JP3139065B2 - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
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- JP3139065B2 JP3139065B2 JP03211272A JP21127291A JP3139065B2 JP 3139065 B2 JP3139065 B2 JP 3139065B2 JP 03211272 A JP03211272 A JP 03211272A JP 21127291 A JP21127291 A JP 21127291A JP 3139065 B2 JP3139065 B2 JP 3139065B2
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- acoustic wave
- electrode
- wave resonator
- electrodes
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波共振子に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の弾性表面波共振子は、図３に示す
ように、発生する弾性表面波の波長λ〔λ＝（電極下を
伝播する弾性表面波の平均速度）／（入射した弾性表面
波の周波数）〕の間隔で交叉指状電極１が形成され、こ
の交叉指状電極１の両側に、間隔がλ／２のくし歯状電
極で構成された反射器２が形成されていた。そして、そ
れぞれのくし歯状電極のエッジでは、弾性表面波が反射
されるため、これらの電極を複数本並べることにより、
反射器２を構成していた。反射器２を構成する電極の間
隔は、λ／２であるため、波長λの弾性表面波は、それ
ぞれの電極のエッジで反射されて位相がそろう。電極を
複数本並べた反射器２は、波長λの弾性表面波を一定の
位相で反射し、交叉指状電極１の両側に設けた反射器２
の間に定在波をたて、エネルギーを閉じ込めることがで
きる。したがって、このように構成すると、弾性表面波
共振子が実現できる。
ように、発生する弾性表面波の波長λ〔λ＝（電極下を
伝播する弾性表面波の平均速度）／（入射した弾性表面
波の周波数）〕の間隔で交叉指状電極１が形成され、こ
の交叉指状電極１の両側に、間隔がλ／２のくし歯状電
極で構成された反射器２が形成されていた。そして、そ
れぞれのくし歯状電極のエッジでは、弾性表面波が反射
されるため、これらの電極を複数本並べることにより、
反射器２を構成していた。反射器２を構成する電極の間
隔は、λ／２であるため、波長λの弾性表面波は、それ
ぞれの電極のエッジで反射されて位相がそろう。電極を
複数本並べた反射器２は、波長λの弾性表面波を一定の
位相で反射し、交叉指状電極１の両側に設けた反射器２
の間に定在波をたて、エネルギーを閉じ込めることがで
きる。したがって、このように構成すると、弾性表面波
共振子が実現できる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の弾性表面波
共振子では、所望の共振周波数が上がるに従って、電極
間隔を狭くしなければならず、実現できる共振子の周波
数は、製造技術で可能な最小パターン幅で決まり、高周
波化が難しいという問題点があった。
共振子では、所望の共振周波数が上がるに従って、電極
間隔を狭くしなければならず、実現できる共振子の周波
数は、製造技術で可能な最小パターン幅で決まり、高周
波化が難しいという問題点があった。
【０００４】本発明の目的は、電極の間隔を狭くしない
で、高周波化の可能な弾性表面波共振子を提供すること
にある。
で、高周波化の可能な弾性表面波共振子を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、圧電基板上に交叉指状電極を形成し、前
記交叉指状電極により発生した弾性表面波を前記交叉指
状電極の両側に設けられた反射器により反射し、弾性表
面波を前記反射器間に閉じ込めることにより共振子を構
成する弾性表面波共振子において、前記反射器を構成す
る反射電極をλ／２〔λ＝（電極下を伝播する弾性表面
波の平均速度）／（入射した弾性表面波の周波数）〕の
間隔で複数本設け、各々の反射電極を階段状にし、隣接
する段差をλ／ｎ（ｎは５以上の整数）にしたものであ
る。
に、本発明は、圧電基板上に交叉指状電極を形成し、前
記交叉指状電極により発生した弾性表面波を前記交叉指
状電極の両側に設けられた反射器により反射し、弾性表
面波を前記反射器間に閉じ込めることにより共振子を構
成する弾性表面波共振子において、前記反射器を構成す
る反射電極をλ／２〔λ＝（電極下を伝播する弾性表面
波の平均速度）／（入射した弾性表面波の周波数）〕の
間隔で複数本設け、各々の反射電極を階段状にし、隣接
する段差をλ／ｎ（ｎは５以上の整数）にしたものであ
る。
【０００６】
【実施例】次に、本発明について、図面を参照して説明
する。
する。
【０００７】図１は、本発明の一実施例の弾性表面波共
振子の圧電基板上の電極パターンを示したものである。
弾性表面波を発生する交叉指状電極１の両側に、階段形
状の反射電極３を複数本設け、その間隔をλ／２にした
反射器２が形成されている。
振子の圧電基板上の電極パターンを示したものである。
弾性表面波を発生する交叉指状電極１の両側に、階段形
状の反射電極３を複数本設け、その間隔をλ／２にした
反射器２が形成されている。
【０００８】図２は、反射電極のエッジで反射された弾
性表面波及びその合成波を示す図である。図２の右側に
反射電極３のうち、１本の拡大図を示す。この反射電極
３は、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，・・・と変化する階段状に
形成され、隣接する段差がλ／ｎ（ｎは５以上の整数）
になっている。図２の左側に、この反射電極３のエッジ
で反射する弾性表面波及びその合成波の位相を示してい
る。この反射電極３に入射する弾性表面波を矩形波と
し、階段状のそれぞれの段Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，・・・
での弾性表面波の反射波の位相を、その左に示してい
る。各段での弾性表面波の反射波は、隣接する段差がλ
／ｎであるため、行路差が（２λ）／ｎとなり、図２の
左側に示したように位相がずれる。したがって、これら
の弾性表面波の反射波を合成すると、図２の左側の一番
下に示したような合成波が得られる。この合成波は、入
射した弾性表面波のｎ倍の高調波となっているので、こ
の反射電極３は、入射した弾性表面波のｎ倍の高調波の
弾性表面波を効果的に反射しているといえる。この反射
電極３を複数本用いて構成された反射器２を、交叉指状
電極１の両側に設けることにより、入射した弾性表面波
のｎ倍の高調波の弾性表面波を閉じ込め、中心周波数が
入射した弾性表面波の周波数のｎ倍である弾性表面波共
振子を、間隔がλ／２の反射電極３で構成することがで
きる。
性表面波及びその合成波を示す図である。図２の右側に
反射電極３のうち、１本の拡大図を示す。この反射電極
３は、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，・・・と変化する階段状に
形成され、隣接する段差がλ／ｎ（ｎは５以上の整数）
になっている。図２の左側に、この反射電極３のエッジ
で反射する弾性表面波及びその合成波の位相を示してい
る。この反射電極３に入射する弾性表面波を矩形波と
し、階段状のそれぞれの段Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，・・・
での弾性表面波の反射波の位相を、その左に示してい
る。各段での弾性表面波の反射波は、隣接する段差がλ
／ｎであるため、行路差が（２λ）／ｎとなり、図２の
左側に示したように位相がずれる。したがって、これら
の弾性表面波の反射波を合成すると、図２の左側の一番
下に示したような合成波が得られる。この合成波は、入
射した弾性表面波のｎ倍の高調波となっているので、こ
の反射電極３は、入射した弾性表面波のｎ倍の高調波の
弾性表面波を効果的に反射しているといえる。この反射
電極３を複数本用いて構成された反射器２を、交叉指状
電極１の両側に設けることにより、入射した弾性表面波
のｎ倍の高調波の弾性表面波を閉じ込め、中心周波数が
入射した弾性表面波の周波数のｎ倍である弾性表面波共
振子を、間隔がλ／２の反射電極３で構成することがで
きる。
【０００９】なお、上記実施例では、反射器２を２つ設
けているが、反射器２を２つより多く設けることもでき
る。
けているが、反射器２を２つより多く設けることもでき
る。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、弾性表
面波共振子の反射電極を階段状とし、隣接した段差をλ
／ｎにしたため、中心周波数が入射した弾性表面波の周
波数のｎ倍である弾性表面波共振子を、間隔がλ／２の
反射電極で構成することができる。したがって、高い周
波数の弾性表面波共振子を、反射電極の間隔を細かくし
ないで実現できるという効果が得られる。
面波共振子の反射電極を階段状とし、隣接した段差をλ
／ｎにしたため、中心周波数が入射した弾性表面波の周
波数のｎ倍である弾性表面波共振子を、間隔がλ／２の
反射電極で構成することができる。したがって、高い周
波数の弾性表面波共振子を、反射電極の間隔を細かくし
ないで実現できるという効果が得られる。
【図１】本発明の一実施例の弾性表面波共振子の圧電基
板上の電極パターンを示す図である。
板上の電極パターンを示す図である。
【図２】本発明の一実施例に用いられた反射電極のエッ
ジで反射された弾性表面波及びその合成波を示す図であ
る。
ジで反射された弾性表面波及びその合成波を示す図であ
る。
【図３】従来の弾性表面波共振子を示す図である。
１ 交叉指状電極 ２ 反射器 ３ 反射電極
Claims (2)
- 【請求項１】圧電基板上に交叉指状電極を形成し、前記
交叉指状電極により発生した弾性表面波を前記交叉指状
電極の両側に設けられた反射器により反射し、弾性表面
波を前記反射器間に閉じ込めることにより共振子を構成
する弾性表面波共振子において、前記反射器を構成する
反射電極をλ／２〔λ＝（電極下を伝播する弾性表面波
の平均速度）／（入射した弾性表面波の周波数）〕の間
隔で複数本設け、各々の反射電極を階段状にし、隣接す
る段差をλ／ｎ（ｎは５以上の整数）にしたことを特徴
とする弾性表面波共振子。 - 【請求項２】反射器を２つよりも多く設けた請求項１記
載の弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03211272A JP3139065B2 (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03211272A JP3139065B2 (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 弾性表面波共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555861A JPH0555861A (ja) | 1993-03-05 |
| JP3139065B2 true JP3139065B2 (ja) | 2001-02-26 |
Family
ID=16603175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03211272A Expired - Fee Related JP3139065B2 (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3139065B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0750548A (ja) * | 1993-05-31 | 1995-02-21 | Canon Inc | 弾性表面波素子 |
| JP4184220B2 (ja) * | 2003-10-01 | 2008-11-19 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性表面波デバイス |
-
1991
- 1991-08-23 JP JP03211272A patent/JP3139065B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0555861A (ja) | 1993-03-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |