JP2003243964A

JP2003243964A - 弾性表面波フィルタ装置

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Publication number: JP2003243964A
Application number: JP2002040422A
Authority: JP
Inventors: Takashi Yamashita; 高志山下; Minoru Kawase; 稔川瀬; Yasuo Ehata; 泰男江畑
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2002-02-18
Filing date: 2002-02-18
Publication date: 2003-08-29
Anticipated expiration: 2022-02-18
Also published as: JP4095311B2

Abstract

(57)【要約】【課題】フィルタ特性を改善することが可能な弾性表面
波フィルタ装置を提供することを目的とする。【解決手段】弾性表面波フィルタ装置に備えられた弾性
表面波素子８は、入力端子２０に接続された櫛歯状電極
１６Ａと接地端子に接続された櫛歯状電極１６Ｂとを組
み合わせた入力側インターデジタル変換器１６と、出力
端子２１−１に接続された櫛歯状電極１５Ｂと接地端子
に接続された櫛歯状電極１５Ａとを組み合わせた出力側
インターデジタル変換器１５とを有している。入力用電
極指１６Ａ−ＥＬ、出力用電極指１５Ｂ−ＥＬ、及び、
接地用電極指１５Ａ−ＥＬ及び１６Ｂ−ＥＬは、実質的
に等間隔に配置され、入力用電極指１６Ａ−ＥＬと出力
用電極指１５Ｂ−ＥＬとの間の所定間隔には、少なくと
も２本の接地用電極指１５Ａ−ＥＬ及び１６Ｂ−ＥＬが
配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、移動体通信機器
等で利用される弾性表面波フィルタ装置に関し、特に、
弾性表面波素子を構成する櫛歯状電極のパターンに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波フィルタ装置は、圧電体上に
設けられた薄膜金属からなるインターデジタル変換器：
ＩＤＴにより電気信号と弾性表面波（ＳＡＷ）との変換
を行って信号を送受信するデバイスであり、弾性表面波
フィルタ、弾性表面波共振子、遅延回路等に用いられ
る。この弾性表面波フィルタ装置は、薄型化・小型化が
可能であるというメリットにより、携帯電話などの移動
体通信の分野で広く用いられるようになっている。

【０００３】近年の移動体通信分野の進歩はめざましい
ものがあり、それに利用される弾性表面波フィルタ装置
に求められる性能も、年々高いものが要求されている。

【０００４】弾性表面波フィルタ装置に要求される特性
は、大きく分けると帯域内減衰量が小さいことと、帯域
外減衰量が大きいことの二つが挙げられる。移動体通信
機器に用いられるＲＦ弾性表面波フィルタ装置には、縦
モードの多重結合を用いた多重モード共振子フィルタす
なわちＬＭＭＳ（ＬｏｎｇｉｔｕｄｉｎａｌＭｕｌｔ
ｉＭｏｄｅＳＡＷ）型や、共振子を直並列に配置し
たラダー型などが一般的である。

【０００５】その中でも、多重モード共振子フィルタ
は、平衡不平衡出力が容易であることから、近年この構
造を用いた弾性表面波フィルタ装置が頻繁に利用されて
いる。例えば、特開２００１−３０８６７２号公報によ
れば、不平衡−平衡変換機能を有する弾性表面波フィル
タ装置が開示されている。

【０００６】弾性表面波フィルタとしては、帯域内減衰
量を小さくすることと帯域外減衰を大きくすることはト
レードオフの関係にあり、帯域外減衰量を大きくする
と、結果として帯域内減衰量を犠牲にしなくてはならな
い。したがって、フィルタ設計の際には、これらのこと
を踏まえて、希望のフィルタ特性を設計することにな
る。

【０００７】また、帯域外減衰量を小さくしてしまう原
因は、他にもいくつか挙げることができる。その中の一
つとして、電気的な結合がある。弾性表面波フィルタ
は、入力、出力、接地端子が音響的な結合のみで結びつ
いていることになっているが、実際は、各端子間には電
気的な結合が必ず存在する。一般に、この結合が大きけ
れば大きいほど、弾性表面波フィルタの帯域外減衰量は
小さくなる。そのため、通常は、この結合をできるかぎ
り小さくするように配線することで、全体の帯域外減衰
量を大きくしている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】通常の弾性表面波フィ
ルタにおいては、入力端子に接続する電極指（以下、入
力用電極指）及び出力端子に接続する電極指（以下、出
力用電極指）は、周期的に配置される。そのため、入力
用電極指と出力用電極指との間には、必ず１本の接地端
子に接続する電極指（以下、接地用電極指）が配置され
る。ところが、この構造では、入力用電極指と出力用電
極指との間に電気的な結合が発生し、結果として帯域
外、特に高域側の減衰量が小さくなるといった問題があ
る。

【０００９】また、特開２００１−３０８６７２号公報
に記載の弾性表面波フィルタ装置によれば、入力用電極
指と出力用電極指との間に２本の接地用電極指を配置し
た構造を開示しているが、これら電極指が不均一な間隔
で配置されているため、帯域内減衰量を小さくする（あ
るいは帯域内の周波数特性を平坦にする）ことは困難で
ある。

【００１０】つまり、従来技術では、帯域内減衰量を小
さくしつつ（あるいは帯域内の周波数特性を平坦にしつ
つ）、帯域外（特に高域側）減衰量を大きくすることは
困難であるといった問題が生ずる。

【００１１】この発明は、上述した問題点に鑑みなされ
たものであって、その目的は、フィルタ特性を改善する
ことが可能な弾性表面波フィルタ装置を提供することに
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明の様態による弾
性表面波フィルタ装置は、圧電性基板と、前記圧電性基
板上に形成された弾性表面波素子とを備え、前記弾性表
面波素子は、少なくとも、入力端子に接続された櫛歯状
電極と接地端子に接続された櫛歯状電極とを組み合わせ
た入力側インターデジタル変換器と、出力端子に接続さ
れた櫛歯状電極と接地端子に接続された櫛歯状電極とを
組み合わせた出力側インターデジタル変換器とを有し、
前記入力端子に接続された櫛歯状電極の入力用電極指、
前記出力端子に接続された櫛歯状電極の出力用電極指、
及び、前記接地端子に接続された櫛歯状電極の接地用電
極指は、実質的に等間隔に配置され、且つ、前記入力用
電極指と前記出力用電極指との間の所定間隔に少なくと
も２本の前記接地用電極指を配置したことを特徴とす
る。

【００１３】この弾性表面波フィルタ装置によれば、入
力用電極指、出力用電極指、及び、接地用電極指が実質
的に等間隔に配置されている。このため、帯域内減衰量
を小さくする（あるいは帯域内の周波数特性を平坦にす
る）ことができる。また、この弾性表面波フィルタ装置
によれば、入力用電極指と出力用電極指との間に少なく
とも２本の接地用電極指が配置されている。このため、
入力用電極指と出力用電極指との間に電気的な結合を小
さくすることができる。結果として、帯域外全体、特に
高域側の減衰量を大きくすることができる。したがっ
て、フィルタ特性を大幅に改善することができ、所望の
フィルタ特性を得ることが可能となる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態に
係る弾性表面波フィルタ装置について図面を参照して説
明する。

【００１５】図１は、この発明の一実施の形態に係る弾
性表面波フィルタ装置１００の構造を概略的に示す断面
図である。また、図２は、この弾性表面波フィルタ装置
１００に適用されるデバイスチップ１の構造を概略的に
示す平面図である。

【００１６】この弾性表面波フィルタ装置１００は、デ
バイスチップ１と、樹脂またはセラミックスで構成され
た基板（弾性表面波フィルタ装置１００のパッケージ）
３と、を備えている。基板３の上面の所定位置には、配
線パターン４が形成されている。この配線パターン４
は、ビアホール３１を介して基板３の下面におけるリー
ドパターン４１などに接続されている。また、デバイス
チップ１上の所定位置には、所定の機能を有する機能部
８が形成されている。弾性表面波フィルタ装置の場合で
言えば、圧電性基板１上に形成されたインターデジタル
変換器：ＩＤＴを有する弾性表面波素子が、所定の機能
を有する機能部８に対応する。

【００１７】機能部８には、引き出し配線パターン８１
を介して複数のボンディングパッドが接続されている。
なお、図１及び図２に示した例では、ボンディングパッ
ドは４つ配置されている。これらの４つのボンディング
パッドと、基板３上の引き出し配線パターン８１の所定
箇所（４箇所）とは、それぞれ、例えば金あるいは金合
金を用いた導電性の金属バンプ２を介して対向配置され
る。このとき、デバイスチップ１の機能部８は、基板３
の上面に対向し、且つ、この上面とほぼ平行に配置され
る。

【００１８】ここで、デバイスチップ１の機能部８と、
基板３との対向面間には、中空部（空間部）７が設けら
れる。これは、弾性表面波フィルタ装置の場合で言え
ば、その機能上、弾性表面波を伝搬するという属性をも
ち、相互の対向面を密着できないことによるものであ
る。

【００１９】この中空部７は、以下のようにして形成さ
れる。すなわち、基板３の一主面、すなわち配線パター
ン４を備えた面、または、デバイスチップ１の一主面、
すなわち機能部８を備えた面には、機能部８を囲むよう
に設けられた枠体７２が形成されている。デバイスチッ
プ１の一主面に枠体７２を形成した場合、この枠体７２
を基板３の一主面に当接することにより、枠体７２の内
部に中空部７が形成される。なお、空間部７が形成され
る構成であれば枠体７２を使用しなくても何ら構わな
い。

【００２０】このようなデバイスチップ１と基板３と
は、金属バンプ２を介して接続される。すなわち、デバ
イスチップ１と基板３との間の金属バンプ２は、加圧さ
れ、加熱され、超音波印加されて部分的に溶融する（フ
リップチップボンディングあるいはフェイスダウンボン
ディング）。この加圧／加熱／超音波印加が終了する
と、金属バンプ２の溶融した部分は、冷えて固化する。
これにより、機能部８に接続された４つのボンディング
パッドと、基板３上の配線パターン４の所定の４箇所と
がそれぞれ４つの金属バンプ２を介して電気的且つ機械
的に接続される。

【００２１】この後、図１に示すように、デバイスチッ
プ１全体を、適度な粘性を有する封止樹脂（保護材）５
で包覆する。そして、封止樹脂５の硬化処理を行う。こ
の封止樹脂５は、エポキシ系樹脂などによって形成され
る。

【００２２】ところで、図１及び図２に示した機能部８
は、以下のように構成されている。すなわち、機能部と
しての多重モード共振子フィルタとしての弾性表面波素
子８は、図３に示すように、例えば四ほう酸リチウムあ
るいはタンタル酸リチウムで作られた圧電性基板１上に
形成されている。

【００２３】図１及び図２においては、フリップチップ
ボンディングあるいはフェイスダウンボンディングさ
れ、樹脂により封止された弾性表面波フィルタ装置１０
０について説明したが、本発明の機能部（弾性表面波素
子）８は、何らこの弾性表面波フィルタ装置１００の構
成に限らず、金属キャップあるいはセラミックキャップ
などで封着されて構成されるような他の構成の弾性表面
波フィルタ装置にも適用できることは説明するまでもな
い。

【００２４】弾性表面波素子８は、一列に並んだＩＤＴ
１５〜１７と、このＩＤＴ１５〜１７の並び方向の両端
に設けられた反射器１１、１２と、で構成される。

【００２５】図３に示した例では、ＩＤＴ１５は、ＩＤ
Ｔ１７と同じ電極パターンを有している。ＩＤＴ１６
は、ＩＤＴ１５と図中において上下反対の電極パターン
を有している。なお、ＩＤＴ１５〜１７及び反射器１１
〜１２の電極パターンは、例えばアルミニウム合金ある
いは銅合金により構成されている。

【００２６】ＩＤＴ１５及びＩＤＴ１７に挟まれたＩＤ
Ｔ１６の図中の上側櫛歯状電極１６Ａは、信号ポート２
０に接続され、その下側櫛歯状電極１６Ｂは、電気回路
的に接地される。ＩＤＴ１５の上側櫛歯状電極１５Ａ
は、接地され、その下側櫛歯状電極１５Ｂは、信号ポー
ト２１−１に接続される。ＩＤＴ１７の上側櫛歯状電極
１７Ａは、接地され、その下側櫛歯状電極１７Ｂは、信
号ポート２１−２に接続される。

【００２７】ここでは、例えば信号ポート２０は、入力
端子として機能し、その場合、信号ポート２１−１及び
２１−２は、出力端子として機能する。（逆に、信号ポ
ート２１−１及び２１−２が入力端子として機能する場
合は、信号ポート２０が出力端子として機能する。）各ＩＤＴ１５〜１７及び反射器１１〜１２は、互いにほ
ぼ平行に配置された複数の電極指、及び、複数の電極指
を共通に接続するバスバーを備えている。例えば、反射
器１１は、複数の電極指１１ＥＬと、バスバー１１ＢＢ
とによって構成されている。同様に、反射器１２は、複
数の電極指１２ＥＬと、バスバー１２ＢＢとによって構
成されている。この実施の形態では、反射器１１及び１
２は、それぞれ例えば１００本の電極指１１ＥＬ及び１
２ＥＬを備えている。

【００２８】ＩＤＴ１５の上側櫛歯状電極１５Ａは、複
数の電極指１５Ａ−ＥＬとバスバー１５Ａ−ＢＢとによ
って構成されている。ＩＤＴ１５の下側櫛歯状電極１５
Ｂは、複数の電極指１５Ｂ−ＥＬとバスバー１５Ｂ−Ｂ
Ｂとによって構成されている。この実施の形態では、上
側櫛歯状電極１５Ａは、例えば１２本の電極指１５Ａ−
ＥＬを備え、下側櫛歯状電極１５Ｂは、例えば１３本の
電極指１５Ｂ−ＥＬを備えている。また、この実施の形
態では、上側櫛歯状電極１５Ａの電極指１５Ａ−ＥＬ
は、接地端子に接続された接地用電極指として機能し、
下側櫛歯状電極１５Ｂの電極指１５Ｂ−ＥＬは、出力端
子２１−１に接続された出力用電極指として機能する。

【００２９】ＩＤＴ１６の上側櫛歯状電極１６Ａは、複
数の電極指１６Ａ−ＥＬとバスバー１６Ａ−ＢＢとによ
って構成されている。ＩＤＴ１６の下側櫛歯状電極１６
Ｂは、複数の電極指１６Ｂ−ＥＬとバスバー１６Ｂ−Ｂ
Ｂとによって構成されている。この実施の形態では、上
側櫛歯状電極１６Ａは、例えば１６本の電極指１６Ａ−
ＥＬを備え、下側櫛歯状電極１６Ｂは、例えば１５本の
電極指１６Ｂ−ＥＬを備えている。また、この実施の形
態では、上側櫛歯状電極１６Ａの電極指１６Ａ−ＥＬ
は、入力端子２０に接続された入力用電極指として機能
し、下側櫛歯状電極１６Ｂの電極指１６Ｂ−ＥＬは、接
地端子に接続された接地用電極指として機能する。

【００３０】ＩＤＴ１７の上側櫛歯状電極１７Ａは、複
数の電極指１７Ａ−ＥＬとバスバー１７Ａ−ＢＢとによ
って構成されている。ＩＤＴ１７の下側櫛歯状電極１７
Ｂは、複数の電極指１７Ｂ−ＥＬとバスバー１７Ｂ−Ｂ
Ｂとによって構成されている。この実施の形態では、上
側櫛歯状電極１７Ａは、例えば１２本の電極指１７Ａ−
ＥＬを備え、下側櫛歯状電極１７Ｂは、例えば１３本の
電極指１７Ｂ−ＥＬを備えている。また、この実施の形
態では、上側櫛歯状電極１７Ａの電極指１７Ａ−ＥＬ
は、接地端子に接続された接地用電極指として機能し、
下側櫛歯状電極１７Ｂの電極指１７Ｂ−ＥＬは、出力端
子２１−２に接続された出力用電極指として機能する。

【００３１】入力用電極指１６Ａ−ＥＬ、出力用電極指
１５Ｂ−ＥＬ及び１７Ｂ−ＥＬ、及び、接地用電極指１
５Ａ−ＥＬ、１６Ｂ−ＥＬ及び１７Ａ−ＥＬは、実質的
に等しい幅で、且つ、等しい長さに形成されている。す
なわち、これらの電極指は、弾性表面波の波長をλとし
たとき、例えばλ／４の幅を有している。この実施の形
態では、各電極指は、約１．１５μｍの幅を有するとと
もに、約０．２ｍｍの長さを有している。

【００３２】また、各ＩＤＴ１５〜１７を構成する各電
極指は、実質的に等間隔に配置されている。すなわち、
各ＩＤＴを構成する上側櫛歯状電極の電極指と下側櫛歯
状電極の電極指との間隔は、いずれも等しい。例えば、
ＩＤＴ１５において、上側櫛歯状電極１５Ａの電極指１
５Ａ−ＥＬの中心と、下側櫛歯状電極１５Ｂの電極指１
５Ｂ−ＥＬの中心との間隔は、いずれもλ／２に設定さ
れている。

【００３３】また、各ＩＤＴ１５〜１７も、実質的に等
間隔に配置されている。すなわち、ＩＤＴ１５‐ＩＤＴ
１６間の間隔、及び、ＩＤＴ１６‐ＩＤＴ１７間の間隔
は、いずれも等しい。例えば、ＩＤＴ１５‐ＩＤＴ１６
間の間隔、すなわちＩＤＴ１５の最もＩＤＴ１６に近接
した位置に配置された電極指１５Ａ−ＥＬの中心と、Ｉ
ＤＴ１６の最もＩＤＴ１５に近接した位置に配置された
電極指１６Ｂ−ＥＬの中心との間隔は、λ／２に設定さ
れている。同様に、ＩＤＴ１６‐ＩＤＴ１７間の間隔、
すなわちＩＤＴ１６の最もＩＤＴ１７に近接した位置に
配置された電極指１６Ａ−ＥＬの中心と、ＩＤＴ１７の
最もＩＤＴ１６に近接した位置に配置された電極指１７
Ｂ−ＥＬの中心との間隔も、λ／２に設定されている。

【００３４】このように、各電極指の幅及び長さを等し
くするとともに、各電極指を実質的に等間隔に配置する
ことにより、所定帯域内において減衰量を小さくでき
（あるいは所定帯域内の周波数特性を平坦化でき）、フ
ィルタ特性を改善することが可能となる。

【００３５】この実施の形態に係る弾性表面波フィルタ
装置１００では、入力用電極指と出力用電極指との間の
所定間隔に少なくとも２本の接地用電極指が配置されて
いる。図３に示した例では、ＩＤＴ１６の最もＩＤＴ１
５に近接した入力用電極指１６Ａ−ＥＬと、ＩＤＴ１５
の最もＩＤＴ１６に近接した出力用電極指１５Ｂ−ＥＬ
との間に、２本の接地用電極指１５Ａ−ＥＬ及び１６Ｂ
−ＥＬが配置されている。また、ＩＤＴ１６の最もＩＤ
Ｔ１７に近接した入力用電極指１６Ａ−ＥＬと、ＩＤＴ
１７の最もＩＤＴ１６に近接した出力用電極指１７Ｂ−
ＥＬとの間に、２本の接地用電極指１７Ａ−ＥＬ及び１
６Ｂ−ＥＬが配置されている。

【００３６】この入力用電極指と出力用電極指との間の
間隔は、これらの間に配置される接地用電極指の本数を
ｎとし（ｎは２以上の整数）、弾性表面波の波長をλと
したとき、各電極指の間隔をλ／２に設定したことか
ら、（ｎ＋１）×λ／２となる。図３に示した例では、
接地用電極指の本数ｎは２本であることから、入力用電
極指と出力用電極指との間隔は、１．５λとなる。

【００３７】このように、入力用電極指と出力用電極指
との間に少なくとも２本の接地用電極指を配置したこと
により、入力用電極指と出力用電極指との間に電気的な
結合を小さくすることができる。結果として、帯域外全
体、特に高域側で減衰量を大きくすることができ、フィ
ルタ特性を改善することが可能となる。

【００３８】なお、図３に示した例では、入力用電極指
と出力用電極指との間には、入力用電極指１６Ａ−ＥＬ
に対向する下側櫛歯状電極１６Ｂの電極指１６Ｂ−ＥＬ
と、出力用電極指１５Ｂ−ＥＬ（または１７Ｂ−ＥＬ）
に対向する上側櫛歯状電極１５Ａ（または１７Ａ）の電
極指１５Ａ−ＥＬ（または１７Ａ−ＥＬ）との２本の接
地用電極指が配置されたが、種々変更可能である。

【００３９】例えば、図４に示すように、入力用電極指
１６Ａ−ＥＬと出力用電極指１７Ｂ−ＥＬとの間には、
入力用電極指１６Ａ−ＥＬに対向する下側櫛歯状電極１
６Ｂの電極指１６Ｂ−ＥＬを２本の接地用電極指として
配置しても良い。

【００４０】また、図５に示すように、入力用電極指１
６Ａ−ＥＬと出力用電極指１７Ｂ−ＥＬとの間には、出
力用電極指１７Ｂ−ＥＬに対向する上側櫛歯状電極１７
Ａの電極指１７Ａ−ＥＬを２本の接地用電極指として配
置しても良い。

【００４１】次に、上述した構造を用いて試作した弾性
表面波フィルタ装置の周波数特性について説明する。

【００４２】なお、ここでは、入出力５０Ω終端の条件
で、ヒューレットパッカード社製ネットワークアナライ
ザを用いて周波数特性を測定した。また、比較例とし
て、図６に示したように、入力端子２０に接続された入
力用電極指と出力端子２１−１（または２１−２）に接
続された出力用電極指との間に接地端子に接続された１
本の接地用電極指を配置した構造を用いて試作した弾性
表面波フィルタ装置の周波数特性も同一条件で測定し
た。図６に示した構造も、各電極指の形状及び電極指間
の間隔は、図３に示した構造と同様である。

【００４３】図８には、周波数特性の測定結果の一例を
示している。実線（１）は、図３に示した構造の弾性表
面波フィルタ装置の周波数特性であり、破線（２）は、
図６に示した構造の弾性表面波フィルタ装置の周波数特
性である。また、図９には、図８に示した測定結果の約
８８１．５ＭＨｚを中心とした所定帯域付近を拡大した
周波数特性の測定結果を示している。

【００４４】図３に示した構造では、入力用電極指と出
力用電極指との間に２本の接地用電極指を配置したこと
により、接地用電極指が１本のときに比べて入出力間の
電気的な結合が小さくなる。その結果、図８及び図９に
示したように、図３に示したような構造では、図６に示
したような構造と比較して、帯域内の減衰量（または平
坦性）をほぼ同等に維持しつつ、帯域外、特に高域側の
減衰量を大きくすることができた。この測定結果では、
図３に示した構造では、図６に示した構造と比較して、
広帯域にわたって帯域外減衰量が約５ｄＢ大きくなって
いることがわかる。

【００４５】また、同様にして、図７に示したように、
入力端子２０に接続された入力用電極指と出力端子２１
−１（または２１−２）に接続された出力用電極指との
間に接地端子に接続された３本の接地用電極指を配置し
た構造を用いて試作した弾性表面波フィルタ装置の周波
数特性も同一条件で測定した。図７に示した構造も、各
電極指の形状及び電極指間の間隔は、図３に示した構造
と同様である。

【００４６】図９に破線（３）で示したように、帯域内
の高周波数側で若干減衰量が大きくなるが、帯域外の高
周波数成分の減衰量をさらに大きくすることができ、必
要なフィルタ特性によっては入力用電極指と出力用電極
指との間に２本以上の接地用電極指を配置することが有
効であることがわかる。

【００４７】以上の結果から、帯域内減衰量を小さくし
つつ帯域外減衰量を大きくするためには、入力用電極指
の中心と出力用電極指の中心との間の所定間隔は、１．
５μｍ以上であることが望ましく、１．５λ以下である
ことが望ましい。

【００４８】上述したように、この実施の形態によれ
ば、入力用電極指、出力用電極指、及び、接地用電極指
が実質的に等間隔に配置され、しかも、入力用電極指と
出力用電極指との間に少なくとも２本の接地用電極指が
配置されている。これにより、弾性表面波フィルタの帯
域内減衰量を大きくすることなく（あるいは帯域内周波
数特性の平坦性を損なうことなく）、帯域外減衰量、特
に高域側の減衰量を大きくすることができ、フィルタ特
性を大幅に向上することが可能となる。その結果、これ
までの以上に高性能且つ良好なフィルタ特性の弾性表面
波フィルタ装置を提供することが可能となる。

【００４９】なお、この発明は上記各実施の形態に限定
されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸
脱しない範囲で種々な変形・変更が可能である。また、
各実施の形態は可能な限り適宜組み合わせて実施されて
もよく、その場合組み合わせによる効果が得られる。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、フィルタ特性を改善することが可能な弾性表面波フ
ィルタ装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の一実施の形態に係る弾性表
面波フィルタ装置の構造を概略的に示す断面図である。

【図２】図２は、図１に示した弾性表面波フィルタ装置
に適用されるデバイスチップの構造を概略的に示す平面
図である。

【図３】図３は、図１に示した弾性表面波フィルタ装置
に適用される弾性表面波素子の構造を概略的に示す図で
ある。

【図４】図４は、図１に示した弾性表面波フィルタ装置
に適用可能な弾性表面波素子の他の構造を概略的に示す
図である。

【図５】図５は、図１に示した弾性表面波フィルタ装置
に適用可能な弾性表面波素子の他の構造を概略的に示す
図である。

【図６】図６は、入力用電極指と出力用電極指との間に
１本の接地用電極指を配置した弾性表面波素子の構造を
概略的に示す図である。

【図７】図７は、入力用電極指と出力用電極指との間に
３本の接地用電極指を配置した弾性表面波素子の構造を
概略的に示す図である。

【図８】図８は、各種構造の弾性表面波フィルタ装置の
周波数特性を測定した時の測定結果の一例を示す図であ
る。

【図９】図９は、図８に示した測定結果の所定周波数を
中心とした所定帯域付近を拡大した周波数特性の測定結
果を示す図である。

【符号の説明】

１…デバイスチップ（圧電性基板）３…基板８…機能部（弾性表面波素子）１５、１６、１７…ＩＤＴ１５Ｂ−ＥＬ…出力用電極指１６Ａ−ＥＬ…入力用電極指１７Ｂ−ＥＬ…出力用電極指１５Ａ−ＥＬ…接地用電極指１６Ｂ−ＥＬ…接地用電極指１７Ａ−ＥＬ…接地用電極指２０…入力端子２１−１、２…出力端子１００…弾性表面波フィルタ装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者江畑泰男神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地株式会社東芝横浜事業所内Ｆターム(参考） 5J097 AA16 BB14 CC08 EE05 JJ03 JJ06 JJ09 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電性基板と、前記圧電性基板上に形成さ
れた弾性表面波素子とを備え、前記弾性表面波素子は、少なくとも、入力端子に接続さ
れた櫛歯状電極と接地端子に接続された櫛歯状電極とを
組み合わせた入力側インターデジタル変換器と、出力端
子に接続された櫛歯状電極と接地端子に接続された櫛歯
状電極とを組み合わせた出力側インターデジタル変換器
とを有し、前記入力端子に接続された櫛歯状電極の入力用電極指、
前記出力端子に接続された櫛歯状電極の出力用電極指、
及び、前記接地端子に接続された櫛歯状電極の接地用電
極指は、実質的に等間隔に配置され、且つ、前記入力用電極指と前記出力用電極指との間の所
定間隔に少なくとも２本の前記接地用電極指を配置した
ことを特徴とする弾性表面波フィルタ装置。
【請求項２】前記入力用電極指の中心と前記出力用電極
指の中心との間の所定間隔は、この間に配置される前記
接地用電極指の本数をｎとし（ｎは２以上の整数）、弾
性表面波の波長をλとしたとき、（ｎ＋１）×λ／２であることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波フ
ィルタ装置。
【請求項３】前記入力用電極指の中心と前記出力用電極
指の中心との間の所定間隔は、弾性表面波の波長をλと
したとき、１．５λ以下であることを特徴とする請求項
１に記載の弾性表面波フィルタ装置。
【請求項４】前記入力用電極指の中心と前記出力用電極
指の中心との間の所定間隔は、１．５μｍ以上であるこ
とを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波フィルタ装
置。
【請求項５】多重モード共振子フィルタであることを特
徴とする請求項１に記載の弾性表面波フィルタ装置。