JPS6043912A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPS6043912A JPS6043912A JP15151583A JP15151583A JPS6043912A JP S6043912 A JPS6043912 A JP S6043912A JP 15151583 A JP15151583 A JP 15151583A JP 15151583 A JP15151583 A JP 15151583A JP S6043912 A JPS6043912 A JP S6043912A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave resonator
- electrode
- interdigital
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は工ないし複数のインターディジタル型変換器
で構成された弾性表面波共振子或はグレーティング反射
器を具備した弾性表面波共振子に係り、特に高次横モー
ドスプリアスを有効に抑圧できる弾性表面波共振子に関
する。
で構成された弾性表面波共振子或はグレーティング反射
器を具備した弾性表面波共振子に係り、特に高次横モー
ドスプリアスを有効に抑圧できる弾性表面波共振子に関
する。
結合共振器フィルタとして挿入損失の小さいものを構成
するには非常に尚いＱ値を肩する共振子が必要である。
するには非常に尚いＱ値を肩する共振子が必要である。
高い周波数でこのような請求を満足する共振子として、
従来ｔＡ１図に示すような周期グレーティング反則器を
有する弾性表面波共振子が知られている。すなわち圧電
体基板（１）上にインターディジタル型の電極（２）（
変換器）を形成しその両側に金属膜をストリップ状に形
成してなる周期グレーティング反射器（３）及び（４）
を形成したものである。このような弾性表面波共振子を
用いてフィルタを構成した場合、フィルタの通過帯域は
械結合係数、ｌニゲレーティング反射器の端面から等測
的反射面との距離を波長で規格化した長さ、（但しｆｒ
：共振子の共振周波数、ｆａ：反共振周波数）の間係が
あり、広帯域の通過帯域特性を必要とｒるノ易合にばｆ
ａ −ｆｒの差が大きい、すなわち２′ ｌ（の大きな共振子を必要とすることになる。ｋ２’ケ
犬さくする手段として最適な方法は、グレーティング反
射器の実効長ｅを小さくすることである。
従来ｔＡ１図に示すような周期グレーティング反則器を
有する弾性表面波共振子が知られている。すなわち圧電
体基板（１）上にインターディジタル型の電極（２）（
変換器）を形成しその両側に金属膜をストリップ状に形
成してなる周期グレーティング反射器（３）及び（４）
を形成したものである。このような弾性表面波共振子を
用いてフィルタを構成した場合、フィルタの通過帯域は
械結合係数、ｌニゲレーティング反射器の端面から等測
的反射面との距離を波長で規格化した長さ、（但しｆｒ
：共振子の共振周波数、ｆａ：反共振周波数）の間係が
あり、広帯域の通過帯域特性を必要とｒるノ易合にばｆ
ａ −ｆｒの差が大きい、すなわち２′ ｌ（の大きな共振子を必要とすることになる。ｋ２’ケ
犬さくする手段として最適な方法は、グレーティング反
射器の実効長ｅを小さくすることである。
このだめｒこはグレーティング反射器を構成しているス
） ＩＪノグの金属膜を厚くシ、ストリップ１本当りの
反射率高めるのが一般的である。しかしながら、このよ
うにストリップの金属膜を厚くするとグレーティング反
射器部分を伝搬する表面波の伝搬鉢度とグレーティング
反射器の外側の部分を伝搬する衣ｎ波の伝搬速度との速
度差が大きくな１ノ、次のような問題が生ずる。すなわ
ち一般に表問波なま圧電基板上に形成された金属膜部分
を伝搬＝４る賜金と金６ｉｉ １１Ｑが形成されていな
い部分を伝搬するルー合とではその伝搬速度が異なるが
、このように伝搬速度が急激に変化する部分において表
面波の反射が起こることが知られている。従って第１図
実線矢印（６）で示すようにグレーティング反射器（３
） 、 （４）中を伝搬する表面波は反射器の各スト１
７ツグのエツジ部分でその一部が反射されるが、同様に
同図中破線矢叩（Ｆ５）で示すようにグレーティング反
射器（４）内部から反射器外部に伝搬しようとする表面
波をその一部がグレーティング反射器（４）の端部で反
射され、再び反射器（４）内部妃戻され、以下この反射
を繰り返して反射器内部を伝搬していくことになる。つ
１リグレ一テイング反射器（３）。
） ＩＪノグの金属膜を厚くシ、ストリップ１本当りの
反射率高めるのが一般的である。しかしながら、このよ
うにストリップの金属膜を厚くするとグレーティング反
射器部分を伝搬する表面波の伝搬鉢度とグレーティング
反射器の外側の部分を伝搬する衣ｎ波の伝搬速度との速
度差が大きくな１ノ、次のような問題が生ずる。すなわ
ち一般に表問波なま圧電基板上に形成された金属膜部分
を伝搬＝４る賜金と金６ｉｉ １１Ｑが形成されていな
い部分を伝搬するルー合とではその伝搬速度が異なるが
、このように伝搬速度が急激に変化する部分において表
面波の反射が起こることが知られている。従って第１図
実線矢印（６）で示すようにグレーティング反射器（３
） 、 （４）中を伝搬する表面波は反射器の各スト１
７ツグのエツジ部分でその一部が反射されるが、同様に
同図中破線矢叩（Ｆ５）で示すようにグレーティング反
射器（４）内部から反射器外部に伝搬しようとする表面
波をその一部がグレーティング反射器（４）の端部で反
射され、再び反射器（４）内部妃戻され、以下この反射
を繰り返して反射器内部を伝搬していくことになる。つ
１リグレ一テイング反射器（３）。
（４）は等測的に導波路どして作用する。
この」：うなグレーティング反射器のストリップに対し
て斜め方向に伝搬する波は横モードと呼ばれ、フィルタ
の通過帯域特性にスゲリアスを発生きせる原因となる。
て斜め方向に伝搬する波は横モードと呼ばれ、フィルタ
の通過帯域特性にスゲリアスを発生きせる原因となる。
この横モードは多数の高次横モードで合成されており、
しかも仁の蘭次横モードはグレーティング反則器のスト
リップに対して直交する方向に伝搬する波より見かけの
位相速度が速いため共振周波数のわずかに高い周波数部
分にスゲリアスとして発生する。
しかも仁の蘭次横モードはグレーティング反則器のスト
リップに対して直交する方向に伝搬する波より見かけの
位相速度が速いため共振周波数のわずかに高い周波数部
分にスゲリアスとして発生する。
そこで、この茜次横モードスプリアスを抑圧す、６ノこ
めＶＣ８１々の提案がなされている。そのひとつにイン
ターディジタル型電極にＣＯ８型アポダイズをかけるこ
とにより、グレーティング反射器内の１ヤードの内特定
の単一モードのみに相当するエネルギー分布にて表面波
を励振し、他の高次横モー ドのスゲリアスが発生しな
いようにしたものが提案されている。しかしこの弾性表
面波共振子はアボダイズをかけることにより、入出力イ
ンク−１イジタル型電極の実効電極指対数が減り、弾性
表面波共振子の等価的機械結合係数 ２１の低下につｈ
がるから、ｆａ−ｆｒの低下となり、広帯域の通過帯域
特性を得ることができなくなる。
めＶＣ８１々の提案がなされている。そのひとつにイン
ターディジタル型電極にＣＯ８型アポダイズをかけるこ
とにより、グレーティング反射器内の１ヤードの内特定
の単一モードのみに相当するエネルギー分布にて表面波
を励振し、他の高次横モー ドのスゲリアスが発生しな
いようにしたものが提案されている。しかしこの弾性表
面波共振子はアボダイズをかけることにより、入出力イ
ンク−１イジタル型電極の実効電極指対数が減り、弾性
表面波共振子の等価的機械結合係数 ２１の低下につｈ
がるから、ｆａ−ｆｒの低下となり、広帯域の通過帯域
特性を得ることができなくなる。
１だ他の方法として表面波導波路幅を狭くし高次横モー
トスシリアスが通過帯域内に発生しないｒうにする方法
も考メられているが、共振子のインピーダンスが大きく
なり低インピーダンスの共（ｈ子がイＨ成不１１Ｊ能と
なるとともにＱ値が低下するという欠点がある。
トスシリアスが通過帯域内に発生しないｒうにする方法
も考メられているが、共振子のインピーダンスが大きく
なり低インピーダンスの共（ｈ子がイＨ成不１１Ｊ能と
なるとともにＱ値が低下するという欠点がある。
この発明は、このような点に鑑みてなされたもので等価
的機械結合係数１（２′およびＱ値の低下が少なく且つ
高次横モードスゲリアスの影響がない弾性表面波共振子
を提供することを目的とするものである。
的機械結合係数１（２′およびＱ値の低下が少なく且つ
高次横モードスゲリアスの影響がない弾性表面波共振子
を提供することを目的とするものである。
本発明はインターディジタル型変換器の電極指の各１本
がその中央部において略クランク状に曲げられ表面波伝
搬方向に互いに１／４仮長ずれた２つの平行部を形成す
るようにした弾性表面波共振子を提供するものである。
がその中央部において略クランク状に曲げられ表面波伝
搬方向に互いに１／４仮長ずれた２つの平行部を形成す
るようにした弾性表面波共振子を提供するものである。
第２図はこの発明の一実施例を示すものである。
（２１）は圧電体基板アあり、この基板上に、例えば１
個のインターディジタル型電極（２榎をはさむように１
対のグレーティング反射器ｔ２３） ＣＪ４）が形成さ
れている。この１個のインターディジタル型観極（２２
の電極指（２つおよびグレーティング反射器？：（ｌ
、 （２，θの金属ストリップＲ６’） 、 （２ηが
それぞれ表面波導波路の中心を境にして略クランク状に
曲げられ表面波伝搬方向ＶＣ互いに１／４波長ずれた２
つの平行部を形成している。（−［−で表面波導波路幅
（Ｗａ ）は電極指交差領域（Ｗｌ） ）、 （Ｗｅ
）から成っている。このような構Ｉ査の弾性表面波共振
からも図中破線（２Ｂ 、 （２１で示すにうに、イン
ターディジタル型電極（２）から高次横モードが励振さ
れ、この内高次横モード（至）は表面波導波路１１ａ
（Ｗａ ）と（Ｗｂ ）の領域の音響インピーダンスが
同じであるから反対側の表面波導波路に進行１゛る。こ
れらの高次横モードＣ２Ｂ 、 （Ｊはグレーティング
反則器１２４）の金属ストリップ（２７）によって図中
破線で示すように一部は反射してインターディジタル型
低極（２りに戻ってくるが、前述のように金属ストリッ
プＱ７）は中央を境にしてその両側は互いに１／４波長
ずれているので、反射波は往復で互い＋ＩＣｌ ／ ２
波長（ｆｉγ相で１８０’）のずれを生じ、互いに逆相
になるために出力信号として現われない。
個のインターディジタル型電極（２榎をはさむように１
対のグレーティング反射器ｔ２３） ＣＪ４）が形成さ
れている。この１個のインターディジタル型観極（２２
の電極指（２つおよびグレーティング反射器？：（ｌ
、 （２，θの金属ストリップＲ６’） 、 （２ηが
それぞれ表面波導波路の中心を境にして略クランク状に
曲げられ表面波伝搬方向ＶＣ互いに１／４波長ずれた２
つの平行部を形成している。（−［−で表面波導波路幅
（Ｗａ ）は電極指交差領域（Ｗｌ） ）、 （Ｗｅ
）から成っている。このような構Ｉ査の弾性表面波共振
からも図中破線（２Ｂ 、 （２１で示すにうに、イン
ターディジタル型電極（２）から高次横モードが励振さ
れ、この内高次横モード（至）は表面波導波路１１ａ
（Ｗａ ）と（Ｗｂ ）の領域の音響インピーダンスが
同じであるから反対側の表面波導波路に進行１゛る。こ
れらの高次横モードＣ２Ｂ 、 （Ｊはグレーティング
反則器１２４）の金属ストリップ（２７）によって図中
破線で示すように一部は反射してインターディジタル型
低極（２りに戻ってくるが、前述のように金属ストリッ
プＱ７）は中央を境にしてその両側は互いに１／４波長
ずれているので、反射波は往復で互い＋ＩＣｌ ／ ２
波長（ｆｉγ相で１８０’）のずれを生じ、互いに逆相
になるために出力信号として現われない。
（１１）てこのような弾性表面波共振子ではアボダイズ
Ｘ１・かけるととによる等価機械結合係数１（の低下（
・１なく、廿〕ζ表面波導波路幅を狭くする必要もない
のでＱ仙の低下もない。このように、本発明によリップ
ルのない広帯域特性の弾性表面波共振子フィルタ、発振
周波数の調整範囲が広く巨つ共振損失の小さい弾性表面
波発振子及び電圧可変範囲の広いＶＣＯ用弾性表面波共
振子等を実現できる。
Ｘ１・かけるととによる等価機械結合係数１（の低下（
・１なく、廿〕ζ表面波導波路幅を狭くする必要もない
のでＱ仙の低下もない。このように、本発明によリップ
ルのない広帯域特性の弾性表面波共振子フィルタ、発振
周波数の調整範囲が広く巨つ共振損失の小さい弾性表面
波発振子及び電圧可変範囲の広いＶＣＯ用弾性表面波共
振子等を実現できる。
第３図乃至第６図は本発明の他の実施例を示す。
第３図は第２図とは基本構造が同じであるｌボート型弾
性表面波共振子であるが、表面波導波路幅Ｗｄは、電極
指交差領域Ｗｅ ＋Ｗｆ ＋Ｗｇから成っている。
性表面波共振子であるが、表面波導波路幅Ｗｄは、電極
指交差領域Ｗｅ ＋Ｗｆ ＋Ｗｇから成っている。
このような弾性表面波共振子では電極指交差領域Ｗｅと
Ｗｇの電極指の位置及びクレーティング反射器の金属ス
） ＩＪソゲの位置は表面波伝搬路方向に対して同じに
なっておりＷｆの領域の電極子及びグレーティング反射
器の金属ストリップとは互いに１／４波長ずれた位置に
配置されている。この応用例でも、インターディジタル
型電極の電極指の交差領域ＷｅとＷｇの領域で励振され
た高次横モードは図中破線Ｃ（＋１ 、 Ｃ（Ｊ 、α
１ 、 Ｃ３４）で示すように導波路内を伝搬し一部は
グレーティング反射器の金属ストリップＣ１！１）によ
って反射され再びインターディジタル型−極に戻ってく
るがこれらの反射波（３Ｉ）と（榊及びｌｉｔ、りとＣ
ａ１）とは圧いに逆相になっているので、出力’１ｉｊ
−’４”にｔ士簡次イ異モードスプリアスが現われない
。
Ｗｇの電極指の位置及びクレーティング反射器の金属ス
） ＩＪソゲの位置は表面波伝搬路方向に対して同じに
なっておりＷｆの領域の電極子及びグレーティング反射
器の金属ストリップとは互いに１／４波長ずれた位置に
配置されている。この応用例でも、インターディジタル
型電極の電極指の交差領域ＷｅとＷｇの領域で励振され
た高次横モードは図中破線Ｃ（＋１ 、 Ｃ（Ｊ 、α
１ 、 Ｃ３４）で示すように導波路内を伝搬し一部は
グレーティング反射器の金属ストリップＣ１！１）によ
って反射され再びインターディジタル型−極に戻ってく
るがこれらの反射波（３Ｉ）と（榊及びｌｉｔ、りとＣ
ａ１）とは圧いに逆相になっているので、出力’１ｉｊ
−’４”にｔ士簡次イ異モードスプリアスが現われない
。
パ■４図は２ホ一ド型弾性表面波共振子に本発明をｌｒ
Ｈ，用した例を示す。構造的には圧電基板（４］）に入
出力インターディジタル型′醒極ｆ４２１ 、 （、＋
３と１対のグレー ティング撃射器ｔ４４１ 、 （４
５）が並設され前記入出力トランスジコーサ（・１１．
り 、 （４濠間にはシールド′嵯極（４６）かりじ成
されている。この応用例では、第２図の１ポー ） ：
Ｊ、ｉ９弾性表面波共振子と同様に表面波導波路幅Ｗ、
Ｌｋ１人出カイ／ターディジタル型゛岐極（４３、（４
りの′電極指交差領域■とＷｅの２つの領域から成って
いへ。また、入出力インターゲインタル型′准極（４力
。
Ｈ，用した例を示す。構造的には圧電基板（４］）に入
出力インターディジタル型′醒極ｆ４２１ 、 （、＋
３と１対のグレー ティング撃射器ｔ４４１ 、 （４
５）が並設され前記入出力トランスジコーサ（・１１．
り 、 （４濠間にはシールド′嵯極（４６）かりじ成
されている。この応用例では、第２図の１ポー ） ：
Ｊ、ｉ９弾性表面波共振子と同様に表面波導波路幅Ｗ、
Ｌｋ１人出カイ／ターディジタル型゛岐極（４３、（４
りの′電極指交差領域■とＷｅの２つの領域から成って
いへ。また、入出力インターゲインタル型′准極（４力
。
＋１１１ ｆｒｌ互いにｎ波長（ｎは任意の整数）離れ
た距離ｋ・１１′ｔいで配置されている。
た距離ｋ・１１′ｔいで配置されている。
、＋、Ｇ ５図は、人出力インターディジ２１９ｍ電極
６０゜１５４が＋３いにｎ ＋ １７２波長の距離を置
いて形成されｒ’ｃ １対のグレーティング反射器Ｉ５
湯、 Ｃ５４）の両側に配置・１１されｆｃ １ｔ＜造
の２ボ一ト型弾性表面波共振子に本発明を応用した例を
示す。
６０゜１５４が＋３いにｎ ＋ １７２波長の距離を置
いて形成されｒ’ｃ １対のグレーティング反射器Ｉ５
湯、 Ｃ５４）の両側に配置・１１されｆｃ １ｔ＜造
の２ボ一ト型弾性表面波共振子に本発明を応用した例を
示す。
第６図は、人出力インターディジタル型ｄ極帽１１゜（
６りが多数の電極指によって構成された多対型弾性表面
波共振子を示す。本応用例では、第４図乃至第５図に示
した２ボ一ト型弾性表面波共振子の入出力インターディ
ジタル型電極の電極指と同様に互いに１／４波長ずれた
位置で内部接続した構造に成っている。
６りが多数の電極指によって構成された多対型弾性表面
波共振子を示す。本応用例では、第４図乃至第５図に示
した２ボ一ト型弾性表面波共振子の入出力インターディ
ジタル型電極の電極指と同様に互いに１／４波長ずれた
位置で内部接続した構造に成っている。
以上述べた応用例では、インターディジタル型電極の電
極指とグレーティング反射器の金属ストリップが表面波
導波路開口長方向に最大２の互いに１／４波長ずれた屈
曲構造になっているが、さらに屈曲数を増加させても構
わない。捷だ、グレーティング反則器が金属ストリップ
構造でｒ↓なく圧電基板に直接溝を設けたグループ構造
のストリップによって構成された弾性表面波共振子に本
発明を実施しても同様に高次横モード抑圧が可能である
。本応用例の構造の弾性表面波共振子によっても前述し
たと同様の性能の弾性表面波共振子フィルタ、弾性表面
波発振子及びｖＣＯ用弾性表面波共振子等が実現できる
。
極指とグレーティング反射器の金属ストリップが表面波
導波路開口長方向に最大２の互いに１／４波長ずれた屈
曲構造になっているが、さらに屈曲数を増加させても構
わない。捷だ、グレーティング反則器が金属ストリップ
構造でｒ↓なく圧電基板に直接溝を設けたグループ構造
のストリップによって構成された弾性表面波共振子に本
発明を実施しても同様に高次横モード抑圧が可能である
。本応用例の構造の弾性表面波共振子によっても前述し
たと同様の性能の弾性表面波共振子フィルタ、弾性表面
波発振子及びｖＣＯ用弾性表面波共振子等が実現できる
。
、７４１図はｌボート型弾性表面波共振子の従来構造し
Ｉ］を示す図、第２図は１ポ一ト型弾性表面波共振子に
本発明を適用した実施例を示す図、第３図Ｑ１１ホード
型弾性表面波共振子に本発明を適用した他の実施例を示
す図、第４図１ｄ％２ボート型弾性表面波共振子に本発
明を適用した実施例を示す図、第５図は２ポ一ト型弾性
表面波共振子に本発明を適用した他の実施例を示す図、
舘６図は多対型弾性表面波共振子に本発明を適用した実
施例を示す図である。 、シト・・圧′航基板、２２・・・インターディジタル
型’＜極、２３．２４・・・グレーティング反射器、２
５・・・電極指、２６．２７・・・金属ストリップ。 代理人 弁理士 則近憲佑 （を且か１名） 第１図 第２図 ｆｓａ図 第４凶 第５図 第 ６ 図・
Ｉ］を示す図、第２図は１ポ一ト型弾性表面波共振子に
本発明を適用した実施例を示す図、第３図Ｑ１１ホード
型弾性表面波共振子に本発明を適用した他の実施例を示
す図、第４図１ｄ％２ボート型弾性表面波共振子に本発
明を適用した実施例を示す図、第５図は２ポ一ト型弾性
表面波共振子に本発明を適用した他の実施例を示す図、
舘６図は多対型弾性表面波共振子に本発明を適用した実
施例を示す図である。 、シト・・圧′航基板、２２・・・インターディジタル
型’＜極、２３．２４・・・グレーティング反射器、２
５・・・電極指、２６．２７・・・金属ストリップ。 代理人 弁理士 則近憲佑 （を且か１名） 第１図 第２図 ｆｓａ図 第４凶 第５図 第 ６ 図・
Claims (2)
- （１）圧電体基板上に１ないし複数のインターディジタ
ル型変換器を形成してなる弾性表面波共振子に゛おいて
、前記インターディジタル型変換器の電極指がその一部
ＶＣおいて略クランク状に曲げられ表面波伝搬方向に対
して互いに］／４波長ずれた平行部をイ（する形状に形
成されていることを特徴とする弾性表面波共振子。 - （２）圧電体基板上にインターディジタル型変換器↑、
・よび、グレーティング反射器が形成されてなる弾性表
面波共振子において、少くとも前にグレーティング反則
器のス） ＩＪツブがその一部において略クランク状に
曲げられ表面波伝搬方向に対してＬＩいＶｃ１／４波長
ずれた平行部を有する形状に形成σれていることを特徴
とする弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15151583A JPS6043912A (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15151583A JPS6043912A (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6043912A true JPS6043912A (ja) | 1985-03-08 |
Family
ID=15520190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15151583A Pending JPS6043912A (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6043912A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0196366A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | セラミック被覆鉄系焼結機械部品 |
| US4870312A (en) * | 1987-02-19 | 1989-09-26 | Hazeltine Corporation | Surface wave device having anti-reflective shield |
| US5349260A (en) * | 1992-04-29 | 1994-09-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Two track surface wave arrangement with improved selection property |
| US7038560B2 (en) | 2003-06-19 | 2006-05-02 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave filter and surface acoustic wave resonator having bent electrode fingers |
| JP2006203680A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波フィルタ |
| JP2006333024A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器 |
| JP2007013459A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器 |
| US7321279B2 (en) * | 2004-07-22 | 2008-01-22 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave element |
| JP2008086051A (ja) * | 2007-12-21 | 2008-04-10 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波フィルタおよび弾性表面波共振器 |
| CN110067946A (zh) * | 2019-05-09 | 2019-07-30 | 上海工程技术大学 | 一种基于声表面波模式的天然气传感器及泄漏监测系统 |
| JP2019146233A (ja) * | 2014-04-08 | 2019-08-29 | スカイワークスフィルターソリューションズジャパン株式会社 | 弾性波共振器と弾性波フィルタ |
-
1983
- 1983-08-22 JP JP15151583A patent/JPS6043912A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4870312A (en) * | 1987-02-19 | 1989-09-26 | Hazeltine Corporation | Surface wave device having anti-reflective shield |
| JPH0196366A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | セラミック被覆鉄系焼結機械部品 |
| US5349260A (en) * | 1992-04-29 | 1994-09-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Two track surface wave arrangement with improved selection property |
| US7038560B2 (en) | 2003-06-19 | 2006-05-02 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave filter and surface acoustic wave resonator having bent electrode fingers |
| US7321279B2 (en) * | 2004-07-22 | 2008-01-22 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave element |
| JP2006203680A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波フィルタ |
| JP4702528B2 (ja) * | 2005-05-26 | 2011-06-15 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器 |
| JP2006333024A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器 |
| JP2007013459A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器 |
| JP4761192B2 (ja) * | 2005-06-29 | 2011-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器 |
| JP2008086051A (ja) * | 2007-12-21 | 2008-04-10 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波フィルタおよび弾性表面波共振器 |
| JP2019146233A (ja) * | 2014-04-08 | 2019-08-29 | スカイワークスフィルターソリューションズジャパン株式会社 | 弾性波共振器と弾性波フィルタ |
| CN110067946A (zh) * | 2019-05-09 | 2019-07-30 | 上海工程技术大学 | 一种基于声表面波模式的天然气传感器及泄漏监测系统 |
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