JP4761192B2 - 弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器 - Google Patents

Description

本発明は、弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器に関するものである。

弾性表面波（Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ：以下、ＳＡＷという）素子片は、ＳＡＷフィルタやＳＡＷ共振片を構成している。このＳＡＷフィルタの一例としては、ツイン・ジュアルモード・フィルタを構成したものがある。ツイン・ジュアルモード・フィルタは、導電路を介して接続された２つのジュアルモード・フィルタを備えている。各ジュアルモード・フィルタは、入力トランスジューサおよび出力トランスジューサを備えている。また各ジュアルモード・フィルタは、入力トランスジューサのうちの一方と接続する短い反射器、および出力トランスジューサのうちの一方と接続する短い反射器を入力トランスジューサと出力トランスジューサとの間に配設している。

また各ジュアルモード・フィルタは、入力トランスジューサおよび出力トランスジューサを挟み込む位置に反射器を配置した構成であり、隣接するトランスジューサのうち短い反射器と接続していないトランスジューサと各反射器が接続している。そして入力側の反射器同士および出力側の反射器同士が導電路を介して互いに接続するとともに、入力側の短い反射器同士および出力側の短い反射器同士が導電路を介して互いに接続している。

さらにツイン・ジュアルモード・フィルタは、各ＤＭＳトラックにおける低周波トラックの高周波共振が高周波トラックの低周波共振に当たるように、互いに周波数がずれて形成されている。このようなツイン・ジュアルモード・フィルタでは、ボンディング線がＤＭＳトラックの少なくとも１つの上に引かれることが無くなり、且つ擾乱性の横モードが発生することなしに低いインピーダンスが得られる（特許文献１を参照）。
特許３４１９４６５号公報

上述したツイン・ジュアルモード・フィルタでは、２つ以上のツイン・ジュアルモード・フィルタを並列接続すると低インピーダンスが得られるが、ジュアルモード・フィルタを多段に並列接続しなければならないので、縦方向のサイズが大きくなってしまう。すなわち、ジュアルモード・フィルタを導電路で接続しているので、ジュアルモード・フィルタを多段に並列接続すればするほど導電路を設ける面積も大きくなっていき、縦方向のサイズが大きくなってしまう。ところで、近年は、電子機器が小型化されているのに伴い、この電子機器に搭載されるＳＡＷ素子片にも小型化が要求されているので、ツイン・ジュアルモード・フィルタでは小型化の要求を満たすことができない。

また仮に、ツイン・ジュアルモード・フィルタの小型化をするために、トランスジューサの電極指や反射器のストリップ電極を接続する電極導体を細くした場合は、電極導体に生じる抵抗分が大きくなり、フィルタ特性の損失が大きくなってしまう問題がある。

さらにツイン・ジュアルモード・フィルタの電極パターンは、トランスジューサや反射器を電極導体で接続したり、スペースを設けたりしているので、均一なパターンになっていない。ＳＡＷ素子片では、トランスジューサや反射器の電極パターンが均一に設けられているのが好ましいので、均一になっていない場合はフィルタ特性が劣化する虞がある。

本発明は、横モードスプリアスの無い低インピーダンスな弾性表面波素子片を提供することを目的とする。
また、この弾性表面波素子片を用いた弾性表面波デバイスおよび電子機器を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係る弾性表面波素子片は、入力側すだれ状電極および出力側すだれ状電極と、これらのすだれ状電極を挟み込む位置に配置された反射器とを圧電基板上に設け、前記入力側すだれ状電極および前記出力側すだれ状電極を構成する電極指を複数の直線部に分割するとともに、その分割された直線部同士を接続する接続部を設け、前記入力側すだれ状電極および前記出力側すだれ状電極のうち、いずれか一方の前記すだれ状電極における同一の前記電極指に設けられた前記各直線部を弾性表面波の伝搬方向にずらし、前記入力側すだれ状電極および前記出力側すだれ状電極のうち、他方の前記すだれ状電極を構成する前記各電極指に設けられた前記接続部は、少なくとも「く」字状に折り曲げられてなり、前記反射器を構成するストリップ電極を構成する電極指を複数の直線部に分割するとともに、その分割された直線部同士を接続する接続部を設け、前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との対応する前記直線部でトラックを構成し、前記各トラックにおいて一方のトラックにおける入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極の間隔と、他方のトラックにおける入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極の間隔の差を設けることによって弾性表面波の位相を反転させ、低周波トラックにおける高周波共振と高周波トラックにおける低周波共振とを重ねてフィルタ特性の通過帯域を形成してなる、ことを特徴としている。

これにより横モードスプリアスの無い低インピーダンスな弾性表面波素子片を得ることができる。また弾性表面波素子片は、低周波トラックと高周波トラックとで弾性表面波の位相が反転しているので、低周波トラックにおける高周波共振と高周波トラックにおける低周波共振を同位相にすることができる。また弾性表面波素子片は、各トラックで弾性表面波を励起して、各トラックで通過帯域を得ることができる。そして各トラックは、それぞれで得られるフィルタ特性の通過帯域をずらして、これらの通過帯域の一部分を重ねているので、弾性表面波素子片は広い通過帯域を得ることができる。さらに弾性表面波素子片は、同一の電極指や同一のストリップ電極において接続部を介して直線部を連結した構成なので、電極指等に沿う方向の大きさを小型化することができる。さらにまた、一方のすだれ状電極では、同一の電極指に設けられた各直線部が弾性表面波の伝搬方向にずれている。これに対して、他方のすだれ状電極では、同一の電極指に設けられた各直線部が弾性表面波の伝搬方向にずれていない。これにより一方のトラックにおける入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極の間と、他のトラックにおける入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極との間に少なくとも弾性表面波の半波長分の差を設けることができる。接続部を２段階に折り曲げて平面視く字型としているので、これにより他方のすだれ状電極において、同一の電極指に設けられた各直線部は、弾性表面波の伝搬方向にずれることなく接続部により接続されることができる。

また一方の前記トラックにおける前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との間と、他方の前記トラックにおける前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との間の差は、

（λ：弾性表面波の波長）
の関係を満たすことを特徴としている。これにより弾性表面波素子片は、位相が反転された弾性表面波と、反転されてない弾性表面波とを励起することができる。

また弾性表面波素子片は、入力側すだれ状電極および出力側すだれ状電極と、これらのすだれ状電極を挟み込む位置に配置された反射器とを圧電基板上に設け、前記入力側すだれ状電極および前記出力側すだれ状電極を構成する電極指を複数の直線部に分割するとともに、その分割された直線部同士を接続する接続部を設け、前記入力側すだれ状電極および前記出力側すだれ状電極のうち、いずれか一方のすだれ状電極における同一の前記電極指に設けられた前記各直線部を弾性表面波の一方の伝搬方向にずらし、前記反射器を構成するストリップ電極を複数の直線部に分割するとともに、その分割された直線部同士を接続する接続部を設け、前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との対応する前記直線部でトラックを構成し、前記各トラックにおいて一方のトラックにおける入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極の間隔と、他方のトラックにおける入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極の間隔の差を設けることによって弾性表面波の位相を反転させ、低周波トラックにおける高周波共振と高周波トラックにおける低周波共振とを重ねてフィルタ特性の通過帯域を形成してなるとともに、一方の前記トラックにおける前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との間と、他方の前記トラックにおける前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との間との差は、

（λ：弾性表面波の波長）
の関係を満たす、ことを特徴としている。

これにより横モードスプリアスの無い低インピーダンスな弾性表面波素子片を得ることができるとともに、この弾性表面波素子片は、位相が反転された弾性表面波と、反転されてない弾性表面波とを励起することができる。

前記入力側すだれ状電極および前記出力側すだれ状電極のうち、他方の前記すだれ状電極における同一の前記電極指に設けられた各直線部を弾性表面波の他方の前記伝搬方向にずらす構成とすることができる。
これにより低周波トラックにおける高周波共振と高周波トラックにおける低周波共振を同位相にすることができるので、この高周波共振と低周波共振とを重ねることにより広い通過帯域を得ることができる。さらに弾性表面波素子片は、同一の電極指や同一のストリップ電極において接続部を介して直線部を連結した構成なので、電極指等に沿う方向の大きさを小型化することができる。

そして 前記反射器は、前記入力側すだれ状電極に隣接する入力側反射器と、前記出力側すだれ状電極に隣接する出力側反射器とを有し、前記入力側反射器を構成する前記ストリップ電極は、前記入力側すだれ状電極を構成する前記電極指の形状と同一形状とし、前記出力側反射器を構成する前記ストリップ電極は、前記出力側すだれ状電極を構成する前記電極指の形状と同一形状とした、ことを特徴としている。これにより各反射器を構成するストリップ電極に設けられた接続部は、隣接するすだれ状電極の接続部に倣う形状にすることができる。

また同一の前記電極指に設けられた前記各直線部は、弾性表面波の伝搬方向に距離Ｌ１だけ離れるとともに、同一の前記ストリップ電極に設けられた前記各直線部は、弾性表面波の伝搬方向に距離Ｌ２だけ離れており、前記距離Ｌ１，Ｌ２は、
３λ／８≦Ｌ１≦５λ／８ （但し、λは弾性表面波の波長）
３λ／８≦Ｌ２≦５λ／８
の関係を満たすことを特徴としている。これにより弾性表面波素子片は、フィルタ特性の中心周波数や共振子の共振周波数から横モードスプリアスを遠ざけることができ、インピーダンスを低減することができる。

以下に、本発明に係る弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器の最良の実施形態について説明する。以下に説明する実施形態では、弾性表面波（ＳＡＷ）素子片としてＳＡＷフィルタを構成した形態について説明する。
まず第１の実施形態について説明する。図１は第１の実施形態に係るＳＡＷフィルタの概略平面図である。ＳＡＷフィルタ１０は、入力側すだれ状電極１６（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ：以下、ＩＤＴという）および出力側ＩＤＴ１８と、これらのＩＤＴ１６，１８を挟み込む位置に配置された反射器３４，３６とを圧電基板１２上に備えた構成である。

ＩＤＴ１６，１８は、複数の電極指２０の基端を電極導体で接続して櫛歯２２を形成し、２つの櫛歯２２の電極指２０を互いに噛み合せて形成したものである。各電極指２０は、その途中に接続部２４を備えることにより、複数の直線部２６に分割されている。すなわち接続部２４の両端に直線部２６が接続されている。各直線部２６の長さは、横モードスプリアスの発生しない長さに設定されている。この横モードスプリアスは、直線部２６が噛み合わされている交差幅を大きくすればする程、フィルタ特性の中心周波数に近い位置に発生する。このため、直線部２６の長さは、計算や実験等を行うことによって横モードスプリアスが中心周波数から遠ざけられた位置にくるよう設定されている。また接続部２４は、電極指２０が一直線にならないように形成され、本実施形態の場合、折り曲げ形成されている。そして図１に示すＳＡＷフィルタ１０では、入力側ＩＤＴ１６を構成する電極指２０に設けられた接続部２４は折り曲げられて形成されており、出力側ＩＤＴ１８を構成する電極指２０に設けられた接続部２４は平面視く字型に折り曲げられて形成されている。

また入力側ＩＤＴ１６を構成する各電極指２０において、同一の電極指２０に設けられた各直線部２６（２６ａ，２６ｂ）は弾性表面波の伝搬方向に距離Ｌ１だけ離れており、この距離Ｌ１は３λ／８≦Ｌ１≦５λ／８（但し、λは弾性表面波の波長）の関係を有している。さらに出力側ＩＤＴ１８を構成する各電極指２０において、同一の電極指２０に設けられた各直線部２６（２６ａ，２６ｂ）は弾性表面波の伝搬方向にずれることはなく、各直線部２６は弾性表面波の伝搬方向と交差する方向に沿って設けられている。

そして入力側ＩＤＴ１６における一方の直線部２６ａと、出力側ＩＤＴ１８における一方の直線部２６ａとは距離ｄ１離れており、入力側ＩＤＴ１６における他方の直線部２６ｂと、出力側ＩＤＴ１８における他方の直線部２６ｂとは距離ｄ２離れている。この距離ｄ１と距離ｄ２の差は、数式３の関係を満たしている。

ここで、λはＳＡＷの波長である。

このようなＩＤＴ１６，１８において、入力側ＩＤＴ１６を構成する一方の櫛歯２２ａに入力側電極パッド２８ａが設けられるとともに、出力側ＩＤＴ１８を構成する他方の櫛歯２２ｂに出力側電極パッド３０ａが設けられている。

反射器３４，３６は、複数のストリップ電極３８を有しており、ストリップ電極３８の両端を電極導体で接続して形成されている。そして２つの反射器３４，３６のうち、入力側ＩＤＴ１６に隣接して設けられた入力側反射器３４は、入力側ＩＤＴ１６の他方の櫛歯２２ｂと接続している。具体的には、入力側ＩＤＴ１６を構成する櫛歯２２のうち入力側電極パッド２８ａが設けられていない櫛歯２２ｂにおいて、この櫛歯２２ｂの電極指２０の基端を接続する電極導体と、入力側反射器３４におけるストリップ電極３８の端部を接続する電極導体とが接続している。この入力側反射器３４にも、入力側電極パッド２８ｂが設けられている。

また入力側反射器３４を構成するストリップ電極３８は、その途中に接続部４０を備えることにより複数の直線部４２に分割されている。このストリップ電極３８に設けられた接続部４０は、入力側ＩＤＴ１６に設けられた接続部２４の形状に倣って折り曲げ形成されている。したがって入力側反射器３４を構成する各ストリップ電極３８において、同一のストリップ電極３８に設けられた各直線部４２は弾性表面波の伝搬方向に距離Ｌ２だけ離れており、この距離Ｌ２は３λ／８≦Ｌ２≦５λ／８（但し、λは弾性表面波の波長）の関係を有している。

出力側ＩＤＴ１８に隣接して設けられた出力側反射器３６は、出力側ＩＤＴ１８の一方の櫛歯２２ａと接続している。具体的には、出力側ＩＤＴ１８を構成する櫛歯２２のうち出力側電極パッド３０ａが設けられていない櫛歯２２ａにおいて、この櫛歯２２ａの電極指２０の基端を接続する電極導体と、出力側反射器３６におけるストリップ電極３８の端部を接続する電極導体とが接続している。この出力側反射器３６にも、出力側電極パッド３０ｂが設けられている。

また出力側反射器３６を構成するストリップ電極３８は、その途中に接続部４０を備えることにより複数の直線部４２に分割されている。このストリップ電極３８に設けられた接続部４０は、出力側ＩＤＴ１８に設けられた接続部２４の形状に倣って平面視く字型に折り曲げ形成されている。

このようなＳＡＷフィルタ１０では、入力側ＩＤＴ１６と出力側ＩＤＴ１８との対応する直線部２６、すなわち各直線部２６ａ，２６ｂが交差している部分でトラックを構成しており、図１に示す場合では、直線部２６ａの部分でトラック１が構成され、直線部２６ｂの部分でトラック２が構成されている。ＳＡＷフィルタ１０に複数のトラックを設けることにより、インピーダンスが小さくなる。

またＳＡＷフィルタ１０は、トラック１およびトラック２のいずれか一方のトラックで得られるフィルタ特性の中心周波数が、他方のトラックで得られるフィルタ特性の中心周波数よりも低くなるように形成され、且つ、一方のトラックのフィルタ特性に生じる高周波共振と他方のトラックのフィルタ特性に生じる低周波共振とが重なるように形成されている。

次に、ＳＡＷフィルタ１０の動作について説明する。図２は各トラックで得られるフィルタ特性の説明図である。図３はＳＡＷフィルタのフィルタ特性の説明図である。入力側電極パッド２８（２８ａ，２８ｂ）に電気信号を加えると、電気信号は入力側ＩＤＴ１６に伝えられ、圧電基板１２上にＳＡＷが励起される。励起されたＳＡＷはトラック１，２を伝搬し、入力側反射器３４および出力側反射器３６で反射される。これにより入力側反射器３４と出力側反射器３６の間に定在波が生じる。そして出力側ＩＤＴ１８に達したＳＡＷは、電気信号に変換されて出力側電極パッド３０（３０ａ，３０ｂ）から出力される。

ここで、ＳＡＷフィルタ１０で得られるフィルタ特性は、トラック１で得られるフィルタ特性と、トラック２で得られるフィルタ特性を合成したものである。トラック１とトラック２では、それぞれのフィルタ特性の中心周波数をずらしている。すなわち図２に示されるように、トラック１およびトラック２のいずれか一方のトラックで得られるフィルタ特性を他方のトラックで得られるフィルタ特性よりも低周波側に位置させている。なお図２では、一方のトラック（低周波トラック）で得られるフィルタ特性が実線で示され、他方のトラック（高周波トラック）で得られるフィルタ特性が点線で示されている。

またＳＡＷフィルタ１０は、トラック１で得られるフィルタ特性の通過帯域の一部と、トラック２で得られるフィルタ特性の通過帯域の一部とを重ねている。すなわち各トラック１，２の通過帯域には、低周波共振（図２の矢印Ａ，Ｂ’）および高周波共振（図２の矢印Ｂ，Ａ’）が生じる。そしてトラック１およびトラック２のうち低周波トラックの通過帯域に生じる高周波共振（図２の矢印Ｂ）と、高周波トラックの通過帯域に生じる低周波共振（図２の矢印Ｂ’）とを重ねている。

さらにＳＡＷフィルタ１０は、トラック１における入力側ＩＤＴ１６と出力側ＩＤＴ１８の間隔と、トラック２における入力側ＩＤＴ１６と出力側ＩＤＴ１８の間隔の差によって、トラック１とトラック２に励起されるＳＡＷの位相差が１８０°ずれている。したがってＳＡＷフィルタ１０では、低周波トラックに生じる低周波共振（図２の矢印Ａ）の位相が０°であれば高周波共振（図２の矢印Ｂ）の位相が１８０°となり、高周波トラックに生じる低周波共振（図２の矢印Ｂ’）の位相が１８０°となり、高周波共振（図２の矢印Ａ’）の位相が０°となる。

そしてＳＡＷフィルタ１０は、出力側電極パッド３０がトラック１とトラック２で共通になっているので、トラック１のフィルタ特性とトラック２のフィルタ特性を合成した、図３に示す広帯域なフィルタ特性が得られる。具体的な一例としては、トラック１を低周波トラックとし、トラック２を高周波トラックとすることにより、各トラックで図２に示すフィルタ特性を得ることができる。そしてＳＡＷフィルタ１０は、図３に示す広帯域なフィルタ特性を得ることができる。また他の例としては、トラック１を高周波トラックとし、トラック２を低周波トラックとすることができる。また図２の矢印Ａ，Ａ’で示す共振の位相を１８０°とし、図２の矢印Ｂ，Ｂ’で示す共振の位相を０°とすることもできる。

このようなＳＡＷフィルタ１０は、ＩＤＴの電極指２０に形成される直線部２６の長さ、すなわち各交差幅を適宜設定しているので、フィルタ特性の中心周波数から横モードスプリアスを遠ざけることができ、フィルタ特性が劣化するのを防止できる。またＳＡＷフィルタ１０は、複数のトラック１，２を備えているので、インピーダンスを低減することができる。さらにＳＡＷフィルタ１０は、各直線部２６，４２を接続部２４，４０で接続した構成なので、縦方向の大きさ、すなわち直線部２６，４２の長さ方向に沿った方向の大きさを、従来技術に係るＳＡＷフィルタに比べて小さくすることができる。

またＳＡＷフィルタ１０は、低周波トラックおよび高周波トラックを有しており、低周波トラックのフィルタ特性に生じる高周波共振と高周波トラックに生じる低周波共振を同位相にして重ねている。したがってＳＡＷフィルタ１０のフィルタ特性は、低周波トラックで得られるフィルタ特性と高周波トラックで得られるフィルタ特性を合成したものなので、広い通過帯域を得ることができる。

またＳＡＷフィルタ１０は、ＩＤＴ１６，１８や反射器３４，３６の上に落下した導電異物等によって隣り合うＩＤＴ同士等が短絡するのを防止するために、ＩＤＴ１６，１８や反射器３４，３６の表面に絶縁保護膜を設ける場合がある。この絶縁保護膜は、ＩＤＴ１６，１８や反射器３４，３６がアルミニウムやアルミニウム合金等で形成されている場合、これらの表面を陽極酸化して形成することができる。すなわち、この場合の絶縁保護膜は、アルミニウム等を陽極酸化させてなる酸化アルミニウム膜である。

そして絶縁保護膜を陽極酸化により形成する方法の一例としては、ＩＤＴ１６，１８や反射器３４，３６を陽極電極に接続してＳＡＷフィルタ１０を電解溶液に浸漬するとともに、陰極電極を電解溶液に浸漬し、陽極電極および陰極電極に通電することにより形成される。この陽極酸化をする場合は、ＩＤＴ１６，１８や反射器３４，３６等を接続パターンで導通しておき、陽極酸化した後に接続パターンを切断すれば、一度に電極の陽極酸化を行える。本実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０は、ＩＤＴ１６，１８を構成する一対の櫛歯２２のうちのいずれか一方と反射器３４，３６とが接続する構成なので、陽極酸化後に接続パターンを切断する工程を簡略化することができる。

なお上述したＳＡＷフィルタ１０は、入力側ＩＤＴ１６および入力側反射器３４に設けられた接続部２４，４０を折り曲げ形成して、同一の電極指２０や同一のストリップ電極３８に設けられた直線部２６，４２をＳＡＷの伝搬方向にずらした構成にするとともに、出力側ＩＤＴ１８および出力側反射器３６に設けられた接続部２４，４０を平面視く字型に折り曲げ形成して、同一の電極指２０や同一のストリップ電極３８に設けられた直線部２６，４２をＳＡＷの伝搬方向にずらさない構成としたが、この形態に限定されることはない。すなわち、ＳＡＷフィルタ１０は、入力側ＩＤＴ１６および入力側反射器３４に設けられた接続部２４，４０を平面視く字型に折り曲げ形成して、同一の電極指２０や同一のストリップ電極３８に設けられた直線部２６，４２をＳＡＷの伝搬方向にずらさない構成にするとともに、出力側ＩＤＴ１８および出力側反射器３６に設けられた接続部２４，４０を折り曲げ形成して、同一の電極指２０や同一のストリップ電極３８に設けられた直線部２６，４２をＳＡＷの伝搬方向にずらした構成にしてもよい。

また第１の実施形態では、ＩＤＴ１６，１８の電極指２０に設けられる接続部２４および反射器３４，３６のストリップ電極３８に設けられる接続部４０を折り曲げ形成した形態について説明したがこの形態に限定されることはなく、各接続部２４，４０を湾曲形成して直線部２６，４２を曲線により接続してもよい。

またＳＡＷフィルタ１０は、ＩＤＴ１６，１８の電極指２０に設けられる接続部２４および反射器３４，３６のストリップ電極３８に設けられる接続部４０を全て平面視く字型に形成し、く字型部分の上部および下部の比率を調整することにより形成することもできる。図４は接続部を平面視く字型にしたときの説明図である。ここで図４（Ａ）〜図４（Ｃ）は接続部の部分拡大図、図４（Ｄ）は平面視く字型の接続部の上部と下部の比率を変えたＳＡＷフィルタの概略平面図である。

接続部２４，４０は、図４（Ａ）に示すように、く字型の頂点部分から上側の部分（上部）と、頂点部分から下側の部分（下部）の比率を変えることができる。このような接続部２４，４０は、図１の入力側ＩＤＴ１６および入力側反射器３４に設けられた接続部２４，４０や図４（Ｂ）に示すように、上部を無くして全て下部のみで形成することができる。これとは逆に接続部２４，４０は、図４（Ｃ）に示すように、下部を無くして全て上部のみで形成することもできる。そして接続部２４，４０の上部と下部の比率は、図４（Ｂ）のような上部：下部＝０：１から図４（Ｃ）のような上部：下部＝１：０までの間の比率を取ることができ、上部：下部＝０．５：０．５のときは図４（Ａ）に示す形状になる。

そして平面視く字型の接続部２４，４０をＳＡＷフィルタ１０の電極指２０およびストリップ電極３８に用いた場合の一例は図４（Ｄ）に示すようになる。図４（Ｄ）に示すＳＡＷフィルタ１０は、く字型の接続部２４，４０の頂点が同一方向に向けられている。入力側ＩＤＴ１６および入力側反射器３４に設けられた接続部２４，４０では、く字型の上部と下部の比率が上部：下部＝０．２５：０．７５となっている。また出力側ＩＤＴ１８および出力側反射器３６に設けられる接続部２４，４０では、く字型の上部と下部の比率が上部：下部＝０．７５：０．２５となっている。

このような接続部２４，４０により、電極指２０はトラック１を構成する直線部２６ａとトラック２を構成する直線部２６ｂに分割されることができ、またトラック１を伝搬するＳＡＷの位相とトラック２を伝搬するＳＡＷの位相を反転させることができる。また、く字型の接続部２４，４０の頂点を同一方向に向けることで、ＳＡＷフィルタ１０のＩＤＴ１６，１８や反射器３４，３６の電極パターンをより均一にすることができる。

さらにＳＡＷフィルタ１０は、ＩＤＴ１６，１８の電極指２０に設けられる接続部２４および反射器３４，３６のストリップ電極３８に設けられる接続部４０の全てを直線で形成することもできる。図５は全ての接続部を直線で形成したときのＳＡＷフィルタの概略平面図である。全ての接続部２４，４０を直線で形成する場合、ＳＡＷフィルタ１０は、入力側ＩＤＴ１６および入力側反射器３４に設けられる接続部２４，４０と、出力側ＩＤＴ１８および出力側反射器３６に設けられる接続部２４，４０の折り曲げ方向を逆にする構成となる。すなわち、図５に一例を示すように、入力側ＩＤＴ１６および入力側反射器３４に設けられる接続部２４，４０を図面の左側に折り曲げたときは、出力側ＩＤＴ１８および出力側反射器３６に設けられる接続部２４，４０を図面の右側に折り曲げた構成となる。このような接続部２４，４０により、電極指２０等はトラック１を構成する直線部２６ａとトラック２を構成する直線部２６ｂに分割されることができ、またトラック１を伝搬するＳＡＷの位相と、トラック２を伝搬するＳＡＷの位相とを反転させることができる。

次に、第２の実施形態について説明する。なお第２の実施形態では、第１の実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０の変形例について説明するので、第１の実施形態に係るＳＡＷフィルタ１０と同構成の部分に同番号を付し、その説明を省略または簡略する。図６は第２の実施形態に係るＳＡＷフィルタの概略平面図である。第２の実施形態に係るＳＡＷフィルタ５０は、ＩＤＴ１６，１８の電極指２０や反射器３４，３６のストリップ電極３８に複数の接続部２４，４０を設けて、電極指２０やストリップ電極３８を複数の直線部２６，４２に分割した構成である。

図６に示されるＳＡＷフィルタ５０は、このような構成の一例を示しており、各電極指２０や各ストリップ電極３８に３つの接続部２４，４０を設けて、各電極指２０や各ストリップ電極３８に４つの直線部２６，４２を設けた構成である。そして各電極指２０や各ストリップ電極３８には、折り曲げ形成された接続部２４，４０または平面視く字型に折り曲げ形成された接続部２４，４０が設けられている。なおＩＤＴ１６，１８や反射器３４，３６の電極パターンを対称な形状にすれば、圧電基板１２を伝搬するＳＡＷの性質が向上するので、接続部２４，４０の形状や折り曲げ方向を適宜設定して電極パターンを対称形状にすればよい。また各トラック１〜４のうち、伝搬するＳＡＷの位相を反転させるトラックと、位相を反転させないトラックとの配置位置は任意である。なお図６では、トラック１およびトラック３を伝搬するＳＡＷの位相と、トラック２および４を伝搬するＳＡＷの位相が１８０°ずれている。

このようなＳＡＷフィルタ５０は、各電極指２０や各ストリップ電極３８に複数の接続部２４，４０を設けて、複数のトラックを形成したとしても、入力側電極パッド２８や出力側電極パッド３０をＩＤＴ１６，１８や反射器３４，３６の前記電極導体等に設けることができ、容易にワイヤボンディング等を施すことができる。またトラックを多段に配設しているので、インピーダンスをより低減することができる。また複数のトラックで得られるフィルタ特性の一部を重ねているので、ＳＡＷフィルタ５０のフィルタ特性をより広帯域にすることができる。

次に、第３の実施形態について説明する。第３の実施形態では、第１および第２の実施形態で説明したＳＡＷフィルタ１０，５０をパッケージに実装してなるＳＡＷデバイスについて説明する。図７はＳＡＷデバイスの概略断面図である。ＳＡＷデバイス６０は、図７に一例を示すように、側面を階段状に形成した凹陥部６２が内部に形成されたパッケージベース６４を備えている。このパッケージベース６４は、凹陥部６２における階段部の上面にワイヤボンディングが施されるワイヤ電極６６を備えている。またパッケージベース６４は、裏面に実装端子７４を備えている。実装端子７４は、電子機器に搭載される実装基板と接合する時に用いられるものであり、ワイヤ電極６６と電気的に接続している。

そしてＳＡＷフィルタ１０，５０は、パッケージベース６４の凹陥部６２の底面に接合材を用いてフェイスアップ実装されており、ＳＡＷフィルタ１０，５０に設けられた入力側電極パッド２８および出力側電極パッド３０とパッケージベース６４に設けられたワイヤ電極６６とがワイヤ６８により電気的に接続されている。このようなパッケージベース６４の上面に蓋体７０が接合されている。このようにＳＡＷフィルタ１０，５０は、パッケージベース６４と蓋体７０を備えたパッケージ７２に実装され、封止されている。なおＳＡＷデバイス６０は、フリップチップボンディングを用いてＳＡＷフィルタ１０，５０をパッケージ７２にフェイスダウン実装することもできる。

そして、このようなＳＡＷデバイス６０は、様々な電子機器に搭載することができる。その一例としては、ＳＡＷデバイス６０は、伝送回路におけるフィルタ素子として通信機器に搭載されることもでき、基準周波数信号源として電子機器に搭載されることもできる。

なお上述した第１〜第３の実施形態では、ＳＡＷ素子片としてＳＡＷフィルタ１０を構成した形態について説明したが、ＳＡＷ素子片は周波数が一定の信号を出力するＳＡＷ共振片であってもよい。この場合ＳＡＷ共振片は、入力側反射器と出力側反射器の間にＩＤＴが１つ配設された構成であればよい。

第１の実施形態に係るＳＡＷフィルタの概略平面図である。 各トラックで得られるフィルタ特性の説明図である。 ＳＡＷフィルタのフィルタ特性の説明図である。 接続部を平面視く字型にしたときの説明図である。 全ての接続部を直線で形成したときのＳＡＷフィルタの概略平面図である。 第２の実施形態に係るＳＡＷフィルタの概略平面図である。 ＳＡＷデバイスの概略断面図である。

符号の説明

１０………ＳＡＷフィルタ、１６………入力側ＩＤＴ、１８………出力側ＩＤＴ、２０………電極指、２４………接続部、２６………直線部、３４………入力側反射器、３６………出力側反射器、３８………ストリップ電極、４０………接続部、４２………直線部、５０………ＳＡＷフィルタ、６０………ＳＡＷデバイス、７２………パッケージ。

Claims (8)

1. 入力側すだれ状電極および出力側すだれ状電極と、これらのすだれ状電極を挟み込む位置に配置された反射器とを圧電基板上に設け、
   前記入力側すだれ状電極および前記出力側すだれ状電極を構成する電極指を複数の直線部に分割するとともに、その分割された直線部同士を接続する接続部を設け、
   前記入力側すだれ状電極および前記出力側すだれ状電極のうち、いずれか一方のすだれ状電極における同一の前記電極指に設けられた前記各直線部を弾性表面波の伝搬方向にずらし、
   前記入力側すだれ状電極および前記出力側すだれ状電極のうち、他方の前記すだれ状電極を構成する前記各電極指に設けられた前記接続部は、少なくとも「く」字状に折り曲げられてなり、
   前記反射器を構成するストリップ電極を構成する電極指を複数の直線部に分割するとともに、その分割された直線部同士を接続する接続部を設け、
   前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との対応する前記直線部でトラックを構成し、
   前記各トラックにおいて一方のトラックにおける入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極の間隔と、他方のトラックにおける入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極の間隔の差を設けることによって弾性表面波の位相を反転させ、低周波トラックにおける高周波共振と高周波トラックにおける低周波共振とを重ねてフィルタ特性の通過帯域を形成してなる、
   ことを特徴とする弾性表面波素子片。
2. 一方の前記トラックにおける前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との間と、他方の前記トラックにおける前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との間との差は、
   

   

   （λ：弾性表面波の波長）
   の関係を満たすことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子片。
3. 入力側すだれ状電極および出力側すだれ状電極と、これらのすだれ状電極を挟み込む位置に配置された反射器とを圧電基板上に設け、
   前記入力側すだれ状電極および前記出力側すだれ状電極を構成する電極指を複数の直線部に分割するとともに、その分割された直線部同士を接続する接続部を設け、
   前記入力側すだれ状電極および前記出力側すだれ状電極のうち、いずれか一方のすだれ状電極における同一の前記電極指に設けられた前記各直線部を弾性表面波の一方の伝搬方向にずらし、
   前記反射器を構成するストリップ電極を複数の直線部に分割するとともに、その分割された直線部同士を接続する接続部を設け、
   前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との対応する前記直線部でトラックを構成し、
   前記各トラックにおいて一方のトラックにおける入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極の間隔と、他方のトラックにおける入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極の間隔の差を設けることによって弾性表面波の位相を反転させ、低周波トラックにおける高周波共振と高周波トラックにおける低周波共振とを重ねてフィルタ特性の通過帯域を形成してなるとともに、
   一方の前記トラックにおける前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との間と、他方の前記トラックにおける前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との間との差は、
   

   

   （λ：弾性表面波の波長）
   の関係を満たす、
   ことを特徴とする弾性表面波素子片。
4. 前記入力側すだれ状電極および前記出力側すだれ状電極のうち、他方の前記すだれ状電極における同一の前記電極指に設けられた各直線部を弾性表面波の他方の前記伝搬方向にずらしことを特徴とする請求項３に記載の弾性表面波素子片。
5. 前記反射器は、前記入力側すだれ状電極に隣接する入力側反射器と、前記出力側すだれ状電極に隣接する出力側反射器とを有し、
   前記入力側反射器を構成する前記ストリップ電極は、前記入力側すだれ状電極を構成する前記電極指の形状と同一形状とし、
   前記出力側反射器を構成する前記ストリップ電極は、前記出力側すだれ状電極を構成する前記電極指の形状と同一形状とした、
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の弾性表面波素子片。
6. 同一の前記電極指に設けられた前記各直線部は、弾性表面波の伝搬方向に距離Ｌ１だけ離れるとともに、
   同一の前記ストリップ電極に設けられた前記各直線部は、弾性表面波の伝搬方向に距離Ｌ２だけ離れており、
   前記距離Ｌ１，Ｌ２は、
   ３λ／８≦Ｌ１≦５λ／８ （但し、λは弾性表面波の波長）
   ３λ／８≦Ｌ２≦５λ／８
   の関係を満たすことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の弾性表面波素子片。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載の弾性表面波素子片をパッケージに実装したことを特徴とする弾性表面波デバイス。
8. 請求項７に記載の弾性表面波デバイスを搭載したことを特徴とする電子機器。

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