JPH0750548A - 弾性表面波素子 - Google Patents

弾性表面波素子

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JPH0750548A
JPH0750548A JP6115084A JP11508494A JPH0750548A JP H0750548 A JPH0750548 A JP H0750548A JP 6115084 A JP6115084 A JP 6115084A JP 11508494 A JP11508494 A JP 11508494A JP H0750548 A JPH0750548 A JP H0750548A
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acoustic wave
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electrode
idt
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Tadashi Eguchi
正 江口
Akira Torisawa
章 鳥沢
Kouichi Egara
光一 江柄
Takahiro Hachisu
高弘 蜂巣
Akihiro Koyama
晃広 小山
Norihiro Mochizuki
規弘 望月
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数の周波数帯域を励振できる弾性表面波素
子において、電極内部での損失が小さく、高周波数成分
と低周波成分でコンボリューション出力のピークがずれ
ることがなく、より高品質の信号が得られ、弾性表面波
を集中することができる、効率の高い素子を実現する。 【構成】 各櫛型電極102,103から導波路101
に入力する弾性表面波を集束させる手段として、上記導
波路に対して凹状の上記櫛型電極102,103を有
し、且つ、各櫛型電極が、異なる周波数帯域に対応する
互いに電極指のピッチの異なる複数の部分13,14,
15を有し、これらの部分が弾性表面波の進行方向に対
して直交する方向に並設されたことを特徴とする弾性表
面波素子。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波素子に関す
るものであり、特に、効率を改善した弾性表面波コンボ
ルバに関するものである。
【0002】
【従来の技術】弾性表面波素子として、特に弾性表面波
コンボルバは、スペクトラム拡散通信を行うにあたって
のキーデバイスとして、近年その重要性が増大しつつあ
り、盛んに研究がなされている。
【0003】図8はこのような従来の弾性表面波素子を
示す概念図である。同図において、81はYカット(Z
伝搬)ニオブ酸リチウムなどの圧電基板、82,83は
圧電基板81の表面上に形成した櫛型電極(InterDigit
al Transducer …IDT)である。84は圧電基板81
の表面上に形成した出力電極である。
【0004】これらの電極はアルミニウムなどの導電性
材料からなり、通常フォトリソグラフィー技術を用いて
形成される。
【0005】また、85はPN符号発生器、86は入力
回路である。
【0006】このような構成の弾性表面波素子におい
て、入力IDT82に搬送角周波数ωの電気信号を入力
すると、基板の圧電効果により弾性表面波が励起され
る。同様にして、IDT83に搬送各周波数ωの電気信
号を入力すると弾性表面波が励起される。これら2つの
弾性表面波を圧電基板上で、互いに反対方向に伝搬させ
ると、圧電基板の物理的非線形効果によって、2つの入
力信号のコンボリューション信号(搬送角周波数2ω)
を出力電極からとり出すことができる。
【0007】導波路をx軸として、導波路の左端を原点
とする座標系において、2つの弾性表面波を、
【0008】
【数1】 F(t−x/v)exp(j(ωt−kx))、 G(t+x/v)exp(j(ωt+kx)) と表わすと、圧電基板1上には非線形相互作用により、
その積である
【0009】
【数2】F(t−x/v)・G(t+x/v)exp
(j2ωt) という、場所に依存しない弾性表面波が発生する。
【0010】この信号は一様な出力電極を設けることに
より、電極長領域内で積分される。出力電極下の相互作
用長内で、
【0011】
【数3】 S(t)=Kexp(j2ωt)∫F(t−x/v)・G(t+x/v)dx …(1) で表される信号として取り出される。ここで積分範囲は
相互作用長が信号長より十分大きいときは実質上±∞と
してよく、τ=t−x/vとすると(1)式は、
【0012】
【数4】 S(t)=−vKexp(j2ωt)∫F(τ)・G(2t−τ)dτ …(2) となり、前記信号は入力信号のコンボリューションとな
る。
【0013】このようなコンボリューションのメカニズ
ムは、例えば「柴山”弾性表面波の応用”テレビジョ
ン、30、457(1976)」などに詳述されてい
る。
【0014】以上のように、弾性表面波を利用したコン
ボルバでは、図8のような構成で被検波信号と参照信号
のコンボリューション出力を得ている。図8の84の導
波路兼出力電極は、圧電基板に金属薄膜を蒸着するとそ
の部分の圧電基板の表面が電気的に短絡される効果と、
蒸着した金属の質量負荷効果によって弾性表面波の速度
が遅くなり、弾性表面波が集中する効果を利用した導波
路になっている。
【0015】コンボリューション効率はエネルギー密度
の2乗に比例するため、導波路として動作する出力電極
は高次の伝搬横モードを防ぎ、エネルギー密度を高める
ため、コンボリューション出力を取り出せる範囲でなる
べく狭くしたいという要求と、導波路幅が狭いと周波数
による速度変化が大きくなるという問題から、Z方向に
伝搬する弾性波の波長をλとすると、Yカットのニオブ
酸リチウムのZ方向伝搬のコンボルバでは1.5〜4λ
程度が適当とされている。
【0016】一方、電気信号を弾性表面波信号に変換す
る入力IDTは、基板の電気機械結合係数によって、電
気エネルギーが弾性表面波のエネルギーに変換される割
合が決まるため、電気機械係数が小さい場合、IDTの
本数を増やす必要がある。
【0017】しかしながらIDTの本数を増やすと帯域
が狭まるため、従来より広い帯域で弾性表面波を励起で
きる、周波数分散性を有する電極構造が考案されてき
た。
【0018】この周波数分散性を有する電極構造は、
「表面波デバイスとその応用;電子材料工業会編、日刊
工業新聞社」(3.遅延線3.1非分散形遅延線3.
1.1広帯域化)で述べられているように、IDTが複
数の周波数帯域を励振する複数のピッチを有し、それら
が弾性表面波の進行方向に対して垂直な方向に配置され
ているものがある。
【0019】図9は、このような複数の周波数帯域を励
振する複数のピッチを有する構造であり、それらが弾性
表面波の進行方向に対して垂直な方向に配置されている
ことを特徴とする弾性表面波コンボルバの入力IDT形
状を示す概念図であり、同図において、11,12(1
1’,12’)はワイヤボンディング用のパッド、13
(13’)は高周波励起用IDT部、14(14’)は
中周波励起用IDT部、15(15’)は低周波励起用
IDT部である。
【0020】また、IDT電極指の幅と間隔が一定でな
い、いわゆるチャープ型電極がある。USP4,64
9,509:1987では、分散性の入力IDTを有す
るコンボルバで、IDT形状が、導波路から出力される
弾性表面波の等位相面形状になっているものについて述
べている。しかし、周波数分散性のIDTの周波数分散
する手段としては、電極指間の間隔が一定でないという
ことのほかは明確な説明はされていない。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
チャープ型電極では、 電極内部での損失が大きい、 異なる周波数の弾性表面波は電極上で励起される場所
が違うため、出力積分電極に到達するまでの時間がず
れ、高い周波数成分と低い周波数成分でコンボリューシ
ョン出力のピークがずれる、 電極指の本数が増えると、IDTの導波路から遠い電
極指で励起された弾性表面波がIDTの導波路に近い部
分を通過する前に、SS通信で使用する擬似雑音符号の
次の1チップが励起されてしまうため、擬似雑音符号の
1チップ長より長い範囲で信号が積分されてなまる、 といった欠点があり、これらがコンボリューション効率
の低下につながるという問題がある。
【0022】また、図9に示したようなIDTでは弾性
表面波を集中できないという問題がある。
【0023】[発明の目的]本発明の目的は、複数の周
波数帯域を励振できる弾性表面波素子において、電極内
部での損失が小さく、高周波数成分と低周波成分でコン
ボリューション出力のピークがずれることがなく、より
高品質の信号が得られ、弾性表面波を集中することがで
きる、効率の高い素子を実現することにある。
【0024】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述した課題
を解決するための手段として、圧電基板上に形成され、
弾性表面波を発生する複数の櫛型電極と、前記複数の櫛
型電極の間の基板上に形成され、前記弾性表面波による
コンボリューション信号を出力する導波路を有する弾性
表面波素子において、前記各櫛型電極から前記導波路に
入力する弾性表面波を集束させる手段を有し、且つ、前
記櫛型電極が、異なる周波数帯域に対応する互いに電極
指の間隔の異なる複数の部分を有し、これらの部分が前
記弾性表面波の進行方向に対して直交する方向に並設さ
れたことを特徴とする弾性表面波素子を提供するもので
ある。
【0025】また、前記弾性表面波を集束させる手段
は、前記導波路に対して凹状の櫛型電極であることを特
徴とし、また、前記弾性表面波を集束させる手段は、前
記櫛型電極と、該櫛型電極と前記導波路との間に設けら
れたホーンまたは音響レンズであることを特徴とする弾
性表面波素子でもある。
【0026】また、これらの弾性表面波を集束させる手
段は、組み合わせて用いられても良い。
【0027】
【作用】本発明によれば、櫛型電極(IDT)の電極指
を、その各部ごとに複数の異なる間隔として配列し、そ
れらが弾性表面波の進行方向に対して垂直な方向に配置
されている構造とすることにより、複数の周波数を励振
することができる。
【0028】また、導波路に対して凹状の櫛型電極とす
ることにより、発生する弾性表面波を集束して効率を高
めることができる。
【0029】また、櫛型電極と導波路との間にホーン
や、音響レンズを設ける構成としても、同様に弾性表面
波を集束することができる。
【0030】これにより、櫛型電極と導波路との結合効
率を向上させ、コンボルバの効率を向上させることがで
きる。
【0031】
【実施例】
[実施例1]図1(a)は、本発明の弾性表面波素子の
第1実施例を示す概略平面図である。
【0032】図1(a)において、図8と同一の部材に
は同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。本実施例
では、入力信号に応じてそれぞれ弾性表面波を発生する
櫛型電極102及び103の電極指が、導波路101か
ら見て凹状に、湾曲した形状に設けられ、櫛型電極10
2および103から導波路101に入力する弾性表面波
が集束される。そして、2つの入力信号のコンボリュー
ション信号を出力する導波路101は、集束された弾性
表面波を伝搬するため、幅が小さく形成されている。ま
た、櫛型電極102及び103は、異なる周波数帯域に
対応する互いに電極指のピッチの異なる複数の部分を有
し、これらの部分が弾性表面波の進行方向に対して直交
する方向に並設されている。
【0033】図1(b)は、図1(a)の櫛型電極10
2及び103の構成を更に詳細に説明するための概略平
面図である。
【0034】図1(b)において、11,12はワイヤ
ボンディング用のパッド、13は高周波励起用IDT
部、14は中周波励起用IDT部、15は低周波励起用
IDT部で、それぞれのIDT部は同一の曲率中心をも
つ円弧で構成されている。それぞれのIDT部では、同
じ極の電極指の中心間の距離を1波長とした弾性表面波
を中心に、その前後の周波数の弾性表面波が励起され
る。各IDT部の中心角は本発明のIDT全体の周波数
特性がなるべくフラットになるように選ばれている。
【0035】それぞれのIDT部では、同じ極の電極指
の中心間の距離を1波長とした弾性表面波を中心に、そ
の前後の周波数の弾性表面波が励起される。各IDT部
での周波数特性は厳密にはかなり複雑であるが、おおよ
その周波数特性はδ関数モデルでシミュレーションでき
る。もし、それぞれの電極指の隣り合う電極指どうし反
対の極性になっているIDTで、電極指の中心にδ関数
状の歪中心があるとすれば、各IDT部の周波数特性は
次式で表わされる。
【0036】
【数5】 ここで、H(ω)は強度、fは周波数、f0 はIDTの
中心周波数、Nは電極指の本数、Cは定数である。この
定数Cは電極指間にかかる電界と、電極指の対の電極指
と重なり合う部分の長さ(電極長)に比例する。
【0037】本発明のコンボルバのIDTの周波数特性
は、各IDT部の周波数特性の和となる。図1では各I
DT部にかけられる電圧は等しいので、ピッチが狭い高
周波励起部ほど電界強度が大きくなる。各IDT部の円
弧の中心角は電極長に比例するため、各IDT部の中心
角は本発明のIDT全体の周波数特性がなるべくフラッ
トになるように選ばれている。その設計は、以下の3点
に基づき行われる。
【0038】各部分の電気的なインピーダンス 各部分で励振される弾性表面波の強度分布 各部分で励振される弾性表面波の導波モードへの結合
係数 ところで、コンボルバの導波路は、高次の導波モードが
発生すると、コンボリューション効率が低下するので、
通常、高次の導波モードが発生しないように電気抵抗が
問題にならない範囲でなるべく細くする。しかしなが
ら、1次モードは導波路の電気抵抗が問題になるような
導波路幅でも発生してしまう。Yカットニオブ酸リチウ
ムでZ伝搬のコンボルバ、酸化亜鉛薄膜上のコンボル
バ、などの導波路が基板の結晶方位に対して対称なコン
ボルバの場合、基本(0次)モードは完全対称モード、
1次モードが非対称モードになるので、IDTで導波路
に対してなるべく対称に弾性表面波を励起すれば、1次
モードの発生を抑えることができる。
【0039】[実施例2]図2は本発明のコンボルバの
入力IDTの第2の実施例を示す概念図である。本ID
Tでは、電極指が対の電極と重なりあう部分と電極に電
気エネルギーを注入するためのワイヤをボンディングす
るパッド部分11,12を結ぶ電極指の根元部分の長さ
が、IDTが励起する弾性表面波が前記パッド部分に進
行しない範囲でなるべく短くなっている。図1のような
構成で電極指の幅が狭い場合には特に、電極指が対の電
極と重なりあう部分と電極に電気エネルギーを注入する
ためのワイヤをボンディングするパッド部分を結ぶ電極
指の根元部分の長さが長いとその部分の抵抗損失や、誘
導成分が無視できなくなるという問題が生じる。このと
き、図2のような構成にすると電極指における抵抗損失
や誘導成分の影響は小さくできる。
【0040】[実施例3]図3(a),(b),
(c)、それぞれは、実施例1、2と同様に本発明のコ
ンボルバのIDTの複数の周波数励起部を並列に結合し
た一例である。並列な構成にすることによりIDTのイ
ンピーダンスを下げられるので、外部回路との整合がと
りやすくなる。ここで、(a)は各電極をワイヤ33で
結んだ構成、(b)は最も導波路に近い電極指と最も導
波路から離れている電極指が、各電極への導線を兼ねて
いる構成、(c)は外部回路が非平衡回路で、IDTの
一方の電極(アース電極)の導線が、コンボルバの2つ
のIDT間のいわゆる直達波をなくすためのシールド電
極35を兼ねている。
【0041】図1,2のような構成で電極指の幅が狭い
場合、IDTの電極指における抵抗損失や、誘導成分が
無視できなくなる。このとき、図3(a)のような構成
にすることにより、複数点から電気エネルギーを注入で
き、また(c)においては、シールド電極35の抵抗は
小さく、そこから各電極子に電気エネルギーを供給でき
るので、電極指における抵抗損失や、誘導成分の影響を
小さくできる。
【0042】[実施例4]図4(a),(b),(c)
は、本発明のコンボルバのIDTを直列接続型のIDT
で実現したタイプの図である。本実施例では、そのID
Tとしてドッグレッグ型IDTを用いている。直列接続
にすることによりIDTの一部に断線が生じた時の影響
を小さくすることができる。それぞれの図において、
(a)は通常のドッグレッグ型IDTで本発明のIDT
を実現したもの、(b)は(a)で同じ電位になる中間
電極を結んだタイプ、(c)は励起される周波数帯域が
(b)と反対で、中心から外に向けて対応する周波数が
高くなるタイプである。(b),(c)はIDTとして
の周波数帯域は同じような特性のものを設計できるが、
高い周波数成分ほど導波路の開口角が小さくなるので、
(b)のように高周波励起用IDT部を中心付近に配置
することによって、IDT全体の弾性表面波を励起する
範囲を(c)のように配置した場合よりも大きくでき
る。
【0043】IDT全体の周波数特性は必要帯域幅にお
いてなるべく平坦であることが望ましいが、前記ドッグ
レッグ型の場合、各IDT部は直列に接続されているこ
とになり、電気的なエネルギー消費量の分布が並列に接
続したものとは異なるので、実施例1〜3とは各IDT
の電極指の重なりあう部分の長さが異なる。
【0044】[実施例5]図5に実施例4のドッグレッ
グ型IDTをダブル電極にし、電極での反射を抑えたタ
イプの概念図を示す。同図においてはドッグレッグ型の
みを示したが、実施例1,2のタイプや、3の並列タイ
プでも同様のダブル電極で構成することは可能である。
【0045】[実施例6]図6(a),(b)は、本発
明を、電極指が直線のIDTと、ホーン61、または音
響レンズ67の組み合わせで実現したタイプの概念図で
ある。なお、図において、65−66は中央線、62は
導波路である。
【0046】通常、ニオブ酸リチウムのような圧電体を
用いたコンボルバの場合、ホーンや音響レンズは導波路
と同じように、導電性の薄膜を圧電体表面に蒸着するこ
とによって弾性表面波の速度(音響インピーダンス)が
変化することを利用している。ホーンの場合、ホーン6
1の側面の境界63,64の全反射条件を利用し、音響
レンズ67の場合、境界68,69における屈折条件を
利用している。
【0047】本実施例の場合、弾性表面波を集中させる
ホーンや音響レンズの設計が難しいが、正規型IDTな
ので、円弧型IDTに比べ、周波数特性、位相特性の設
計をしやすい。
【0048】本実施例においても実施例3、4記載のタ
イプで構成することが可能である。
【0049】[実施例7]さらに、図7(a),(b)
のように、図3(c)のように外部回路が非平衡回路
で、IDTの一方の電極(アース電極)の導線が、ホー
ンや音響レンズを兼ね、さらに、コンボルバの2つのI
DT間のいわゆる直達波をなくすためのシールド電極を
兼ねている。
【0050】本実施例においても、ダブル電極で構成す
ることは可能である。
【0051】更に、以上述べてきた本発明の入力IDT
において、例えば3相以上の電気信号を入力し、弾性表
面波を一方向性にのみ励起する、いわゆる一方向性ID
Tにすることも可能である。
【0052】[実施例8]実施例1では、高周波励起部
から低周波励起部まで、それぞれのIDT部は同一の曲
率中心を持つように構成した。図10は、本実施例のI
DT部の構成を示す概略図である。本実施例では入力I
DTの形状を弾性表面波の角度依存性に合わせた形状に
してある。本実施例では、各周波数励起部の励起中心を
結んだ線16が、導波路から略等位相になるように設計
してある。このような設計に関しては、特願平5−65
971号公報に詳しく記載されている。本実施例では、
実際の設計ではそれぞれの励起部の形状を円弧としてお
り、各励起部の曲率半径を異ならせてある。ここでは、
高周波励起部13の曲率半径がもっとも小さく、低周波
励起部15の曲率半径がもっとも大きくなる。弾性表面
波の伝搬速度に角度依存性がある場合は、それぞれのI
DT部が基板の結晶軸と成す角度が異なるため、図3の
高周波励起部13の焦点位置は遠く、低周波励起部15
の焦点位置は近くなる。そのため、弾性表面波の伝搬速
度の角度依存性が大きい場合は、導波モードとの結合効
率の低下が生じてしまう場合もあるが、本実施例のよう
な構成にすることによって、それぞれのIDT部の焦点
位置は略一致し、広い帯域で高い結合効率を実現でき
る。
【0053】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
櫛型電極(IDT)の電極指を、ピッチが異なる複数の
部分として配列し、それらが弾性表面波の進行方向に対
して垂直な方向に配置されている構造とすることによ
り、複数の周波数を励振することができ、且つ、導波路
に対して凹状に円弧型の櫛型電極とすることにより、発
生する弾性表面波を集束して効率を高めることができ
る。
【0054】また、櫛型電極と導波路との間にホーン
や、音響レンズを設ける構成としても、同様に弾性表面
波を集束することができる。
【0055】これにより、櫛型電極と導波路との結合効
率を向上させ、コンボルバの効率を向上させることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1の弾性表面波コンボルバの全
体図(a)、及び入力用櫛型電極の形状(b)を示す概
念図である。
【図2】本発明の実施例2の弾性表面波素子の入力ID
T形状を示す概念図である。
【図3】本発明の実施例3として、コンボルバのIDT
の複数の周波数励起部を並列に結合した例である。図3
(a)は、各電極をワイヤで結んだ構成、(b)は最も
導波路に近い電極指と最も導波路から離れている電極指
が、各電極への導線を兼ねている構成、(c)は外部回
路が非平衡回路で、IDTの一方の電極(アース電極)
の導線が、コンボルバの2つのIDT間のいわゆる直達
波をなくすためのシールド電極を兼ねている。
【図4】本発明の実施例4として、コンボルバのIDT
をいわゆるドッグレッグ型のIDTで実現したタイプの
図である。それぞれの図において、(a)は通常のドッ
グレッグ型IDTで本発明のIDTを実現したもの、
(b)は(a)で同じ電位になる中間電極を結んだタイ
プ、(c)は励起される周波数帯域が(b)と反対のタ
イプである。
【図5】本発明の実施例5として、ドッグレッグ型ID
Tでダブル電極にしたタイプである。
【図6】本発明の実施例6として、電極指が直線である
IDTと、ホーン、または音響レンズの組み合わせで実
現したタイプの概念図である。
【図7】本発明の実施例7を示す概略図であり、電極指
が直線であるIDTと、ホーン、または音響レンズの組
み合わせで実現したタイプの概念図であり、外部回路が
非平衡回路で、IDTの一方の電極(アース電極)の導
線が、コンボルバの2つのIDT間のいわゆる直達波を
なくすためのシールド電極を兼ねている。
【図8】従来例の弾性表面波コンボルバの動作原理を表
わす図である。
【図9】複数の周波数帯域を励振する複数の間隔を有す
る構造を有し、それらが弾性表面波の進行方向に対して
垂直な方向に配置されていることを特徴とする弾性表面
波コンボルバの入力IDT形状を示す概念図である。
【図10】各周波数に対応する各IDT部からの弾性表
面波の焦点が略一致するように構成した実施例8の入力
IDTの概略図である。
【符号の説明】
11,12(11’,12’) ワイヤボンディング
用のパッド 13(13’) 高周波励起用IDT部 14(14’) 中周波励起用IDT部 15(15’) 低周波励起用IDT部 31,32 入力電極端子 33 ボンディングワイヤ 34 信号源 35 シールド電極 61 ホーン 62 導波路(出力電極の1部) 63,64 ホーンの側面の境界 65−66 中央線 67 音響レンズ 68,69 音響レンズの境界 81 圧電基板 82,83 入力IDT 84 出力電極(Δv/v導波路) 85 PN符号発生器 86 入力回路 T 積分時間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 蜂巣 高弘 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小山 晃広 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 望月 規弘 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電基板上に形成され、弾性表面波を発
    生する複数の櫛型電極と、前記複数の櫛型電極の間の基
    板上に形成され、前記弾性表面波によるコンボリューシ
    ョン信号を出力する導波路を有する弾性表面波素子にお
    いて、 前記各櫛型電極から前記導波路に入力する弾性表面波を
    集束させる手段を有し、且つ、前記櫛型電極が、異なる
    周波数帯域に対応する互いに電極指の間隔の異なる複数
    の部分を有し、これらの部分が前記弾性表面波の進行方
    向に対して直交する方向に並設されたことを特徴とする
    弾性表面波素子。
  2. 【請求項2】 前記弾性表面波を集束させる手段は、前
    記導波路に対して凹状の櫛型電極であることを特徴とす
    る請求項1に記載の弾性表面波素子。
  3. 【請求項3】 前記櫛型電極の各電極指に導通するため
    のパッド部及び該パッド部と該電極指を接続する部分の
    長さが、該櫛型電極が励起する弾性表面波が前記パッド
    部分に進行しない範囲で短くなっていることを特徴とす
    る請求項2に記載の弾性表面波素子。
  4. 【請求項4】 前記弾性表面波を集束させる手段は、前
    記櫛型電極と、該櫛型電極と前記導波路との間に設けら
    れたホーンであることを特徴とする請求項1に記載の弾
    性表面波素子。
  5. 【請求項5】 前記弾性表面波を集束させる手段は、前
    記櫛型電極と、該櫛型電極と前記導波路との間に設けら
    れた音響レンズであることを特徴とする請求項1に記載
    の弾性表面波素子。
  6. 【請求項6】 前記櫛型電極の間隔の異なる複数の部分
    は、該櫛型電極の中心に対して対称に配置され、中心か
    ら離れるにつれて広がっていることを特徴とする請求項
    1に記載の弾性表面波素子。
  7. 【請求項7】 前記櫛型電極の前記間隔の異なる複数の
    部分が並列に接続されていることを特徴とする請求項1
    に記載の弾性表面波素子。
  8. 【請求項8】 前記櫛型電極の間隔の異なる複数の部分
    は、ドッグレッグ型で接続されていることを特徴とする
    請求項1に記載の弾性表面波素子。
  9. 【請求項9】 前記櫛型電極は、ダブル電極となってい
    ることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波素子。
  10. 【請求項10】 前記櫛型電極に接続される外部回路が
    非平衡回路であり、前記櫛型電極の一方の電極に接続さ
    れる導線が、前記櫛型電極間の直達波を防止するシール
    ド電極を兼ねて配置されることを特徴とする請求項1に
    記載の弾性表面波素子。
  11. 【請求項11】 前記櫛型電極は、1方向性を有するこ
    とを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波素子。
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