JPH0241925B2

JPH0241925B2 -

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Publication number: JPH0241925B2
Application number: JP56180372A
Authority: JP
Priority date: 1981-11-12
Filing date: 1981-11-12
Publication date: 1990-09-20
Also published as: JPS5883418A

Description

【発明の詳細な説明】（技術分野）この発明は、弾性表面波装置関する。（発明の背景と従来例）表面波がデバイスに応用されたのは、つい最近
であるにもかかわらず、この分野の発展には目を
見張るものがある。例えば、フイルタとしての弾
性表面波装置は、従来のバルク波によるフイルタ
では良好な特性が得られない高周波帯で優位性を
有し、爆発的な勢いで研究され、より高性能な装
置が得られている。このような弾性表面波装置に
用られる弾性表面波トランスジユーサは、圧電性
基板表面に、くし歯状電極（interdigital
electrodes）を設け、圧電性基板を直接励振する
構成をとつている。但し、くし歯状電極は、対向
して二つ設け、電極指が互いに交差するようにす
る。二つのくし歯電極に電気信号が与えられる
と、交差電極指間に電界が発生し、弾性表面波を
励起する。この弾性表面波は、圧電性基板上を伝
搬するが、くし歯状電極が存在する箇所と存在し
ない箇所での音響インピーダンスが異なるので、
これらの境界領域に於いて、表面波の一部は、反
射されてしまう。この反射表面波は、出力信号に
スプリアスとして出現し、弾性表面波装置の特性
を劣化させる。従来、この欠点を除去するために、「スプリツ
ト電極」を開示する米国特許第3727155号、「浮き
電極」を開示する米国特許第3748603号、及び
「λ／８−5λ／８電極」を開示する米国特許第
3748603号が公知技術として知られている。これ
らの開示技術は、音響インピーダンスの差に起因
する音響反射表面波の位相差に注目して、音響反
射表面波が全体として打ち消されるように、くし
歯電極の電極指の幅を定めたものである。これらの技術によると、音響反射表面波は、大
幅に軽減される。しかし、発明者等の実験による
と、これらの技術だけでは、音響反射表面波によ
るスプリアスが完全に除去されないことがわかつ
た。（発明の目的）この発明は、以上の欠点を除去し、弾性表面波
トランスジユーサに於ける表面波の反射を抑圧
し、表面波の送受特性の良好な弾性表面波装置を
提供することを目的とする。（発明の構成）この発明は、弾性表面波トランスジユーサを形
成する互いに平行な導体群のうち、最も外側の導
体の一部分の幅だけを、この圧電性基板に発生す
る弾性表面波の波長の略1/4だけ太く、又は細く
することを特徴とする。但し、平行な導体群から
成る弾性表面波トランスジユーサは、入力及び出
力用の弾性表面波トランスジユーサばかりでな
く、マルチストリツプカツプラーをも含む。（発明の効果）この発明によると、弾性表面波トランスジユー
サの最外部だけには、弾性表面波伝搬経路に沿つ
て、λ／４の段差があるので、この段差で反射さ
れた弾性表面波は、λ／２の行路差を生じる。従
つて、実効上、この音響反射表面波は、互いに打
ち消し合い、この音響反射表面波は抑止されてい
る。この反射表面波が抑止されると、弾性表面波
トランスジユーサの出力からは、スプリアス信号
が減少する。実施例１次に、この発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。この実施例は、スプリツト電極を基に
し、電極の両端にλ／４の段差を設けたものであ
る。この実施例での弾性表面波装置である第１図
に示されるようなくし形電極１１，１２は、真空
蒸着によつて圧電性基板上に形成された金属膜を
写真蝕刻法により設ける。写真蝕刻法は、IC技
術に用いられているものをそのまま転用すればよ
く、しかも、マスク合わせが１回で済むので、技
術上何の支障もない。ここで用いる圧電性基板
は、LiTaO₃、LiNbO₃等であり、特に、LiNbO₃
は結合係数K²が非常に大きく、最も利用されて
いる。又、圧電性基板が限定されると、伝搬する
表面波の波長λが、弾性表面波の周波数と伝搬速
度から一義的に決定される。このような圧電性基
板上に設けられる第１図に示されるような一対の
スプリツト電極１１，１２は、共通端子１３，１
４と電極指１５ａ，１５ｂ，……２０ａ，２０ｂ
から成る。一方のスプリツト電極１１には、幅
λ／８の電極指１５ａが、共通端子１３の端から
λ／２離れた箇所に、共通端子１３に垂直に設け
られる。この電極指１５ａからλ／８の間隔を以
て電極指１５ａと平行で、かつこの電極指１５ａ
と同一幅、同一長の電極指１５ｂが設けられる。
次に5λ／８の間隔を以てやはり電極指１５ａと
平行、同一幅、同一長で電極指１６ａを設ける。
この電極指１６ａからλ／８の間隔を以て電極指
１５ａと平行、同一幅、同一長で電極指１６ｂを
設ける。そして電極指１５ａ，１５ｂに対する電
極指１６ａ，１６ｂの配置と同様にして電極指１
７ａ，１７ｂを設ける。ここで電極指１７ｂは、
共通端子１３の端部に位置する。この端部に位置
する電極指１７ｂの長さは他の電極指１５ａと同
一であるが、その形状については、本発明にとつ
て重要であり、後述する。他方のスプリツト電極
１２も、スプリツト電極１１と同形である。これ
ら２個のスプリツト電極１１，１２を対向させ、
相手の5λ／８の間隙に、電極指１５ａ，１５ｂ，
１６ａ，１６ｂ，１８ａ，１８ｂ，１９ａ，１９
ｂを挿入させ、互いに噛み合うようにする。結
局、全体として電極指１５ａ，１５ｂ，……，２
０ｂは、λ／８の間隔を以て並ぶ。次に、端部の
電極指１７ｂ，２０ｂの形状について説明する。
説明の都合上、電極指１５ａ，……，２０ａが互
いに交差する部分の長さを第１図に示されるよう
にｌとする。電極指１７ｂ，２０ｂは、その長さ
方向の端からλ／２の距離までの部分に於いて、
その幅を（λ／８＋λ／４）とし、それ以外の部
分に於いて、その幅をλ／８とする。このようなパターンが、圧電性基板（図示しな
い）に設けられ、弾性表面波トランスジユーサと
なる。この弾性表面波トランスジユーサに於ける
表面波の反射を調べることを目的とし、発明者等
は、第２図に示される装置により実験を行つた。この実験は、１組の入力用及び出力用のトラン
スジユーサ３２，３３の表面波伝搬経路上に測定
用トランスジユーサ３４を設け、入力用のトラン
スジユーサ３２から励振された弾性表面波が出力
用のトランスジユーサ３３に於いて、全て電気信
号に変換されることなく、通過することに基づい
ている。測定トランスジユーサ３４に到達した表
面波は、ここで一部反射され、出力用のトランス
ジユーサ３３に到達するが、その到達時刻が、主
応答表面波よりも遅いから、反射表面波であるこ
とが容易に識別できる。このような実験に於い
て、測定用トランスジユーサ３４として、従来の
ものと、本発明に係るものとを用い、結果を比較
する。すると、本発明に係るトランスジユーサで
は、トランスジユーサ両端での音響反射表面波が
大幅に低減されていることがわかつた。次にこの実験について、詳細に説明する。この実験装置は、第２図に示されるように、１
枚の圧電性基板３１上に、入力用及び出力用のト
ランスジユーサ３２，３３、反射表面波が測定さ
れるトランスジユーサ３４及び、吸音体３５ａ，
３５ｂを設けてなる。圧電性基板３１は、例えば
LiNbO₃である。入力用及び出力用のトランスジ
ユーサ３２，３３は、公知のトランスジユーサの
何れでも構わないが、ここでは、スプリツト電極
を用いた。これら３個のトランスジユーサ３２，
３３，３４は、圧電性基板３１上に厚さ1.0μｍの
アルミニウムを蒸着後、フオトエツチングにより
パターン形成される。次に、吸音体３５ａ，３５
ｂをスクリーン印刷用のインクを用いて圧電性基
板３１上、トランスジユーサ３２，３４から更
に、基板３１の端部よりに設けられる。この材料
は、エポキシ系の接着剤でも構わない。この吸音
体３５ａ，３５ｂの輪郭線は、弾性表面波の伝搬
経路に対して斜めになつている。吸音体３５ａ，
３５ｂは、弾性表面波を吸収するが、完全には吸
収できず、一部を反射する。ところが、輪郭線
が、弾性表面波の伝搬経路に沿つて斜めになつて
いるので、反射弾性表面波は、元の伝搬経路に復
帰することはない。次に、電気的接続を説明する。入力用のトラン
スジユーサ３２の共通端子３６は、ミキサ３７を
介し、高周波電源３８に接続される。ミキサ３７
は、パルス発生器３９にも接続される。トランス
ジユーサ３２のもう１つの共通端子４０は接地さ
れる。出力用のトランスジユーサ３３の共通端子４１
は、オシロスコープ（図示しない）と接続され
る。トランスジユーサ３３の他方の共通端子４２
は接地される。測定用トランスジユーサ３４の共通端子４３は
負荷４４を有し、他方の共通端子４５は直接接地
される。さて、このような装置による実験として、測定
用トランスジユーサ３４を２種類用意し、２つの
実験を行う。第１の実験は、測定用トランスジユ
ーサ３４として従来のスプリツト電極を用いて行
い、第２の実験は、測定用トランスジユーサ３４
として前述のような本発明に係る弾性表面波装置
を用いて行う。第１及び第２の実験は、測定用トランスジユー
サ３４以外は全て同一条件である。入力用のトラ
ンスジユーサ３２に印加される電気信号はRFパ
ルスである。即ち、高周波電源３８からの交流信
号と、パルス発生器３９からのパルス信号がミキ
サを介して、トランスジユーサ３２に印加され
る。すると、このトランスジユーサ３２からは、
表面波が励振されて、出力用のトランスジユーサ
３３に於いて受波される。但し、この出力用のト
ランスジユーサ３３と反対側に伝搬した表面波
は、吸音体３５ａにより吸収され、この測定には
関与しない。出力用のトランスジユーサ３３によ
り受波された表面波は、電気信号に変換されて、
オシロスコープで検出される。ところが、入力用
のトランスジユーサ３２から送波された表面波
は、出力用のトランスジユーサ３３に於いて完全
に受波されることはなく、一部は反射され、一部
は、そのまま通過してしまう。この通過した表面
波は、測定用トランスジユーサ３４迄伝搬し、こ
こで受波される。しかし、この測定用トランスジ
ユーサ３４に於いても一部の表面波は、そのまま
通過し、又、一部の表面波は、反射される。この
測定用のトランスジユーサ３４を通過した表面波
は、吸音体３５ｂにより吸収され、基板３１ｂ端
部での不要反射はほとんど生じない。ところが、
測定用のトランスジユーサ３４で反射された表面
波は、出力用のトランスジユーサ３３に戻つてし
まう。従つて、測定用のトランスジユーサ３４に
於ける表面波の反射状態が観測出来る。又、両端
での反射表面波は、出力用のトランスジユーサ３
３に到達する時刻が他の表面波と異なるので、後
述するように、測定上区別できる。さて測定用のトランスジユーサ３４として従来
のスプリツト電極を用いると、即ち、第１の実験
を行うと、第３図に示されるような波形がオシロ
スコープ上に表われる。この波形のうち、時間軸
に於いて、早い時刻に出現している波形５１は、
メイン応答であり、入力用のトランスジユーサ３
２から送波したい波形である。このメイン応答に
遅れて出現している振幅の小さい波形５２，５
３，５４が反射波である。この反射波は、表面波であるから、圧電性基板
３１の材質により、その伝搬速度が決定され、
又、その数値は算出される。更に、オシロスコー
プ上の波形から、メイン応答の伝搬時刻を基準に
すれば、反射波がオシロスコープ上で観測される
時間が既知となる。これらの数値から、反射波
が、測定用のトランスジユーサ３４の何処で発生
したかが明らかとなる。ところで、測定用のトランスジユーサ３４から
の反射波には、２種類ある。前述のように、表面
波伝搬がする媒質が異なる境界での反射、即ち、
音響的な反射ばかりでなく、電気的反射も存在す
る。この電気的反射は、電気的再励振に基づく。
即ち、一旦、受波された表面波が、ひとつの電極
指で拾われると、電気信号に変換される。この電
気信号は、他の電極指からすれば、外部電源から
供給された信号と何等変わることはない。従つ
て、他の電極指は、この電気信号を表面波に変換
し、出力用のトランスジユーサ３４に送波する。
これが、反射波となつてしまう。第３図に示される第１の実験に於けるオシロス
コープの波形では、波形５３が電気的反射波であ
り、波形５２，５４が音響的反射波である。前述
のように、測定用のトランスジユーサ３４上での
これらの音響反射波の発生位置が算出できる。発
明者等の計算によると、波形５２，５４は、それ
ぞれ、第２図に示される測定用のトランスジユー
サ３４の左端及び右端に於いて発生していること
がわかつた。この実験で用いている測定用のトラ
ンスジユーサ３４は、スプリツト電極なので、端
部以外での音響的反射は抑止されている。一方、第１図に示されるようなこの実施例に係
る弾性表面波装置を測定用のトランスジユーサ３
４とすると、第４図に示されるようなオシロスコ
ープ上の波形を得た。第４図に波形からは、第３
図に示される波形５２，５４が消失している。こ
の理由を測定用のトランスジユーサ３４の左端に
注目して説明する。第１図に示される本発明に係
るトランスジユーサの左端のみを第５図に示す。
最左端の電極指２０ｂは、対向する電極指１５ａ
との有効交差部分の長さｌのうち、長さｌ／２の
部分に於いてλ／４だけ太くなつている。ここで
この太くなつている方の領域を伝搬路ａ、細くな
つている方の領域を伝搬路ｂとする。すると、電
極指２０ｂで反射される表面波のうち、伝搬路ａ
での反射波と、伝搬路ｂでの反射波との行路差
は、λ／２となる。従つてこのような２種類の反
射波は、出力用のトランスジユーサ３３に於い
て、実効上、打ち消し合う。この実施例によると、低減される反射波は、音
響的反射波のみであり、電気的反射波は従来と同
一である。一般に、低挿入損失化を考慮すると、
電気的反射と音響反射とのマツチングを取る必要
がある。そのためには、音響反射を増大させれば
よい。これを実現するには、圧電性基板上に蒸着
させるアルミニウムの膜厚を増大させればよい。
このようにすると、低挿入損失化が実現される
が、同時に、トランスジユーサ端部での反射波が
顕著になる。この発明は、このように電気的反射
を抑止したために顕著になる音響反射波を有効に
抑えるという効果を有する。実施例２次に、この実施例に係る弾性表面波装置をフイ
ルタに適用した実施例を第６図に示す。入力用及
び出力用のトランスジユーサ６１，６２は、同一
形状のトランスジユーサである。これらのトラン
スジユーサ６１，６２の対向する電極指６３，６
４に於いて、λ／４太くする部分は、同一伝搬路
上にないようにする。このような構成により、こ
の実施例に於いて、表面波が励振され、受波され
る迄の間、入力用のトランスジユーサ６１内の同
一電極指から励振された表面波は、出力用のトラ
ンスジユーサ６２迄に到達する伝搬時間が等しく
なる。表面波が、圧電性基板上を通過する場合
と、電極指を通過する場合とでは、伝搬速度が異
なる。従つて、同一電極指から励振された表面波
の伝搬経路に於いて、受波された表面波の位相面
が異なると、波形に歪が生じてしまう。しかし、
この実施例は、上述のように、表面波が受波され
る際の位相面を等しくしたので、表面波の波形は
歪まない。実施例３次に、この発明をλ／８−5λ／８電極に適用
した実施例を第７図に基づいて説明する。この実
施例に於いて、表面波伝搬方向に沿つての電極指
が交差している部分の長さをl₁とする。この時、
電極の端部の電極指７１，７２の幅が5λ／８で
ある部分の長さをl₁／２、同じくその幅が（5λ／
８−λ／４）の部分の長さをl₁／２とする。但
し、この電極指７１，７２の従来の幅は5λ／８
である。この実施例では、この電極指の幅をλ／
４細くした形状としている。この実施例によつて
も、前述の実施例と同様に、弾性表面波トランス
ジユーサ端部での音響反射波を実効上抑止するこ
とができる。実施例４他の実施例を第８図に基づいて説明する。この
実施例はスプリツト電極を原型とし、端部の電極
指８１，８２に設ける段差を１個だけでなく、複
数個設けたものである。即ち、幅λ／８の電極指
８１，８２に、表面波伝搬方向への長さλ／４
で、同方向に垂直に長さａの矩形状の突起を複数
設けたものである。但し、長さａは、表面波の波
長と等しいかそれ以下に設定することが好まし
い。この実施例では、このように複数の突起を用
いたので突起８３の凸部及び凹部から、それぞれ
反射波が発生し、互いに干渉をし、打ち消し合つ
てしまう。実施例５次に、変形例を図面に基づいて説明する。基に
なる弾性表面波トランスジユーサとしては、スプ
リツト電極を用いる。但し、この例では、第９図
に示されるようにこのスプリツト電極９０とは別
個に島状の電極（これは、補助電極である）９
１，９２を設ける。そして、この島状の電極９
１，９２は共に接地しておく。この電極９１，９
２は、スプリツト電極９０に対し、λ／８の間隔
を以て設けられる。その長さは、スプリツト電極
９０の長さl₃と等しく、幅λ／８である部分の長
さがl₃／２で、全体の半分であり、残りの部分は
幅（λ／８＋λ／４）である。この時、表面波伝
搬方向に沿つて、スプリツト電極９０の電極指が
交差する領域は、長さl₂とする。この領域に対応
する島状の電極９１，９２の領域は、第１図に示
される最初に挙げた従来例と同一である。即ち、
半分の領域の幅がλ／８であり、残りの領域の幅
が（λ／８＋λ／４）である。この実施例では、
島状の電極指９１，９２を設けたので、前述の実
施例と同様に、音響反射波をキヤンセルする。更
に、トランスジユーサ端部に於ける電界の乱れも
小さくなる。従つて、このトランスジユーサの主
応答性に何等影響を与えることなく、音響反射波
をキヤンセルすることができる。又、この例のよ
うに、電極９１，９２を、長さl₂の領域よりも広
い範囲に設けておくと、次のような効果を有す
る。それは、弾性表面波トランスジユーサの電極
指交差部分の長さが数＋λ（λは弾性表面波の波
長）以下になると、表面波の拡がりが大きくな
り、長さl₂の領域だけでなく、その外側にも、音
響反射波が発生する。この実施例では、これに対
しても、音響反射波の抑止をするものである。
又、発明者等の実験によると、島状の電極９１，
９２は噛み合う電極のどちらかと電気的に接続す
れば同一の効果が得られる。これらは、島状の電
極を用いる実施例には、すべて当てはまる。実施例６この変形例として、λ／８−5λ／８電極に適
用した例を第１０図に示す。島状の電極１０１，
１０２を従来のλ／８−5λ／８電極に付加した
構造となつている。又、第８図に示されるように
複数の段差を設けた例にこの島状の電極を適用し
てもよい。すると第１１図に示されるように、や
はり、スプリツト電極全体に亘つて、島状電極を
設ける構造となる。実施例７もう一つ実施例を図面に基づいて説明する。こ
の実施例は、第７図乃至第１１図を用いて説明し
た実施例が、実質的にトランスジユーサ単体の例
であつたのに対し、第９図に示されるトランスジ
ユーサを代表にし、このトランスジユーサにより
フイルタを構成したものである。このフイルタ
は、第１２図に示されるように、入力用及び出力
用のトランスジユーサ１２１，１２２、並びに、
マルチストリツプカツプラ（Ｍulti ｓtrip Ｃ
oupler；以下MSCと略す）１２３とから成る。
入力用及び出力用のトランスジユーサ１２１，１
２２は第９図に示されるものと同一であり、スプ
リツト電極を基にし、λ／４の段差を有する島状
の電極を設けたものである。又、表面波伝搬方向
に沿つてのMSC１２３の端部の電極１２４，１
２５にも、λ／４の段差を設ける。この段差を設
ける際には、同一電極指から励振された表面波
が、MSC１２３に入射する際に、表面波の位相
面を一定にすることが必要である。ここで、
MSC１２３の下半分は、入力用のトランスジユ
ーサ１２１から励振された表面波を受波する。
MSC１２３の上半分は、表面波の出力用のトラ
ンスジユーサ１２２に表面波を送る。このことに
留意して、λ／４の段差を設ける。まず、入力用
のトランスジユーサ１２１の電極指１２６につい
て説明する。この電極指１２６は、MSC１２３
の下半分と対向して設けられる。この電極指１２
６は、２つの領域に分けられる。即ち、幅がλ／
８である伝搬路ａと、幅が（λ／４＋λ／８）で
ある伝搬路ｂとに分けられる。この伝搬路ａ，ｂ
は、表面波の伝搬方向に沿つての入力用のトラン
スジユーサ１２１内の電極指の重なりを２分割す
る。これに対して、MSC１２３の左端の電極指
１２４の下半分に於いて、伝搬路ｂ上の幅は広
く、伝搬路ｂ上の幅は狭くし、その差をλ／４と
する。このようにすると、入力用のトランスジユ
ーサ１２１から電極指１２４を通過後の表面波の
位相面は実質上等価である。次に、MSC１２３の電極指１２５の形状につ
いて説明する。この電極指１２５の形状は、上半
分が必要である。この部分が対向する出力用のト
ランスジユーサ１２２の左端の電極指１２７は、
上半分がλ／８（伝搬路ｃと呼ぶ）、下半分が
（λ／８＋λ／４）（伝搬路ｄと呼ぶ）の幅であ
り、従つてMSC１２５の電極指１２５に於いて、
伝搬路ｃ上は、幅が広く、伝搬路ｄ上は、幅が狭
く、その差はλ／４である。 MSC１２３の電極指１２４，１２５の残りの
部分については、伝搬路を変更しないで、通過す
る反射表面波を考慮して次のようにすることが望
ましい。電極指１２４の上半分は、電極指１２５
の上半分とは反対にする。即ち、電極指１２４に
於いて、伝搬路ｃ上の幅は狭く、伝搬路ｄ上の幅
は広くし、その差をλ／４とする。一方、電極指
１２５の下半分は、電極指１２４の下半分と対称
にする。即ち、電極指１２５に於いて、伝搬路ａ
上の幅を広く、伝搬路ｂ上の幅を狭くし、その差
をλ／４とする。さて、このようなフイルタは、まず、入力用の
トランスジユーサ１２１から、伝搬路ａ，ｂ上を
表面波が伝搬し、一旦、MSC１２３の下半分で
受波される。このMSC１２３で受波された表面
波は、電気信号に変換される。そしてMSC１２
３の上半分に於いて、再び表面波に変換される。
この表面波は、伝搬路ｃ，ｄ上を伝搬し、一部が
出力用のトランスジユーサ１２２に受波される。
この出力用トランスジユーサ１２２では、受波さ
れた表面波を電気信号に変換し、外部負荷に印加
する。このようなフイルタの動作に於いて、MSC１
２３では、表面波伝搬路が完全に変更する。しか
も、その際には、表面波のみが伝搬経路を変更
し、バルク波はMSC１２３を素通りするので、
出力用のトランスジユーサ１２２にはバルク波が
伝搬しない。更に、MSC１２３をも含めた各ト
ランスジユーサ１２１，１２２の端部には、λ／
４の段差があるので、音響反射波が抑止されると
いう効果を有する。又、表面波は圧電性基板上を
伝搬しても、最終的に位相面が等しいので、特性
上の乱れがない。MSC１２３の使用態様がこの
実施例に限る必要は全くない。以上、本発明について、いくつかの実施例を挙
げて説明したが、本発明は、これらの実施例には
何等拘束されるものではなく、本発明の趣旨を逸
脱しない限り種々の変形が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る一実施例の弾性表面波装
置を示す平面図、第２図は、弾性表面波装置の反
射特性を測定するため実験概要を示す図、第３図
及び第４図は、第２図に示される実験の結果を示
し、第３図は、従来の弾性表面波装置の場合のオ
シロスコープ上の波形図、第４図は、第１図に示
される弾性表面波装置の場合のオシロスコープ上
の波形図、第５図は、第１図に示される弾性表面
波装置の効果を説明するための図、第６図乃至第
１２図は、他の実施例を示す平面図である。３１……圧電性基板、３４，６１，６２，９
０，１２１，１２２，１２３……弾性表面波トラ
ンスジユーサ。

Claims

【特許請求の範囲】１圧電性基板と、この圧電性基板上に、互いに
平行に設けられた導体群から成る弾性表面波トラ
ンスジユーサとを具備し、この導体群の並び方向
についての前記導体群中の最外導体にのみ、前記
圧電性基板上で送波又は受波される弾性表面波の
伝搬方向に、前記弾性表面波の波長の略四分の一
の段差を設けることを特徴とする弾性表面波装
置。２導体群をくし歯型電極で構成することを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波装
置。３導体群を、マルチストリツプカツプラーで構
成することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の弾性表面波装置。４導体群中の最外導体を導体群中の他の導体と
一体に構成することを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の弾性表面波装置。５導体群中の最外導体を導体群中の他の導体と
分離して設けたことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の弾性表面波装置。