JPH039383Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は表面弾性波を送信・受信する表面弾性
波装置に関する。

(ロ) 従来技術 電気信号を一旦機械的な表面弾性波に変換し、
再び斯る表面弾性波を受信して電気信号に復元す
る表面弾性波装置が現存する。

第１図は特公昭56−15613号公報に開示された
此の種表面弾性波装置を示し、１は表面弾性波を
伝播せしめ得る基板、２は電気信号を表面弾性波
に変換する送信トランスジユーサ、３は伝播して
来る表面弾性波を受信し電気信号に復元する受信
トランスジユーサで、上記送信トランスジユーサ
２は、正規型のインターデイジタル電極から成る
受信電極３と相俟つて所望のフイルタ特性を実現
すべく電極指４，４…の交叉幅を異ならしめたア
ポダイズ法による重み付けが施されたインターデ
イジタル電極５と、受信トランスジユーサ３側に
向つて伝播する必要な表面弾性波のみ位相歪を補
償する第１〜第４のダミー電極６ａ〜６ｄと、を
含んでおり、従つて逆方向の基板端面１ａに向つ
て伝播する不要な表面弾性波の位相歪は補償され
ない。

尚、図中破線７ａ，７ｂは重み付けインターデ
イジタル電極５に於ける同電位の電極指４ａ，４
ｂ…の先端を結ぶ包絡線である。

この様な構造の表面弾性波装置にあつては、受
信トランスジユーサ３側に向つて伝播する必要な
表面弾性波に対しては位相歪が補償され、不要な
逆方向の基板端面１ａに伝播する表面弾性波につ
いては位相歪を補償せず、この逆方向に伝播する
表面弾性波の位相歪を補償するためのダミー電極
を割愛することができ、斯るダミー電極端部での
スプリアスの原因となる反射を抑圧することがで
きる。

一方、最近或る電極指４，４…で形成された表
面弾性波が伝播途中にある他の電極指４，４…で
電気信号に変換され、この電気信号が更に他の電
極指４，４…を励振して表面弾性波を再び発生せ
しめる不所望な再励起効果を防止することを目的
として、第２図Ａに示す如き電極指４，４…の交
叉幅の中心を結んだ交叉中心軸CCが表面弾性波
の伝播方向に対し傾斜する傾斜型のトランスジユ
ーサが提案された（日経エレクトロニクス1982年
２月15日no.284第170頁〜第207頁「表面弾性波デ
バイスの性能向上に鍵となる技術を探る」）。斯る
傾斜型のトランスジユーサによれば、第２図Ｂの
如く電極指４，４…の交叉幅が最大となるメイン
ローブ８とその両サイドに一旦減小した交叉幅が
再び増大する第１・第２のサイドローブ９ａ，９
ｂとの表面弾性波の伝播路の中心軸C₈，C₉a，
C₉bが互いに相違することによつて、表面弾性波
のエネルギ分布が急峻な単峰性の正規型分布から
釣鐘状に緩和されたガウス分布となり、上記エネ
ルギ分布の差から生じる波面の乱れが低減せしめ
られる。

この様に、傾斜型のトランスジユーサは再励起
効果の抑圧並びに波面の乱れの低減に対し有効で
あり、更に上述の如く不要な表面弾性波の位相歪
を補償するためのダミー電極の割愛はスプリアス
に対し有効な構造であるにも拘らず、それ以外の
第１〜第３のダミー電極６ａ〜６ｃは不可欠な存
在であり、斯る第１〜第３のダミー電極６ａ〜６
ｃの存在によるバルク波応答については未だ解決
されるに至つていない。

(ハ) 考案の目的 本考案は斯る点に鑑みて為されたものであつ
て、その目的は、必要な方向に伝播する表面弾性
波若しくは伝播し受信せしめられる表面弾性波に
対して位相歪を補償すると共に、バルク波応答に
ついても低減せしめること、にある。

(ニ) 考案の構成 本考案表面弾性波装置は、表面弾性波を送信・
受信する送信・受信トランスジユーサの少くとも
一方が、電極指の交叉幅が最大となる最大交叉部
を略中心にして交叉幅が漸次減少するメインロー
ブ、該メインローブの両側に連設され一旦減少し
た交叉幅が再び増大した後減少するサイドローブ
及び前記電極指の先端部を結ぶ一対の包絡線に沿
つて形成される一対の共通電極を備えると共に、
前記メインローブ及びサイドローブの表面弾性波
の伝播路の中心軸が互いに相違する重み付けイン
ターデイジタル電極と、該重み付けインターデイ
ジタル電極のホツト側の櫛型電極と電気的に遮断
されると共に、前記メインローブにて励振され他
方のトランスジユーサ側に向かつて伝播する表面
弾性波若しくは他方のトランスジユーサ側から伝
播して前記メインローブにて受信される表面弾性
波の前記共通電極の外側における伝播路において
前記重み付けインターデイジタル電極の電極指の
延長位置に該電極指と平行に形成されて前記表面
弾性波に対して位相歪を補償する第１及び第２の
ダミー電極と、前記重み付けインターデイジタル
電極のホツト側の櫛型電極と電気的に遮断される
と共に、前記他方のトランスジユーサから遠い側
のサイドローブにて励振され前記他方のトランス
ジユーサ側に向かつて伝播する表面弾性波若しく
は前記他方のトランスジユーサ側から伝播して前
記他方のトランスジユーサから遠い側のサイドロ
ーブにて受信される表面弾性波の、前記メインロ
ーブと前記他方のトランスジユーサから遠い側の
サイドローブとの間の前記共通電極の外側に凹み
部における伝播路において前記重み付けインター
デイジタル電極の電極指の延長位置に該電極指と
平行に形成されて前記表面弾性波に対して位相歪
を補償する第３のダミー電極と、を備えることを
特徴とする。

(ホ) 実施例 第３図は本考案の一実施例を示し、１０は
LiTaO₃単結晶、LiNbO₃単結晶、PZTセラミツ
ク、等の圧電物質から成る基板、１１は該基板表
面に設けられたアポダイズ法により重み付けされ
た傾斜型のインターデイジタル電極１２を含む送
信トランスジユーサ、１３は該送信トランスジユ
ーサ１１から送信された表面弾性波を受信する重
み付けが施されていない正規型のダブルインター
デイジタル電極構成の受信トランスジユーサ、１
４は上記送信・受信トランスジユーサ１１，１３
間に設けられた両トランスジユーサ１１，１３間
の表面弾性波を介さない直接電磁結合をシールド
するシールド電極、１５ａ，１５ｂは上記両トラ
ンスジユーサ１１，１３と基板端面１０ａ，１０
ｂとの間に塗布されたアルキド樹脂等から成る不
要な表面弾性波を吸収する吸収体である。

而して、本実施例の特徴は受信トランスジユー
サ１３側に向つて伝播する表面弾性波についての
み位相歪を補償する第１〜第３のダミー電極１６
ａ〜１６ｃを含む傾斜型送信トランスジユーサ１
１の構成にある。即ち、送信トランスジユーサ１
１を構成する重み付けインターデイジタル電極１
２は、その重み付けをアポダイズ法により施す電
極指１ａ，１７ｂ…の包絡線に沿つて、交互に交
叉する電極指１７ａ，１７ｂ…を共通に接続する
２本の共通電極線１８ａ，１８ｂ…を有し、斯る
共通電極線１８ａ，１８ｂは、表面弾性波の伝播
路が互いに相違すると共に、所望なフイルタ特性
を呈すべく中央部に於いて電極指１７ａ，１７ｂ
…の交叉幅が最大となるメインローブ１９と、そ
の両サイドに一旦減少した交叉幅が再び増大する
第１・第２のサイドローブ２０ａ，２０ｂとを規
定している。更に、上記メインローブ１９の中央
部を境に受信トランスジユーサ１３側には最大交
叉部の各先端１７am，１７bmから励振せしめら
れた表面弾性波の位相を補償すべく第１・第２の
ダミー電極１６ａ，１６ｂが設けられている。然
り乍ら、上記各先端部１７am，１７bmから逆方
向の基板端面１０ａに向つて励振される表面弾性
波についてはダミー電極による位相歪の補償は施
されていない。

一方、上記中央の最大交叉部に対し基板端面１
０ａ側に配置せしめられた伝播中心が異なる第２
のサイドローブ２０ｂの存在により、斯る第２の
サイドローブ２０ｂの交叉部から受信トランスジ
ユーサ１３側に向つて励振される表面弾性波の位
相歪を補償すべく、メインローブ１９と第２のサ
イドローブ２０ｂとの界面付近に於ける共通電極
線１８ｂの凹み部に於いて、該共通電極線１８ｂ
とは電気的に遮断された状態のストライプ状第３
ダミー電極１６ｃが設けられている。

従つて、上記第３ダミー電極１６ｃはインター
デイジタル電極１２に対し電気的に遮断されてお
り、斯るインターデイジタル電極１２に於ける電
極部が占有する面積（以下電極面積と呼ぶ）が減
小する。更に、第１・第２ダミー電極１６ａ，１
６ｂについてもインターデイジタル電極１２と接
続されることなく電気的に遮断されている。即
ち、バルク波応答はインターデイジタル電極１２
の電極面積に比例して大きくなる点を考慮し、第
１・第２・第３ダミー電極１６ａ，１６ｂ，１６
ｃを上記電極面積から減じる構成となつている。

尚、第２ダミー電極１６ｂはシールド電極１４
及び共通接続線１８ａと共にアースされている。

以上の説明に於いては、送信トランスジユーサ
１１が重み付けインターデイジタル電極１２を含
む実施例について述べたが、表面弾性波装置は周
知の如く送信トランスジユーサ１１と受信トラン
スジユーサ１３との構成を交換することが可能で
あり、従つて受信トランスジユーサが重み付けイ
ンターデイジタル電極を含み、送信トランスジユ
ーサを正規型インターデイジタル電極構成として
も、本考案の目的を達成し得る。

(ヘ) 考案の効果 本考案は以上の説明から明らかな如く、表面弾
性波の位相歪を補償する第１乃至第３のダミー電
極は、重み付けインターデイジタル電極のホツト
側の櫛型電極と電気的に遮断されているので、ダ
ミー電極を重み付けインターデイジタル電極に関
連付けたにも拘らず、インターデイジタル電極の
電極面積を減少せしめることができ、位相歪の補
償と同時にバルク波応答の低減を図ることができ
る。また、第３のダミー電極は、他方のトランス
ジユーサから遠い側のサイドローブにて励振され
他方のトランスジユーサ側に向かつて伝播する表
面弾性波の、メインローブと他方のトランスジユ
ーサから遠い側のサイドローブとの間の共通電極
の外側の凹み部における伝播路にのみ形成されて
いるので、重み付けインターデイジタル電極にて
励振され他方のトランスジユーサとは反対側に向
かう表面弾性波のダミー電極での反射が最小限に
抑えられ、スプリアスの低減が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置の平面図、第２図Ａは傾斜型
重み付けインターデイジタル電極の平面図、第２
図Ｂは同図Ａに於けるエネルギ分布図、第３図は
本考案装置の平面図、を夫々示している。 １０……基板、１１……送信トランスジユー
サ、１２……傾斜型インターデイジタル電極、１
３……受信トランスジユーサ、１６ａ〜１６ｃ…
…第１〜第３のダミー電極、１９……メインロー
ブ、２０ａ，２０ｂ……第１・第２のサイドロー
ブ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 表面弾性波を送信・受信する一対の送信・受信
   トランスジユーサを備えた表面弾性波装置に於い
   て、 前記送信・受信トランスジユーサの少なくとも
   一方が、 電極指の交叉幅が最大となる最大交叉部を略中
   心にして交叉幅が漸次減少するメインローブ、該
   メインローブの両側に連設され一旦減少した交叉
   幅が再び増大した後減少するサイドローブ及び前
   記電極指の先端部を結ぶ一対の包絡線に沿つて形
   成される一対の共通電極を備えると共に、前記メ
   インローブ及びサイドローブの表面弾性波の伝播
   路の中心軸が互いに相違する重み付けインターデ
   イジタル電極と、 該重み付けインターデイジタル電極のホツト側
   の櫛型電極と電気的に遮断されると共に、前記メ
   インローブにて励振され他方のトランスジユーサ
   側に向かつて伝播する表面弾性波若しくは他方の
   トランスジユーサ側から伝播して前記メインロー
   ブにて受信される表面弾性波の前記共通電極の外
   側における伝播路において前記重み付けインター
   デイジタル電極の電極指の延長位置に該電極指と
   平行に形成されて前記表面弾性波に対して位相歪
   を補償する第１及び第２のダミー電極と、 前記重み付けインターデイジタル電極のホツト
   側の櫛型電極と電気的に遮断されると共に、前記
   他方のトランスジユーサから遠い側のサイドロー
   ブにて励振され前記他方のトランスジユーサ側に
   向かつて伝播する表面弾性波若しくは前記他方の
   トランスジユーサ側から伝播して前記他方のトラ
   ンスジユーサから遠い側のサイドローブにて受信
   される表面弾性波の、前記メインローブと前記他
   方のトランスジユーサから遠い側のサイドローブ
   との間の前記共通電極の外側に凹み部における伝
   播路において前記重み付けインターデイジタル電
   極の電極指の延長位置に該電極指と平行に形成さ
   れて前記表面弾性波に対して位相歪を補償する第
   ３のダミー電極と、 を備えることを特徴とした表面弾性波装置。