JP4184220B2 - 弾性表面波デバイス - Google Patents
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Description
2、20 シールド電極
3、30 IDT
3a、30a グランド側電極
3b、30b HOT側電極
5、50 圧電基板
6、7、8、9、21、22、23、24 パターン部(段差部又はテーパ部)
Claims (16)
- 圧電基板と、この上に設けられた少なくとも1つのインタディジタルトランスデューサ(IDT)と、前記圧電基板上に設けられたシールド電極とを有し、
前記シールド電極と向かい合う前記IDTの端部に第1のパターン部を設け、該第1のパターン部と前記シールド電極の端部との間の距離が等しくなるように、前記シールド電極の端部に第2のパターン部を設け、
前記第1のパターン部は、弾性表面波の通過帯域内における波長λに対してmλ+λ/n(mは0又は自然数、nは自然数)の幅の段差を含むことを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 前記第1のパターン部は、等間隔に配置された複数の前記段差を含むことを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記第1のパターン部は、異なる間隔で配置された複数の前記段差を含むことを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記第2のパターン部は段差を有し、前記第1のパターン部および前記第2のパターン部の対向する各段差間の距離はすべて等しいことを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記シールド電極の端部と前記IDTの端部との間の距離は、弾性表面波の通過帯域内における波長λに対してmλ+λ/n(mは0又は自然数、nは自然数)に等しいことを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記第1のパターン部は、前記IDTを構成する一対のくし型電極のうち、交流電圧が印加される側に設けられていることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記第1のパターン部は、前記IDTを構成する一対のくし型電極の両方に設けられていることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記第2のパターン部は段差を有し、前記第1のパターン部および前記第2のパターン部の向かい合う段差面の長さは等しいことを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記弾性表面波デバイスは前記第2のパターン部が形成されている側とは反対側の端部に、第3のパターン部を有することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 前記弾性表面波デバイスは前記第2のパターン部が形成されている側とは反対側の端部に、第3の段差を有するとともに、該第3の段差に向かい合う別のIDTを有し、該別のIDTは、前記第3の段差に向かい合う端部に第4の段差を有し、
前記第3及び第4の段差は、前記IDTと前記別のIDTとの間で、シールド電極と電極の無い前記圧電基板のみの部分との割合が一様になるように配置されていることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。 - 前記第1及び第2のパターン部は、くし型電極で形成された段差部を含むことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 前記第1及び第2のパターン部は、ベタ電極パターンで形成された段差部を含むことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 前記第3のパターン部は、くし型電極又はベタ電極パターンのいずれかで形成された段差部を含むことを特徴とする請求項9記載の弾性表面波デバイス。
- 前記第1及び第2のパターン部は、連続的な直線状のテーパで構成されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 前記第1及び第2のパターン部は、連続的な曲線状のテーパで構成されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 弾性表面波の伝搬方向における前記テーパの傾き長はnλ(nは自然数)であることを特徴とする請求項14又は15に記載の弾性表面波デバイス。
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