JPH08204498A - 端面反射型表面波装置 - Google Patents
端面反射型表面波装置Info
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- JPH08204498A JPH08204498A JP7009251A JP925195A JPH08204498A JP H08204498 A JPH08204498 A JP H08204498A JP 7009251 A JP7009251 A JP 7009251A JP 925195 A JP925195 A JP 925195A JP H08204498 A JPH08204498 A JP H08204498A
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- Japan
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- piezoelectric substrate
- surface acoustic
- reflection type
- wave
- waves
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02559—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ７０〜２００ＭＨｚ帯で用いるのに適してお
り、かつ広帯域な特性を得ることができる表面波共振子
を提供する。 【構成】 ４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3 圧電単結
晶よりなる圧電基板２の上面に一対のくし歯電極３，４
を形成してなり、対向２端面２ｂ，２ｃ間でＳＨタイプ
のリーキー波を反射させる端面反射型表面波共振子。
り、かつ広帯域な特性を得ることができる表面波共振子
を提供する。 【構成】 ４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3 圧電単結
晶よりなる圧電基板２の上面に一対のくし歯電極３，４
を形成してなり、対向２端面２ｂ，２ｃ間でＳＨタイプ
のリーキー波を反射させる端面反射型表面波共振子。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＳＨタイプの表面波を
利用した端面反射型表面波共振子に関し、特に、ＳＨタ
イプのリーキー波を利用することにより広帯域化を図っ
た端面反射型表面波共振子に関する。
利用した端面反射型表面波共振子に関し、特に、ＳＨタ
イプのリーキー波を利用することにより広帯域化を図っ
た端面反射型表面波共振子に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＭＨｚ帯において用いられる共振子とし
て、種々の表面波共振子が提案されている。この種の表
面波共振子の中でも、広帯域な特性を得ることができる
ものとして、ＳＨタイプの表面波を利用した表面波共振
子が注目されている。ＳＨタイプの表面波とは、ＢＧＳ
波やラブ波などのように、変位が表面波伝搬方向と垂直
な方向の成分を主成分とする表面波をいう。
て、種々の表面波共振子が提案されている。この種の表
面波共振子の中でも、広帯域な特性を得ることができる
ものとして、ＳＨタイプの表面波を利用した表面波共振
子が注目されている。ＳＨタイプの表面波とは、ＢＧＳ
波やラブ波などのように、変位が表面波伝搬方向と垂直
な方向の成分を主成分とする表面波をいう。
【０００３】ＢＧＳ波を利用した表面波共振子として
は、チタン酸ジルコン酸鉛などの圧電セラミックスから
なる圧電基板上に、一対のくし歯電極よりなるインター
デジタルトランスデューサ（以下、ＩＤＴ）を形成して
成る端面反射型の表面波共振子が提案されている。ま
た、ラブ波を利用した表面波共振子としては、Ｙカット
Ｘ伝搬ＬｉＮｂＯ3 圧電単結晶基板上に、Ａｕよりなる
一対のくし歯電極を形成することによりＩＤＴを構成し
た端面反射型表面波共振子が提案されている。
は、チタン酸ジルコン酸鉛などの圧電セラミックスから
なる圧電基板上に、一対のくし歯電極よりなるインター
デジタルトランスデューサ（以下、ＩＤＴ）を形成して
成る端面反射型の表面波共振子が提案されている。ま
た、ラブ波を利用した表面波共振子としては、Ｙカット
Ｘ伝搬ＬｉＮｂＯ3 圧電単結晶基板上に、Ａｕよりなる
一対のくし歯電極を形成することによりＩＤＴを構成し
た端面反射型表面波共振子が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＢＧＳ
波を利用した上記表面波共振子では、広帯域な特性を得
ることができるものの、周波数特性やグレインサイズ等
の制約により、共振周波数の上限が７０ＭＨｚに留まっ
ていた。
波を利用した上記表面波共振子では、広帯域な特性を得
ることができるものの、周波数特性やグレインサイズ等
の制約により、共振周波数の上限が７０ＭＨｚに留まっ
ていた。
【０００５】他方、ラブ波を利用した上記表面波共振子
では、コストが高くつくこと並びにＩＤＴ形成技術上の
制約により、Ａｕよりなるくし歯電極を余り厚く形成す
ることができなかった。そのため、２００ＭＨｚ以上の
共振周波数を実現するための広帯域な共振子として用い
られている。
では、コストが高くつくこと並びにＩＤＴ形成技術上の
制約により、Ａｕよりなるくし歯電極を余り厚く形成す
ることができなかった。そのため、２００ＭＨｚ以上の
共振周波数を実現するための広帯域な共振子として用い
られている。
【０００６】すなわち、広帯域な特性を実現し得るＳＨ
タイプの表面波を利用した表面波共振子としては、従
来、７０〜２００ＭＨｚ帯で用いるのに適したものは存
在しなかった。
タイプの表面波を利用した表面波共振子としては、従
来、７０〜２００ＭＨｚ帯で用いるのに適したものは存
在しなかった。
【０００７】本発明の目的は、７０〜２００ＭＨｚの周
波数帯で用いるのに適しており、かつ広帯域な共振特性
を実現し得る端面反射型表面波共振子を提供することに
ある。
波数帯で用いるのに適しており、かつ広帯域な共振特性
を実現し得る端面反射型表面波共振子を提供することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するためになされたものであり、圧電基板の対向２端
面間でＳＨタイプの表面波を反射させる端面反射型表面
波共振子において、上記圧電基板として、４１°Ｙカッ
トＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3 圧電基板を用い、ＳＨタイプの表
面波の中でもリーキー波を利用したことを特徴とする端
面反射型表面波共振子である。
成するためになされたものであり、圧電基板の対向２端
面間でＳＨタイプの表面波を反射させる端面反射型表面
波共振子において、上記圧電基板として、４１°Ｙカッ
トＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3 圧電基板を用い、ＳＨタイプの表
面波の中でもリーキー波を利用したことを特徴とする端
面反射型表面波共振子である。
【０００９】また、本発明の端面反射型表面波共振子
は、より具体的には、対向２端面と、前記対向２端面を
結ぶ一対の主面とを有する４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮ
ｂＯ3圧電基板と、前記圧電基板の一方主面に形成され
ており、かつ１本以上の電極指を有する一対のくし歯電
極からなるインターデジタルトランスデューサーとを備
え、前記一対のくし歯電極の互いの電極指が間挿しあっ
ており、表面波伝搬方向両端の電極指の外側端縁が前記
圧電基板の端面に沿うように配置されており、表面波の
波長をλとしたときに、該両端の電極指の幅がλ／８、
残りの電極指の幅がλ／４とされている、ＳＨタイプの
リーキー波を利用した端面反射型表面波共振子である。
は、より具体的には、対向２端面と、前記対向２端面を
結ぶ一対の主面とを有する４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮ
ｂＯ3圧電基板と、前記圧電基板の一方主面に形成され
ており、かつ１本以上の電極指を有する一対のくし歯電
極からなるインターデジタルトランスデューサーとを備
え、前記一対のくし歯電極の互いの電極指が間挿しあっ
ており、表面波伝搬方向両端の電極指の外側端縁が前記
圧電基板の端面に沿うように配置されており、表面波の
波長をλとしたときに、該両端の電極指の幅がλ／８、
残りの電極指の幅がλ／４とされている、ＳＨタイプの
リーキー波を利用した端面反射型表面波共振子である。
【００１０】
【発明の作用及び効果】上記のように、本発明の端面反
射型表面波共振子は、ＳＨタイプの表面波の中でもリー
キー波を利用したことを特徴とする。リーキー波は、減
衰弾性表面波ともいわれており、圧電基板中を伝搬しつ
つそのエネルギーが放射されて減衰するという特徴を有
する。従って、従来、表面波装置においては、リーキー
波は減衰が大きいために利用することができないと考え
られていた。
射型表面波共振子は、ＳＨタイプの表面波の中でもリー
キー波を利用したことを特徴とする。リーキー波は、減
衰弾性表面波ともいわれており、圧電基板中を伝搬しつ
つそのエネルギーが放射されて減衰するという特徴を有
する。従って、従来、表面波装置においては、リーキー
波は減衰が大きいために利用することができないと考え
られていた。
【００１１】本発明は、従来、表面波装置として利用す
ることができないと考えられていたリーキー波を用いた
ことに特徴を有する。すなわち、端面反射型表面波共振
子では、対向２端面間を結ぶ圧電基板の一方主面上に、
ＩＤＴが形成されている。この端面反射型表面波共振子
では、対向２端面間を結ぶ圧電基板の一方主面上の表面
波伝搬領域は、その領域の全てが表面波を励振させる部
分になっている。従って、駆動に際し、励振された表面
波が減衰する領域がほとんど存在しない。よって、表面
波エネルギーの放射による減衰が著しいリーキー波を利
用した場合であっても、十分な山谷比（すなわち反共振
点におけるインピーダンス値の共振点におけるインピー
ダンス値に対する比）を有する良好な共振特性を実現す
ることができる。 他方、４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮ
ｂＯ3 圧電基板は、７０〜２００ＭＨｚ帯において大き
な電気機械結合係数ｋを示す。しかしながら、該圧電基
板の表面をメタライズした場合、伝搬損失が０．０４４
ｄＢ／λと比較的大きく、従って、表面にＩＤＴを形成
した場合には、上記伝搬損失を有するリーキー波とな
る。よって、従来、表面波フィルタや表面波共振子など
の表面波装置としては、４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂ
Ｏ3 圧電基板は余り使用されていなかった。
ることができないと考えられていたリーキー波を用いた
ことに特徴を有する。すなわち、端面反射型表面波共振
子では、対向２端面間を結ぶ圧電基板の一方主面上に、
ＩＤＴが形成されている。この端面反射型表面波共振子
では、対向２端面間を結ぶ圧電基板の一方主面上の表面
波伝搬領域は、その領域の全てが表面波を励振させる部
分になっている。従って、駆動に際し、励振された表面
波が減衰する領域がほとんど存在しない。よって、表面
波エネルギーの放射による減衰が著しいリーキー波を利
用した場合であっても、十分な山谷比（すなわち反共振
点におけるインピーダンス値の共振点におけるインピー
ダンス値に対する比）を有する良好な共振特性を実現す
ることができる。 他方、４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮ
ｂＯ3 圧電基板は、７０〜２００ＭＨｚ帯において大き
な電気機械結合係数ｋを示す。しかしながら、該圧電基
板の表面をメタライズした場合、伝搬損失が０．０４４
ｄＢ／λと比較的大きく、従って、表面にＩＤＴを形成
した場合には、上記伝搬損失を有するリーキー波とな
る。よって、従来、表面波フィルタや表面波共振子など
の表面波装置としては、４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂ
Ｏ3 圧電基板は余り使用されていなかった。
【００１２】ところが、本発明では、上記のようにリー
キー波を積極的に利用して端面反射型表面波共振子を構
成したものであるため、４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂ
Ｏ3圧電基板の電気機械結合係数の大きなことを利用
し、７０〜２００ＭＨｚ帯で広帯域の共振子を提供する
ことが可能とされる。例えば、後述の実施例から明らか
なように、本発明によれば、７０〜２００ＭＨｚ帯にお
いて比帯域幅が約６．５％程度と、帯域が広い共振子を
構成し得ることが確かめられている。
キー波を積極的に利用して端面反射型表面波共振子を構
成したものであるため、４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂ
Ｏ3圧電基板の電気機械結合係数の大きなことを利用
し、７０〜２００ＭＨｚ帯で広帯域の共振子を提供する
ことが可能とされる。例えば、後述の実施例から明らか
なように、本発明によれば、７０〜２００ＭＨｚ帯にお
いて比帯域幅が約６．５％程度と、帯域が広い共振子を
構成し得ることが確かめられている。
【００１３】よって、本発明によれば、７０〜２００Ｍ
Ｈｚ帯で用いるのに適し、かつ広帯域の共振子を提供す
ることが可能となる。
Ｈｚ帯で用いるのに適し、かつ広帯域の共振子を提供す
ることが可能となる。
【００１４】
【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ実施例を説明
することにより、本発明を明らかにする。
することにより、本発明を明らかにする。
【００１５】図１は、本発明の一実施例に係る端面反射
型表面波共振子を示す斜視図である。端面反射型表面波
共振子１は、平面形状が四角形の圧電基板２を用いて構
成されている。圧電基板２は、４１°ＹカットＸ伝搬Ｌ
ｉＮｂＯ3 圧電単結晶よりなる。この圧電基板２の上面
２ａには一対のくし歯電極３，４が形成されている。こ
の一対のくし歯電極３，４により一つのＩＤＴが構成さ
れている。くし歯電極３，４は、それぞれ、複数本の電
極指３ａ〜３ｃ及び４ａ〜４ｃを有する。
型表面波共振子を示す斜視図である。端面反射型表面波
共振子１は、平面形状が四角形の圧電基板２を用いて構
成されている。圧電基板２は、４１°ＹカットＸ伝搬Ｌ
ｉＮｂＯ3 圧電単結晶よりなる。この圧電基板２の上面
２ａには一対のくし歯電極３，４が形成されている。こ
の一対のくし歯電極３，４により一つのＩＤＴが構成さ
れている。くし歯電極３，４は、それぞれ、複数本の電
極指３ａ〜３ｃ及び４ａ〜４ｃを有する。
【００１６】電極指３ａ〜３ｃと電極指４ａ〜４ｃとは
互いに間挿しあっている。また、複数本の電極指３ａ〜
４ｃ間の間隔は、励振されるリーキー波の波長をλとし
たときに、λ／４とされている。また、表面波伝搬方向
両側に位置する電極指３ｃ，４ａは、その幅が、λ／８
とされており、残りの電極指３ａ，３ｂ，４ｂ，４ｃの
幅はλ／４とされている。
互いに間挿しあっている。また、複数本の電極指３ａ〜
４ｃ間の間隔は、励振されるリーキー波の波長をλとし
たときに、λ／４とされている。また、表面波伝搬方向
両側に位置する電極指３ｃ，４ａは、その幅が、λ／８
とされており、残りの電極指３ａ，３ｂ，４ｂ，４ｃの
幅はλ／４とされている。
【００１７】さらに、電極指３ｃ，４ａの外側端縁は、
端面２ｃ，２ｂに沿うように形成されている。端面反射
型表面波共振子１では、上記くし歯電極３，４から交流
電圧を印加することにより、リーキー波が励振され、該
リーキー波は図示の矢印Ｘ方向に伝搬する。また、リー
キー波は、圧電基板２の対向２端面２ｂ，２ｃで反射さ
れる。
端面２ｃ，２ｂに沿うように形成されている。端面反射
型表面波共振子１では、上記くし歯電極３，４から交流
電圧を印加することにより、リーキー波が励振され、該
リーキー波は図示の矢印Ｘ方向に伝搬する。また、リー
キー波は、圧電基板２の対向２端面２ｂ，２ｃで反射さ
れる。
【００１８】従って、圧電基板２の上面２ａ上における
表面波伝搬領域は、全て励振部となっている。すなわ
ち、表面波が矢印Ｘ方向に伝搬するに際し、表面波が伝
搬するだけの領域は、存在しない。よって、端面反射型
表面波共振子１では、減衰の影響をさほど受けることな
く、リーキー波による共振特性を利用し得ると考えられ
る。
表面波伝搬領域は、全て励振部となっている。すなわ
ち、表面波が矢印Ｘ方向に伝搬するに際し、表面波が伝
搬するだけの領域は、存在しない。よって、端面反射型
表面波共振子１では、減衰の影響をさほど受けることな
く、リーキー波による共振特性を利用し得ると考えられ
る。
【００１９】次に、具体的な実験結果につき説明する。
端面反射型表面波共振子１として、２．０ｍｍ×１．０
ｍｍの４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3 圧電基板２を
用意した。この圧電基板２上に、電極指の対数Ｎが１
５．５対である一対のくし歯電極３，４をＡ１を蒸着
し、パターニングすることにより形成した。このように
して、波長λ＝６０μｍのリーキー波が励振される表面
波共振子を作成した。得られた表面波共振子の共振特性
を図２に示す。
端面反射型表面波共振子１として、２．０ｍｍ×１．０
ｍｍの４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3 圧電基板２を
用意した。この圧電基板２上に、電極指の対数Ｎが１
５．５対である一対のくし歯電極３，４をＡ１を蒸着
し、パターニングすることにより形成した。このように
して、波長λ＝６０μｍのリーキー波が励振される表面
波共振子を作成した。得られた表面波共振子の共振特性
を図２に示す。
【００２０】図２から明らかなように、共振周波数ｆｒ
が７３．４ＭＨｚ、反共振周波数ｆａが７８．２ＭＨｚ
であり、Δｆ＝ｆａ−ｆｒ＝４．８ＭＨｚの広帯域な共
振子の実現されていることが分かる。また、山谷比、す
なわち反共振点ｆａにおけるインピーダンス値の共振点
ｆｒにおけるインピーダンス値に対する比も、約６０ｄ
Ｂと大きいことが分かる。
が７３．４ＭＨｚ、反共振周波数ｆａが７８．２ＭＨｚ
であり、Δｆ＝ｆａ−ｆｒ＝４．８ＭＨｚの広帯域な共
振子の実現されていることが分かる。また、山谷比、す
なわち反共振点ｆａにおけるインピーダンス値の共振点
ｆｒにおけるインピーダンス値に対する比も、約６０ｄ
Ｂと大きいことが分かる。
【００２１】次に、上記と同一の圧電基板２を用い、電
極指の対数Ｎ＝１５．５対であり、ただし励振されるリ
ーキー波の波長がλ＝３９μｍの端面反射型表面波共振
子を作成した。その結果、共振周波数ｆｒ＝１１２．５
ＭＨｚであり、反共振周波数と共振周波数との差Δｆ＝
７．３ＭＨｚの広帯域な共振特性を有する共振子の得ら
れることが確かめられた。しかも、このときの山谷比
は、６０ｄＢと大きく、従って、リーキー波の減衰によ
る影響を殆ど受けていないことが分かった。
極指の対数Ｎ＝１５．５対であり、ただし励振されるリ
ーキー波の波長がλ＝３９μｍの端面反射型表面波共振
子を作成した。その結果、共振周波数ｆｒ＝１１２．５
ＭＨｚであり、反共振周波数と共振周波数との差Δｆ＝
７．３ＭＨｚの広帯域な共振特性を有する共振子の得ら
れることが確かめられた。しかも、このときの山谷比
は、６０ｄＢと大きく、従って、リーキー波の減衰によ
る影響を殆ど受けていないことが分かった。
【図１】本発明の一実施例に係る端面反射型表面波共振
子を示す斜視図。
子を示す斜視図。
【図２】実施例の端面反射型表面波共振子の共振特性の
一例を示す図。
一例を示す図。
１…表面波共振子 ２…圧電基板 ３，４…くし歯電極 ３ａ〜３ｃ，４ａ〜４ｃ…電極指
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電基板の対向２端面間でＳＨタイプの
表面波を反射させる端面反射型表面波共振子において、 前記圧電基板として、４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ
3 圧電基板を用い、ＳＨタイプのリーキー波を利用した
ことを特徴とする、端面反射型表面波共振子。 - 【請求項２】 対向２端面と、前記対向２端面を結ぶ一
対の主面とを有する４１°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3
圧電基板と、 前記圧電基板の一方主面に形成されており、かつ１本以
上の電極指を有する一対のくし歯電極からなるインター
デジタルトランスデューサとを備え、 前記一対のくし歯電極の互いの電極指が間挿しあってお
り、表面波伝搬方向両端の電極指の外側端縁が前記圧電
基板の前記端面に沿うように配置されており、表面波の
波長をλとしたときに、該両端の電極指の幅がλ／８、
残りの電極指の幅がλ／４とされている、ＳＨタイプの
リーキー波を利用した端面反射型表面波共振子。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7009251A JPH08204498A (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | 端面反射型表面波装置 |
| US08/590,331 US5714830A (en) | 1995-01-24 | 1996-01-23 | Free edge reflective-type surface acoustic wave device |
| SG1996000383A SG38920A1 (en) | 1995-01-24 | 1996-01-23 | Free edge reflective-type surface acoustic wave device |
| TW085212766U TW443683U (en) | 1995-01-24 | 1996-01-23 | Free edge reflective-type surface acoustic wave device |
| KR1019960001549A KR100221230B1 (ko) | 1995-01-24 | 1996-01-24 | 자유단선 반사형 표면 음향파 장치 |
| CN96102544A CN1074613C (zh) | 1995-01-24 | 1996-01-24 | 自由边缘反射型声表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7009251A JPH08204498A (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | 端面反射型表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08204498A true JPH08204498A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=11715201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7009251A Pending JPH08204498A (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | 端面反射型表面波装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5714830A (ja) |
| JP (1) | JPH08204498A (ja) |
| KR (1) | KR100221230B1 (ja) |
| CN (1) | CN1074613C (ja) |
| SG (1) | SG38920A1 (ja) |
| TW (1) | TW443683U (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3106924B2 (ja) * | 1995-08-31 | 2000-11-06 | 株式会社村田製作所 | 表面波共振子 |
| JP3233087B2 (ja) * | 1997-01-20 | 2001-11-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
| TW404091B (en) * | 1997-05-16 | 2000-09-01 | Murata Manufacturing Co | Ladder filter having edge-reflection type resonators |
| JP3171144B2 (ja) * | 1997-07-07 | 2001-05-28 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置 |
| JP3206548B2 (ja) * | 1998-05-14 | 2001-09-10 | 株式会社村田製作所 | 表面波フィルタ、共用器、通信機装置 |
| JP2000295071A (ja) * | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Murata Mfg Co Ltd | 端面反射型表面波装置 |
| JP3705722B2 (ja) * | 1999-10-20 | 2005-10-12 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置 |
| JP3797155B2 (ja) * | 2000-09-06 | 2006-07-12 | 株式会社村田製作所 | 端面反射型表面波装置の周波数調整方法 |
| DE102006051080A1 (de) * | 2006-03-16 | 2007-10-04 | Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering | Vielschichtaktoren mit Interdigitalelektroden |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3680009A (en) * | 1971-03-18 | 1972-07-25 | Us Air Force | Acoustic surface wave delay line |
| US4016440A (en) * | 1974-05-28 | 1977-04-05 | Texas Instruments Incorporated | Particularly oriented plate-like monocrystalline piezoelectric body and acoustic surface wave filter device employing same |
| GB1591624A (en) * | 1977-01-24 | 1981-06-24 | Secr Defence | Acoustic wave devices |
| HU182815B (en) * | 1980-12-16 | 1983-11-28 | Sandor Gedeon | Planar and/or spatial toy |
| US4544857A (en) * | 1983-08-29 | 1985-10-01 | Nec Corporation | High electromechanical-coupling coefficient surface acoustic wave device |
| US5260913A (en) * | 1991-01-11 | 1993-11-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface wave device |
| US5212420A (en) * | 1991-09-03 | 1993-05-18 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for surface acoustic wave reflector grating |
| JPH05315886A (ja) * | 1992-05-14 | 1993-11-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
-
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