JPS6041809A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
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- JPS6041809A JPS6041809A JP14984983A JP14984983A JPS6041809A JP S6041809 A JPS6041809 A JP S6041809A JP 14984983 A JP14984983 A JP 14984983A JP 14984983 A JP14984983 A JP 14984983A JP S6041809 A JPS6041809 A JP S6041809A
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- Japan
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- surface acoustic
- acoustic wave
- face
- resonator
- transducer
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02669—Edge reflection structures, i.e. resonating structures without metallic reflectors, e.g. Bleustein-Gulyaev-Shimizu [BGS], shear horizontal [SH], shear transverse [ST], Love waves devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14552—Transducers of particular shape or position comprising split fingers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技イ「Ｍ分野
本発明はりｉ性表面波共振子の改良に関する。特に、シ
ェアーホリンンタルタイプの弾性表面波を利用し、共振
するりｉ性表面波の伝播ブノ向に直交する面にそって設
けられた反射端面を有するストリップ型の弾性表面波共
振子の特性を改首し、かつ、その製造過程におけるトラ
ンスデユーサフィンカーの破損の可能性を減少して製造
歩留を向］。
ェアーホリンンタルタイプの弾性表面波を利用し、共振
するりｉ性表面波の伝播ブノ向に直交する面にそって設
けられた反射端面を有するストリップ型の弾性表面波共
振子の特性を改首し、かつ、その製造過程におけるトラ
ンスデユーサフィンカーの破損の可能性を減少して製造
歩留を向］。
し、あわせて、設計上の制約を解消して設計上の自由度
を向上し、結果的に特性を向上する改良に関する。
を向上し、結果的に特性を向上する改良に関する。
（２）技術の背景
弾性表面波共振子とは、特定の周波数の弾性表面波を共
振させてその特定の周波数の弾性表面波の振幅を増大す
る弾性表面波素子をいう。
振させてその特定の周波数の弾性表面波の振幅を増大す
る弾性表面波素子をいう。
ところで、弾性表面波素子とは圧゛市奴体等のりｉ性体
の表面にそって伝播する弾性波を信′−′ｆ伝送媒体と
する信号伝送手段をいい、波の伝播速度か′ｌｉ磁波の
それの約１０分の１であるから、素ｒ−が小型軽ｈ℃と
なり、波かその中を伝播する弾性体よりなる１５板の任
益の場所で駆動・検出することかでき、外部から伝播特
性を容易に制御することかできる等の特徴を有し、特に
、遅延素子としてひろく利用されているほか、増幅器・
波形変換素子等として使用しうる。
の表面にそって伝播する弾性波を信′−′ｆ伝送媒体と
する信号伝送手段をいい、波の伝播速度か′ｌｉ磁波の
それの約１０分の１であるから、素ｒ−が小型軽ｈ℃と
なり、波かその中を伝播する弾性体よりなる１５板の任
益の場所で駆動・検出することかでき、外部から伝播特
性を容易に制御することかできる等の特徴を有し、特に
、遅延素子としてひろく利用されているほか、増幅器・
波形変換素子等として使用しうる。
ただ１弾性表面波には弾性表面波がその伝播する表層内
においてその弾性表面波の伝播する方向と直交する方向
に粒子変位をなす、シェアーホリンンタルタイプの弾性
表面波（以下ＳＨタイプ弾性表面波という。）か含まれ
る。
においてその弾性表面波の伝播する方向と直交する方向
に粒子変位をなす、シェアーホリンンタルタイプの弾性
表面波（以下ＳＨタイプ弾性表面波という。）か含まれ
る。
このＳＨタイプ弾性表面波はその伝播方向に直交する面
における反射率がすぐれているので、このＳＨタイプ弾
性表面波を利用すると、弾性表面波の伝播方向に直交す
る面にそって設けられた反射端ｕ’＋ｉを有するいわゆ
るストリップ型の弾性表面波共振子か有効に機能する。
における反射率がすぐれているので、このＳＨタイプ弾
性表面波を利用すると、弾性表面波の伝播方向に直交す
る面にそって設けられた反射端ｕ’＋ｉを有するいわゆ
るストリップ型の弾性表面波共振子か有効に機能する。
本発明は、このＳＨタイプｑＩＩ性表面波を利用したス
トリップ型の９９性表面波共振子の構造的改良である。
トリップ型の９９性表面波共振子の構造的改良である。
（３）従来技術と問題点
従来技術１こおけるストリップ型の弾性表面波共４ＡＱ
子は、その１例を第１図、第２図に示すように、反射端
面か、Ｉ・ランスデューサの電極１．１゜を構成する複
数の金属フィンカーユニンｌ−２，２゛のうちＧも外側
に配設されるフィンカーユニットの」二またはこれに極
めて接近した位置に設けられていた。ここで、第１図は
シングル電極の例であり、第２図はタプル電極の例であ
るか、Ｉ・ランスデューサは互いに１１１み合っている
一組のすだれ状電極１．１′をもって構成され、このす
だれ状電極１．１“のそれぞれは複数の金属フィン刀−
コーニント２．２“をもって構成される。そして、金属
フィンカーユニット２．２°のそれぞれは、シングル電
極の場合は１本のフィンガー２よりなり、タプル゛１［
極の場合は２本の並行するフィンカーの組２′よりなる
。
子は、その１例を第１図、第２図に示すように、反射端
面か、Ｉ・ランスデューサの電極１．１゜を構成する複
数の金属フィンカーユニンｌ−２，２゛のうちＧも外側
に配設されるフィンカーユニットの」二またはこれに極
めて接近した位置に設けられていた。ここで、第１図は
シングル電極の例であり、第２図はタプル電極の例であ
るか、Ｉ・ランスデューサは互いに１１１み合っている
一組のすだれ状電極１．１′をもって構成され、このす
だれ状電極１．１“のそれぞれは複数の金属フィン刀−
コーニント２．２“をもって構成される。そして、金属
フィンカーユニット２．２°のそれぞれは、シングル電
極の場合は１本のフィンガー２よりなり、タプル゛１［
極の場合は２本の並行するフィンカーの組２′よりなる
。
ところで、従来技術におけるストリップ型の弾性表面波
共振子の反射端＋ｆ＋ｉが、上記のよう１こ、Ｉｂｔも
外側のフィンカーユニットの上またはこれに極めて接近
して設けられる理由は容＠に比を小さくするｔこめであ
る。ここで、容量比とは、トランスデユーサの電極の等
価回路を第３図のように、Ｌ−Ｃ−ＲとＣＯとの並列回
路と想定した場合のＣＯとＣとの比（Ｃｏ ／ Ｃ）で
あり、共振ｆ−の共振周波特性等を決定する重大なパラ
メータの一つである。
共振子の反射端＋ｆ＋ｉが、上記のよう１こ、Ｉｂｔも
外側のフィンカーユニットの上またはこれに極めて接近
して設けられる理由は容＠に比を小さくするｔこめであ
る。ここで、容量比とは、トランスデユーサの電極の等
価回路を第３図のように、Ｌ−Ｃ−ＲとＣＯとの並列回
路と想定した場合のＣＯとＣとの比（Ｃｏ ／ Ｃ）で
あり、共振ｆ−の共振周波特性等を決定する重大なパラ
メータの一つである。
ところが、上記の構造の反射端面を有するストリップ型
の弾性表面波共振子の製造方法においては、その反射端
面な形成する方法としてダイシング方式をとっているの
で、第４図、第５［閾に示すように、最も外側のフィン
カーユニットの形状が不整１こなりやすく、特に断線し
た場合はフィンカーか欠落してフィンガー数を設計値か
ら変更してしまう結果となるから、共振子の共振周波特
性が変更されることになり、製品相互間に特性のばらつ
きを発生させる結果となる欠点かあった。
の弾性表面波共振子の製造方法においては、その反射端
面な形成する方法としてダイシング方式をとっているの
で、第４図、第５［閾に示すように、最も外側のフィン
カーユニットの形状が不整１こなりやすく、特に断線し
た場合はフィンカーか欠落してフィンガー数を設計値か
ら変更してしまう結果となるから、共振子の共振周波特
性が変更されることになり、製品相互間に特性のばらつ
きを発生させる結果となる欠点かあった。
また、弾性表面波共振子のトランスデユーサの伝達係数
はＩ・ランスデューサのフィンガーの数Ｊメや交叉幅等
になって決定され、一方、弾性表面波）（振子の反則係
数は反射端面間の距離によって決定されることか知られ
ているが、従来技術におけるス；・リップ型の弾性表面
波共振子においては、これら２種の要素（トランスデユ
ーサのフィンガーの組の数や交叉幅等と反射端＋ｆ’＋
ｊ間の距ｇＩ）が相！ノ二に結合されており独立には決
定しえないから、２ｉｆ＞ 、ｉｌ」−の１ｌｊｌ約と
なるという欠点もあった。
はＩ・ランスデューサのフィンガーの数Ｊメや交叉幅等
になって決定され、一方、弾性表面波）（振子の反則係
数は反射端面間の距離によって決定されることか知られ
ているが、従来技術におけるス；・リップ型の弾性表面
波共振子においては、これら２種の要素（トランスデユ
ーサのフィンガーの組の数や交叉幅等と反射端＋ｆ’＋
ｊ間の距ｇＩ）が相！ノ二に結合されており独立には決
定しえないから、２ｉｆ＞ 、ｉｌ」−の１ｌｊｌ約と
なるという欠点もあった。
（４）発明の目的
本発明の目的は、これらの欠点を解消することにあり、
ＳＨタイプの弾性表面波共振イを利用し、共振する弾性
表面波の伝播方向に直交する面にそって設けられた反射
端面を有するストす・ンプ型の弾性表面波共振子におい
て、その製造過程におけるトランステユーサフィン力−
の破損の可能性が減少され、あわせて、トランスデユー
サの伝達係数の決定と共振子の反射係数の決定とをカレ
＼に無関係に自由になしうる利益を有する弾性表面波共
振子を提供することにある。
ＳＨタイプの弾性表面波共振イを利用し、共振する弾性
表面波の伝播方向に直交する面にそって設けられた反射
端面を有するストす・ンプ型の弾性表面波共振子におい
て、その製造過程におけるトランステユーサフィン力−
の破損の可能性が減少され、あわせて、トランスデユー
サの伝達係数の決定と共振子の反射係数の決定とをカレ
＼に無関係に自由になしうる利益を有する弾性表面波共
振子を提供することにある。
（５）発明の構成
本発明の構成は、シェアーホリソンタルタイプの弾性表
面波を利用し、共振する弾性表面波の伝播方向に直交す
る面にそって設けられた反射何ｉａ ｌ＋’ｉｉをイ１
するストリップ型の弾性表面波ノ（振子にむ１，１て、
前記反射端面は、トランスデユーサの電極を構成する複
数の金属フィンカーユニットのうち最も外側ｉこ配設さ
れるフィンカーユニ・ントの中・Ｉｌ）力＼らＡ１Δｉ
ｌｌ して、共振する弾性表向波の波長の約１７２の整
数倍の距離に設けられてなることを特徴とするＪｙｉｉ
性表ｍ性液ｍ１波共振子。
面波を利用し、共振する弾性表面波の伝播方向に直交す
る面にそって設けられた反射何ｉａ ｌ＋’ｉｉをイ１
するストリップ型の弾性表面波ノ（振子にむ１，１て、
前記反射端面は、トランスデユーサの電極を構成する複
数の金属フィンカーユニットのうち最も外側ｉこ配設さ
れるフィンカーユニ・ントの中・Ｉｌ）力＼らＡ１Δｉ
ｌｌ して、共振する弾性表向波の波長の約１７２の整
数倍の距離に設けられてなることを特徴とするＪｙｉｉ
性表ｍ性液ｍ１波共振子。
換富すれば、本発明は、反射端面の形成位置をトランス
デユーサフィンガー上から他の位置に移動することとし
、これによって、ダイシング工程中にトランスデユーサ
フィンガーが破損するおそれを除去し、その移動される
位置は共振条件を満足するために、最も外側に配設され
るフィンガー二二ントの中心と反射端面との距離を、共
振する弾性表面波の波長の約１／２の整数倍に選択した
ものである。
デユーサフィンガー上から他の位置に移動することとし
、これによって、ダイシング工程中にトランスデユーサ
フィンガーが破損するおそれを除去し、その移動される
位置は共振条件を満足するために、最も外側に配設され
るフィンガー二二ントの中心と反射端面との距離を、共
振する弾性表面波の波長の約１／２の整数倍に選択した
ものである。
なお、ここに云うフィンカーユニットの中心とは、ンン
グル電極方式の場合はフィンガーの中心であり、タプル
電極方式の場合は組をなす２木のフィンガーの中心であ
る。
グル電極方式の場合はフィンガーの中心であり、タプル
電極方式の場合は組をなす２木のフィンガーの中心であ
る。
（６）発明の実施例
以下図面を参照しつつ、本発明の実施例に係る弾性表面
波共振子について説明する。１例として、ノ＆板は４０
°ｒｏｔＹ−リチウムタンクレート（Ｌ＋Ｔａ０３）の
基板を使用し、りｉ性表面波の周波数ｆが５０ＭＨｚで
ある場合について述べる。この周波数における音速Ｖは
４ 、１５０ｍ／秒であるから、トランスデユーサのピ
ッチＰは、 Ｐ＝Ｖ／２ｆ＝４，１５０１５０ＸＩＯＸ２＝ ４１．
５ルｍ となる。トランスデユーサはシングル電極型とし、２０
対とし、各フィンガーの幅は２１．５ＪＬＩＩ＋ とし
、交叉幅は７００ルｍとする。
波共振子について説明する。１例として、ノ＆板は４０
°ｒｏｔＹ−リチウムタンクレート（Ｌ＋Ｔａ０３）の
基板を使用し、りｉ性表面波の周波数ｆが５０ＭＨｚで
ある場合について述べる。この周波数における音速Ｖは
４ 、１５０ｍ／秒であるから、トランスデユーサのピ
ッチＰは、 Ｐ＝Ｖ／２ｆ＝４，１５０１５０ＸＩＯＸ２＝ ４１．
５ルｍ となる。トランスデユーサはシングル電極型とし、２０
対とし、各フィンガーの幅は２１．５ＪＬＩＩ＋ とし
、交叉幅は７００ルｍとする。
次に、弾性表面波の波長入は
入＝ Ｖ ／ ｆ 、＝ ４，１５０１５０＝８３ｇｍ
であり、そのｌ／２は４１．５ｇｍである。
反射端面を最も外側のフィンカーの中心から弾性表面波
の波長入の１／２の２０倍の点に設けるとすれば、反射
端面とフィンカー中心の距１＠ＬはＬ ＝ ４１．５Ｘ
２０＝ ８３０ ｐＬｍこのようにして決定されたり
法にもとづき、フォトマスクを使用してなるフオ１．
ｌリソグラ２イー法を使用して、１面が鏡面仕上げされ
た４０°ｒｏｔ Ｙ−リチウムタンタレ−１値Ｌ＋Ｔａ
０ａ）の基板上にレジストマスクを形成し、真空蒸着法
を使用して全面にアルミニウム膜を数千オングストロー
ムの厚さに形成した後、レジストマスクを溶解除去して
所望の領域にアルミニウム膜を残留してｙｌｉ性表面波
共振子を完成する。図において、３はリチウムタンート
基板であり、４はトランスデユーサである。図にＡをも
って示す距離が本発明の要旨に係る長さであり、本例に
おいてはλ／ ２ （＝ ４１．５ｍｍ）である。
の波長入の１／２の２０倍の点に設けるとすれば、反射
端面とフィンカー中心の距１＠ＬはＬ ＝ ４１．５Ｘ
２０＝ ８３０ ｐＬｍこのようにして決定されたり
法にもとづき、フォトマスクを使用してなるフオ１．
ｌリソグラ２イー法を使用して、１面が鏡面仕上げされ
た４０°ｒｏｔ Ｙ−リチウムタンタレ−１値Ｌ＋Ｔａ
０ａ）の基板上にレジストマスクを形成し、真空蒸着法
を使用して全面にアルミニウム膜を数千オングストロー
ムの厚さに形成した後、レジストマスクを溶解除去して
所望の領域にアルミニウム膜を残留してｙｌｉ性表面波
共振子を完成する。図において、３はリチウムタンート
基板であり、４はトランスデユーサである。図にＡをも
って示す距離が本発明の要旨に係る長さであり、本例に
おいてはλ／ ２ （＝ ４１．５ｍｍ）である。
（７）発明の詳細
な説明せるとおり、本発明によればＳＨタイプの弾性表
面波共振子を利用し、共振する弾性表Ｉｎ１波の伝播方
向に直交する面にそって設けられた反射端面を右するス
トリップ型の１３Ｉｉ性表面波共振子において、その製
造過程におけるトランスデユーサフィンガーの破損の可
能性か減少され。
面波共振子を利用し、共振する弾性表Ｉｎ１波の伝播方
向に直交する面にそって設けられた反射端面を右するス
トリップ型の１３Ｉｉ性表面波共振子において、その製
造過程におけるトランスデユーサフィンガーの破損の可
能性か減少され。
あわせて、ｌ・ランステユーサの伝達係数の決定とノ（
振子の反射係数の決定とを互いしこ無関係に自由になし
うる利益を有する弾性表面波共振子を提供することがで
きる。
振子の反射係数の決定とを互いしこ無関係に自由になし
うる利益を有する弾性表面波共振子を提供することがで
きる。
第１図、第２図は従来技術におけるストリップ型の弾性
表面波共振子の１例を示す概念的構成図であり、第３図
はその等価回路である。第４図、第５図は本発明の詳細
な説明する図である。第６図は本発明の実施例に係る弾
性表面波Ｊ（振ｆの概念的構成図である。 １、ビ・・・トランスデユーサ電極、２．２゛・Φ・金
属フィンカーユニット、Ｌ・・−リアクタンス、Ｒ−Φ
・抵抗、 Ｃ，Ｃｏ・・・静電容量、３・・・基板、
４・ ・ ・ トランスデユーサ、 Ａ・・・最も外側
のフィンカーユニットと反射端面との距離。
表面波共振子の１例を示す概念的構成図であり、第３図
はその等価回路である。第４図、第５図は本発明の詳細
な説明する図である。第６図は本発明の実施例に係る弾
性表面波Ｊ（振ｆの概念的構成図である。 １、ビ・・・トランスデユーサ電極、２．２゛・Φ・金
属フィンカーユニット、Ｌ・・−リアクタンス、Ｒ−Φ
・抵抗、 Ｃ，Ｃｏ・・・静電容量、３・・・基板、
４・ ・ ・ トランスデユーサ、 Ａ・・・最も外側
のフィンカーユニットと反射端面との距離。
Claims (1)
- シェアーホリゾンタルタイプの弾性表面波を利用し、共
振するりｉ性表面波の伝播方向に直交する面にそって設
けられた反射端面を有するストリップ型の弾性表１ｎｊ
波共振子において、前記反射端面ば、トランスデユーサ
の電極を構成する複数の金属フィンカーユニットのうち
最も外側に配設されるフィンカーユニットの中心から計
測して、共振する弾性表面波の波長の約１／２の整数倍
の距離に設けられてなることを特徴とする弾性表面波共
振Ｊ′。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14984983A JPS6041809A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14984983A JPS6041809A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6041809A true JPS6041809A (ja) | 1985-03-05 |
Family
ID=15483990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14984983A Pending JPS6041809A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6041809A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0751615A1 (en) * | 1995-06-30 | 1997-01-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing surface wave devices of the end-face reflection type |
| US6297713B1 (en) | 1998-06-01 | 2001-10-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Surface acoustic wave device with split electrodes and outermost electrodes of a different width than the split electrodes |
| US6531937B2 (en) * | 2000-02-28 | 2003-03-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Edge reflection type surface acoustic wave filter |
| US6873226B2 (en) | 2001-03-19 | 2005-03-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Edge-reflection surface acoustic wave filter |
| US7194793B2 (en) | 2000-09-06 | 2007-03-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for producing an edge reflection type surface acoustic wave device |
-
1983
- 1983-08-17 JP JP14984983A patent/JPS6041809A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0751615A1 (en) * | 1995-06-30 | 1997-01-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing surface wave devices of the end-face reflection type |
| US6297713B1 (en) | 1998-06-01 | 2001-10-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Surface acoustic wave device with split electrodes and outermost electrodes of a different width than the split electrodes |
| DE19924933B4 (de) * | 1998-06-01 | 2008-03-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo | Oberflächenwellenbauelement |
| US6531937B2 (en) * | 2000-02-28 | 2003-03-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Edge reflection type surface acoustic wave filter |
| US7194793B2 (en) | 2000-09-06 | 2007-03-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for producing an edge reflection type surface acoustic wave device |
| US6873226B2 (en) | 2001-03-19 | 2005-03-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Edge-reflection surface acoustic wave filter |
| DE10212174B4 (de) * | 2001-03-19 | 2012-11-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter mit spezieller Elektrodenanordnung sowie Duplexer und Kommunikationsvorrichtung, die dieses verwenden |
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