JPH0328595Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は表面弾性波を送信・受信する表面弾性
波装置に関する。

(ロ) 従来技術 電気信号を一旦機械的な表面弾性波に変換し、
再び斯る表面弾性波を受信して電気信号に復元す
る表面弾性波装置が現在する。

第１図は特公昭56−15613号公報に開示された
此の種表面弾性波装置を示し、１は表面弾性波を
伝播せしめ得る基板、２は電気信号を表面弾性波
に変換する送信トランスジユーサ、３は伝播して
来る表面弾性波を受信し電気信号に復元する受信
トランスジユーサで、上記送信トランスジユーサ
２は、正規型のインターデイジタル電極から成る
受信電極３と相俟つて所望のフイルタ特性を実現
すべく電極指４，４……の交叉幅を異ならしめた
アポダイズ法による重み付けが施されたインター
デイジタル電極５と、受信トランスジユーサ３側
に向つて伝播する必要な表面弾性波のみ位相歪を
補償する第１〜第４のダミー電極６ａ〜６ｄと、
を含んでおり、従つて逆方向の基板端面１ａに向
つて伝播する不要な表面弾性波の位相歪は補償さ
れない。

尚、図中破線７ａ，７ｂは重み付けインターデ
イジタル電極５に於ける同電位の電極指４ａ，４
ｂ……の先端を結ぶ包絡線である。

この様な構造の表面弾性波装置にあつては、受
信トランスジユーサ３側に向つて伝播する必要な
表面弾性波に対しては位相歪が補償され、不要な
逆方向の基板端面１ａに伝播する表面弾性波につ
いては位相歪を補償せず、この逆方向に伝播する
表面弾性波の位相歪を補償するためのダミー電極
を割愛することができ、斯るダミー電極端部での
スプリアスの原因となる反射を抑圧することがで
きる。

然し乍ら、上述の如く不要な表面弾性波の位相
歪を補償するためのダミー電極の割愛はスプリア
スに対し有効な構造であるにも拘らず、それ以外
の第１〜第４のダミー電極６ａ〜６ｄは不可欠な
存在であり、斯る第１〜第４のダミー電極６ａ〜
６ｄの存在によるバルク波応答については未だ解
決されるに至つていない。

(ハ) 考案の目的 本考案は斯る点に鑑みて為されたものであつ
て、その目的は、必要な方向に伝播する表面弾性
波若しくは伝播し受信せしめられる表面弾性波に
対して位相歪を補償すると共に、バルク波応答に
ついても低減せしめること、にある。

(ニ) 考案の構成 本考案表面弾性波装置は、表面弾性波を送信・
受信する送信・受信トランスジユーサの少くとも
一方が、電極指の交叉幅が最大となる最大交叉部
を略中心にして交叉幅が漸次減少するメインロー
ブ、該メインローブの両側に連設され一旦減少し
た交叉幅が再び増大した後減少するサイドローブ
及び前記電極指の先端部を結ぶ一対の包絡線に沿
つて形成される一対の共通電極を備える重み付け
インターデイジタル電極と、該重み付けインター
デイジタル電極のホツト側の櫛型電極と電気的に
遮断されると共に、前記メインローブにて励振さ
れ他方のトランスジユーサ側に向かつて伝播する
表面弾性波若しくは他方のトランスジユーサ側か
ら伝播して前記メインローブにて受信される表面
弾性波の前記共通電極の外側における伝播路にお
いて前記重み付けインターデイジタル電極の電極
指の延長位置に該電極指と平行に形成されて前記
表面弾性波に対して位相歪を補償する第１及び第
２のダミー電極と、前記重み付けインターデイジ
タル電極のホツト側の櫛型電極と電気的に遮断さ
れると共に、前記他方のトランスジユーサから遠
い側のサイドローブにて励振され前記他方のトラ
ンスジユーサ側に向かつて伝播する表面弾性波若
しくは前記他方のトランスジユーサ側から伝播し
て前記他方のトランスジユーサから遠い側のサイ
ドローブにて受信される表面弾性波の、前記メイ
ンローブと前記他方のトランスジユーサから遠い
側のサイドローブとの間の前記共通電極の外側の
凹み部における伝播路において前記重み付けイン
ターデイジタル電極の電極指の延長位置に該電極
指と平行に形成されて前記表面弾性波に対して位
相歪を補償する第３及び第４のダミー電極と、を
備えることを特徴とする。

(ホ) 実施例 第２図は本考案の一実施例を示し、１０は
LiTao₃単結晶、LiNbo₃単結晶、PZTセラミツ
ク、等の圧電物質から成る基板、１１は該基板表
面に設けられたアポダイズ法により重み付けされ
たインターデイジタル電極１２を含む送信トラン
スジユーサ、１３は該送信トランスジユーサ１１
から送信された表面弾性波を受信する重み付けが
施されていない正規型のインターデイジタル電極
構成の受信トランスジユーサ、１４は上記送信・
受信トランスジユーサ１１，１３間に設けられ両
トランスジユーサ１１，１３の表面弾性波を介さ
ない直接電磁結合をシールドするシールド電極、
１５ａ，１５ｂは上記両トランスジユーサ１１，
１３と基板端面１０ａ，１０ｂとの間に塗布され
たアルキド樹脂等から成る不要な表面弾性波を吸
収する吸収体である。

而して、本実施例の特徴は受信トランスジユー
サ１３側に向つて伝播する表面弾性波についての
み位相歪を補償する第１〜第４のダミー電極１６
ａ〜１６ｄを含む送信トランスジユーサ１１の構
成にある。即ち、送信トランスジユーサ１１を構
成する重み付けインターデイジタル電極１２は、
その重み付けをアポダイズ法により施す電極指１
７ａ，１７ｂ……の包絡線に沿つて、交互に交叉
する電極指１７ａ，１７ｂ……を共通に接続する
２本の共通電極線１８ａ，１８ｂ……を有し、斯
る共通電極線１８ａ，１８ｂは、所望なフイルタ
特性を呈すべく中央部に於いて電極指１７ａ，１
７ｂ……の交叉幅が最大となるメインローブ１９
ａと、その両サイドに一旦減少した交叉幅が再び
増大する第１・第２のサイドローブ１９ｂ，１９
ｃとを規定している。更に、上記メインローブ１
９ａの中央部を境に受信トランスジユーサ１３側
には最大交叉部の各先端１７am，１７bmから励
振せしめられた表面弾性波の位相を補償すべく第
１・第２のダミー電極１６ａ，１６ｂが設けられ
ている。然し乍ら、上記各先端部１７am，１７
bmから逆方向の基板端面１０ａに向つて励振さ
れる表面弾性波についてはダミー電極による位相
歪の補償は施されていない。

一方、上記中央の最大交叉部に対し基板端面１
０ａ側に配置せしめられた第２のサイドローブ１
９ｃの存在により、斯る第２のサイドローブ１９
ｃの交叉部から受信トランスジユーサ１３側に向
つて励振される表面弾性波の位相歪を補償すべ
く、メインローブ１９ａと第２のサイドローブ１
９ｃとの界面付近に於ける共通電極線１８ａ，１
８ｂの凹み部に於いて、該共通電極線１８ａ，１
８ｂとは電気的に遮断された状態のストライプ状
第３・第４ダミー電極１６ｃ，１６ｄが設けられ
ている。

従つて、上記第３・第４ダミー電極１６ｃ，１
６ｄはインターデイジタル電極１２に対し電気的
に遮断されており、斯るインターデイジタル電極
１２に於ける電極部が占有する面積（以下電極面
積と呼ぶ）が減小する。更に、第１ダミー電極１
６ａについてもインターデイジタル電極１２と接
続されることなく電気的に遮断されている。即
ち、バルク波応答はインターデイジタル電極１２
の電極面積に比例して大きくなる点を考慮し、第
１・第３・第４ダミー電極１６ａ，１６ｃ，１６
ｄを上記電極面積から減じる構成となつている。

尚、第２ダミー電極１６ｂはシールド電極１４
及び共通接続線１８ｂと共に共通のアースライン
２０を介してアースされている。

以上の説明に於いては、送信トランスジユーサ
１１が重み付けインターデイジタル電極１２を含
む実施例について述べたが、表面弾性波装置は周
知の如く送信トランスジユーサ１１と受信トラン
スジユーサ１３との構成を交換することが可能で
あり、従つて受信トランスジユーサが重み付けイ
ンターデイジタル電極を含み、送信トランスジユ
ーサを正規型インターデイジタル電極構成として
も、本考案の目的を達成し得る。

(ヘ) 考案の効果 本考案は以上の説明から明らかな如く、表面弾
性波の位相歪を補償する第１乃至第４のダミー電
極は、重み付けインターデイジタル電極のホツト
側の櫛型電極と電気的に遮断されているので、ダ
ミー電極を重み付けインターデイジタル電極に関
連付けたにも拘らず、インターデイジタル電極の
電極面積を減少させることができ、位相歪の補償
と同時にバルク波応答の低減を図ることができ
る。また、第３及び第４のダミー電極は、他方の
トランスジユーサから遠い側のサイドローブにて
励振され他方のトランスジユーサ側に向かつて伝
播する表面弾性波の、メインローブと他方のトラ
ンスジユーサから遠い側のサイドローブとの間の
共通電極の外側の凹み部における伝播路に形成さ
れているので、重み付けインターデイジタル電極
にて励振され他方のトランスジユーサとは反対側
に向かう表面弾性波のダミー電極での反射が最小
限に抑えられ、スプリアスの低減が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の上面図、第２図は本考案の一
実施例を示す上面図で、１０は基板、１１は送信
トランスジユーサ、１２はインターデイジタル電
極、１３は受信トランスジユーサ、１６ａ〜１６
ｄは第１〜第４のダミー電極、を夫々示してい
る。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 表面弾性波を送信・受信する一対の送信・受信
   トランスジユーサを備えた表面弾性波装置に於い
   て、 前記送信・受信トランスジユーサの少なくとも
   一方が、 電極指の交叉幅が最大となる最大交叉部を略中
   心にして交叉幅が漸次減少するメインローブ、該
   メインローブの両側に連設され一旦減少した交叉
   幅が再び増大した後減少するサイドローブ及び前
   記電極指の先端部を結ぶ一対の包絡線に沿つて形
   成される一対の共通電極を備える重み付けインタ
   ーデイジタル電極と、 該重み付けインターデイジタル電極のホツト側
   の櫛型電極と電気的に遮断されると共に、前記メ
   インローブにて励振され他方のトランスジユーサ
   側に向かつて伝播する表面弾性波若しくは他方の
   トランスジユーサ側から伝播して前記メインロー
   ブにて受信される表面弾性波の前記共通電極の外
   側における伝播路において前記重み付けインター
   デイジタル電極の電極指の延長位置に該電極指と
   平行に形成されて前記表面弾性波に対して位相歪
   を補償する第１及び第２のダミー電極と、 前記重み付けインターデイジタル電極のホツト
   側の櫛型電極と電気的に遮断されると共に、前記
   他方のトランスジユーサから遠い側のサイドロー
   ブにて励振され前記他方のトランスジユーサ側に
   向かつて伝播する表面弾性波若しくは前記他方の
   トランスジユーサ側から伝播して前記他方のトラ
   ンスジユーサから遠い側のサイドローブにて受信
   される表面弾性波の、前記メインローブと前記他
   方のトランスジユーサから遠い側のサイドローブ
   との間の前記共通電極の外側の凹み部における伝
   播路において前記重み付けインターデイジタル電
   極の電極指の延長位置に該電極指と平行に形成さ
   れて前記表面弾性波に対して位相歪を補償する第
   ３及び第４のダミー電極と、 を備えることを特徴とした表面弾性波装置。