JPH0565971A - 駆動機構、及び弁の開閉駆動機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【構成】駆動機構、又は弁の開閉駆動機構において、第
１シリンダ室１の第１ピストン３の一側に圧力媒体を導
入するための第１流路２１と、第２シリンダ室２の第２
ピストン４の一側に圧力媒体を導入するための第２流路
２２と、第１流路から分岐され、第２シリンダ室の第２
ピストンの他側に圧力媒体を導入でき、且つ、流路の径
が第１及び第２流路に比べて小径に形成された小径部２
４を有する分岐流路２３とを設ける。 【効果】大きな初期力（トルク）を必要とし、その後に
はそれ程大きな力を必要としないような場合に、後半に
不要な力を発生することなく、エネルギ損失なく、また
衝突音の問題もなく、かかる場合に極めて好適である駆
動機構を提供することができ、これらに加えて、コンパ
クト化を図ることができると共に、弁の開度調整を容易
にしかも精度よく行える弁の開閉駆動機構を提供するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の技術分野】本発明は、ピストンロッドを往復動
させて往復動を出力として取り出すことができる駆動機
構に関し、より具体的には、ピストンロッドの往復動に
より弁を開閉するための弁の開閉駆動機構に関する。

【０００２】

【発明の技術的背景】図１０，１１に示すように、弁、
例えば、バタフライ弁の開閉駆動機構では、図示しない
ハウジングに互いに対向する一対のシリンダ室１，２が
形成してあり、これらのシリンダ室１，２に各々一対の
ピストン３，４が収納してあり、これらピストン３，４
の両端に、ラックギヤ６が形成されたピストンロッド５
が連結してある。さらに、このピストンロッド５のラッ
クギヤ６にピニオン７が噛合するように配設してあり、
このピニオン７の中心軸である弁軸８に、図１１に示す
ように、弁体９が固定してある。

【０００３】したがって、第１シリンダ室１の第１ピス
トン３の右側に、圧搾空気などの圧力媒体が供給され、
第２シリンダ室２の第２ピストン４の左側が大気に開放
されると、第１及び第２ピストン３，４、及びピストン
ロッド５は、左方に移動してピニオン７及び弁軸８が回
転され、弁体９が回転してハウジング１０に形成された
弁座１１に圧接して弁が開成される（この状態を図１１
に仮想線で示す）。逆に、第２シリンダ室２の第２ピス
トン４の左側に、圧搾空気などの圧力媒体が供給され、
第１シリンダ室１の第１ピストン３の右側が大気に開放
されると、第１及び第２ピストン３，４、及びピストン
ロッド５は、右方に移動してピニオン７及び弁軸８が回
転され、弁体９が回転して弁座１１から離れて弁が閉成
される。

【０００４】ところで、上記のような従来の弁の開閉駆
動機構では、弁を開成又は閉成する際には、一方のシリ
ンダ室に圧力媒体が供給され、他方のシリンダ室は大気
に開放されている。そのため、ピストンに作用する力
は、図１２に示すように、常に一定（Ｆ）に維持されて
いる。

【０００５】弁を開成する際には、弁体１２が弁座１１
に圧接した静止状態の摩擦状態から弁体９を移動するた
め、開成初期には、非常に大きな力（トルク）が必要と
される。そのため、上記ピストンに作用する力（Ｆ）
は、この初期力（トルク）に基づいて決定されている。
その結果、弁を開成または閉成する際には、ピストンに
は、常にこの初期力（トルク）Ｆが作用されている。

【０００６】しかし、弁を開成する場合、初期には弁体
９のＯリング１２と弁座１１との摩擦力のため大きい力
（トルク）を必要とするが、一旦、Ｏリング１２と弁座
１１との摩擦がなくなると、弁体９は慣性力により回転
するためその後はそれ程大きな力（トルク）を必要とし
ない。また、弁を閉成する場合にも、弁体９が拘束され
ていない状態から弁体９を回転するため、それ程大きな
力（トルク）を必要としない。

【０００７】したがって、従来の駆動機構では、弁を僅
かに開成した後、および弁を閉成する場合には、不要な
大きな力（トルク）をかけることとなっていた。別言す
ると、不要な圧力媒体を供給していたことになり、エネ
ルギ損失ともなっていた。

【０００８】さらに、このように、大きい力を必要とし
ないときに、不要な大きい力がかけられている場合に
は、ピストンがシリンダヘッドに当接して停止する際、
非常に大きな衝突音が生起されることが多く、問題とな
っていた。

【０００９】また、従来、図１０に簡略化して示すよう
に、第１及び第２シリンダ室１，２への圧力媒体の供給
は、シリンダヘッドに管１３，１４を接続して行われて
いたため、弁全体の比較的大きなものとなり、コンパク
ト化を図ることが困難であった。しかも、シリンダヘッ
ドの位置を調整することにより第１及び第２ピストンの
停止位置を調整し、ひいては弁の開度を調整するように
構成されていたが、このシリンダヘッドの位置を調整す
るには、管１３，１４を取り外して行わなければなら
ず、その作業が極めて煩雑であると共に、その開度調整
の精度が出ないといった問題もあった。

【００１０】

【発明の目的】本発明は、上述したような事情に鑑みて
なされたものであって、大きな初期力（トルク）を必要
とし、その後にはそれ程大きな力を必要としないような
場合に、後半に不要な力を発生することなく、エネルギ
損失なく、また衝突音の問題もなく、かかる場合に極め
て好適である駆動機構を提供することを目的としてお
り、これらに加えて、コンパクト化を図ることができる
と共に、弁の開度調整を容易にしかも精度よく行える弁
の開閉駆動機構を提供することを目的としている。

【００１１】

【発明の概要】本発明の請求項１，３に係る駆動機構お
よび弁の開閉駆動機構は、ピストンロッドの両端に各々
２つの第１及び第２ピストンが連結され、これら２つの
第１及び第２ピストンを収納する２つの第１及び第２シ
リンダ室が互いに対向して配置され、第１又は第２シリ
ンダ室に圧力媒体を導入し第１又は第２ピストンを加圧
してピストンロッドを往復動させ、この往復動を外部に
出力する駆動機構、又は弁の開閉駆動機構において、第
１シリンダ室の第１ピストンの一側に圧力媒体を導入す
るための第１流路と、第２シリンダ室の第２ピストンの
一側に圧力媒体を導入するための第２流路と、第１流路
から分岐され、第２シリンダ室の第２ピストンの他側に
圧力媒体を導入でき、且つ、流路の径が第１及び第２流
路に比べて小径に形成された小径部を有する分岐流路
と、を具備することを特徴としている。

【００１２】図８，９を参照して、本発明に係る駆動機
構の原理を説明する。図８に示すように、本発明では、
先ず、従来とほぼ同様に、第１シリンダ室１の一側に
は、第１流路２１が接続され、第２シリンダ室の一側に
は、第２流路２２が接続されている。さらに、本発明で
は、第１流路２１と第２シリンダ室の他側とが分岐流路
２３により接続されており、この分岐流路２３が小径部
２４を有することを特徴としている。

【００１３】このように構成している結果、弁を開成す
る際には、第１流路２１および分岐流路２３を介して、
第１シリンダ室１の第１ピストン３の右側および第２シ
リンダ室２の第２ピストン４の右側に圧力媒体を供給す
る。弁の開成初期（即ち、弁体のＯリングが弁座に対し
て摩擦状態にあるとき）には、分岐流路２３が小径部２
４を有していても、第２シリンダ室２の右側の容積は、
第１シリンダ室１の右側の容積とともに小さく、両シリ
ンダ室１，２の右側に供給される圧力媒体の量は少ない
ため、両シリンダ室１，２の右側には、ほぼ同量の圧力
媒体が供給されている。その結果、両ピストン３，４に
は、同じ大きさのＦ／２ずつの力が作用し、ピストンロ
ッド５を押す力としては、図１３のグラフに示すよう
に、（Ｆ／２）×２＝Ｆの力が作用する。これにより、
比較的大きい力が必要とされる弁の開成初期（即ち、弁
体のＯリングが弁座に対して摩擦状態にあるとき）に
は、この大きな力を得ることができる。

【００１４】しかしながら、その後、図９に示すよう
に、ピストンロッド５が左方にある程度移動したとき
（即ち、弁体のＯリングが弁座に対して摩擦状態にな
く、弁体が慣性力により回転できるとき）には、分岐流
路２３は小径部２４を有しているため、この小径部２４
を介して第２シリンダ室２の第２ピストン４の右側に供
給される圧力媒体の量は除々に少なくなり、第１シリン
ダ室１の第１ピストン３の右側に供給される圧力媒体の
量に比べてかなり少なくなる。その結果、第１ピストン
３には（Ｆ／２）の力が作用するが、第２ピストン４に
は、（Ｆ／２）以下の小さい力が作用する。そのため、
ピストンロッド５を押す力としては、図１３のグラフに
示すように、（Ｆ／２）×２＝Ｆより小さい力が作用す
る。その結果、弁体を回転させるトルクも小さくなって
いる。その後、第１及び第２ピストン３，４が各々第１
及び第２シリンダ室１，２の左端に到達したときには、
小さい力が作用しているため、衝突音も小さく、また、
これに伴う衝撃も少なく損傷も少ない。

【００１５】しかも、従来の図１２のグラフと本発明の
図１３のグラフとを比較すれば明らかなように、初期に
は、ピストンロッド５には比較的大きな力（Ｆ）が働
き、その後には、比較的小さな力が働くため、即ち、必
要な時に大きな力を分配し必要でない時に小さな力を分
配しているため、弁の開成初期に大きな力を必要としそ
の後は小さな力で足りる弁の開成には好適な駆動機構を
提供することができる。さらに、これらのグラフから明
らかなように、従来に比べて、供給する圧力媒体の量を
かなり少なくすることができ、ひいては、エネルギ損失
を低く抑えることができる。

【００１６】なお、弁を閉成する際には、第１流路２１
を大気に開放しているが、第２シリンダ室２の第２ピス
トン４の右側の圧力媒体は分岐流路２３の小径部２４を
介して排出されるため、この排出作用は除々にしかすす
まない。しかし、弁の閉成時には、慣性力により弁体が
弁座に圧着するため、特に支障がない。

【００１７】また、本発明に係る駆動機構は、弁の開閉
駆動機構のみならず、初期には大きな力（トルク）を必
要とするがその後にはそれ程大きな力を必要としないも
のであれば、種々適用可能である。

【００１８】さらに、請求項２，４に係る駆動機構及び
弁の開閉駆動機構では、第１流路、第２流路、及び分岐
流路は、前記第１及び第２シリンダ室を形成するハウジ
ング内に形成されていることを特徴としている。

【００１９】このように構成してあるため、圧力媒体を
供給するための管などを必要とせず、弁全体をコンパク
トにすることができる。これに加えて、ハウジング内に
形成されたこれらの流路から第１及び第２シリンダ室に
圧力媒体を供給できるようにしてあるため、第１及び第
２シリンダ室のシリンダヘッドには、圧力媒体の管など
が接続されていない。そのため、シリンダヘッドの位置
を調整することにより第１及び第２ピストンの停止位置
を調整し、ひいては弁の開度を調整する作業を極めて容
易に行うことができ、この開度の調整の精度を高めるこ
とができる。

【００２０】

【発明の具体的説明】以下、本発明の一実施例に係る弁
の開閉駆動機構について説明する。図１は、本発明の一
実施例に係るバタフライ弁本体及び弁の開閉駆動機構の
一部破断正面図である。図２は、図１に示すバタフライ
弁本体及び弁の開閉駆動機構の一部破断側面図である。

【００２１】図１，２に示すように、本実施例に係るバ
タフライ弁３０は、弁座１１が形成してある弁本体ハウ
ジング１０を有している。弁本体ハウジング１０内に
は、弁体９が弁軸８を回転軸として回転自在に収容して
ある。この弁体９が弁軸８を回転軸として弁座１１に対
して回転することで、弁の開閉が可能になっている。

【００２２】弁体９は、複数のボルトにより弁軸８に連
結してある。この弁軸８の下端には、図２に示すよう
に、ピニオン７がキーを介して固定されており、これに
より、ピニオン７と弁軸８と弁体９とが一体となって回
転するように構成されている。ピニオン７は、弁本体ハ
ウジング１０の下部に装着してある駆動側ハウジング３
１内に配置されている。弁軸８は、弁本体ハウジング１
０及び駆動側ハウジング３１内に装着してある軸受３２
により回転自在に支持され、さらに、この弁軸８の下端
には、スイッチバー３３が固着されている。このスイッ
チバー３３は、リミットスイッチなどに当接することに
より、弁体９の開度を検知することが可能になってい
る。

【００２３】駆動側ハウジング３１内には、図１に示す
ように、互いに対向して第１及び第２のシリンダ室１，
２が形成されている。これら第１及び第２シリンダ室
１，２には、第１及び第２ピストン３，４が摺動自在に
収納してある。これら第１及び第２ピストン３，４は、
駆動側ハウジング３１内に軸方向移動可能に収納された
ピストンロッド５の両端にボルトにより連結されてい
る。このピストンロッド５には、図２に示すように、ピ
ニオン７に噛合するラックギヤ６が形成されている。し
たがって、第１又は第２シリンダ室１，２に圧力媒体が
供給され、ピストンロッド５が軸方向に移動されると、
これに伴ってピニオン７及び弁軸８が回転され、弁体９
が弁座１１に対して開閉される。また、第１及び第２シ
リンダ室１，２の両端には、シリンダヘッド３４，３５
が装着されている。このシリンダヘッド３４，３５は、
軸方向に調整可能に構成されており、これにより、第１
及び第２ピストン３４，３５の停止位置を調整し、その
結果、弁体９の開度を調整できるようになっている。さ
らに、駆動側ハウジング３１の下面には、電磁弁３６が
取付けられている。この電磁弁３６は、後述するよう
に、第１及び第２シリンダ室１，２に供給する圧搾空気
などの圧力媒体を制御するためのものである。

【００２４】次に、本実施例の最大の特徴である駆動側
ハウジング３１に形成された圧力媒体のための流路群に
ついて説明する。図３は、駆動側ハウジングを正面で断
面した断面図である。図４は、図３に示す駆動側ハウジ
ングの底面図である。図５は、図３に示す駆動側ハウジ
ングの背面図である。図６は、図３のＶＩ−ＶＩ線に沿
う断面図である。図７は、駆動側ハウジング３１内を背
面から透視したように見たときの斜視図である。

【００２５】先ず、図３に示すように、駆動側ハウジン
グ３１には、上記ピストンロッド５を収納するための孔
３７、第１及び第２シリンダ室１，２、シリンダヘッド
３４，３５を収納するための孔３８、および、ピニオン
７および弁軸８などを収納するための孔３９が形成され
ているが、本実施例では、これら以外に、図４、５に示
すように（最も分かり易くには、図７に模式的に示すよ
うに）、圧力媒体のための流路群が形成されている。な
お、これらの流路群を駆動側ハウジング３１内に形成す
るに際しては、細長い貫通孔を形成し、この貫通孔の開
口を鋼球などにより閉鎖することにより、流路群を形成
している。

【００２６】これらの流路群は、図７に最もよく示すよ
うに、以下のように構成されている。第１シリンダ室１
内に圧力媒体を供給するための第１流路２１が形成され
ており、この第１流路２１の入口部２１ａ（即ち電磁弁
３６（図１）との接続部）は、駆動側ハウジング３１の
底面に開口されている。第２シリンダ室２内に圧力媒体
を供給するための第２流路２２が形成されており、この
第２流路の入口部２２ａ（即ち電磁弁３６（図１）との
接続部）も、同様に、ハウジング３１の底面に開口され
ている。さらに、第１流路２１から分岐され第２シリン
ダ室２の第２ピストン４の右側に圧力媒体を供給するた
めの分岐流路２３が形成されている。この分岐流路２３
には、第１流路２１及び第２流路２２より小径である小
径部２４が形成されている。

【００２７】さらに、圧力媒体源から圧力媒体を一旦電
磁弁３６（図１）に供給するための供給流路４１が形成
されている。この供給流路４１と電磁弁３６（図１）と
の接続部４１ａがハウジング３１の底面に形成されてお
り、圧力媒体源に接続される入口部４１ｂは、ハウジン
グ３１の背面に開口されている。さらに、第１シリンダ
室１を大気に開放するための排出流路４２が形成されて
いる。この排出流路４２と電磁弁３６（図１）との接続
部４２ａがハウジング３１の底面に形成されており、こ
の排出流路４２の出口部４２ｂは、ハウジング３１の背
面に開口されている。さらに第２シリンダ室２を大気に
開放するための排出流路４３が形成されている。この排
出流路４３と電磁弁３６（図１）との接続部４３ａがハ
ウジング３１の背面に開口されており、この排出流路４
３の出口部４３ｂは、ハウジング３１の背面に開口され
ている。

【００２８】このように構成してあるため、弁を開成す
る際には、図７に符号Ａ，Ｂで示すように、電磁弁を切
り換える。これにより、供給流路４１と第１流路２１と
を接続し、第１流路２１および分岐流路２３を介して、
第１シリンダ室１の第１ピストン３の右側および第２シ
リンダ室２の第２ピストン４の右側に圧力媒体を供給す
る一方、排出流路４３と第２流路２２とを接続し、第２
シリンダ室２の第２ピストン４の左側を大気に開放す
る。

【００２９】弁の開成初期（即ち、弁体８のＯリング１
２が弁座１１に対して摩擦状態にあるとき）には、分岐
流路２３が小径部２４を有していても、第２シリンダ室
２の右側の容積は、第１シリンダ室１の右側の容積とと
もに小さく、両シリンダ室１，２の右側に供給される圧
力媒体の量は少ないため、両シリンダ室１，２の右側に
は、ほぼ同量の圧力媒体が供給されている。その結果、
両ピストン３，４には、同じ大きさのＦ／２ずつの力が
作用し、ピストンロッド５を押す力としては、図１３の
グラフに示すように、（Ｆ／２）×２＝Ｆの力が作用す
る。これにより、比較的大きい力が必要とされる弁の開
成初期（即ち、弁体のＯリングが弁座に対して摩擦状態
にあるとき）には、この大きな力を得ることができる。

【００３０】しかしながら、その後、ピストンロッド５
が左方にある程度移動したとき（即ち、原理的には、図
９に示すような状態になり、弁体８のＯリング１２が弁
座１１に対して摩擦状態になく、弁体８が慣性力により
回転できるとき）には、分岐流路２３は小径部２４を有
しているため、この小径部２４を介して第２シリンダ室
２の第２ピストン４の右側に供給される圧力媒体の量は
除々に少なくなり、第１シリンダ室１の第１ピストン３
の右側に供給される圧力媒体の量に比べてかなり少なく
なる。その結果、第１ピストン３には（Ｆ／２）の力が
作用するが、第２ピストン４には、（Ｆ／２）以下の小
さい力が作用する。そのため、ピストンロッド５を押す
力としては、図１３のグラフに示すように、（Ｆ／２）
×２＝Ｆより小さい力が作用する。その結果、弁体を回
転させるトルクも小さくなっている。その後、第１及び
第２ピストン３，４が各々第１及び第２シリンダ室１，
２の左端に到達したときには、小さい力が作用している
ため、衝突音も小さく、また、これに伴う衝撃も少なく
損傷も少ない。

【００３１】しかも、従来の図１２のグラフと本発明の
図１３のグラフとを比較すれば明らかなように、初期に
は、ピストンロッド５には比較的大きな力（Ｆ）が働
き、その後には、比較的小さな力が働くため、即ち、必
要な時に大きな力を分配し必要でない時に小さな力を分
配しているため、弁の開成初期に大きな力を必要としそ
の後は小さな力で足りる弁の開成には好適な駆動機構を
提供することができる。さらに、これらのグラフから明
らかなように、従来に比べて、供給する圧力媒体の量を
かなり少なくすることができ、ひいては、エネルギ損失
を低く抑えることができる。

【００３２】次いで、弁を閉成する際には、図７に符号
Ｃ，Ｄで示すように、電磁弁を切り換える。これによ
り、供給流路４１と第２流路２２とを接続し、第２シリ
ンダ室２の第２ピストン４の左側に圧力媒体を供給する
一方、排出流路４２と第１流路２１とを接続し、第１シ
リンダ室１の右側および第２シリンダ室２の第２ピスト
ンの右側を大気に開放する。この際、第２シリンダ室２
の第２ピストン４の右側の圧力媒体は分岐流路２３の小
径部２４を介して排出されるため、この排出作用は除々
にしかすすまない。しかし、弁の閉成時には、慣性力に
より弁体８が弁座１１に圧着するため、特に支障がな
い。

【００３３】さらに、本実施例では、流路群がハウジン
グ３１内に形成されているため、圧力媒体を供給するた
めの管などを必要とせず、弁全体をコンパクトにするこ
とができる。これに加えて、ハウジング３１内に形成さ
れた第１流路２１、第２流路２２、分岐流路２３により
第１及び第２シリンダ室１，２に圧力媒体を供給できる
ようにしてあるため、第１及び第２シリンダ室１，２の
シリンダヘッド３４，３５（図１）には、圧力媒体の管
などが接続されていない。そのため、シリンダヘッド３
４，３４の位置を調整することにより第１及び第２ピス
トン３，４の停止位置を調整し、ひいては弁の開度を調
整する作業を極めて容易に行うことができ、この開度の
調整の精度を高めることができる。

【００３４】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものではなく、種々変形可能である。特に、本発明
に係る駆動機構は、弁の開閉駆動機構のみならず、初期
には大きな力（トルク）を必要とするがその後にはそれ
程大きな力を必要としないものであれば、種々適用可能
である。

【００３５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明に係る駆動機
構では、駆動初期には、ピストンロッド５には比較的大
きな力を働かすことができ、、その後には、比較的小さ
な力を働かすことができるため、即ち、必要な時に大き
な力を分配し必要でない時に小さな力を分配できるた
め、初期に大きな力を必要としその後は小さな力で足り
る場合に好適な駆動機構を提供することができる。さら
に、従来に比べて、供給する圧力媒体の量をかなり少な
くすることができ、ひいては、エネルギ損失を低く抑え
ることができる。また、第１及び第２ピストンが停止す
るとき、小さい力が作用しているため、衝突音も小さ
く、また、これに伴う衝撃も少なく損傷も少ない。

【００３６】また、本発明に係る弁の開閉駆動機構で
は、これらの効果に加えて、圧力媒体を供給するための
管などを必要とせず、弁全体をコンパクトにすることが
できる。さらに、ハウジング内に形成された流路から第
１及び第２シリンダ室に圧力媒体を供給できるようにし
てあり、従来のように、シリンダヘッドに管などが接続
されていないため、シリンダヘッドの位置を調整するこ
とにより第１及び第２ピストンの停止位置を調整し、ひ
いては弁の開度を調整する作業を極めて容易に行うこと
ができ、この開度の調整の精度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の一実施例に係るバタフライ弁
本体及び弁の開閉駆動機構の一部破断正面図である。

【図２】図２は、図１に示すバタフライ弁本体及び弁の
開閉駆動機構の一部破断側面図である。

【図３】図３は、駆動側ハウジングを正面で断面した断
面図である。

【図４】図４は、図３に示す駆動側ハウジングの底面図
である。

【図５】図５は、図３に示す駆動側ハウジングの背面図
である。

【図６】図６は、図３のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図であ
る。

【図７】図７は、駆動側ハウジング３１内を背面から透
視したように見たときの斜視図である。

【図８】図８は、本発明の原理を説明するための図であ
って、弁を開成するときの初期状態での弁の開閉駆動機
構の模式的断面図である。

【図９】図９は、本発明の原理を説明するための図であ
って、弁を開成するときの途中状態での弁の開閉駆動機
構の模式的断面図である。

【図１０】図１０は、従来の弁の開閉駆動機構の模式的
断面図である。

【図１１】図１１は、弁本体を弁軸に垂直に断面したと
きの断面図である。

【図１２】図１２は、従来の弁の開閉駆動機構におい
て、ピストンロッドに加わる力（Ｆ）と時間との関係を
示すグラフである。

【図１３】図１３は、本発明の弁の開閉駆動機構におい
て、ピストンロッドに加わる力（Ｆ）と時間との関係を
示すグラフである。

【符号の説明】

１ 第１シリンダ室 ２ 第２シリンダ室 ３ 第１ピストン ４ 第２ピストン ５ ピストンロッド ２１ 第１流路 ２２ 第２流路 ２３ 分岐流路 ２４ 小径部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ピストンロッドの両端に各々２つの第１
   及び第２ピストンが連結され、これら２つの第１及び第
   ２ピストンを収納する２つの第１及び第２シリンダ室が
   互いに対向して配置され、第１又は第２シリンダ室に圧
   力媒体を導入し第１又は第２ピストンを加圧してピスト
   ンロッドを往復動させ、この往復動を外部に出力する駆
   動機構において、 第１シリンダ室の第１ピストンの一側に圧力媒体を導入
   するための第１流路と、 第２シリンダ室の第２ピストンの一側に圧力媒体を導入
   するための第２流路と、 第１流路から分岐され、第２シリンダ室の第２ピストン
   の他側に圧力媒体を導入でき、且つ、流路の径が第１及
   び第２流路に比べて小径に形成された小径部を有する分
   岐流路と、を具備することを特徴とする駆動機構。
2. 【請求項２】 前記第１流路、第２流路、及び分岐流路
   は、前記第１及び第２シリンダ室を形成するハウジング
   内に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の
   駆動機構。
3. 【請求項３】 ピストンロッドの両端に各々２つの第１
   及び第２ピストンが連結され、これら２つの第１及び第
   ２ピストンを収納する２つの第１及び第２シリンダ室が
   互いに対向して配置され、第１又は第２シリンダ室に圧
   力媒体を導入し第１又は第２ピストンを加圧してピスト
   ンロッドを往復動させ、これにより、弁を開閉するため
   の弁の開閉駆動機構において、 第１シリンダ室の第１ピストンの一側に圧力媒体を導入
   するための第１流路と、 第２シリンダ室の第２ピストンの一側に圧力媒体を導入
   するための第２流路と、 第１流路から分岐され、第２シリンダ室の第２ピストン
   の他側に圧力媒体を導入でき、且つ、流路の径が第１及
   び第２流路に比べて小径に形成された小径部を有する分
   岐流路と、を具備することを特徴とする弁の開閉駆動機
   構。
4. 【請求項４】 前記第１流路、第２流路、及び分岐流路
   は、前記第１及び第２シリンダ室を形成するハウジング
   内に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の
   弁の開閉駆動機構。