JPH0750548A - 弾性表面波素子 - Google Patents

弾性表面波素子

Info

Publication number
JPH0750548A
JPH0750548A JP6115084A JP11508494A JPH0750548A JP H0750548 A JPH0750548 A JP H0750548A JP 6115084 A JP6115084 A JP 6115084A JP 11508494 A JP11508494 A JP 11508494A JP H0750548 A JPH0750548 A JP H0750548A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
surface acoustic
acoustic wave
comb
electrode
idt
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6115084A
Other languages
English (en)
Inventor
Tadashi Eguchi
正 江口
Akira Torisawa
章 鳥沢
Kouichi Egara
光一 江柄
Takahiro Hachisu
高弘 蜂巣
Akihiro Koyama
晃広 小山
Norihiro Mochizuki
規弘 望月
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP6115084A priority Critical patent/JPH0750548A/ja
Priority to US08/250,901 priority patent/US5477098A/en
Publication of JPH0750548A publication Critical patent/JPH0750548A/ja
Priority to US08/791,069 priority patent/US5717274A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14547—Fan shaped; Tilted; Shifted; Slanted; Tapered; Arched; Stepped finger transducers
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06G—ANALOGUE COMPUTERS
    • G06G7/00—Devices in which the computing operation is performed by varying electric or magnetic quantities
    • G06G7/12—Arrangements for performing computing operations, e.g. operational amplifiers
    • G06G7/19—Arrangements for performing computing operations, e.g. operational amplifiers for forming integrals of products, e.g. Fourier integrals, Laplace integrals, correlation integrals; for analysis or synthesis of functions using orthogonal functions
    • G06G7/195—Arrangements for performing computing operations, e.g. operational amplifiers for forming integrals of products, e.g. Fourier integrals, Laplace integrals, correlation integrals; for analysis or synthesis of functions using orthogonal functions using electro- acoustic elements
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
    • H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
    • H03H9/0274—Intra-transducers grating lines
    • H03H9/02748—Dog-legged reflectors
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
    • H03H9/02779—Continuous surface reflective arrays
    • H03H9/02787—Continuous surface reflective arrays having wave guide like arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14555—Chirped transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14561—Arched, curved or ring shaped transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14564—Shifted fingers transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14564—Shifted fingers transducers
    • H03H9/14567—Stepped-fan shaped transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6406—Filters characterised by a particular frequency characteristic
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14502—Surface acoustic wave [SAW] transducers for a particular purpose
    • H03H9/14505—Unidirectional SAW transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14502—Surface acoustic wave [SAW] transducers for a particular purpose
    • H03H9/14508—Polyphase SAW transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/1455—Transducers of particular shape or position constituted of N parallel or series transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14552—Transducers of particular shape or position comprising split fingers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Software Systems (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数の周波数帯域を励振できる弾性表面波素
子において、電極内部での損失が小さく、高周波数成分
と低周波成分でコンボリューション出力のピークがずれ
ることがなく、より高品質の信号が得られ、弾性表面波
を集中することができる、効率の高い素子を実現する。 【構成】 各櫛型電極１０２，１０３から導波路１０１
に入力する弾性表面波を集束させる手段として、上記導
波路に対して凹状の上記櫛型電極１０２，１０３を有
し、且つ、各櫛型電極が、異なる周波数帯域に対応する
互いに電極指のピッチの異なる複数の部分１３，１４，
１５を有し、これらの部分が弾性表面波の進行方向に対
して直交する方向に並設されたことを特徴とする弾性表
面波素子。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波素子に関す
るものであり、特に、効率を改善した弾性表面波コンボ
ルバに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波素子として、特に弾性表面波
コンボルバは、スペクトラム拡散通信を行うにあたって
のキーデバイスとして、近年その重要性が増大しつつあ
り、盛んに研究がなされている。
【０００３】図８はこのような従来の弾性表面波素子を
示す概念図である。同図において、８１はＹカット（Ｚ
伝搬）ニオブ酸リチウムなどの圧電基板、８２，８３は
圧電基板８１の表面上に形成した櫛型電極（InterDigit
al Transducer …ＩＤＴ）である。８４は圧電基板８１
の表面上に形成した出力電極である。
【０００４】これらの電極はアルミニウムなどの導電性
材料からなり、通常フォトリソグラフィー技術を用いて
形成される。
【０００５】また、８５はＰＮ符号発生器、８６は入力
回路である。
【０００６】このような構成の弾性表面波素子におい
て、入力ＩＤＴ８２に搬送角周波数ωの電気信号を入力
すると、基板の圧電効果により弾性表面波が励起され
る。同様にして、ＩＤＴ８３に搬送各周波数ωの電気信
号を入力すると弾性表面波が励起される。これら２つの
弾性表面波を圧電基板上で、互いに反対方向に伝搬させ
ると、圧電基板の物理的非線形効果によって、２つの入
力信号のコンボリューション信号（搬送角周波数２ω）
を出力電極からとり出すことができる。
【０００７】導波路をｘ軸として、導波路の左端を原点
とする座標系において、２つの弾性表面波を、
【０００８】
【数１】 Ｆ（ｔ−ｘ／ｖ）ｅｘｐ（ｊ（ωｔ−ｋｘ））、 Ｇ（ｔ＋ｘ／ｖ）ｅｘｐ（ｊ（ωｔ＋ｋｘ）） と表わすと、圧電基板１上には非線形相互作用により、
その積である
【０００９】
【数２】Ｆ（ｔ−ｘ／ｖ）・Ｇ（ｔ＋ｘ／ｖ）ｅｘｐ
（ｊ２ωｔ） という、場所に依存しない弾性表面波が発生する。
【００１０】この信号は一様な出力電極を設けることに
より、電極長領域内で積分される。出力電極下の相互作
用長内で、
【００１１】
【数３】 Ｓ（ｔ）＝Ｋｅｘｐ（ｊ２ωｔ）∫Ｆ（ｔ−ｘ／ｖ）・Ｇ（ｔ＋ｘ／ｖ）ｄｘ …（１） で表される信号として取り出される。ここで積分範囲は
相互作用長が信号長より十分大きいときは実質上±∞と
してよく、τ＝ｔ−ｘ／ｖとすると（１）式は、
【００１２】
【数４】 Ｓ（ｔ）＝−ｖＫｅｘｐ（ｊ２ωｔ）∫Ｆ（τ）・Ｇ（２ｔ−τ）ｄτ …（２） となり、前記信号は入力信号のコンボリューションとな
る。
【００１３】このようなコンボリューションのメカニズ
ムは、例えば「柴山”弾性表面波の応用”テレビジョ
ン、３０、４５７（１９７６）」などに詳述されてい
る。
【００１４】以上のように、弾性表面波を利用したコン
ボルバでは、図８のような構成で被検波信号と参照信号
のコンボリューション出力を得ている。図８の８４の導
波路兼出力電極は、圧電基板に金属薄膜を蒸着するとそ
の部分の圧電基板の表面が電気的に短絡される効果と、
蒸着した金属の質量負荷効果によって弾性表面波の速度
が遅くなり、弾性表面波が集中する効果を利用した導波
路になっている。
【００１５】コンボリューション効率はエネルギー密度
の２乗に比例するため、導波路として動作する出力電極
は高次の伝搬横モードを防ぎ、エネルギー密度を高める
ため、コンボリューション出力を取り出せる範囲でなる
べく狭くしたいという要求と、導波路幅が狭いと周波数
による速度変化が大きくなるという問題から、Ｚ方向に
伝搬する弾性波の波長をλとすると、Ｙカットのニオブ
酸リチウムのＺ方向伝搬のコンボルバでは１．５〜４λ
程度が適当とされている。
【００１６】一方、電気信号を弾性表面波信号に変換す
る入力ＩＤＴは、基板の電気機械結合係数によって、電
気エネルギーが弾性表面波のエネルギーに変換される割
合が決まるため、電気機械係数が小さい場合、ＩＤＴの
本数を増やす必要がある。
【００１７】しかしながらＩＤＴの本数を増やすと帯域
が狭まるため、従来より広い帯域で弾性表面波を励起で
きる、周波数分散性を有する電極構造が考案されてき
た。
【００１８】この周波数分散性を有する電極構造は、
「表面波デバイスとその応用；電子材料工業会編、日刊
工業新聞社」（３．遅延線３．１非分散形遅延線３．
１．１広帯域化）で述べられているように、ＩＤＴが複
数の周波数帯域を励振する複数のピッチを有し、それら
が弾性表面波の進行方向に対して垂直な方向に配置され
ているものがある。
【００１９】図９は、このような複数の周波数帯域を励
振する複数のピッチを有する構造であり、それらが弾性
表面波の進行方向に対して垂直な方向に配置されている
ことを特徴とする弾性表面波コンボルバの入力ＩＤＴ形
状を示す概念図であり、同図において、１１，１２（１
１’，１２’）はワイヤボンディング用のパッド、１３
（１３’）は高周波励起用ＩＤＴ部、１４（１４’）は
中周波励起用ＩＤＴ部、１５（１５’）は低周波励起用
ＩＤＴ部である。
【００２０】また、ＩＤＴ電極指の幅と間隔が一定でな
い、いわゆるチャープ型電極がある。ＵＳＰ４，６４
９，５０９：１９８７では、分散性の入力ＩＤＴを有す
るコンボルバで、ＩＤＴ形状が、導波路から出力される
弾性表面波の等位相面形状になっているものについて述
べている。しかし、周波数分散性のＩＤＴの周波数分散
する手段としては、電極指間の間隔が一定でないという
ことのほかは明確な説明はされていない。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
チャープ型電極では、 電極内部での損失が大きい、 異なる周波数の弾性表面波は電極上で励起される場所
が違うため、出力積分電極に到達するまでの時間がず
れ、高い周波数成分と低い周波数成分でコンボリューシ
ョン出力のピークがずれる、 電極指の本数が増えると、ＩＤＴの導波路から遠い電
極指で励起された弾性表面波がＩＤＴの導波路に近い部
分を通過する前に、ＳＳ通信で使用する擬似雑音符号の
次の１チップが励起されてしまうため、擬似雑音符号の
１チップ長より長い範囲で信号が積分されてなまる、 といった欠点があり、これらがコンボリューション効率
の低下につながるという問題がある。
【００２２】また、図９に示したようなＩＤＴでは弾性
表面波を集中できないという問題がある。
【００２３】［発明の目的］本発明の目的は、複数の周
波数帯域を励振できる弾性表面波素子において、電極内
部での損失が小さく、高周波数成分と低周波成分でコン
ボリューション出力のピークがずれることがなく、より
高品質の信号が得られ、弾性表面波を集中することがで
きる、効率の高い素子を実現することにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述した課題
を解決するための手段として、圧電基板上に形成され、
弾性表面波を発生する複数の櫛型電極と、前記複数の櫛
型電極の間の基板上に形成され、前記弾性表面波による
コンボリューション信号を出力する導波路を有する弾性
表面波素子において、前記各櫛型電極から前記導波路に
入力する弾性表面波を集束させる手段を有し、且つ、前
記櫛型電極が、異なる周波数帯域に対応する互いに電極
指の間隔の異なる複数の部分を有し、これらの部分が前
記弾性表面波の進行方向に対して直交する方向に並設さ
れたことを特徴とする弾性表面波素子を提供するもので
ある。
【００２５】また、前記弾性表面波を集束させる手段
は、前記導波路に対して凹状の櫛型電極であることを特
徴とし、また、前記弾性表面波を集束させる手段は、前
記櫛型電極と、該櫛型電極と前記導波路との間に設けら
れたホーンまたは音響レンズであることを特徴とする弾
性表面波素子でもある。
【００２６】また、これらの弾性表面波を集束させる手
段は、組み合わせて用いられても良い。
【００２７】
【作用】本発明によれば、櫛型電極（ＩＤＴ）の電極指
を、その各部ごとに複数の異なる間隔として配列し、そ
れらが弾性表面波の進行方向に対して垂直な方向に配置
されている構造とすることにより、複数の周波数を励振
することができる。
【００２８】また、導波路に対して凹状の櫛型電極とす
ることにより、発生する弾性表面波を集束して効率を高
めることができる。
【００２９】また、櫛型電極と導波路との間にホーン
や、音響レンズを設ける構成としても、同様に弾性表面
波を集束することができる。
【００３０】これにより、櫛型電極と導波路との結合効
率を向上させ、コンボルバの効率を向上させることがで
きる。
【００３１】
【実施例】
［実施例１］図１（ａ）は、本発明の弾性表面波素子の
第１実施例を示す概略平面図である。
【００３２】図１（ａ）において、図８と同一の部材に
は同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。本実施例
では、入力信号に応じてそれぞれ弾性表面波を発生する
櫛型電極１０２及び１０３の電極指が、導波路１０１か
ら見て凹状に、湾曲した形状に設けられ、櫛型電極１０
２および１０３から導波路１０１に入力する弾性表面波
が集束される。そして、２つの入力信号のコンボリュー
ション信号を出力する導波路１０１は、集束された弾性
表面波を伝搬するため、幅が小さく形成されている。ま
た、櫛型電極１０２及び１０３は、異なる周波数帯域に
対応する互いに電極指のピッチの異なる複数の部分を有
し、これらの部分が弾性表面波の進行方向に対して直交
する方向に並設されている。
【００３３】図１（ｂ）は、図１（ａ）の櫛型電極１０
２及び１０３の構成を更に詳細に説明するための概略平
面図である。
【００３４】図１（ｂ）において、１１，１２はワイヤ
ボンディング用のパッド、１３は高周波励起用ＩＤＴ
部、１４は中周波励起用ＩＤＴ部、１５は低周波励起用
ＩＤＴ部で、それぞれのＩＤＴ部は同一の曲率中心をも
つ円弧で構成されている。それぞれのＩＤＴ部では、同
じ極の電極指の中心間の距離を１波長とした弾性表面波
を中心に、その前後の周波数の弾性表面波が励起され
る。各ＩＤＴ部の中心角は本発明のＩＤＴ全体の周波数
特性がなるべくフラットになるように選ばれている。
【００３５】それぞれのＩＤＴ部では、同じ極の電極指
の中心間の距離を１波長とした弾性表面波を中心に、そ
の前後の周波数の弾性表面波が励起される。各ＩＤＴ部
での周波数特性は厳密にはかなり複雑であるが、おおよ
その周波数特性はδ関数モデルでシミュレーションでき
る。もし、それぞれの電極指の隣り合う電極指どうし反
対の極性になっているＩＤＴで、電極指の中心にδ関数
状の歪中心があるとすれば、各ＩＤＴ部の周波数特性は
次式で表わされる。
【００３６】
【数５】 ここで、Ｈ（ω）は強度、ｆは周波数、ｆ0 はＩＤＴの
中心周波数、Ｎは電極指の本数、Ｃは定数である。この
定数Ｃは電極指間にかかる電界と、電極指の対の電極指
と重なり合う部分の長さ（電極長）に比例する。
【００３７】本発明のコンボルバのＩＤＴの周波数特性
は、各ＩＤＴ部の周波数特性の和となる。図１では各Ｉ
ＤＴ部にかけられる電圧は等しいので、ピッチが狭い高
周波励起部ほど電界強度が大きくなる。各ＩＤＴ部の円
弧の中心角は電極長に比例するため、各ＩＤＴ部の中心
角は本発明のＩＤＴ全体の周波数特性がなるべくフラッ
トになるように選ばれている。その設計は、以下の３点
に基づき行われる。
【００３８】各部分の電気的なインピーダンス 各部分で励振される弾性表面波の強度分布 各部分で励振される弾性表面波の導波モードへの結合
係数 ところで、コンボルバの導波路は、高次の導波モードが
発生すると、コンボリューション効率が低下するので、
通常、高次の導波モードが発生しないように電気抵抗が
問題にならない範囲でなるべく細くする。しかしなが
ら、１次モードは導波路の電気抵抗が問題になるような
導波路幅でも発生してしまう。Ｙカットニオブ酸リチウ
ムでＺ伝搬のコンボルバ、酸化亜鉛薄膜上のコンボル
バ、などの導波路が基板の結晶方位に対して対称なコン
ボルバの場合、基本（０次）モードは完全対称モード、
１次モードが非対称モードになるので、ＩＤＴで導波路
に対してなるべく対称に弾性表面波を励起すれば、１次
モードの発生を抑えることができる。
【００３９】［実施例２］図２は本発明のコンボルバの
入力ＩＤＴの第２の実施例を示す概念図である。本ＩＤ
Ｔでは、電極指が対の電極と重なりあう部分と電極に電
気エネルギーを注入するためのワイヤをボンディングす
るパッド部分１１，１２を結ぶ電極指の根元部分の長さ
が、ＩＤＴが励起する弾性表面波が前記パッド部分に進
行しない範囲でなるべく短くなっている。図１のような
構成で電極指の幅が狭い場合には特に、電極指が対の電
極と重なりあう部分と電極に電気エネルギーを注入する
ためのワイヤをボンディングするパッド部分を結ぶ電極
指の根元部分の長さが長いとその部分の抵抗損失や、誘
導成分が無視できなくなるという問題が生じる。このと
き、図２のような構成にすると電極指における抵抗損失
や誘導成分の影響は小さくできる。
【００４０】［実施例３］図３（ａ），（ｂ），
（ｃ）、それぞれは、実施例１、２と同様に本発明のコ
ンボルバのＩＤＴの複数の周波数励起部を並列に結合し
た一例である。並列な構成にすることによりＩＤＴのイ
ンピーダンスを下げられるので、外部回路との整合がと
りやすくなる。ここで、（ａ）は各電極をワイヤ３３で
結んだ構成、（ｂ）は最も導波路に近い電極指と最も導
波路から離れている電極指が、各電極への導線を兼ねて
いる構成、（ｃ）は外部回路が非平衡回路で、ＩＤＴの
一方の電極（アース電極）の導線が、コンボルバの２つ
のＩＤＴ間のいわゆる直達波をなくすためのシールド電
極３５を兼ねている。
【００４１】図１，２のような構成で電極指の幅が狭い
場合、ＩＤＴの電極指における抵抗損失や、誘導成分が
無視できなくなる。このとき、図３（ａ）のような構成
にすることにより、複数点から電気エネルギーを注入で
き、また（ｃ）においては、シールド電極３５の抵抗は
小さく、そこから各電極子に電気エネルギーを供給でき
るので、電極指における抵抗損失や、誘導成分の影響を
小さくできる。
【００４２】［実施例４］図４（ａ），（ｂ），（ｃ）
は、本発明のコンボルバのＩＤＴを直列接続型のＩＤＴ
で実現したタイプの図である。本実施例では、そのＩＤ
Ｔとしてドッグレッグ型ＩＤＴを用いている。直列接続
にすることによりＩＤＴの一部に断線が生じた時の影響
を小さくすることができる。それぞれの図において、
（ａ）は通常のドッグレッグ型ＩＤＴで本発明のＩＤＴ
を実現したもの、（ｂ）は（ａ）で同じ電位になる中間
電極を結んだタイプ、（ｃ）は励起される周波数帯域が
（ｂ）と反対で、中心から外に向けて対応する周波数が
高くなるタイプである。（ｂ），（ｃ）はＩＤＴとして
の周波数帯域は同じような特性のものを設計できるが、
高い周波数成分ほど導波路の開口角が小さくなるので、
（ｂ）のように高周波励起用ＩＤＴ部を中心付近に配置
することによって、ＩＤＴ全体の弾性表面波を励起する
範囲を（ｃ）のように配置した場合よりも大きくでき
る。
【００４３】ＩＤＴ全体の周波数特性は必要帯域幅にお
いてなるべく平坦であることが望ましいが、前記ドッグ
レッグ型の場合、各ＩＤＴ部は直列に接続されているこ
とになり、電気的なエネルギー消費量の分布が並列に接
続したものとは異なるので、実施例１〜３とは各ＩＤＴ
の電極指の重なりあう部分の長さが異なる。
【００４４】［実施例５］図５に実施例４のドッグレッ
グ型ＩＤＴをダブル電極にし、電極での反射を抑えたタ
イプの概念図を示す。同図においてはドッグレッグ型の
みを示したが、実施例１，２のタイプや、３の並列タイ
プでも同様のダブル電極で構成することは可能である。
【００４５】［実施例６］図６（ａ），（ｂ）は、本発
明を、電極指が直線のＩＤＴと、ホーン６１、または音
響レンズ６７の組み合わせで実現したタイプの概念図で
ある。なお、図において、６５−６６は中央線、６２は
導波路である。
【００４６】通常、ニオブ酸リチウムのような圧電体を
用いたコンボルバの場合、ホーンや音響レンズは導波路
と同じように、導電性の薄膜を圧電体表面に蒸着するこ
とによって弾性表面波の速度（音響インピーダンス）が
変化することを利用している。ホーンの場合、ホーン６
１の側面の境界６３，６４の全反射条件を利用し、音響
レンズ６７の場合、境界６８，６９における屈折条件を
利用している。
【００４７】本実施例の場合、弾性表面波を集中させる
ホーンや音響レンズの設計が難しいが、正規型ＩＤＴな
ので、円弧型ＩＤＴに比べ、周波数特性、位相特性の設
計をしやすい。
【００４８】本実施例においても実施例３、４記載のタ
イプで構成することが可能である。
【００４９】［実施例７］さらに、図７（ａ），（ｂ）
のように、図３（ｃ）のように外部回路が非平衡回路
で、ＩＤＴの一方の電極（アース電極）の導線が、ホー
ンや音響レンズを兼ね、さらに、コンボルバの２つのＩ
ＤＴ間のいわゆる直達波をなくすためのシールド電極を
兼ねている。
【００５０】本実施例においても、ダブル電極で構成す
ることは可能である。
【００５１】更に、以上述べてきた本発明の入力ＩＤＴ
において、例えば３相以上の電気信号を入力し、弾性表
面波を一方向性にのみ励起する、いわゆる一方向性ＩＤ
Ｔにすることも可能である。
【００５２】［実施例８］実施例１では、高周波励起部
から低周波励起部まで、それぞれのＩＤＴ部は同一の曲
率中心を持つように構成した。図１０は、本実施例のＩ
ＤＴ部の構成を示す概略図である。本実施例では入力Ｉ
ＤＴの形状を弾性表面波の角度依存性に合わせた形状に
してある。本実施例では、各周波数励起部の励起中心を
結んだ線１６が、導波路から略等位相になるように設計
してある。このような設計に関しては、特願平５−６５
９７１号公報に詳しく記載されている。本実施例では、
実際の設計ではそれぞれの励起部の形状を円弧としてお
り、各励起部の曲率半径を異ならせてある。ここでは、
高周波励起部１３の曲率半径がもっとも小さく、低周波
励起部１５の曲率半径がもっとも大きくなる。弾性表面
波の伝搬速度に角度依存性がある場合は、それぞれのＩ
ＤＴ部が基板の結晶軸と成す角度が異なるため、図３の
高周波励起部１３の焦点位置は遠く、低周波励起部１５
の焦点位置は近くなる。そのため、弾性表面波の伝搬速
度の角度依存性が大きい場合は、導波モードとの結合効
率の低下が生じてしまう場合もあるが、本実施例のよう
な構成にすることによって、それぞれのＩＤＴ部の焦点
位置は略一致し、広い帯域で高い結合効率を実現でき
る。
【００５３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
櫛型電極（ＩＤＴ）の電極指を、ピッチが異なる複数の
部分として配列し、それらが弾性表面波の進行方向に対
して垂直な方向に配置されている構造とすることによ
り、複数の周波数を励振することができ、且つ、導波路
に対して凹状に円弧型の櫛型電極とすることにより、発
生する弾性表面波を集束して効率を高めることができ
る。
【００５４】また、櫛型電極と導波路との間にホーン
や、音響レンズを設ける構成としても、同様に弾性表面
波を集束することができる。
【００５５】これにより、櫛型電極と導波路との結合効
率を向上させ、コンボルバの効率を向上させることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１の弾性表面波コンボルバの全
体図（ａ）、及び入力用櫛型電極の形状（ｂ）を示す概
念図である。
【図２】本発明の実施例２の弾性表面波素子の入力ＩＤ
Ｔ形状を示す概念図である。
【図３】本発明の実施例３として、コンボルバのＩＤＴ
の複数の周波数励起部を並列に結合した例である。図３
（ａ）は、各電極をワイヤで結んだ構成、（ｂ）は最も
導波路に近い電極指と最も導波路から離れている電極指
が、各電極への導線を兼ねている構成、（ｃ）は外部回
路が非平衡回路で、ＩＤＴの一方の電極（アース電極）
の導線が、コンボルバの２つのＩＤＴ間のいわゆる直達
波をなくすためのシールド電極を兼ねている。
【図４】本発明の実施例４として、コンボルバのＩＤＴ
をいわゆるドッグレッグ型のＩＤＴで実現したタイプの
図である。それぞれの図において、（ａ）は通常のドッ
グレッグ型ＩＤＴで本発明のＩＤＴを実現したもの、
（ｂ）は（ａ）で同じ電位になる中間電極を結んだタイ
プ、（ｃ）は励起される周波数帯域が（ｂ）と反対のタ
イプである。
【図５】本発明の実施例５として、ドッグレッグ型ＩＤ
Ｔでダブル電極にしたタイプである。
【図６】本発明の実施例６として、電極指が直線である
ＩＤＴと、ホーン、または音響レンズの組み合わせで実
現したタイプの概念図である。
【図７】本発明の実施例７を示す概略図であり、電極指
が直線であるＩＤＴと、ホーン、または音響レンズの組
み合わせで実現したタイプの概念図であり、外部回路が
非平衡回路で、ＩＤＴの一方の電極（アース電極）の導
線が、コンボルバの２つのＩＤＴ間のいわゆる直達波を
なくすためのシールド電極を兼ねている。
【図８】従来例の弾性表面波コンボルバの動作原理を表
わす図である。
【図９】複数の周波数帯域を励振する複数の間隔を有す
る構造を有し、それらが弾性表面波の進行方向に対して
垂直な方向に配置されていることを特徴とする弾性表面
波コンボルバの入力ＩＤＴ形状を示す概念図である。
【図１０】各周波数に対応する各ＩＤＴ部からの弾性表
面波の焦点が略一致するように構成した実施例８の入力
ＩＤＴの概略図である。
【符号の説明】
１１，１２（１１’，１２’） ワイヤボンディング
用のパッド １３（１３’） 高周波励起用ＩＤＴ部 １４（１４’） 中周波励起用ＩＤＴ部 １５（１５’） 低周波励起用ＩＤＴ部 ３１，３２ 入力電極端子 ３３ ボンディングワイヤ ３４ 信号源 ３５ シールド電極 ６１ ホーン ６２ 導波路（出力電極の１部） ６３，６４ ホーンの側面の境界 ６５−６６ 中央線 ６７ 音響レンズ ６８，６９ 音響レンズの境界 ８１ 圧電基板 ８２，８３ 入力ＩＤＴ ８４ 出力電極（Δｖ／ｖ導波路） ８５ ＰＮ符号発生器 ８６ 入力回路 Ｔ 積分時間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 蜂巣 高弘 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小山 晃広 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 望月 規弘 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 圧電基板上に形成され、弾性表面波を発
    生する複数の櫛型電極と、前記複数の櫛型電極の間の基
    板上に形成され、前記弾性表面波によるコンボリューシ
    ョン信号を出力する導波路を有する弾性表面波素子にお
    いて、 前記各櫛型電極から前記導波路に入力する弾性表面波を
    集束させる手段を有し、且つ、前記櫛型電極が、異なる
    周波数帯域に対応する互いに電極指の間隔の異なる複数
    の部分を有し、これらの部分が前記弾性表面波の進行方
    向に対して直交する方向に並設されたことを特徴とする
    弾性表面波素子。
  2. 【請求項２】 前記弾性表面波を集束させる手段は、前
    記導波路に対して凹状の櫛型電極であることを特徴とす
    る請求項１に記載の弾性表面波素子。
  3. 【請求項３】 前記櫛型電極の各電極指に導通するため
    のパッド部及び該パッド部と該電極指を接続する部分の
    長さが、該櫛型電極が励起する弾性表面波が前記パッド
    部分に進行しない範囲で短くなっていることを特徴とす
    る請求項２に記載の弾性表面波素子。
  4. 【請求項４】 前記弾性表面波を集束させる手段は、前
    記櫛型電極と、該櫛型電極と前記導波路との間に設けら
    れたホーンであることを特徴とする請求項１に記載の弾
    性表面波素子。
  5. 【請求項５】 前記弾性表面波を集束させる手段は、前
    記櫛型電極と、該櫛型電極と前記導波路との間に設けら
    れた音響レンズであることを特徴とする請求項１に記載
    の弾性表面波素子。
  6. 【請求項６】 前記櫛型電極の間隔の異なる複数の部分
    は、該櫛型電極の中心に対して対称に配置され、中心か
    ら離れるにつれて広がっていることを特徴とする請求項
    １に記載の弾性表面波素子。
  7. 【請求項７】 前記櫛型電極の前記間隔の異なる複数の
    部分が並列に接続されていることを特徴とする請求項１
    に記載の弾性表面波素子。
  8. 【請求項８】 前記櫛型電極の間隔の異なる複数の部分
    は、ドッグレッグ型で接続されていることを特徴とする
    請求項１に記載の弾性表面波素子。
  9. 【請求項９】 前記櫛型電極は、ダブル電極となってい
    ることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子。
  10. 【請求項１０】 前記櫛型電極に接続される外部回路が
    非平衡回路であり、前記櫛型電極の一方の電極に接続さ
    れる導線が、前記櫛型電極間の直達波を防止するシール
    ド電極を兼ねて配置されることを特徴とする請求項１に
    記載の弾性表面波素子。
  11. 【請求項１１】 前記櫛型電極は、１方向性を有するこ
    とを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子。
JP6115084A 1993-05-31 1994-05-27 弾性表面波素子 Pending JPH0750548A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6115084A JPH0750548A (ja) 1993-05-31 1994-05-27 弾性表面波素子
US08/250,901 US5477098A (en) 1993-05-31 1994-05-31 Efficient surface acoustic wave device capable of excitation in plural frequency bands, and signal receiver and communication system utilizing the same
US08/791,069 US5717274A (en) 1993-05-31 1997-01-29 Efficient surface acoustic wave device capable of excitation in plural frequency bands, and signal receiver and communication system utilizing the same

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14984693 1993-05-31
JP5-149846 1993-05-31
JP6115084A JPH0750548A (ja) 1993-05-31 1994-05-27 弾性表面波素子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0750548A true JPH0750548A (ja) 1995-02-21

Family

ID=26453688

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6115084A Pending JPH0750548A (ja) 1993-05-31 1994-05-27 弾性表面波素子

Country Status (2)

Country Link
US (2) US5477098A (ja)
JP (1) JPH0750548A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999046856A1 (fr) * 1998-03-11 1999-09-16 Fujitsu Limited Filtre a ondes acoustiques de surface
US8125301B2 (en) 2008-06-25 2012-02-28 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Transversal type filter
JP2013081098A (ja) * 2011-10-04 2013-05-02 Japan Radio Co Ltd 弾性表面波装置
WO2024009660A1 (ja) * 2022-07-07 2024-01-11 株式会社村田製作所 弾性波装置及びフィルタ装置
WO2024029360A1 (ja) * 2022-08-04 2024-02-08 株式会社村田製作所 弾性波装置及びフィルタ装置
WO2024116813A1 (ja) * 2022-11-28 2024-06-06 株式会社村田製作所 弾性波装置及びフィルタ装置

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0750548A (ja) * 1993-05-31 1995-02-21 Canon Inc 弾性表面波素子
JPH0998061A (ja) * 1995-07-24 1997-04-08 Canon Inc Ｓａｗマッチドフィルタ及びこれを用いた受信装置及び通信システム
US5859930A (en) * 1995-12-06 1999-01-12 Fpr Corporation Fast pattern recognizer utilizing dispersive delay line
GB2312110B (en) * 1996-03-29 2000-07-05 Advanced Saw Prod Sa Acoustic wave filter
US6346761B1 (en) * 1999-01-27 2002-02-12 Hitachi Denshi Kabushiki Kaisha Surface acoustic wave device capable of suppressing spurious response due to non-harmonic higher-order modes
DE19925800C1 (de) * 1999-06-03 2000-12-21 Dresden Ev Inst Festkoerper Wandler für akustische Oberflächenwellen
JP3863712B2 (ja) * 2000-09-06 2006-12-27 株式会社日立製作所 弾性表面波共振器
JP3685102B2 (ja) * 2001-07-27 2005-08-17 株式会社村田製作所 弾性表面波フィルタ、通信装置
US6865949B2 (en) * 2003-01-31 2005-03-15 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Transducer-based sensor system
CN1263173C (zh) * 2001-12-06 2006-07-05 松下电器产业株式会社 复合压电体及其制造方法
US6984922B1 (en) 2002-07-22 2006-01-10 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Composite piezoelectric transducer and method of fabricating the same
US7135806B2 (en) 2002-10-31 2006-11-14 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Transducer-based sensor system with multiple drive signal variants
US6813928B2 (en) * 2003-01-31 2004-11-09 Hewlett-Packard Development, L.P. Sensor system and method employing shared transducer elements
US7117743B2 (en) * 2003-07-31 2006-10-10 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Multiple-transducer sensor system and method with selective activation and isolation of individual transducers
US6978656B2 (en) * 2003-10-31 2005-12-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Transducer-based sensor system and method
US8143681B2 (en) * 2006-04-20 2012-03-27 The George Washington University Saw devices, processes for making them, and methods of use
US20100007444A1 (en) * 2006-04-20 2010-01-14 Anis Nurashikin Nordin GHz Surface Acoustic Resonators in RF-CMOS
US8018010B2 (en) * 2007-04-20 2011-09-13 The George Washington University Circular surface acoustic wave (SAW) devices, processes for making them, and methods of use
US20090124513A1 (en) * 2007-04-20 2009-05-14 Patricia Berg Multiplex Biosensor
DE102008000816A1 (de) * 2008-03-26 2009-10-01 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Anregung und/oder Dämpfung und/oder Erfassung struktureller Schwingungen einer plattenförmigen Einrichtung mittels einer piezoelektrischen Streifeneinrichtung
US8960004B2 (en) 2010-09-29 2015-02-24 The George Washington University Synchronous one-pole surface acoustic wave resonator
US9647635B2 (en) * 2014-04-08 2017-05-09 Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. Elastic wave resonators, and elastic wave filters, antenna duplexers, modules and communication devices using same
US11621695B2 (en) * 2020-10-02 2023-04-04 RF360 Europe GmbH Cascaded surface acoustic wave devices with apodized interdigital transducers
CN113419364B (zh) * 2021-05-27 2022-08-12 香港理工大学深圳研究院 一种基于铌酸锂薄膜的凹槽辅助式声光调制器

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3697899A (en) * 1971-04-05 1972-10-10 Zenith Radio Corp Acoustic surface wave transmission device
CA1047615A (en) * 1974-12-25 1979-01-30 Yasutoshi Komatsu Surface acoustic wave filter
JPS5561127A (en) * 1978-11-01 1980-05-08 Hitachi Ltd Elastic surface wave device
US4207546A (en) * 1978-12-07 1980-06-10 United Technologies Corporation Phase and amplitude programmable internal mixing SAW signal processor
JPH0559609B1 (ja) * 1980-11-17 1993-08-31 British Tech Group
JPS5836012A (ja) * 1981-08-27 1983-03-02 Seiko Epson Corp 弾性表面波装置
JPS5843609A (ja) * 1981-09-09 1983-03-14 Toshiba Corp 弾性表面波装置
US4473888A (en) * 1981-10-28 1984-09-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Saw monolithic convolver using dispersive transducers
JPS58200618A (ja) * 1982-05-19 1983-11-22 Hitachi Ltd 弾性表面波装置
DE3330034A1 (de) * 1983-08-19 1985-03-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Oberflaechenwellen-convolveranordnung
US4599532A (en) * 1984-07-05 1986-07-08 Clarion Co., Ltd. Surface acoustic wave device with anti-reflection electrode structure
US4675839A (en) * 1985-04-10 1987-06-23 Allied Corporation Receiver for a spread spectrum communication system having a time-multiplexed convolver
US4841470A (en) * 1985-06-25 1989-06-20 Clarion, Co., Ltd. Surface acoustic wave device for differential phase shift keying convolving
US5001723A (en) * 1985-11-05 1991-03-19 Allied-Signal Inc. Sinusoidal M-ary orthogonal keyed decoding
US4894576A (en) * 1987-04-10 1990-01-16 Clarion Co., Ltd. Surface-acoustic-wave convolver
EP0373404B1 (en) * 1988-12-15 1997-01-29 Canon Kabushiki Kaisha Surface acoustic wave convolver with plural wave guide paths for generating convolution signals of mutually different phases
US5189330A (en) * 1989-08-16 1993-02-23 Clarion Co., Ltd. Surface acoustic wave device
US5185548A (en) * 1990-10-11 1993-02-09 Canon Kabushiki Kaisha Surface acoustic wave device with reflected wave at side edges on waveguide suppressed and communication system using the same
US5367216A (en) * 1991-08-02 1994-11-22 Canon Kabushiki Kaisha Surface acoustic wave element and communication system using the same
JP3139065B2 (ja) * 1991-08-23 2001-02-26 日本電気株式会社 弾性表面波共振子
JPH0565971A (ja) * 1991-09-06 1993-03-19 Fuji Seiki Kk 駆動機構、及び弁の開閉駆動機構
JPH05129887A (ja) * 1991-11-08 1993-05-25 Canon Inc 弾性表面波素子
JPH06260881A (ja) * 1992-07-24 1994-09-16 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 弾性表面波コンボルバ
JPH06314946A (ja) * 1993-03-03 1994-11-08 Canon Inc 弾性表面波素子、及びその設計方法、及びそれを用いた信号受信機及び通信システム
JPH0750548A (ja) * 1993-05-31 1995-02-21 Canon Inc 弾性表面波素子

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999046856A1 (fr) * 1998-03-11 1999-09-16 Fujitsu Limited Filtre a ondes acoustiques de surface
US6577210B1 (en) 1998-03-11 2003-06-10 Fujitsu Limited Surface acoustic wave filter having plural propagation paths and a coupler
US8125301B2 (en) 2008-06-25 2012-02-28 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Transversal type filter
JP2013081098A (ja) * 2011-10-04 2013-05-02 Japan Radio Co Ltd 弾性表面波装置
WO2024009660A1 (ja) * 2022-07-07 2024-01-11 株式会社村田製作所 弾性波装置及びフィルタ装置
WO2024029360A1 (ja) * 2022-08-04 2024-02-08 株式会社村田製作所 弾性波装置及びフィルタ装置
WO2024116813A1 (ja) * 2022-11-28 2024-06-06 株式会社村田製作所 弾性波装置及びフィルタ装置

Also Published As

Publication number Publication date
US5717274A (en) 1998-02-10
US5477098A (en) 1995-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0750548A (ja) 弾性表面波素子
JP6307021B2 (ja) 弾性波デバイス
US4908542A (en) Saw tapered transducers
JP4049034B2 (ja) 弾性表面波フィルタ、通信装置
US6674215B1 (en) Elastic wave device
JP3950611B2 (ja) 弾性表面波共振器
US6285112B1 (en) Surface acoustic wave device comprising langasite single crystal substrate
US6426584B2 (en) Elastic wave device
JP4378650B2 (ja) 弾性波フィルタおよびそれを用いた通信機
US6346761B1 (en) Surface acoustic wave device capable of suppressing spurious response due to non-harmonic higher-order modes
JP3385169B2 (ja) 弾性表面波多重モードフィルタ
US7372347B2 (en) Surface acoustic wave device
JPH05304436A (ja) 弾性表面波装置
JP4761192B2 (ja) 弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器
US20220407497A1 (en) Acoustic wave device
JP3334412B2 (ja) 弾性表面波コンボルバ
JP2764866B2 (ja) 弾性表面波素子
JP2004015737A (ja) 弾性波装置
JPS6355807B2 (ja)
JP2008067032A (ja) 平衡型弾性表面波フィルタ
JP2006303841A (ja) 弾性表面波素子片および弾性表面波フィルタ
JPH06260873A (ja) 弾性表面波フィルタ装置
JPS5936415A (ja) 反射器を備えたｉｄｔ型多重モ−ド・フイルタの電極構造
JPH08274580A (ja) 弾性表面波コンボルバ
JP2008103953A (ja) 弾性表面波素子片