JPH09294045A - 端面反射型表面波共振子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の共振特性を単一の素子で実現すること
ができ、かつ複数の共振特性のインピーダンス比が同程
度であるＳＨタイプの表面波を利用した端面反射型表面
波共振子を得る。 【解決手段】 圧電基板１２の対向２端面１２ａ，１２
ｂ間でＳＨタイプの表面波を反射させる形式の端面反射
型表面波共振子１１であり、圧電基板１２上にくし歯電
極１３，１４を形成することにより、インターデジタル
トランスデューサを構成し、該インターデジタルトラン
スデューサが複数の共振特性を利用し得るように重み付
けされており、圧電基板１２に段差１２ｃ，１２ｄを形
成し、段差１２ｃ，１２ｄの上方の側面部分を対向２端
面１２ａ，１２ｂとした場合、圧電基板１２の一方面１
２ｅから段差１２ｃ，１２ｄに至る寸法ｄが、表面波の
波長をλとしたときに、ｄ／λ≧３．０とされている、
端面反射型表面波共振子１１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＢＧＳ波やラブ波
のようなＳＨタイプの表面波を利用した端面反射型表面
波共振子に関し、特に、単一の素子で複数の共振特性を
利用し得るように構成されている端面反射型表面波共振
子に関する。

【０００２】

【従来の技術】テレビション受像機やビデオテープレコ
ーダーの映像中間周波段では、隣接するチャンネルとの
障害を防止するために、隣接チャンネル映像信号周周波
数ｆａｐ及び隣接チャンネル音声信号周波数ｆａｓにお
いて信号を十分に減衰させることが必要である。図１
は、ヨーロッパのＰＡＬ方式における映像中間周波段の
減衰量−周波数特性を示す図である。図１から明らかな
ように、隣接チャンネル映像信号周波数ｆａｐ及び隣接
チャンネル音声信号周波数ｆａｓにおいて、大きな減衰
量が確保されている。

【０００３】上記のように、隣接チャンネル映像信号周
波数ｆａｐ及び隣接チャンネル音声信号周波数ｆａｓに
おいてそれぞれ大きな減衰量を確保するために、従来、
隣接チャンネル映像信号周波数ｆａｐにおいて大きな減
衰量を有するトラップと、隣接チャンネル音声信号周波
数ｆａｓにおいて大きな減衰量を有するトラップとの２
個のトラップが用いられていた。また、それぞれのトラ
ップは、ＬＣ共振回路や圧電共振子などにより構成され
ていた。

【０００４】近年、上記のような用途に用いられる圧電
共振子として、ＢＧＳ波のようなＳＨタイプの表面波を
利用した圧電共振子が注目されている。図２は、ＢＧＳ
波を利用した端面反射型の表面波共振子の一例を示す。

【０００５】端面反射型表面波共振子１は、平面形状が
四角形の圧電基板２を用いて構成されている。圧電基板
２は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミック
スやＬｉＮｂＯ₃ などの圧電単結晶からなる圧電材料に
より構成されている。圧電セラミックスの場合には、圧
電基板２は、図示の矢印Ｐ方向に分極処理されている。

【０００６】圧電基板２の上面２ａには、一組のくし歯
電極３，４が形成されており、それによってインターデ
ジタルトランスデューサ（以下、ＩＤＴと略す）が構成
されている。くし歯電極３，４は、それぞれ、複数本の
電極指３ａ〜３ｃ及び４ａ〜４ｃを有する。

【０００７】端面反射型表面波共振子１では、くし歯電
極３，４から交流電圧を印加することにより、ＢＧＳ波
が励起され、該ＢＧＳ波は図示の矢印Ｘ方向に伝搬され
る。また、ＢＧＳ波が、圧電基板２の対向２端面２ｂ，
２ｃ間で反射され、共振子１内に閉じ込められる。従っ
て、端面反射型表面波共振子１では、ＩＤＴで決定され
る周波数と、対向２端面２ｂ，２ｃ間で決定される周波
数とを一致させることにより、有効な共振特性が得られ
る。

【０００８】他方、ＳＨタイプの表面波を利用した端面
反射型表面波共振子では、ＩＤＴが形成される圧電基板
表面からある深さの領域までに、ＳＨタイプの表面波の
エネルギーの８０％程度が集中することがわかってい
る。これは、圧電基板を構成する材料や電極の形状によ
っても異なるが、圧電セラミックスを用いた場合、通
常、表面波の波長をλとしたときに、圧電基板表面から
１．５λ程度までの深さの領域であると言われている。
従って、圧電基板に溝加工を施すことにより、ＳＨタイ
プの表面波が反射される対向２端面を形成する場合に
は、圧電基板の表面から上記深さまでダイサー等により
切削加工すればよいことが知られている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記端
面反射型表面波共振子も、ＬＣ共振回路や他の形式の圧
電共振子と同様に、単一の共振特性を利用するものにす
ぎなかった。従って、隣接チャンネル映像信号周波数ｆ
ａｐ及び隣接チャンネル音声信号周波数ｆａｓの２つの
周波数位置において、トラップ特性を実現するには、２
個の端面反射型表面波共振子を用意し、接続しなければ
ならなかった。

【００１０】他方、レーリー波を利用した弾性表面波共
振子においては、単一の共振子において２個の共振特性
を有するものが示されている（例えば、国際電気技報Ｎ
ｏ．１６、第１頁〜第７頁、１９９２）。すなわち、レ
イリー波を利用した表面波共振子フィルタにおいて、０
次縦モード（基本モード）と２次縦モードとを利用した
二重モード共振子が知られており、ここでは、２個の共
振特性が得られている。

【００１１】しかしながら、上記二重モード共振子で
は、２個の共振特性を得るには、２つ以上のＩＤＴと反
射器とを必要としていた。また、その共振特性は反射器
の反射係数−周波数特性で決定されるが、反射係数の大
きい周波数領域が狭いため、良好な共振特性が得られる
範囲では、２個の共振点の差が約１ＭＨｚと非常に小さ
かった。従って、図１に示した特性の場合のように、共
振点の差が大きな２つのトラップを、上記二重モード共
振子で構成することはできなかった。

【００１２】そこで、上述したＢＧＳ波を利用した端面
反射型表面波共振子において、圧電基板上に２個のＩＤ
Ｔを形成し、２個の共振子ユニットを構成すれば、２個
の共振特性を得ることができるとも考えられる。しかし
ながら、端面反射型表面波共振子では、ＩＤＴの波長λ
と、圧電基板の対向２端面間の距離Ｌとの間には、Ｌ＝
（λ／２）×Ｎ（ただし、Ｎは整数）の関係がある。

【００１３】他方、隣接チャンネル映像信号周波数ｆａ
ｐと隣接チャンネル音声信号周波数ｆａｓとの周波数差
は上述したようにかなり大きいため、それぞれのλも大
きく異なる。例えば、圧電基板２の音速を２４００ｍ／
秒としたとき、ＰＡＬ方式の場合、隣接チャンネル映像
信号周波数ｆａｐにおける波長λａｐは７５．２μｍ、
隣接チャンネル音声信号周波数ｆａｓにおける波長λａ
ｓは５９．４μｍであった。

【００１４】従って、端面反射型表面波共振子におい
て、隣接チャンネル映像信号周波数ｆａｐに共振点を有
する共振ユニット及び隣接チャンネル音声信号周波数ｆ
ａｓに共振点を有する共振ユニットを構成しようとした
場合、対向２端面間の距離Ｌの値が大きく異なることに
なる。すなわち、ＳＨタイプの表面波を利用した端面反
射型表面波共振子では、同一基板上に共振周波数が異な
る２個の共振ユニットを形成することは非常に困難であ
ると考えられていた。

【００１５】本発明の目的は、共振周波数が異なる少な
くとも２個の共振ユニットが１つの素子として構成され
ているＳＨタイプの表面波を利用した端面反射型表面波
共振子を提供することにある。

【００１６】また、本発明の他の目的は、複数の共振特
性を利用し得るように構成されたＳＨタイプの表面波を
利用した端面反射型表面波共振子において、利用しよう
とする複数の共振特性のインピーダンス比が良好な端面
反射型表面波共振子を提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本願発明者らは、先に、
ＳＨタイプの表面波を利用した端面反射型表面波共振子
において、ＩＤＴに重み付けを施すことにより、単一の
素子で複数の共振特性を有するものを構成することがで
きることを見いだした。すなわち、特願平７−４８１５
９号に開示したように、対向２端面を有する圧電基板上
にＩＤＴを形成してなる端面反射型表面波共振子におい
て、メインローブの減衰極を、同じ電極指対数あるいは
同じ基板寸法（対向２端面間の距離）により決定される
電極指対数の正規型のＩＤＴのメインローブの減衰極の
周波数位置よりも外側に位置させるようにＩＤＴに重み
付けを施し、それによってメインローブによる共振特性
と、正規型ＩＤＴの減衰極による共振特性とを利用する
ことにより、複数個の共振特性を用いた端面反射型表面
波共振子が得られる。

【００１８】また、特願平７−２２３２２９号に開示し
ているように、交叉幅重み付けもしくは電極間引き法に
より重み付けが施されたＩＤＴにおいて、重み付けが施
されたＩＤＴの周波数特性が二山のメインローブを有
し、同じ電極指対数あるいは同じ基板端面間寸法により
決定される電極指対数を有する仮想の正規型のＩＤＴの
周波数特性のメインローブの両側の減衰極の周波数位置
に、上記二山のメインローブのピークがそれぞれほぼ一
致するように重み付けを施せば、仮想の正規型ＩＤＴの
減衰極において２つの共振特性が得られる。

【００１９】すなわち、上述したように端面反射型表面
波共振子のＩＤＴを重み付けすることにより、単一素子
において２個の共振特性を利用することができる。従っ
て、例えば、複数個の共振特性のうち、１つを隣接チャ
ンネル映像信号周波数ｆａｐ、それより周波数の高い共
振特性を隣接チャンネル音声信号周波数ｆａｓとするよ
うに上記各減衰極の位置を設定すれば、隣接チャンネル
映像信号周波数ｆａｐ及び隣接チャンネル音声信号周波
数ｆａｓにそれぞれトラップを有するトラップ回路を単
一の素子で構成することができる。

【００２０】しかしながら、これら複数の共振特性を有
する端面反射型表面波共振子では、２Ｎ次モード（ＩＤ
Ｔのメインローブによる共振特性）に比べて、２Ｎ次以
外のモード（端面反射型表面波共振子と同対数の正規型
ＩＤＴの減衰極を利用した共振特性）はインピーダンス
比、すなわち共振点と反共振点との間のインピーダンス
比が小さいため、２Ｎ次以外のモードの共振特性を利用
したトラップの減衰量が小さかった。

【００２１】そこで、本願発明者らは、上述した複数の
共振特性を利用する端面反射型表面波共振子において、
さらに、利用しようとする複数の共振特性の上記インピ
ーダンス比が良好な端面反射型表面波共振子を得ようと
して鋭意検討した結果、対向２端面の圧電基板の厚み方
向寸法を特定の大きさとすれば、２Ｎ次以外のモードに
よる共振特性の反射効率を高めることができ、従って２
Ｎ次以外のモードによる共振特性のインピーダンス比を
２Ｎ次モードによる共振特性のインピーダンス比に近付
け得ることを見出し、本発明を成すに至った。

【００２２】すなわち、本発明に係る端面反射型表面波
共振子は、圧電基板の対向２端面間でＳＨタイプの表面
波を反射させる端面反射型表面波共振子であって、一方
面上に第１，第２の溝が形成されており、第１，第２の
溝の内側の側面が前記対向２端面を構成している圧電基
板と、前記圧電基板上に形成されており、かつ複数の共
振特性を利用し得るように重み付けされたＩＤＴとを備
え、前記第１，第２の溝の深さをｈ、表面波の波長をλ
としたときに、ｈ／λ≧３．０となるように第１，第２
の溝が形成されていることを特徴とする端面反射型表面
波共振子である。

【００２３】また、本発明の別の局面によれば、圧電基
板の対向２端面間でＳＨタイプの表面波を反射させる端
面反射型表面波共振子であって、向かい合う一対の側面
において所定の高さ位置にそれぞれ段差が形成されてお
り、該段差よりも一方面側の側面部分により前記対向２
端面が構成されている圧電基板と、前記圧電基板上に形
成されており、かつ複数の共振特性を利用し得るように
重み付けされたＩＤＴとを備え、前記圧電基板の一方面
から前記第１，第２の段差までの側面部分の寸法をｄ、
表面波の波長をλとしたときに、ｄ／λ≧３．０となる
ように第１，第２の段差が形成されていることを特徴と
する端面反射型表面波共振子が提供される。

【００２４】なお、本発明の端面反射型表面波共振子で
は、ＩＤＴは、複数の共振特性を利用し得るように重み
付けが施されているが、この重み付けについては、交叉
幅重み付け法のほか、電極間引き法等によって行われて
もよく、特に限定されるものではない。

【００２５】本発明の特定的な局面によれば、上記端面
反射型表面波共振子は、前記表面波共振子が、テレビジ
ョン受像機の映像信号周波段のトラップ回路を構成する
ための共振子であり、複数個の共振特性の１つが隣接チ
ャンネル映像信号周波数、前記１つの共振特性よりも高
周波数側になる第２の共振特性が隣接チャンネル音声信
号周波数に対応されている表面波共振子である。

【００２６】作用 本発明の端面反射型表面波共振子の第１の例では、圧電
基板の対向２端面は、圧電基板の一方面上に形成された
第１，第２の溝の内側の側面、または上記段差と一方面
との間の側面部分により構成されている。そして、第
１，第２の溝の深さをｈ、並びに上記側面部分の寸法を
ｄ、表面波の波長をλとしたときに、ｈ／λ≧３．０ま
たはｄ／λ≧３．０とされている。本発明では、ｈ／λ
≧３．０またはｄ／λ≧３．０とされているため、後述
の実施例から明らかなように、２Ｎ次モード以外の共振
特性のインピーダンス比が２Ｎ次モードによる共振特性
のインピーダンス比と同等とされる。これは、本願発明
者により実験的に確かめられたものであり、従来、複数
の共振特性を有する端面反射型表面波共振子において、
２Ｎ次モード以外の共振特性のインピーダンス比に着目
し、上記溝の深さｈや側面部分の寸法ｄを調整した構成
は知られていなかった。

【００２７】すなわち、本発明は、２Ｎ次モード以外の
モードにおける共振特性のインピーダンス比が２Ｎ次モ
ードによる共振特性のインピーダンス比に比べて小さい
という問題点を初めて認識し、かつ上記のように溝の深
さｈ、側面部分の寸法ｄを調整することにより、上記問
題点を解決したことに特徴を有する。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明することにより、本発明を明らかにす
る。

【００２９】図３は、本発明にかかる端面反射型表面波
共振子の第１の実施例を示す平面図である。本実施例に
かかる端面反射型表面波共振子１１は、ヨーロッパのＰ
ＡＬ方式における隣接チャンネル映像信号周波数ｆａｐ
（＝３１．９ＭＨｚ）及び隣接チャンネル音声信号周波
数ｆａｓ（＝４０．４ＭＨｚ）におけるトラップを構成
するための共振子である。

【００３０】端面反射型表面波共振子１１は、平面形状
が矩形の圧電基板１２を用いて構成されている。圧電基
板１２は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミ
ックスやＬｉＮｂＯ₃ 、ＬｉＴａＯ₃ などの圧電単結晶
により構成されており、圧電セラミックスの場合には、
図示の矢印Ｐ方向に分極処理されている。

【００３１】圧電基板１２は、対向２端面１２ａ，１２
ｂを有する。圧電基板１２の上面には、くし歯電極１
３，１４が形成されており、それによってＩＤＴが構成
されている。くし歯電極１３，１４は、それぞれ、複数
本の電極指１３ａ〜１３ｉ及び１４ａ〜１４ｉを有す
る。

【００３２】上記電極指１３ａ〜１３ｉ及び１４ａ〜１
４ｉは、励起されるＳＨタイプの表面波の波長をλとし
た場合、λ／４の間隔を隔てて形成されている。また、
圧電基板１２の対向端面１２ａ，１２ｂに沿って形成さ
れている電極指１３ａ，１４ａ，１３ｉ，１４ｉは、幅
がλ／８とされており、他の電極指１３ｂ〜１３ｈ，１
４ｂ〜１４ｈは、幅がλ／４とされている。

【００３３】また、圧電基板１２は、対向２端面１２
ａ，１２ｂを有するが、この対向２端面１２ａ，１２ｂ
は、圧電基板１２の一対の側面において、後述の段差１
２ｃ，１２ｄを形成することにより構成されている。

【００３４】すなわち、図４に略図的断面図で示すよう
に、圧電基板１２においては、一方面１２ｅと他方面１
２ｆとを結ぶ一対の対向し合っている面において、中間
高さ位置に段差１２ｃ，１２ｄが形成されている。段差
１２ｃ，１２ｄよりも上方の側面部分が、上述した対向
２端面１２ａ，１２ｂを構成している。

【００３５】実際の製造に際しては、圧電基板１２上に
電極指１３ａ，１３ｉ，１４ａ，１４ｉについてもλ／
４の幅となるようにくし歯電極１３，１４を形成した後
に、ダイサー等により圧電基板１２を一方面１２ｅ側か
ら切削することにより、上記端面１２ａ，１２ｂ及び段
差１２ｃ，１２ｄを形成すると共に、幅がλ／８の電極
指１３ａ，１３ｉ，１４ａ，１４ｉを形成し得る。

【００３６】端面反射型表面波共振子１１では、くし歯
電極１３，１４から交流電圧を印加することにより、Ｂ
ＧＳ波が励振され、ＢＧＳ波は圧電基板１２の表面と平
行であり、かつ分極方向Ｐと直交する方向に伝搬され、
対向２端面１２ａ，１２ｂ間で反射される。

【００３７】さらに、端面反射型表面波共振子１１で
は、くし歯電極１３，１４が、複数個の共振特性を有す
るように交叉幅重み付けを施されている。この重み付け
法は、前述した特願平７−４８１５９号に開示されてい
るが、図５及び図６を参照して説明する。

【００３８】図５は、ＢＧＳ波を利用した端面反射型表
面波共振子における正規型のＩＤＴの周波数スペクトラ
ムを示す。このような周波数スペクトラムは、例えば昭
和５１年５月発行日本音響学会講演論文集第３５１頁〜
第３５２に記載されており、従来より知られているもの
である。

【００３９】なお、図５における横軸は周波数を示し、
横軸上の２Ｎ，２Ｎ−１などは、２Ｎ次モード、２Ｎ−
１次モードの共振点の位置を示し、縦軸はメインローブ
のピークを０ｄＢとしたときの減衰量を示す。

【００４０】図５から明らかなように、正規型のＩＤＴ
の場合、２Ｎ次の共振モードは、Ｎ対の電極指対数を有
するＩＤＴを構成することにより励振することができ
る。また、他の高次モードのうち、奇数のモード、すな
わち２Ｎ−１次、２Ｎ−３次、２Ｎ＋１次及び２Ｎ＋３
次などのモードは電極の対称性により励振されない。偶
数のモードについては、図５から明らかなように、共振
周波数がＮ対の対数を有するＩＤＴの周波数特性の減衰
極と一致するための励振されない。

【００４１】従って、図２に示したような正規型のＩＤ
Ｔを形成した端面反射型表面波共振子では、２Ｎ次のモ
ードのみが励振される。これに対し、図３に示した端面
反射型表面波共振子１１では、上記重み付けが施された
ＩＤＴを用いることにより複数個の共振特性が得られ
る。これを、図６を参照して説明する。

【００４２】図６の実線Ａは、複数の共振特性を有する
ように重み付けを施したＩＤＴの周波数スペクトラムを
示す。破線Ｂは、交叉幅重み付けを施した場合の上記Ｉ
ＤＴと同対数の正規型ＩＤＴの周波数スペクトラムを示
す。

【００４３】図６から明らかなように、交叉幅重み付け
を施されたＩＤＴのメインローブの減衰極は正規型ＩＤ
Ｔのメインローブの減衰極２Ｎ＋２，２Ｎ−２の外側に
構成されている。

【００４４】従って、交叉幅重み付けを施された上記Ｉ
ＤＴの周波数スペクトラムＡでは、２Ｎ−２次及び２Ｎ
＋２次のモードにおいて減衰量は比較的小さく、従って
励振されることがわかる。このように、励振される偶数
モードのうち、もっとも近くの共振特性を利用すること
により、複数個の共振特性を利用することができる。

【００４５】本実施例の端面反射型表面波共振子１１で
は、上記のようにしてＩＤＴが重み付けされて２個の共
振特性が得られており、それによって、図７に示すよう
に、隣接チャンネル映像信号周波数ｆａｐ及び隣接チャ
ンネル音声信号周波数ｆａｓにおけるトラップが単一の
素子で構成されている。

【００４６】さらに、本実施例の端面反射型表面波共振
子１１では、上記対向端面１２ａ，１２ｂの厚み方向寸
法ｄ、すなわち圧電基板１２の一方面１２ｅから段差１
２ｃ，１２ｄまでの距離ｄが、ｄ／λ≧３．０とされて
おり、それによって２Ｎ次以外のモードによる共振特性
のインピーダンス比が、２Ｎ次モードの共振特性におけ
るインピーダンス比と同程度とされている。これを、図
８を参照して説明する。

【００４７】上記端面反射型表面波共振子１１におい
て、上記寸法ｄを変化させて、２Ｎ次モードによる共振
特性のインピーダンス比と、２Ｎ次以外のモードによる
共振特性のインピーダンス比を測定した。結果を図８に
示す。

【００４８】なお、図８に示す結果は、圧電基板１２と
して、（チタン酸ジルコン酸鉛系）圧電セラミックスか
らなり、０．７×１．２×０．５ｍｍの寸法のものを用
い（但し、対向２端面間の距離は０．２５ｍｍ）、ＩＤ
Ｔを構成するくし歯電極１３，１４として、電極指の対
数が４．５対、電極指の幅が０．０２ｍｍ、電極指交叉
幅が１３λのものを用いた。

【００４９】なお、図８において、○で示す結果Ａは、
２Ｎ次以外のモードによる共振特性についての結果を、
●で示すＢは、２Ｎ次モードによる共振特性についての
結果である。

【００５０】図８から明らかなように、２Ｎ次モードに
よる共振特性では、ｄ／λ＝１．５〜２．０の範囲で表
面波のエネルギーの８０％程度が反射されるが、２Ｎ次
以外のモードによる共振特性では、ｄ／λ＝３．０程度
で初めて表面波のエネルギーの８０％が反射されること
がわかった。

【００５１】従って、ｄ／λ≧３．０とすることによ
り、２Ｎ次以外のモードによる共振特性のインピーダン
ス比を、２Ｎ次モードによる共振特性のインピーダンス
比と同程度にし得ることがわかる。

【００５２】よって、上記ｄ／λ＝３．９８の場合の共
振特性を示す図７から明らかなように、２Ｎ次モードに
よる共振特性のインピーダンス比と、２Ｎ次以外のモー
ドの共振特性によるインピーダンス比がほぼ同程度とさ
れていることがわかる。

【００５３】また、ｄ／λ≧３．０の場合に、ＩＤＴに
より励振される表面波は、対向端面１２ａ，１２ｂでそ
の８０％以上が反射されるため、段差１２ｃ，１２ｄの
下方に形成されている側面部分１２ｇ，１２ｈについて
は、さほど位置精度が要求されず、チッピング等が生じ
ていてもよい。従って、側面部分１２ｇ，１２ｈについ
ては、マザー基板から圧電基板１２を作製するに際し、
段差１２ｃ，１２ｄを形成した後にマザー基板を折るこ
とにより容易に形成することができる。

【００５４】逆に、上記側面部分１２ｇ，１２ｈについ
ては、上記のようにマザー基板を折ることにより形成
し、粗面とした方がバルク波の反射を抑圧することがで
きるため好ましい。

【００５５】上述した第１の実施例では、圧電基板１２
に対向端面１２ａ，１２ｂを形成するにあたり、圧電基
板１２の一方面１２ｅから段差１２ｃ，１２ｄに至る側
面部分を対向２端面１２ａ，１２ｂとし、かつ段差１２
ｃ，１２ｄに至るまでの寸法ｄを上記特定の範囲とする
ことにより、２Ｎ次以外のモードによる共振特性のイン
ピーダンス比を、２Ｎ次モードの共振特性のインピーダ
ンス比と同程度としていた。

【００５６】しかしながら、本発明では、上記対向２端
面を、圧電基板に溝を形成することにより構成してもよ
く、その場合には、溝の内側側面で構成される対向２端
面の厚み方向寸法を上記寸法ｄと同様に設定すればよ
い。このような実施例を、図９を参照して説明する。

【００５７】図９は、本発明の第２の実施例に係る端面
反射型表面波共振子の略図的断面図であり、第１の実施
例について示した図４に相当する図である。なお、図９
に示す端面反射型表面波共振子２１は、圧電基板２２
と、対向２端面２２ａ，２２ｂの形成方法が異なること
を除いては、第１の実施例の端面反射型表面波共振子１
１と同様に構成されている。従って、ＩＤＴを構成する
部分については、同一の参照番号を付することにより、
第１の実施例のＩＤＴの構成についての説明を援用する
ことにより省略する。

【００５８】端面反射型表面波共振子２１では、圧電基
板２２において、一方面２２ｅから他方面２２ｆに向か
って、溝２２ｇ，２２ｈが形成されている。溝２２ｇ，
２２ｈの内側側面が、対向２端面２２ａ，２２ｂを構成
している。

【００５９】また、本実施例においても、ＩＤＴは、交
叉幅重み付けにより第１の実施例の端面反射型表面波共
振子１１と同様に複数の共振特性を利用し得るように構
成されている。

【００６０】さらに、第２の実施例に係る端面反射型表
面波共振子２１では、溝２２ｇ，２２ｈの深さが、すな
わち対向２端面２２ａ，２２ｂの厚み方向寸法ｈが、ｈ
／λ≧３．０とされているため、第１の実施例の場合と
同様に、２Ｎ次以外のモードによる共振特性のインピー
ダンス比が、２Ｎ次モードによる共振特性のインピーダ
ンス比と同程度とされている。

【００６１】また、第２の実施例では、圧電基板１２を
マザー基板から製作する場合の切断面１２ｉ，１２ｊは
反射面である対向２端面２２ａ，２２ｂよりも外側に配
置されるため、バルク波による不要スプリアスを第１の
実施例の端面反射型表面波共振子１１に比べてより効果
的に抑圧することができる。

【００６２】なお、上記溝２２ｇ，２２ｈの形成につい
ては、圧電基板２２上にＩＤＴを構成する電極を形成し
た後、ダイサー等により溝加工することにより行い得
る。上述してきた図示の実施例にかかる端面反射型表面
波共振子１１，２１では、ＢＧＳ波を利用したが、本発
明におけるＳＨタイプの表面波は、ＢＧＳ波に限定され
ず、ラブ波なども用いることができる。

【００６３】また、圧電基板２２についても、圧電基板
１２の場合と同様に、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラ
ミックスのような圧電セラミックス、あるいはＬｉＮｂ
Ｏ₃、ＬｉＴａＯ₃ などの圧電単結晶により構成するこ
とができる。

【００６４】さらに、ＩＤＴを構成するためのくし歯電
極１３，１４，２３，２４についても、Ａｌ、Ａｇ、Ｐ
ｄなどの適宜の導電性材料からなるものを用いることが
できる。

【００６５】

【発明の効果】以上のように、本発明にかかる端面反射
型表面波共振子では、ＩＤＴが複数の共振特性を利用し
得るように重み付けされているため、単一の素子で複数
のトラップを構成することができ、しかも、第１，第２
の溝の深さｈ、あるいは圧電基板の一方面から段差に至
る側面部分の寸法ｄが、それぞれ、ｈ／λ≧３．０また
はｄ／λ≧３．０とされているため、２Ｎ次以外のモー
ドの共振特性のインピーダンス比を２Ｎ次モードによる
共振特性のインピーダンス比と同等とすることが可能と
されている。

【００６６】よって、単一の素子で複数の共振特性を利
用し得るだけでなく、複数の共振特性のインピーダンス
比が同等とされているため、例えば、テレビジョン受像
機の映像信号周波段の隣接チャンネル映像信号周波数及
び隣接チャンネル音声信号周波数に対応したトラップを
有するトラップ回路のように、減衰量の大きなトラップ
を複数要求される用途に最適な端面反射型表面波共振子
を提供することができ、本発明の端面反射型表面波共振
子を利用することにより、例えば、テレビジョン受像機
の映像信号周波段のトラップ回路などの種々のトラップ
回路の構成の簡略化及び部品点数の低減を果たすことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】テレビション受像機の映像中間周波段の減衰量
−周波数特性の一例を示す図。

【図２】従来のＢＧＳ波を利用した端面反射型表面波共
振子を示す斜視図。

【図３】本発明の第１の実施例にかかる端面反射型表面
波共振子の平面図。

【図４】本発明の第１の実施例に係る端面反射型表面波
共振子の断面図。

【図５】正規型ＩＤＴの周波数スペクトラムを示す図。

【図６】複数の共振特性を有するように重み付けが施さ
れたＩＤＴ及び正規型ＩＤＴの周波数スペクトラムを示
す図。

【図７】第１の実施例の端面反射型表面波共振子のイン
ピーダンス−周波数特性を示す図。

【図８】第１の実施例の端面反射型表面波共振子におい
て、圧電基板の一方面から段差まで至る側面部分すなわ
ち対向端面の厚み方向寸法ｄと、インピーダンス比との
関係を示す図。

【図９】本発明の第２の実施例に係る端面反射型表面波
共振子を説明するための断面図。

【符号の説明】

１１，２１…端面反射型表面波共振子 １２，２２…圧電基板 １２ａ，１２ｂ…対向２端面を構成する端面 １２ｃ，１２ｄ…段差 １２ｅ，１２ｆ…圧電基板の一方面及び他方面 １３，１４…ＩＤＴを構成するくし歯電極 ２２ａ，２２ｂ…対向２端面を構成する端面 ２２ｇ，２２ｈ…溝

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電基板の対向２端面間でＳＨタイプの
   表面波を反射させる端面反射型表面波共振子であって、 一方面上に第１，第２の溝が形成されており、第１，第
   ２の溝の内側の側面が前記対向２端面を構成している圧
   電基板と、 前記圧電基板上に形成されており、かつ複数の共振特性
   を利用し得るように重み付けされたインターデジタルト
   ランスデューサとを備え、 前記第１，第２の溝の深さをｈ、表面波の波長をλとし
   たときに、ｈ／λ≧３．０となるように第１，第２の溝
   が形成されていることを特徴とする、端面反射型表面波
   共振子。
2. 【請求項２】 圧電基板の対向２端面間でＳＨタイプの
   表面波を反射させる端面反射型表面波共振子であって、
   向かい合う一対の側面において所定の高さ位置にそれぞ
   れ段差が形成されており、該段差よりも一方面側の側面
   部分により前記対向２端面が構成されている圧電基板
   と、 前記圧電基板上に形成されており、かつ複数の共振特性
   を利用し得るように重み付けされたインターデジタルト
   ランスデューサとを備え、 前記圧電基板の一方面から前記第１，第２の段差までの
   側面部分の寸法をｄ、表面波の波長をλとしたときに、
   ｄ／λ≧３．０となるように第１，第２の段差が形成さ
   れていることを特徴とする、端面反射型表面波共振子。
3. 【請求項３】 前記表面波共振子が、テレビジョン受像
   機の映像信号周波段のトラップ回路を構成するための共
   振子であり、複数個の共振特性の１つである第１の共振
   特性が隣接チャンネル映像信号周波数、前記第１の共振
   特性よりも高周波数側にある第２の共振特性が隣接チャ
   ンネル音声信号周波数に対応されている、請求項１また
   は２に記載の表面波共振子。