像機やビデオテープレコ
ーダーの映像中間周波段では、隣接チャンネルとのビー
ト障害を防止するために、図1に示すトラップ特性を有
するトラップ回路が使用されている。すなわち、隣接チ
ャネル映像信号周波数fap(アメリカのNTSC方式で
は39.75MHz)及び隣接チャンネル音声信号周波
数fas(アメリカのNTSC方式では47.25MH
z)において信号を十分に減衰させることが必要であ
る。
ーダーの映像中間周波段では、隣接チャンネルとのビー
ト障害を防止するために、図1に示すトラップ特性を有
するトラップ回路が使用されている。すなわち、隣接チ
ャネル映像信号周波数fap(アメリカのNTSC方式で
は39.75MHz)及び隣接チャンネル音声信号周波
数fas(アメリカのNTSC方式では47.25MH
z)において信号を十分に減衰させることが必要であ
る。
【0003】上記のようなトラップ特性を実現するため
に、従来、隣接チャンネル映像信号周波数fapにおいて
減衰極を有するトラップと、隣接チャンネル音声信号周
波数fasに減衰極を有するトラップとの2個のトラップ
が用いられており、それぞれのトラップは、LC共振回
路や圧電共振子等により構成されている。
に、従来、隣接チャンネル映像信号周波数fapにおいて
減衰極を有するトラップと、隣接チャンネル音声信号周
波数fasに減衰極を有するトラップとの2個のトラップ
が用いられており、それぞれのトラップは、LC共振回
路や圧電共振子等により構成されている。
【0004】また、このような用途に用いられる圧電共
振子として、BGS波のようなSHタイプの表面波を利
用した圧電共振子が注目されている。図2は、BGS波
を利用した端面反射型の表面波共振子を示す。
振子として、BGS波のようなSHタイプの表面波を利
用した圧電共振子が注目されている。図2は、BGS波
を利用した端面反射型の表面波共振子を示す。
【0005】端面反射型表面波共振子1は、平面形状が
四角形の圧電基板2を用いて構成されている。圧電基板
2は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミック
スやLiNbO3 圧電単結晶、LiTaO3 圧電単結晶
などの圧電材料により構成されており、圧電セラミック
スの場合には図示の矢印P方向に分極処理されている。
圧電基板2の上面2aには、一対のくし歯電極3,4が
形成されており、それによってインターデジタルトラン
スデューサが構成されている。くし歯電極3,4は、そ
れぞれ、複数本の電極指3a〜3c及び4a〜4cを有
する。
四角形の圧電基板2を用いて構成されている。圧電基板
2は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミック
スやLiNbO3 圧電単結晶、LiTaO3 圧電単結晶
などの圧電材料により構成されており、圧電セラミック
スの場合には図示の矢印P方向に分極処理されている。
圧電基板2の上面2aには、一対のくし歯電極3,4が
形成されており、それによってインターデジタルトラン
スデューサが構成されている。くし歯電極3,4は、そ
れぞれ、複数本の電極指3a〜3c及び4a〜4cを有
する。
【0006】端面反射型表面波共振子1では、くし歯電
極3,4から交流電圧を印加することにより、BGS波
が励起され,該BGS波は図示の矢印X方向に伝播され
る。このBGS波は圧電基板2の端面で反射される。
極3,4から交流電圧を印加することにより、BGS波
が励起され,該BGS波は図示の矢印X方向に伝播され
る。このBGS波は圧電基板2の端面で反射される。
【0007】そして、この端面反射型表面波共振子1で
は、インターデジタルトランスデューサで決定される周
波数スペクトルと端面間の寸法で決定される周波数を一
致させることにより、有効な共振特性を得る。
は、インターデジタルトランスデューサで決定される周
波数スペクトルと端面間の寸法で決定される周波数を一
致させることにより、有効な共振特性を得る。
【0008】上記端面反射型表面波共振子1の減衰量−
周波数スペクトル特性及びインピーダンス−周波数特性
を図3(a)及び(b)に示す。図3(a)及び(b)
から明らかなように、端面反射型表面波共振子1におい
ても、従来のLC共振回路や他の形式の圧電共振子と同
様に、単一の共振特性を有する。
周波数スペクトル特性及びインピーダンス−周波数特性
を図3(a)及び(b)に示す。図3(a)及び(b)
から明らかなように、端面反射型表面波共振子1におい
ても、従来のLC共振回路や他の形式の圧電共振子と同
様に、単一の共振特性を有する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来、
例えば図1に示したようなトラップ特性を実現するに
は、2個の共振回路や圧電共振子等を用意し、接続しな
ければならなかった。
例えば図1に示したようなトラップ特性を実現するに
は、2個の共振回路や圧電共振子等を用意し、接続しな
ければならなかった。
【0010】他方、レイリー波を利用した弾性表面波共
振子においては、単一の共振子において2個の共振特性
を有するものが示されている(例えば、国際電気技報N
o.16、第1頁〜第7頁,1992)。すなわち、レ
イリー波を利用した表面波共振子フィルタにおいて、0
次縦モード(基本モード)と2次縦モードとを利用した
二重モード共振子が知られており、ここでは、2個の共
振特性が得られる。しかしながら、上記二重モード共振
子では、2個の共振特性を得るためには、2つ以上のイ
ンターデジタルトランスデューサと反射器が必要であっ
た。また、上記二重モード共振子では、その共振特性が
反射器の反射係数−周波数特性で決定されるが、反射係
数の大きい周波数領域が狭いために、2個の共振点の差
が約1MHzと非常に小さく、図1に示したようなトラ
ップフィルタを該二重モード共振子のみで構成すること
はできない。
振子においては、単一の共振子において2個の共振特性
を有するものが示されている(例えば、国際電気技報N
o.16、第1頁〜第7頁,1992)。すなわち、レ
イリー波を利用した表面波共振子フィルタにおいて、0
次縦モード(基本モード)と2次縦モードとを利用した
二重モード共振子が知られており、ここでは、2個の共
振特性が得られる。しかしながら、上記二重モード共振
子では、2個の共振特性を得るためには、2つ以上のイ
ンターデジタルトランスデューサと反射器が必要であっ
た。また、上記二重モード共振子では、その共振特性が
反射器の反射係数−周波数特性で決定されるが、反射係
数の大きい周波数領域が狭いために、2個の共振点の差
が約1MHzと非常に小さく、図1に示したようなトラ
ップフィルタを該二重モード共振子のみで構成すること
はできない。
【0011】本発明の目的は、SHタイプの表面波を利
用した圧電共振子であって、かつ複数の減衰極を単一の
素子で構成することができる圧電共振子を提供すること
にある。
用した圧電共振子であって、かつ複数の減衰極を単一の
素子で構成することができる圧電共振子を提供すること
にある。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、圧電基板と、圧電基板上に形成されたインターデジ
タルトランスデューサとを備え、SHタイプの表面波を
利用した圧電共振子であって、インターデジタルトラン
スデューサが少なくとも2つの共振特性を有し、前記イ
ンターデジタルトランスデューサが、互いに間挿し合う
電極指のうち適宜の電極指を間引いてなる、間引き電極
により構成されていることを特徴とする圧電共振子であ
る。また、請求項2に記載の発明は、圧電基板と、圧電
基板上に形成されたインターデジタルトランスデューサ
とを備え、SHタイプの表面波を利用した圧電共振子で
あって、インターデジタルトランスデューサが少なくと
も2つの共振特性を有し、前記インターデジタルトラン
スデューサが、交叉幅重み付けを施されている構造を有
することを特徴とする圧電共振子である。
は、圧電基板と、圧電基板上に形成されたインターデジ
タルトランスデューサとを備え、SHタイプの表面波を
利用した圧電共振子であって、インターデジタルトラン
スデューサが少なくとも2つの共振特性を有し、前記イ
ンターデジタルトランスデューサが、互いに間挿し合う
電極指のうち適宜の電極指を間引いてなる、間引き電極
により構成されていることを特徴とする圧電共振子であ
る。また、請求項2に記載の発明は、圧電基板と、圧電
基板上に形成されたインターデジタルトランスデューサ
とを備え、SHタイプの表面波を利用した圧電共振子で
あって、インターデジタルトランスデューサが少なくと
も2つの共振特性を有し、前記インターデジタルトラン
スデューサが、交叉幅重み付けを施されている構造を有
することを特徴とする圧電共振子である。
【0013】すなわち、本発明は、SHタイプの表面波
を利用した圧電共振子において、少なくとも2つの共振
特性を有するようにインターデジタルトランスデューサ
が構成されていることを特徴とする。
を利用した圧電共振子において、少なくとも2つの共振
特性を有するようにインターデジタルトランスデューサ
が構成されていることを特徴とする。
【0014】上記のように、少なくとも2つの共振特性
を有するようにインターデジタルトランスデューサを構
成する方法としては、請求項1に記載のように、互いに
間挿し合う電極指のうち適宜の電極指を間引いてなる、
間引き電極によりインターデジタルトランスデューサを
構成する構造、あるいは請求項2のように、交叉幅重み
付けが施されているインターデジタルトランスデューサ
が挙げられる。
を有するようにインターデジタルトランスデューサを構
成する方法としては、請求項1に記載のように、互いに
間挿し合う電極指のうち適宜の電極指を間引いてなる、
間引き電極によりインターデジタルトランスデューサを
構成する構造、あるいは請求項2のように、交叉幅重み
付けが施されているインターデジタルトランスデューサ
が挙げられる。
【0015】また、本発明では、上記圧電共振子をトラ
ップ素子に用いることにより、請求項3に記載のよう
に、SHタイプの表面波を利用した圧電共振子を用いた
トラップ素子であって、インターデジタルトランスデュ
ーサが少なくとも2つのトラップ周波数を有するように
構成することにより、単一の素子で2個のトラップ周波
数を有するトラップ素子を提供し得る。
ップ素子に用いることにより、請求項3に記載のよう
に、SHタイプの表面波を利用した圧電共振子を用いた
トラップ素子であって、インターデジタルトランスデュ
ーサが少なくとも2つのトラップ周波数を有するように
構成することにより、単一の素子で2個のトラップ周波
数を有するトラップ素子を提供し得る。
【0016】
【作用及び発明の効果】本発明では、少なくとも2つの
共振特性を有するようにインターデジタルトランスデュ
ーサが構成されている。すなわち、請求項1に記載のよ
うに間引き電極により、あるいは請求項2に記載のよう
に交叉幅重み付けを施すことにより、少なくとも2つの
共振特性を有するようにインターデジタルトランスデュ
ーサが構成されている。
共振特性を有するようにインターデジタルトランスデュ
ーサが構成されている。すなわち、請求項1に記載のよ
うに間引き電極により、あるいは請求項2に記載のよう
に交叉幅重み付けを施すことにより、少なくとも2つの
共振特性を有するようにインターデジタルトランスデュ
ーサが構成されている。
【0017】このように、インターデジタルトランスデ
ューサを工夫することにより少なくとも2つの共振特性
を実現した構造では、後述の実施例から明らかなよう
に、複数の共振点の間の周波数差が例えば8MHz程度
とかなり大きくされ得る。これは、インターデジタル
トランスデューサで決定される周波数スペクトルのメイ
ンローブの周波数と端面間の寸法で決定される周波数を
大きく離すように設計できること、あるいは周波数ス
ペクトルのメインローブを複数個設計できることによ
る。
ューサを工夫することにより少なくとも2つの共振特性
を実現した構造では、後述の実施例から明らかなよう
に、複数の共振点の間の周波数差が例えば8MHz程度
とかなり大きくされ得る。これは、インターデジタル
トランスデューサで決定される周波数スペクトルのメイ
ンローブの周波数と端面間の寸法で決定される周波数を
大きく離すように設計できること、あるいは周波数ス
ペクトルのメインローブを複数個設計できることによ
る。
【0018】よって、例えば図1に示したトラップ特性
のように、複数のトラップ周波数を必要とする用途に用
いる場合、単一の素子で複数のトラップ周波数に対応す
ることができるため、部品点数の低減及び組み立てコス
トの低減を図ることができる。また、請求項3に記載の
トラップ素子のように、複数のトラップ周波数を有する
単一のトラップ素子を提供することができる。
のように、複数のトラップ周波数を必要とする用途に用
いる場合、単一の素子で複数のトラップ周波数に対応す
ることができるため、部品点数の低減及び組み立てコス
トの低減を図ることができる。また、請求項3に記載の
トラップ素子のように、複数のトラップ周波数を有する
単一のトラップ素子を提供することができる。
【0019】
【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ、本発明の非
限定的な実施例を説明する。図4は、本発明の第1の実
施例にかかる圧電共振子を示す平面図であり、図5は該
圧電共振子を示す斜視図である。
限定的な実施例を説明する。図4は、本発明の第1の実
施例にかかる圧電共振子を示す平面図であり、図5は該
圧電共振子を示す斜視図である。
【0020】圧電共振子11は、平面形状が矩形の圧電
基板12を用いて構成されている。圧電基板12は、例
えばチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスのような
適宜の圧電材料により構成されている。圧電基板12
は、図示の矢印P方向すなわち主面と平行であり、かつ
電極指の延びる方向と平行な方向に分極処理されてい
る。
基板12を用いて構成されている。圧電基板12は、例
えばチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスのような
適宜の圧電材料により構成されている。圧電基板12
は、図示の矢印P方向すなわち主面と平行であり、かつ
電極指の延びる方向と平行な方向に分極処理されてい
る。
【0021】圧電基板12の上面には、くし歯電極1
3,14からなるインターデジタルトランスデューサ
(以下、IDTと略す。)15が形成されている。くし
歯電極13,14は、それぞれ、複数本の電極指13
a,13b,13c,13d及び14a〜14iを有す
る。すなわち、IDT15は、互いに間挿し合う複数本
の電極指のうち、幾本かの電極指が間引かれて、間引き
電極の形態で構成されている。
3,14からなるインターデジタルトランスデューサ
(以下、IDTと略す。)15が形成されている。くし
歯電極13,14は、それぞれ、複数本の電極指13
a,13b,13c,13d及び14a〜14iを有す
る。すなわち、IDT15は、互いに間挿し合う複数本
の電極指のうち、幾本かの電極指が間引かれて、間引き
電極の形態で構成されている。
【0022】より詳しくは、電極指14c〜14g間に
おいて、他方側のくし歯電極13側の電極指が間引かれ
ている。この場合、電極指間領域のうち、両側の電極指
が異なる電位に接続される電極指である領域、すなわち
両側の電極指から電圧が印加されてBGS波が励振され
る領域を「1」、電極指が間引かれているため、両側の
電極指が同電位である、すなわちBGS波が励振されな
い電極指間領域を「0」と表現することにする。圧電共
振子11では、電極指14aから電極指14iまでの1
2個の領域は、順に、1,1,1,1,0,0,0,
0,1,1,1,1で表される。
おいて、他方側のくし歯電極13側の電極指が間引かれ
ている。この場合、電極指間領域のうち、両側の電極指
が異なる電位に接続される電極指である領域、すなわち
両側の電極指から電圧が印加されてBGS波が励振され
る領域を「1」、電極指が間引かれているため、両側の
電極指が同電位である、すなわちBGS波が励振されな
い電極指間領域を「0」と表現することにする。圧電共
振子11では、電極指14aから電極指14iまでの1
2個の領域は、順に、1,1,1,1,0,0,0,
0,1,1,1,1で表される。
【0023】なお、上記くし歯電極13,14において
は、電極指間の各領域の幅は、励振されるBGS波の波
長λとしたときに、λ/4とされており、かつ電極指1
4a,14iを除く残りの電極指の幅もλ/4とされて
いる。また、最も外側に位置する電極指14a,14i
の幅はλ/8とされており、電極指14a,14iは圧
電基板12の端面12a,12bと上面との端縁に沿う
ように配置されている。
は、電極指間の各領域の幅は、励振されるBGS波の波
長λとしたときに、λ/4とされており、かつ電極指1
4a,14iを除く残りの電極指の幅もλ/4とされて
いる。また、最も外側に位置する電極指14a,14i
の幅はλ/8とされており、電極指14a,14iは圧
電基板12の端面12a,12bと上面との端縁に沿う
ように配置されている。
【0024】上記のようなくし歯電極13,14は、例
えば、圧電基板12よりも幅方向がより大きな圧電基板
を用意し、λ/4ピッチで幅λ/4の電極指を多数形成
した後、上記くし歯電極13,14が得られるように圧
電基板をダイシングすることにより、すなわち電極指1
4a,14iについては、上記ダイシングによりλ/4
の幅の電極指を半分の幅に切断することにより、形成す
ることができる。このようにして、上記IDT15と、
端面12a,12bを有する圧電共振子11を得ること
ができる。
えば、圧電基板12よりも幅方向がより大きな圧電基板
を用意し、λ/4ピッチで幅λ/4の電極指を多数形成
した後、上記くし歯電極13,14が得られるように圧
電基板をダイシングすることにより、すなわち電極指1
4a,14iについては、上記ダイシングによりλ/4
の幅の電極指を半分の幅に切断することにより、形成す
ることができる。このようにして、上記IDT15と、
端面12a,12bを有する圧電共振子11を得ること
ができる。
【0025】圧電共振子11では、図2に示した従来の
SHタイプの表面波を利用した端面反射型表面波共振子
1と同様に、くし歯電極13,14から交流電圧を印加
することにより、電極指の延びる方向と直交する方向に
伝播するBGS波が励起され、該BGS波は端面12
a,12b間で反射される。
SHタイプの表面波を利用した端面反射型表面波共振子
1と同様に、くし歯電極13,14から交流電圧を印加
することにより、電極指の延びる方向と直交する方向に
伝播するBGS波が励起され、該BGS波は端面12
a,12b間で反射される。
【0026】従って、圧電共振子11は、BGS波を利
用した端面反射型の表面波共振子である。圧電共振子1
1の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス
−周波数特性を、図6及び図7にそれぞれ示す。
用した端面反射型の表面波共振子である。圧電共振子1
1の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス
−周波数特性を、図6及び図7にそれぞれ示す。
【0027】図6及び図7から明らかなように、圧電共
振子11では、2個の共振点Fr1及びFr2 が現れ
る。すなわち、2つの共振特性が得られる。これは、I
DT15が、上記のように1,1,1,1,0,0,
0,0,1,1,1,1で間引きされた間引き電極によ
り構成されているためである。すなわち、上記のような
形態の間引き電極でIDT15が構成されているため、
IDTで決定される周波数スペクトルのメインローブを
2個設計できたことにより、2個の共振特性が得られ
る。
振子11では、2個の共振点Fr1及びFr2 が現れ
る。すなわち、2つの共振特性が得られる。これは、I
DT15が、上記のように1,1,1,1,0,0,
0,0,1,1,1,1で間引きされた間引き電極によ
り構成されているためである。すなわち、上記のような
形態の間引き電極でIDT15が構成されているため、
IDTで決定される周波数スペクトルのメインローブを
2個設計できたことにより、2個の共振特性が得られ
る。
【0028】この場合、2個の共振点Fr1及びFr2間
の周波数差は、約8MHzである。すなわち、前述した
レイリー波を利用した二重モード共振子フィルタの場合
に比べて、大きな周波数差の2つの共振特性が得られ
る。これは、IDTで決定される周波数スペクトルのメ
インローブを2個設計できたためと考えられる。従って
圧電基板12の材料、寸法及びIDT15における間引
き電極の態様や電極指の寸法等を調整することにより、
比較的大きな適宜の周波数差を有する2つの共振点を有
する圧電共振子11を提供することができる。
の周波数差は、約8MHzである。すなわち、前述した
レイリー波を利用した二重モード共振子フィルタの場合
に比べて、大きな周波数差の2つの共振特性が得られ
る。これは、IDTで決定される周波数スペクトルのメ
インローブを2個設計できたためと考えられる。従って
圧電基板12の材料、寸法及びIDT15における間引
き電極の態様や電極指の寸法等を調整することにより、
比較的大きな適宜の周波数差を有する2つの共振点を有
する圧電共振子11を提供することができる。
【0029】よって、圧電共振子11は、例えば図1に
示したテレビジョン受像機やビデオテープレコーダーの
中間映像周波段におけるトラップフィルタとして好適に
用いることができる。すなわち、圧電共振子11は、単
一の素子で、2つのトラップ周波数を有するトラップ素
子として用いることができる。
示したテレビジョン受像機やビデオテープレコーダーの
中間映像周波段におけるトラップフィルタとして好適に
用いることができる。すなわち、圧電共振子11は、単
一の素子で、2つのトラップ周波数を有するトラップ素
子として用いることができる。
【0030】図8は本発明の第2の実施例にかかる圧電
共振子21を示す平面図である。圧電共振子21は、第
1の実施例と同様に、IDT25が間引き電極で構成さ
れているものであり、この間引きの態様が第1の実施例
の圧電共振子11と異なる点を除いては、第1の実施例
と同様に構成されている。従って、IDT25の構成の
みを説明することとし、他の構成については第1の実施
例と同一の参照番号を付することにより、その説明は省
略する。
共振子21を示す平面図である。圧電共振子21は、第
1の実施例と同様に、IDT25が間引き電極で構成さ
れているものであり、この間引きの態様が第1の実施例
の圧電共振子11と異なる点を除いては、第1の実施例
と同様に構成されている。従って、IDT25の構成の
みを説明することとし、他の構成については第1の実施
例と同一の参照番号を付することにより、その説明は省
略する。
【0031】IDT25は、一対のくし歯電極23,2
4を有する。くし歯電極23は、複数本の電極指23
a,23bを有し、くし歯電極24は、複数本の電極指
24a〜24iを有する。従って、IDT25における
電極指間の領域は、10個構成されているが、この10
個の領域は、前述した「0」及び「1」の表現では、図
面上左から右に向かって、0,0,0,1,1,1,
1,0,0,0,となる。
4を有する。くし歯電極23は、複数本の電極指23
a,23bを有し、くし歯電極24は、複数本の電極指
24a〜24iを有する。従って、IDT25における
電極指間の領域は、10個構成されているが、この10
個の領域は、前述した「0」及び「1」の表現では、図
面上左から右に向かって、0,0,0,1,1,1,
1,0,0,0,となる。
【0032】このような間引き電極であるIDT25を
用いた場合にも、第1の実施例と同様に、2つの共振点
が存在することが確かめられた。すなわち、インターデ
ジタルトランスデューサで決定される周波数スペクトル
のメインローブの周波数と端面間の寸法で決定される周
波数を大きく離すように設計できたことにより、2個の
共振特性が得られる。しかも、上記のように間引き電極
の形態が第1の実施例と異なるため、2つの共振点の差
は、第1の実施例と異なることが確認された。すなわ
ち、第2の実施例の圧電共振子21では、第1の実施例
の圧電共振子11に比べて、2つの共振点の差が8.6
MHzとされていることが確かめられた。
用いた場合にも、第1の実施例と同様に、2つの共振点
が存在することが確かめられた。すなわち、インターデ
ジタルトランスデューサで決定される周波数スペクトル
のメインローブの周波数と端面間の寸法で決定される周
波数を大きく離すように設計できたことにより、2個の
共振特性が得られる。しかも、上記のように間引き電極
の形態が第1の実施例と異なるため、2つの共振点の差
は、第1の実施例と異なることが確認された。すなわ
ち、第2の実施例の圧電共振子21では、第1の実施例
の圧電共振子11に比べて、2つの共振点の差が8.6
MHzとされていることが確かめられた。
【0033】このように、間引き電極における間引きの
態様を変更することにより、2つの共振点の周波数差を
調整することができる。もっとも、2つの共振点の周波
数差は、間引き電極における間引きの態様だけでなく、
圧電共振子11,21における端面12a,12b間の
距離や圧電基板材料、電極指のサイズ等によっても変わ
るため、一義的には定め得ない。すなわち、用途に応
じ、適宜、上記のような各ファクターを調整することに
より、所望の周波数差の2つの共振点を有する圧電共振
子を提供することができる。
態様を変更することにより、2つの共振点の周波数差を
調整することができる。もっとも、2つの共振点の周波
数差は、間引き電極における間引きの態様だけでなく、
圧電共振子11,21における端面12a,12b間の
距離や圧電基板材料、電極指のサイズ等によっても変わ
るため、一義的には定め得ない。すなわち、用途に応
じ、適宜、上記のような各ファクターを調整することに
より、所望の周波数差の2つの共振点を有する圧電共振
子を提供することができる。
【0034】図9は、本発明の第3の実施例にかかる圧
電共振子を示す平面図である。圧電共振子31では、平
面形状が矩形の圧電基板32を用いて構成されており、
圧電基板32の端面32a,32b間でBGS波が反射
される端面反射型の表面波共振子が構成されている。
電共振子を示す平面図である。圧電共振子31では、平
面形状が矩形の圧電基板32を用いて構成されており、
圧電基板32の端面32a,32b間でBGS波が反射
される端面反射型の表面波共振子が構成されている。
【0035】圧電基板32は、図示の矢印P方向に一様
に分極処理されている。また、IDT35は、前述した
実施例と同様に一対のくし歯電極33,34を有する。
もっとも、IDT35では、交叉幅重み付けが施されて
いる。すなわち、図示のように、くし歯電極33,34
の複数本の電極指の長さが適宜異ならされており、それ
によって隣接する電極指と表面波伝播方向において重な
り合っている部分(交叉部分)の幅(交叉幅)が表面波
伝播方向に沿って変化されている。このように、交叉幅
重み付けが施されたIDTを用いた圧電共振子31にお
いても、第1の実施例と同様に、2つの共振点が現れる
ことが確かめられた。すなわち、IDTで決定される
周波数スペクトルとメインローブを2個設計できたこと
により、2個の共振特性が得られたこと、あるいは周
波数スペクトルのメインローブを複数個設計できたこと
による。そして、この2つの共振点の差は、第1の実施
例と同様に、約9.2MHz程度とされ得ることが確か
められた。なお、特に図示はしないが、圧電共振子31
の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス−
周波数特性は、図6及び図7に示した第1の実施例にお
ける各特性と同様であることが確かめられた。
に分極処理されている。また、IDT35は、前述した
実施例と同様に一対のくし歯電極33,34を有する。
もっとも、IDT35では、交叉幅重み付けが施されて
いる。すなわち、図示のように、くし歯電極33,34
の複数本の電極指の長さが適宜異ならされており、それ
によって隣接する電極指と表面波伝播方向において重な
り合っている部分(交叉部分)の幅(交叉幅)が表面波
伝播方向に沿って変化されている。このように、交叉幅
重み付けが施されたIDTを用いた圧電共振子31にお
いても、第1の実施例と同様に、2つの共振点が現れる
ことが確かめられた。すなわち、IDTで決定される
周波数スペクトルとメインローブを2個設計できたこと
により、2個の共振特性が得られたこと、あるいは周
波数スペクトルのメインローブを複数個設計できたこと
による。そして、この2つの共振点の差は、第1の実施
例と同様に、約9.2MHz程度とされ得ることが確か
められた。なお、特に図示はしないが、圧電共振子31
の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス−
周波数特性は、図6及び図7に示した第1の実施例にお
ける各特性と同様であることが確かめられた。
【0036】従って、IDT35のように、交叉幅重み
付けを施すことによっても、SHタイプの表面波を利用
した端面反射型の表面波共振子において、比較的大きな
周波数差を有する複数の共振点を有する圧電共振子を提
供し得ることがわかる。
付けを施すことによっても、SHタイプの表面波を利用
した端面反射型の表面波共振子において、比較的大きな
周波数差を有する複数の共振点を有する圧電共振子を提
供し得ることがわかる。
【0037】なお、上述した第1〜第3の実施例では、
SHタイプの表面波としてBGS波を利用したものを用
いたが、ラブ波などの他のSHタイプの表面波を利用し
ても、同様にIDTを間引き電極としたり、交叉幅重み
付けを施したりすることにより、複数の共振点を有する
圧電共振子を提供することができる。
SHタイプの表面波としてBGS波を利用したものを用
いたが、ラブ波などの他のSHタイプの表面波を利用し
ても、同様にIDTを間引き電極としたり、交叉幅重み
付けを施したりすることにより、複数の共振点を有する
圧電共振子を提供することができる。
【0038】さらに、上記実施例では、2つの共振点を
有する圧電共振子につき説明したが、間引き電極の態様
や交叉幅重み付けの態様を変更することにより、3以上
の共振点を有する圧電共振子を構成することも可能であ
る。
有する圧電共振子につき説明したが、間引き電極の態様
や交叉幅重み付けの態様を変更することにより、3以上
の共振点を有する圧電共振子を構成することも可能であ
る。
【図1】2つのトラップを有するトラップ回路の減衰量
−周波数スペクトル特性を示す図。
−周波数スペクトル特性を示す図。
【図2】従来のSHタイプの表面波を利用した端面反射
型表面波共振子を示す斜視図。
型表面波共振子を示す斜視図。
【図3】(a)及び(b)は、図2に示した表面波共振
子の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス
−周波数特性を示す図。
子の減衰量−周波数スペクトル特性及びインピーダンス
−周波数特性を示す図。
【図4】第1の実施例にかかる圧電共振子を示す平面
図。
図。
【図5】第1の実施例の圧電共振子の斜視図。
【図6】第1の実施例の圧電共振子の減衰量−周波数ス
ペクトル特性を示す図。
ペクトル特性を示す図。
【図7】第1の実施例の圧電共振子のインピーダンス−
周波数特性を示す図。
周波数特性を示す図。
【図8】第2の実施例の圧電共振子を示す平面図。
【図9】第3の実施例の圧電共振子を示す平面図。
11,21,31…圧電共振子 12,32…圧電基板 12a,12b,32a,32b…端面 13,14,23,24,33,34…くし歯電極 15,25,35…IDT 13a〜13d,14a〜14i…電極指 23a〜23c,24a〜24i…電極指
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−130586(JP,A) 特開 平5−291869(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/64
Claims (3)
- 【請求項1】 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されたインターデジタルトランス
デューサとを備え、SHタイプの表面波を利用した圧電
共振子であって、 前記インターデジタルトランスデューサが少なくとも2
つの共振特性を有し、前記インターデジタルトランスデ
ューサが、互いに間挿し合う電極指のうち適宜の電極指
を間引いてなる、間引き電極により構成されていること
を特徴とする、圧電共振子。 - 【請求項2】 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されたインターデジタルトランス
デューサとを備え、SHタイプの表面波を利用した圧電
共振子であって、 前記インターデジタルトランスデューサが少なくとも2
つの共振特性を有し、 前記インターデジタルトランスデューサが、交叉幅重み
付けを施されている構造を有することを特徴とする、圧
電共振子。 - 【請求項3】 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されたインターデジタルトランス
デューサとを備え、SHタイプの表面波を利用した圧電
共振子を用いたトラップ素子であって、 前記インターデジタルトランスデューサが少なくとも2
つのトラップ周波数を有することを特徴とするトラップ
素子。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03441594A JP3191551B2 (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | 圧電共振子 |
TW084101313A TW256966B (ja) | 1994-03-04 | 1995-02-14 | |
GB9503524A GB2287580B (en) | 1994-03-04 | 1995-02-22 | Piezoelectric resonators |
SG1995000047A SG30304A1 (en) | 1994-03-04 | 1995-03-02 | Piezoelectric resonators |
CN95102026A CN1089968C (zh) | 1994-03-04 | 1995-03-03 | 用于具有多个陷波频率的陷波电路的压电晶体谐振器 |
KR1019950004657A KR100194185B1 (ko) | 1994-03-04 | 1995-03-04 | 다수의 트랩 주파수를 가진 트랩회로용 압전 공진기 |
US08/746,150 US5767603A (en) | 1994-03-04 | 1996-11-06 | Piezoelectric resonators for trap circuits having a plurality of trap frequencies |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03441594A JP3191551B2 (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | 圧電共振子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07245544A JPH07245544A (ja) | 1995-09-19 |
JP3191551B2 true JP3191551B2 (ja) | 2001-07-23 |
Family
ID=12413574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03441594A Expired - Fee Related JP3191551B2 (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | 圧電共振子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3191551B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6873226B2 (en) | 2001-03-19 | 2005-03-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Edge-reflection surface acoustic wave filter |
-
1994
- 1994-03-04 JP JP03441594A patent/JP3191551B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07245544A (ja) | 1995-09-19 |
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