JPS5883418A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） ζＯ発明は、弾性表面波装置関する。

（発＠０背景と従来例） 表面波がデバイスに応用され九のは、つい最近であるに
もかかわらず、この分野ｏ＊ｙｈＫは目を見Ｉｌ為もの
がある。例えば、フィルタとしての弾性表面波装置は、
従来のバルク液によるフィルタでは嵐好な特性が得られ
ない高周波帯で優位性を有し、爆発的な勢いで研究され
、よ抄高性能な装置が得られている。ζＯような弾性表
Ｗ＊装置に層られゐ弾性表ＩＩＩ）ランスジニーすは、
圧電性基１［１１１ｉＫ、　＜　Ｌｍ状電極（ｉｎｔｅ
ｒｄｉｇｉｔａｌｅｌ・ａｔｒｏ６・−）を歇け、圧電
性基板を直接励損する構成をとっている。但し、（シ歯
状電極は、対向して二つ設け、電極指が亙いに交差する
ようにする、二つのくし画電極に電気信号が与えられる
と、交差電極指間に電界が発生し、弾性表面波を励起す
る。こ０ｌｂ表面波は、圧電性基板上を伝搬するが、＜
シ歯状電極が存在する箇所と存在しない箇所での音響イ
ンピーダンスが異なるので、これらの境界領域に於いて
、表面波〇一部は、反射されてしまう。この反射表面液
は、出力信号にスプリアスとして出現し、弾性＊ｉｉｉ
＊懺置の特装を劣化させる。

従来、この欠点を除去するために、「スプリット電極」
を開示する米−特許第８７！７１！！５号、「浮き電極
」を開示する米−特許第３７４８＠０３号、及びｒ　２
／８−！！４／ｍ電極」を開示する米国特許第３７４８
ＩＯ８号が公知技術として知られている。これらの開示
技術は、音響インピーダンス０１１ｉＫ起因する音響反
射１１両液の位相差に注目して、音響反射１１両液が全
体として打ち消されゐように、＜シ歯電１１の電極指の
幅を定めたものである。

これらＯ技術によると、音響反射表向波は、大幅に軽減
される。しかし、発明者等の実験によゐと、これらの技
術だけでは、音響反射表向波によるスプリアスが完全に
除去されないことがわかった。

（発明の目的） この発明は、以上の欠点を除去し、弾性表藺波トランス
ジューナに於ける表面波の反射を抑圧し、表面液の送受
特性の喪好な弾性表面波装置を提供することを目的とす
る。

（発明の構成） この発明は、弾性表面波トランスジニーすを形成する互
いに平行表導体群のうち、最も外側の導体の一部の幅を
、この圧電性基板に発生する弾性表面波の波長の略１／
４だけ太く、又は細くすることを特徴とする。但し、平
行な導体群から成る弾性表面液トランスジユーサは、入
力用及び出力用の弾性表面波トランスジユーサばか抄で
なく、マルチストリップカップラーをも含む。

（発明の効果）。

この発明によると、弾性表面波トランスジユーサの最外
部には、弾性ａｍ波伝搬経路に沿って、λ／４　ｏ設差
があるので、この段差で反射され九弾性表面液は、λ２
々の行路差を生じる。従って、実効上、こＯ音響反射表
面波線、互いに打ち消し合い、この音響反射表面波は抑
止される。この反射ｌＩＬ爾波が抑止されると、弾性表
藺波トランスジエーサＯ出力からは、スプリアス信号が
減少する。

（実施例１） 次に、ヒの発明の一実施例を３藺に基づいて説明する。

この実施例は、スプリット電極を基にし、電極の端部に
λ／４の段差を設は九ものであるＳζ０実施例での弾性
表ｗＩｌ装置である第１図に示されるよう表くシ形電極
龜珍、（１１は、真空蒸着によって圧電性基板上に形成
され丸金属膜を写真蝕刻織によ抄設ける。写真蝕刻法は
、ＩＣ技４１に用いられているものをそのｔま転用すれ
ばよく、シかも、１スタ会わせが１＠で済むので、技術
上例の支障もない、ζこで用いる圧電性基板は、ＬＬ？
ａｏＪ。

ＬｉＭｔｌへ等であ抄、特に、Ｌｉ１ｌｂへは結合係数
−が非常に大きく、最も利用されている。又、圧電４１
ｋａ板が限定されると、伝搬する表面液の波長λが、弾
性表面波の周波数と伝搬速度から一義的に決定される。

このような圧電性基板上に設けられる第１１１１に示さ
れるような一対のスプリット電極ａ１）。

Ｉは、共通端子ＵＳ、ａ◆ト電ｉｔ　指（１５ａ）、　
（１５ｂ）、−−−−・（２０ａ）、　（２０ｂ）から
成る。一方のスプリット電極部には、幅λ１の電極指（
１５ｍ）が、共通端子（ｉｓの端からλ７々離れた箇所
に１共通端子αＩＫ垂直に設けられる。この電極指（Ｉ
Ｓａ）からλ７１の間隔を以て電−指（１５ａ）と平行
で、かつこの電極指（１５ａ）と同一幅、同一長の電極
指（１５ｂ）が設けられる。次に５λ２４の間隔を以て
中は抄電極指（１５ａ）と平行、同一幅、同一長で電極
指（１６ａ）を設ける。この電極指（１６ａ）から２／
８０間隔を以て電極指（１５ａ）と平行、同一幅、同一
長で電極指（１６ｂ）を設ける。

そして電極指（ｘｓａ）、　（ｔａｂ）に対する電極指
（１６ｍ）。

＜１６ｂ）　０配置と同様にして電極指（１７ｍ）、　
（１７ｂ）を設ける。ここで電極指（１７ｂ）は、共通
端子部の端部に位置する。この端部に位置する電極指（
１７ｂ）の長され他の電極指（１５ｍ）と同一であるが
、その形状については、本発明にとって重要であ抄、後
述する。他方のスプリット電極部も、スゲリット電極部
と同影である。ヒれら鵞個のスプリット電極り、りを対
向させ、相手Ｏ５Ｊ／１り間隙に、電極指（１５ａ）、
　（１５ｂ）、　（１６ａ）、　（１６ｂ）、　（１８
ａ）、　（１８ｂ）、　（１９ａ）。

（１９ｂ）を挿入させ、互いに噴み合うようＫする。

結局、全体として電極＃Ｉ（１５ｍ）、　（ＩＳｂ）、
−＝ｉ　（２０ｂ）は、λ７４の間隔を以て並ぶ。次に
、端部の電極指（１７ｂ）、　（２Ｇ’ｂ）の形状につ
いて説明する。説明の都合上、電極指（ｔＳａ）、・・
・・・、　（２ｏｂ）が互いに交差する部分の長さを第
１図に示されるようＫＪとする。

電極指（１７１））、　（！Ｏｂ）は、その長さ方向の
端からｌの距離までの部分に於いて、その輻を（イ＋２
／４　）とし、それ以外の部分に於いて、その輻をλ２
１とする。

このようなパターンが、圧電性基１［（図示しない）に
設けられ、弾！ｋｌｌｌｌ１ｍ　）ランスジエーサとな
る。仁の弾性表面波トランスジューサに於は為表面波の
反射を調べる仁とを目的□とし、発明者等は、第２図に
示される装置により実験を行つ九。

この実験は、１組の入力用及び出力用のトランスジュー
サ（３２）、　（３３）の表面波伝搬経路上に測定用ト
ランスジューサ（３４）を設け、入力用のトランスジュ
ーサ（３２）から励振された弾性表面波が出力用のトラ
ンスジニー？（３３）Ｋ於いて、全て電気信号に変換さ
れることなく、通過することに基づいている。測定トラ
ンスジューサ（３４）に到達し九表面波は、ここで一部
反射され、出力用のトランスジューす（３３）に到達す
るが、その到達時刻が、主応答表面波よりも遅いから、
反射表面波であることが容易に識別できる。このような
実験に於いて、測定用トランスジューサ（３４）として
、従来のものと、本発明に係るものとを用い、結果を比
較する。

すると、本発明に係るトランスジューサでは、トランス
ジューサ両端での音響反射表面波が大幅に低減されてい
ることがわかつ九。

次にとの実験について、詳細に説明する。

この実験装置は、第２図に示されるように、１枚の圧電
性基板（３１）　ｆに、入力用及び出力用のトランスジ
ューサ（３２）、　（３３）、反射表面波が測定される
トランスジューサ（３４）及び、吸音体（３５ｍ）、　
（３５ｂ）を設けてなる。圧電性基板（３１）は、例え
ばＴ、ｔｉＮｋＩＯ。

である。入力及び出力用のトランスジューサ（諺）。

（３３）は、公知のトランスジューサの何れでも構わな
いが、ζこでは、スプリット電極を用いえ。これら３個
のトランスジューサ（３２）、　（３３）、　（３４）
は、圧電性基板（３１）上に厚さ１７）μ鯛のアル建ニ
ウムを蒸着後、フォトエツチングによ抄パターン形成さ
れる。次に１吸音体（３５ａ）、　（３５ｂ）をメタ９
−ｙ印Ｈ４用ｏインクを用いて圧電性基［（３１）上、
トランスジューサ（３２）、　（３４）から更に、基板
（３１）の端部よ伽に設けられる。仁の材料は、エポキ
シ系の接着剤でも構わない、この吸音体（３８ａ）、　
（３５ｔｚ）の輪郭線は、弾性表面波０伝搬経路に対し
て斜めＫなっている。

吸音体（３５ｍ）、　（３５ｂ）は、弾性表面波を吸収
するが、完全には吸収できず、一部を反射する。ところ
が、輪、郭纏が、弾性表面波Ｏ伝搬経路に沿って斜めに
なっているので、反射弾性表面波は、元０伝搬経路に復
帰することはない。

次に、電気昨接続を脱骨する。入力用のトランスシュー
＋　（３２）Ｏ１ｌｉｆｉｌ子（３６）ｔｒｉ、ｔｔｔ
＜ｖ＞＊：介し、高周波電ｍ　（３Ｂ）に接続される。

ンキサ（３７）は、パルス発生器（３９）にも接続され
る。トランスジューサ（３２）のもう１つの共通端子（
４ｏ）は接地される。

出力用のトランスジューサ（３３）の共通端子（４１）
は、オシロスコープ（図示しない）と接続される。

トランスジューサ（３３）の他方の共通端子（４２）は
接地される。

測定用トランスジューサ（３４）の共通端子（４３）は
負荷（４４）を介し、他方の共通端子（４５）は直接麺
地される。

さて、このような装置にょる実験として、測定用トラン
スジュー＋　（３４）を２種類用意し、２つの実験を行
う。第１の実験は、１１１１定用トランスジユーサ（３
４）として従来のスプリット電極を用いて行い、第２の
実験は、測定用トランスジューサ（３４）として前述の
ような本発明に係る弾性表両波装置を用いて行う。

第１及び第２の実験線、測定用トランスシュー？　（３
４）以外は全て同一条件である。入力用のトランスジエ
ーサ（３２）に印加される電気信号はＲＦ／（ルスであ
る。即ち、高周波電源（３８）からの交流信号と、パル
ス発生器（３９）からのパルス信号がｚｄＰすを介して
、トランスジューサ（３２）に印加される。

すると、こアトランスジューサ（３２）からは、１１ｗ
波が励振されて、出力用のトランスジューサ（３３）に
於いて受波される。但し、この出力用のトランスジュー
サ（３３）と反対側に伝搬し九表面波は、吸音体（３５
ａ）により吸収され、この測定Ｋａ関与しない。出力用
のトランスジューサ（＆Ｉ）　Ｋよ勢受液され九表面波
は、電気信号に変換されて、オシ−スコープで検出され
る。とζろが、入力用のトランスジューサ（＆りから送
波され九表面波は、出力用のトランスジューサ（＆４）
に於いて完全に受波されることはなく、一部は反射され
、一部は、そのｔま通過してしまう。この通過した表面
波は、測定用トランスジュー？　（３４）迄伝搬し、ζ
こで受波される。しかし、この測定用トランスジューす
（３４）に於いても一部の表面波は、そのｔ壜通過し、
又、一部の表面波は、反射される。こｏｗｅ用Ｏトラン
スジューサ（３４）を通過した表面波は、吸音体（３５
ｂ）によ抄吸収され、基板（３１１：＋）端部での不要
反射はほとんど生じない。ところが、測定用のトランス
ジューサ（３４）で反射された表面波は、出力用のトラ
ンスジューサ（３３）に戻ってしまう。従って、測定用
のトランスジューサ（３４）に於ける表面波の反射状態
が観測出来る。又、両端での反射表面波は、出力用のト
ランスジューサ（３３）に到達する時刻が他の表面波と
異なるので、後述するように、測定上区別できる。

さて測定用のトランスジューサ（３４）として従来のス
プリット電極を用いると、即ち、第１の実験を行うと、
第３図に示されるような波形がオシロスコープ上ＫＩＮ
われる　この波形のうち、時間軸に於いて、早い時刻に
出現している波形（５１）は、メイン応答であり、入力
用のトランスジューサ（３２）から送波したい波！であ
る。このメイン応答に遅れて出現している振幅の小さい
波形（５２）、　（５３）、　（５４）が反射液であゐ
。

この反射波は、−表面波であるから、圧電性基板（３１
）の材質によし、その伝搬速度が決定され、又、その数
値は算出される。更に、オシ關スコープ上の波形から、
メイン応答の伝搬時刻を基準にすれば、反射波がオシロ
スコープ上で観測される時間が既知となる。これらの数
値から、反射波が、測定用のトランスジューサ（３４）
の何処で発生したかが明らかとなる。

ところで、測定用のトランスジューサ（３４）からの反
射−には、２種類ある。前述のように、表面波伝搬がす
る媒質が異なる境界でＯ反射、即ち、音響的な反射ばか
りでなく、電気的反射も存在する。この電気的反射は、
電気的再励振に基づく。

即ち、一旦、受波された表面液が、ひとつの電極指で拾
われると、電気信号に変換される。この電気信号は、他
の電極指からすれば、外部電源から供給され良信号と何
等変わゐことはない。従って・、他の電極指は、この電
気信号を表面波に変換し、出力用のトランスジューサ（
３４）　Ｋ送波する。これが、反射波となってしまう。

第３図に示される第１の実験に於けるオシ−スコープの
波形では、波形（５３）が電気的反射波であ抄、波形（
５２）、　（５４）が音響的反射波である。前述のよう
に、測定用のトランスジューサ（３４）上でのこれらの
音響反射波の発生位置が算出できる。発明者等の計算に
よると、波形（５２）、　（５４）は、それぞれ、第２
図に示される測定用のトランスジューサ（３４）の左端
及び右端に於いて発生していることがわかった。この実
験で用いている測定用のトランスジューサ（３４）は、
スプリット電極なので、端部以外での音響的反射は抑止
されている。

、一方、第１図に示されるようなこの実施例に係る弾性
表面波装置を測定用のトランスジューサ（３４）とする
と、第４−に示されるようなオシロスコープ上の波形を
得た。第４図の波形からは、第３図に示される波形（５
２）、　（５４）が消失している。ζＯＩＩ自を測定用
のトランスジューサ（＄４）の左端に注目して説明する
。第１図に示される本発明に係ゐトランスジューサの左
端のみを第５図に示す。

最左端の電極指（２０ｔ＋）は、対向する電極指（ｔＳ
ａ）との有効交差部分の長さＪのうち、長さ４／２０部
分に於いてλ／４だけ太くなっている。ζこでζＯ太く
なっている方の領域を伝搬路１、細くなっている方Ｏ領
域な伝搬ＩＩｂとする。すると、電極指（２０ｂ）で反
射される表面波のうち、伝搬路１での反射波と、伝搬路
すでＯ反射波とＯ行路差は、λ／２となる。従ってこＯ
よう１２種類の反射液は、出力用のトランスジューサ（
３３）に於いて、実効上、打ち消し合う。

この実施例によると、低減される反射波は、音響的反射
＠（Ｄみであり、電気的反射波は従来と岡−である。一
般に１低挿入損失化ｔ！Ｉ慮すると、電気的反射と音響
反射とのマツチングを取る必要がある。そのためには、
音響反射を増大させればよい。とれを実現するには、圧
電性基板上に蒸着させるアルミニウムＯ膜厚を増大させ
ればよい。

このようＫすると、低挿入損失イヒが実現されるが、同
時に、トランスジューサ端部での反射波が蒸着になる。

この発明は、このように電気的反射を抑止した丸めに顕
著になゐ音響反射波を有効に抑えるという効果を有する
。

次に１この実施例に係る弾性表面波装置をフィルタに適
用した実施例を第６図に示す。入力用及び出力用のトラ
ンスジューサ（６１）、　（６２）は、同一形状のトラ
ンスジューサである。これらのトランスジューサ（６１
）、　（６２）の対向する電極指（＆ｌ）、　（６４）
に於いて、λ／４太くする部分は、同一伝搬路上にない
ようにする。このような構成によ抄、この実施例に於い
て、表面波が励損され、受波される迄の間、入力用のト
ランスジューサ（６１）内の同一電極指から励振され九
表面波は、出力用のトランスジューサ（誓−に到達する
伝搬時間が等しくなる。表面波が、圧電性基板上を通過
する場合と、電極指を通過する場合とでは、伝搬速度が
異なる。従って、同一電極指から励振され九表面波の伝
搬経路に於いて、受波され九表面波の位相面が異なると
、波形に歪が生じてしまう。しかし、この実施例は、上
述のように１素面波が受波される際の位相面を等しくし
たので、表面波の波形は歪まない。

（実施例３） 次に、この発明を２７＠−５Ｖ＠電極に適用し九実施例
を第７図に基づいて説明する。この実施例に於いて、１
１面波体搬方方向沿っての電極指が交差している部分の
長さを為とする。この時、電１１０端部の電極指（７１
）、　（７２）　０幅が５２／１ｒｃあゐ部分の長さを
鳥／λ同じくその幅が（５Ｖ８−λｈ）の部分の長さを
４／２とする。但し、この電極指（７１）、　（７２）
の従来の幅は５λ２１である。このＩＩｌ施例では、こ
の電極指の幅をλ／４　ＭＡ＜　１．た形状としている
。この実施例によっても、前述の実施例と同様に、弾性
表面波トランスジューサ端部での音響反射波を実効上抑
止することができる。

′（実施例４） 他の実施例を第８図に基づいて説明する。この実施例は
スプリット電極を厚部とし、端部の電極指（８１）、　
（８２）に設ける段差を１個だけでなく、複数１ｉ１Ｈ
ｔたものである。即ち、幅いの電極指（Ｉｌｌ）。

（８２）に、表面波伝搬方向への長さＶ４で、同方向に
垂直に長さａの矩形状の突起を複数設けえものである。

但し、長さａは、表面波′ｏ＃ＩＬ長と等しいかそれ以
下に設定することが好ましい。この実施例では、このよ
うに複数の突起を用いたので突起（０）の６部及び凹部
から５、それぞれ反射波が発生し、互いに干渉をし、打
ち消し合ってしまう。

（実施例５） 次に、変形例を図面に基づいて説明する。基になり弾性
表面波トランスジューサとしては、スゲリット電極を用
いる。但し、この例では、第９図に示されるようにこの
スプリット電極（９０）とは別個に島状の電極（これは
、補助電極である）　（９１）。

（９２）を設ける。そして、仁の島状の電極（９１）、
　（９２）は共に接地しておく。この電極（９１）、　
（９２）は、スプリット電極（９ｏ）に対し、いの間隔
を以て設けられる。その長さは、スプリット電極（９０
）の長さ爲と等しく、幅λ７１であり部分の長さが為／
２で、全体の半分であり、残粉の部分は幅（Ｊ／Ｊ！＋
λ／４）である。この時、表面波伝搬方向に沿って、ス
プリット電極（９ｏ）の電極指が交差する領域は、長さ
為とする。この領域に対応する島状の電極（９１）、　
（９２）の領域は、第１図に示される最初に挙げた従来
例と同一である。即ち、半分Ｏ領域Ｏ＠がｉであり、５
！Ｉ抄の領域の幅が（λ／＆＋Ｖ４）であゐ、ζＯ実施
例では、島状の電極指（ｏｌ）、　ｍ）を設は九ので、
前述の実施例と同様に、音響反射波をキャンセルする。

更に、トランスジューサ端部に於ける電界Ｏ乱れも小さ
く危る。従って、このトランスジューサの主応答性に何
等影響を与えること表く、音響反射液をキャンセルする
ことができる。又、こ０例のように、電極（９１）、　
＜ｅｘ）を、長さＪ、　０領域よ伽も広い範囲′に設け
ておくと、次のような効果を有する。それは、弾性＊両
波トランスジエーサＯ電極指交差部分の長さが数＋λ（
λは弾ＳａＷ波Ｏ波長）以下になると、表面波の拡が抄
が大きくな抄、長さ為の領域だけでなく、その外側にも
、音響反射波が発生する。この実施例では、これに対し
ても、音響反射波の抑止をするものである。又、が得ら
れる。これは、島状の電極を用いる実施例には、すべて
尚ては壕ゐ。

この変形例として、λ／８−５２／−極に適用した例を
第１０１１に示す。島状の電極（１０１）、　（１０２
）を従来のλ／８−５λ２４電極に付加し九構造となっ
ている。又、第８図に示されるように複数の段差を設は
九例にこの島状の電極を適用してもよい。すると第１１
図に示されるように、やはり、スプリット電極全体に亘
って、島状電極を設ける構造となる。

（実施例７） もう一つ実施例を図面に基づいて説明する。この実施例
は、第７図乃至第１１図を用いて説明し九実施例が、実
質的にトランスジューサ単体の例であつ九〇に対し、第
９図に示されるトランスジューサを代表にし、このトラ
ンスジューサによりフィルタを構成したものである。こ
のフィルタは、第１２図に示さ′れるように、入力用及
び出力用のトランスジューサ（１２１）、　（１２２）
、並びに、マルチストリップカップラ（Ｍｕｌ、ｉ　５
ｔｒｉｐ　Ｃｏｕｐｌｅｒ　１以下ＭＥＩＣ′と略す）
　（１２３）とから成る。入力用及び出力用のトランス
ジューサ（１２１）、　（１２２）は第９図に示される
ものと同一であり、スプリット電極を基にし、λ／４の
段差を有する島状の電極を設は九ものである。又、表面
波伝搬方向に沿ってのＭ　８０　（１２３）の端部の電
極（１！４）、　（１２Ｂ）　Ｋも、λ／４の段差を設
ける。こｅｘ差を設ける際には、同一電極指から励振さ
れ九表波体が、Ｍｓｅ（１２３）に入射する際に１表面
液の位相側を一定にすることが必要である。ここで、Ｍ
ｅ（：！　（１２８）０下半分紘、入力用のトランスジ
ューサ（１２１）から励損され九表波体を受波する。Ｍ
　８０　（１２３）の上半分は、表面波の出力用のトラ
ンスジューサ（１２２）に表面波を送る。このことに留
意して、λ／４の段差を設ける。まず、入力用のトラン
スジューｔ　（ｉｎ）の電極指（１２ｇ）にりいて説明
する。この電極指（１２ｇ）は、Ｍ　８０　（１２Ｂ）
の下半分と対向して設けられる。この電極指（１２６）
は、２つの領域に分けられる。即ち、幅がいである伝搬
路ａと、幅が（λＡ＋λβ）であゐ伝搬路すとに分けら
れゐ。この伝搬路ａ、ｂは、表面波Ｏ伝搬方向に沿って
の入力用のトランスジューサ（１２１）内の電極指の重
＆？を２分割する。これに対して、Ｍｅ　Ｏ（１２３）
の左端の電極指（１２４）の下半分に於いて、伝搬路す
上の幅は広く、伝搬路す上の幅は狭くシ、その差をＶ４
とする。このようにすると、入力用のトランスジューサ
（１２１）から電極指（１２４）を通過後の表面波の位
相面は実質上等価である。

次Ｋ　ＸＭｅ　ｃ　（１２３）の右端の電極指（１２５
）の形状について説明する。この電極指（１２５）の形
状は、上半分が重要である。この部分が対向する出力用
のトランスジューサ（１２２）の左端の電極指（１２７
）は、上半分がλＡ（伝搬路Ｃと呼ぶ）、下半分が（λ
／８＋λ／４）（伝搬路ｄと呼ぶ）の幅である。従って
Ｍ　Ｓ　Ｏ（１２５）の電極指（１２５）に於いて、伝
搬路Ｃ上は、幅が広く、伝搬路ｄ上は、幅が狭く、その
差はλ／４である。

ｌＪ８　ｃ　（１２３）の電極指（１２４）、　（１２
５）の残粉の部分については、伝搬路を変更しないで、
通過する反射表面液を考慮して次のようにすることが望
ましい。電極指（１２４）の上半分は、電極指（１２５
）の上半分とは反対にする。即ち、電極指（１２４）に
於いて、伝搬路Ｃ−トの幅は狭く、伝搬路ｄ上の幅は広
くシ、その差をλ／４とする。一方、電極指（１２５）
の下半分は、電極相（１２４）の下半分と対称にする。

即ち、電極指（１２５）に於いて、伝搬路ａ上の幅を広
く、伝搬路す上の幅を狭くシ、その差をλ／４とする。

さて、このようなフィルタは、まず、入力用のトランス
ジューサ（１２１）から、伝搬路ｔ、ｂ上を表面波が伝
搬し、一旦、Ｍ８（！（１２３）の下半分で受波される
。このＭ　８　ｃ　（１２３）で受波され九表波体は、
電気信号に変換される。そしてＭ　８　ａ　（１２３）
の上半分に於いて、再び表面波に変換される。この表面
波紘、伝搬路ｃ、ｄ上を伝搬し、一部が出力用のトラン
スジュー？　（１２２）に受波される。この出力用トラ
ンスジューサ（１２２）では、受波された表面波を電気
信号に変換し、外部負荷に印加する。

このよう麿フィルタＯ動作に於いて、Ｍｇａ（１２１１
）では、表面波伝搬路が完全に変更する。しか４、その
際には、表面波のみが伝搬経路を変更し、バルク波はＭ
ＥＩＯ（１２３）を素通りするので、出力用のトランス
ジューサ（１２２）にはバルク波が伝搬しない。

更に、ＭＢＣ（１２３）をも含めた各トランスジューサ
（１２１）、　（１２２）の端部には、λ／４の段斃が
あるので、音響反射波が抑止されるという幼果を有する
。又、六波体は圧電性基板上を伝搬しても、最終的に位
相面が等しいので、特性上の乱れがない。ＭＢＣ（１２
３）の使用態様がこの実施例に限る必要は全くない。

以上、本発明について、いくつかの実施例を挙げて説明
したが、本発明は、これらの実施例には何等拘束される
ものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限り種々の変
形が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る一実施例の弾性表面波装置を示す
平面図、第２図は、弾性表面波装置の反射特性を測定す
るため実験概要を示す図、第３図及び第４図は、第２図
に示される実験の結果を示し、第３図は、従来の弾性表
面波装置の場合のオシロスコープ上の波形図、第４図は
、第１図に示される弾性表面波装置の場合のオシロスコ
ープ上の波形図、第５図は、第１図に示される弾性表面
波装置の効果を説明するための図、第６図乃至第１２図
は、他の実施例を示す平面図である。 （３１）、・・・圧電性基板 （３４）、　（６１）、　（誓）、（智）、（早）、□
□□）、（押）・・・弾性表面波トランスジューサ 第３図 第５図 第　　６　図 第　　７　図 第８図 Ｂ　ご 第　　９　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　　圧電性基板と、ζＯ圧電性基板上に、夏場に
   平行に設けられ良導体群から成る弾性表ＩＮＩＩ）ラン
   スジニーすとを真備し、ζＯ導体詳Ｏ！１び方向にりい
   ての前記導体群中の最外導体に対して、前記圧電性基板
   上で送液又は受波されゐ弾性表ＩＩ腋の＠搬方崗に１前
   記弾！に表面液の液長の略四分の−の設差を設けること
   を特徴とする弾性表面波装置。 （２）導体群をくし歯部電極で構威すゐことを特徴とす
   る特許−求Ｏ範■第１項記載Ｏ弾ＳａＷ波鋏置。 （勅　導体群を、マルチストリップカッグツ−で構威す
   ｈことを特徴とす為特許請求の範■嬉１項記載の弾＊＊
   ｉｉｉ波装置。 （４）導体群中の最外導体を導体群中０６０導体と一体
   に構威すゐことを特徴とする特許請求Ｏ範囲第１項記載
   の弾性表面波装置。 （瞬　導体群中の最外導体を導体群中の他の導体と分離
   して設は九ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の弾性表面波装置。