JPH0245847B2 - - Google Patents
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- JPH0245847B2 JPH0245847B2 JP57025882A JP2588282A JPH0245847B2 JP H0245847 B2 JPH0245847 B2 JP H0245847B2 JP 57025882 A JP57025882 A JP 57025882A JP 2588282 A JP2588282 A JP 2588282A JP H0245847 B2 JPH0245847 B2 JP H0245847B2
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- acoustic wave
- surface acoustic
- electrode fingers
- shaped electrode
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 30
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/1452—Means for weighting by finger overlap length, apodisation
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6489—Compensation of undesirable effects
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、高次横モードスプリアスを抑圧させ
た弾性表面波共振器に関する。
た弾性表面波共振器に関する。
一般に、弾性表面波共振器は第1図に示すよう
な構成となつている。
な構成となつている。
すなわち圧電基板1の一方の主面上に、表面波
放射電極2と、この放射電極2を挟むように所定
の間隔をおいて表面波反射器3,3を形成した構
成となつており、この放射電極2はくし形電極指
4,4を相互に差し込んで形成されて電気−機械
変換器を構成し、また反射器3は金属ストリツプ
あるいはグループ等で構成され、放射電極2から
の弾性表面波伝搬路上に配置されている。
放射電極2と、この放射電極2を挟むように所定
の間隔をおいて表面波反射器3,3を形成した構
成となつており、この放射電極2はくし形電極指
4,4を相互に差し込んで形成されて電気−機械
変換器を構成し、また反射器3は金属ストリツプ
あるいはグループ等で構成され、放射電極2から
の弾性表面波伝搬路上に配置されている。
符号5は表面波の伝搬方向を示す。
そして、この2つの反射器3,3の間におい
て、放射電極2から励振放射された表面波により
定在波を起こして共振させ、Qの高い共振器とし
て作用させている。
て、放射電極2から励振放射された表面波により
定在波を起こして共振させ、Qの高い共振器とし
て作用させている。
しかしながらこのような構成の弾性表面波共振
器は、放射電極2が表面波の伝搬方向5に沿つた
相互に等しい長さのくし形電極指4,4を交さし
て形成され、その交さ長Lの一定な正規形電極構
造となつていた。
器は、放射電極2が表面波の伝搬方向5に沿つた
相互に等しい長さのくし形電極指4,4を交さし
て形成され、その交さ長Lの一定な正規形電極構
造となつていた。
そのため第2図の共振レスポンス特性図に示す
ように、主共振Pのほかに、高次横モードスプリ
アスとよばれるスプリアス共振P1、P2が生じる
欠点がある。
ように、主共振Pのほかに、高次横モードスプリ
アスとよばれるスプリアス共振P1、P2が生じる
欠点がある。
この原因は主に次のように考えられる。
すなわち、放射電極2を第3図Aに示すような
正規形電極とした場合、表面波の伝搬方向5と直
角な方向における表面波のエネルギー分布は、同
図Bに示すように、矩形波状6となり、これをフ
ーリエ級数展開すれば同図C〜Eに示すような複
数の正弦波状の等位相面を有する波7,8,9,
…に分解することができる。このうち、7が基本
モードと呼ばれ、8,9,…が高次横モードと呼
ばれる。
正規形電極とした場合、表面波の伝搬方向5と直
角な方向における表面波のエネルギー分布は、同
図Bに示すように、矩形波状6となり、これをフ
ーリエ級数展開すれば同図C〜Eに示すような複
数の正弦波状の等位相面を有する波7,8,9,
…に分解することができる。このうち、7が基本
モードと呼ばれ、8,9,…が高次横モードと呼
ばれる。
ここで基本モード7の位相速度に対し高次横モ
ード8,9,…のそれはわずかに早い。
ード8,9,…のそれはわずかに早い。
又、伝搬方向についても第4図に示すように基
本モード7の伝搬方向5に対して、高次横モード
の伝搬方向10は、ある角度をもつ。
本モード7の伝搬方向5に対して、高次横モード
の伝搬方向10は、ある角度をもつ。
そしてまた反射器3の内側と外側とでは表面波
の伝搬速度が異なるため、音響インピーダンスの
不連続を生じ高次横モードの波8は第5図の矢印
11で示すように反射器3の端部で順次反射さ
れ、反射器3内に高次横モードの波がとじこめら
れて基本モード7に比べて高い共振周波数を有す
る一種の共振モードを生ずることになる。
の伝搬速度が異なるため、音響インピーダンスの
不連続を生じ高次横モードの波8は第5図の矢印
11で示すように反射器3の端部で順次反射さ
れ、反射器3内に高次横モードの波がとじこめら
れて基本モード7に比べて高い共振周波数を有す
る一種の共振モードを生ずることになる。
これが高次横モードスプリアスと呼ばれるもの
で、第2図に示すようなスプリアスP1、P2を生
ずる原因となると考えられる。
で、第2図に示すようなスプリアスP1、P2を生
ずる原因となると考えられる。
以上の原因を考えると、第1図の表面波放射電
極2から放射される表面波の高次横モード成分を
減少させれば、高次横モードスプリアスを抑圧さ
せることができると考えられる。
極2から放射される表面波の高次横モード成分を
減少させれば、高次横モードスプリアスを抑圧さ
せることができると考えられる。
本発明はこのような放射電極と高次横モードと
の関係に着目してなされたもので、高次横モード
スプリアスを抑圧させた弾性表面波共振器の提供
を目的とする。
の関係に着目してなされたもので、高次横モード
スプリアスを抑圧させた弾性表面波共振器の提供
を目的とする。
本発明はこの目的を達成するために、圧電基板
上に構成された複数のくし形電極指を交差させて
なる表面波放射電極と、 この圧電基板上に構成され、且つこの表面波放
射電極をはさむ様に構成された対をなす表面波反
射器とを備えた弾性表面波共振器において、 この表面波放射電極から励振放射された弾性表
面波の伝搬方向は、この圧電基板表面上でくし形
電極指の長手方向と実質的に直角な方向であり、 隣接する1組の電極指が形成する1つの交さ部
分の長手方向の中点で且つ弾性表面波の伝搬方向
の中点をこのくし形電極指の交さ部分の中点と
し、複数のこのくし形電極指が構成する複数の交
さ部分の各中点が、弾性表面波の伝搬方向と傾き
をもつた軌跡上に並ぶように構成され、 且つ複数のこのくし形電極指が構成する交さ長
はそれぞれ実質的に等しいことを特徴とし、スプ
リアス特性の良好な弾性表面波共振器の実現を図
るものである。
上に構成された複数のくし形電極指を交差させて
なる表面波放射電極と、 この圧電基板上に構成され、且つこの表面波放
射電極をはさむ様に構成された対をなす表面波反
射器とを備えた弾性表面波共振器において、 この表面波放射電極から励振放射された弾性表
面波の伝搬方向は、この圧電基板表面上でくし形
電極指の長手方向と実質的に直角な方向であり、 隣接する1組の電極指が形成する1つの交さ部
分の長手方向の中点で且つ弾性表面波の伝搬方向
の中点をこのくし形電極指の交さ部分の中点と
し、複数のこのくし形電極指が構成する複数の交
さ部分の各中点が、弾性表面波の伝搬方向と傾き
をもつた軌跡上に並ぶように構成され、 且つ複数のこのくし形電極指が構成する交さ長
はそれぞれ実質的に等しいことを特徴とし、スプ
リアス特性の良好な弾性表面波共振器の実現を図
るものである。
以下本発明の弾性表面波共振器の詳細を説明す
る。
る。
なお従来例と共通する部分には同一符号を付
す。
す。
第6図は本発明の弾性表面波共振器における特
徴部分である電気−機械変換器たる表面波放射電
極2の実施例を示すものである。
徴部分である電気−機械変換器たる表面波放射電
極2の実施例を示すものである。
弾性表面波共振器の概略構造は、第1図に示す
ように、表面波の伝搬基板たる圧電板1の一主面
上に、放射電極2とこれを挟んで一対の反射器
3,3を伝搬路上に互いに所定間隔をおいて形成
されてなるので、図示を省略する。
ように、表面波の伝搬基板たる圧電板1の一主面
上に、放射電極2とこれを挟んで一対の反射器
3,3を伝搬路上に互いに所定間隔をおいて形成
されてなるので、図示を省略する。
本発明の一実施例の放射電極2は、第6図Aに
示すように、図中左側の基準として伝搬方向5に
沿つて順次等量づつ長く形成したくし形電極指4
aと順次等量づつ短く形成したくし形電極指4b
を相互に交ささせて構成され、一組の隣接するく
し形電極指4a,4bが形成する交さ部分におい
て電極指の長手方向の中点で且つ弾性表面波の伝
搬方向5の中点即ち交さ部分の各中点12を結ぶ
線13が表面波の伝搬方向5に対し比較的小さな
傾きを有するようになつており、全体として放射
電極2の交さ部分が平行四辺形になつている。
又、4a′,4b′は、伝搬速度を、交さ部分とあわ
せる為のダミー電極である。
示すように、図中左側の基準として伝搬方向5に
沿つて順次等量づつ長く形成したくし形電極指4
aと順次等量づつ短く形成したくし形電極指4b
を相互に交ささせて構成され、一組の隣接するく
し形電極指4a,4bが形成する交さ部分におい
て電極指の長手方向の中点で且つ弾性表面波の伝
搬方向5の中点即ち交さ部分の各中点12を結ぶ
線13が表面波の伝搬方向5に対し比較的小さな
傾きを有するようになつており、全体として放射
電極2の交さ部分が平行四辺形になつている。
又、4a′,4b′は、伝搬速度を、交さ部分とあわ
せる為のダミー電極である。
このように放射電極2においてくし形電極指4
a,4bの交さ長Lはほぼ一定であるが、交さ部
分の各中点12の位置が順に表面波伝搬方向5に
対して傾きをもつた直線13上に並びようにする
と、伝搬路上における表面波伝搬方向5と直交す
る方向の表面波エネルギー分布が同図Bのような
台形となる。
a,4bの交さ長Lはほぼ一定であるが、交さ部
分の各中点12の位置が順に表面波伝搬方向5に
対して傾きをもつた直線13上に並びようにする
と、伝搬路上における表面波伝搬方向5と直交す
る方向の表面波エネルギー分布が同図Bのような
台形となる。
そのためフーリエ級数展開の原理からわかるよ
うに、エネルギー分布が矩形の場合に比べて高次
横モード成分がより少なくなる。
うに、エネルギー分布が矩形の場合に比べて高次
横モード成分がより少なくなる。
なお放射電極2によつて圧電板1上励振、放射
された表面波が、反射器3,3間で反射を繰り返
して定在波を生じ、Qの高い共振器が得られるこ
とは従来と同様である。
された表面波が、反射器3,3間で反射を繰り返
して定在波を生じ、Qの高い共振器が得られるこ
とは従来と同様である。
第7図は発明の他の実施例を示すもので、第6
図の弾性表面波共振器に比べて、各くし形電極指
4a,4bの交さ部分の中点12を結ぶ直線13
の伝搬方向に対する傾きをさらに大きくして、伝
搬路上のエネルギー分布が三角波状になるよう構
成したものである。
図の弾性表面波共振器に比べて、各くし形電極指
4a,4bの交さ部分の中点12を結ぶ直線13
の伝搬方向に対する傾きをさらに大きくして、伝
搬路上のエネルギー分布が三角波状になるよう構
成したものである。
このように構成した弾性表面波共振器は、第6
図に示すものに比べ、その高次横モード成分をさ
らに小さくすることが可能となりスプリアスの抑
圧がより良好となる。
図に示すものに比べ、その高次横モード成分をさ
らに小さくすることが可能となりスプリアスの抑
圧がより良好となる。
第8図Aは、本発明の弾性表面波共振器の別の
実施例を説明するための放射電極2を示す図であ
る。
実施例を説明するための放射電極2を示す図であ
る。
図において放射電極2は、くし形電極指4a,
4bが上述の実施例のように等量づつ長さを異に
したものから、交さ部分の各中点12を結ぶ線1
3が、交さ幅Lの2倍を一周期とする正弦波の最
小点から最大点までの半周期部分の曲線状となる
ように構成されたものである。
4bが上述の実施例のように等量づつ長さを異に
したものから、交さ部分の各中点12を結ぶ線1
3が、交さ幅Lの2倍を一周期とする正弦波の最
小点から最大点までの半周期部分の曲線状となる
ように構成されたものである。
このような放射電極2から伝搬する表面波エネ
ルギー分布は同図Bのように正弦波状となるの
で、第7図に示す実施例よりも更に高次横モード
成分を少なくすることが可能となつて、高次横モ
ードスプリアスP1、P2の大幅な抑圧ができる。
ルギー分布は同図Bのように正弦波状となるの
で、第7図に示す実施例よりも更に高次横モード
成分を少なくすることが可能となつて、高次横モ
ードスプリアスP1、P2の大幅な抑圧ができる。
以上説明した本発明の弾性表面波共振器は、放
射電極を形成するくし形電極指の各交さ部分の中
点を表面波伝搬方向に対して傾きをもつた軌跡上
に順に並ぶようにし、且つ複数のくし形電極指が
構成する交さ長はそれぞれ実質的に等しくしたも
ので、従来例の如き交さ長が一定正規形電極の放
射電極を用いた場合に比べ、同一のインピーダン
ス及び電極容量で、横モードスプリアスを抑圧す
ることができる。
射電極を形成するくし形電極指の各交さ部分の中
点を表面波伝搬方向に対して傾きをもつた軌跡上
に順に並ぶようにし、且つ複数のくし形電極指が
構成する交さ長はそれぞれ実質的に等しくしたも
ので、従来例の如き交さ長が一定正規形電極の放
射電極を用いた場合に比べ、同一のインピーダン
ス及び電極容量で、横モードスプリアスを抑圧す
ることができる。
第1図は従来の弾性表面波共振器の平面図、第
2図はそのスプリアス特性図、第3図〜第5図は
第1図に示す弾性表面波共振器において横モード
スプリアスが発生する理由を説明する図、第6図
は本発明の弾性表面波共振器の一実施例の要部を
示す図、第7図および第8図は本発明の他の実施
例の要部を示す図である。 1……圧電基板、2……放射電極、3……反射
器、4,4a,4b……くし形電極指、5……表
面波伝搬方向、12……くし形電極指の交さ部分
における中点、13……各くし形電極の交さ部分
における中点を結ぶ線、L……くし形電極指の交
さ長。
2図はそのスプリアス特性図、第3図〜第5図は
第1図に示す弾性表面波共振器において横モード
スプリアスが発生する理由を説明する図、第6図
は本発明の弾性表面波共振器の一実施例の要部を
示す図、第7図および第8図は本発明の他の実施
例の要部を示す図である。 1……圧電基板、2……放射電極、3……反射
器、4,4a,4b……くし形電極指、5……表
面波伝搬方向、12……くし形電極指の交さ部分
における中点、13……各くし形電極の交さ部分
における中点を結ぶ線、L……くし形電極指の交
さ長。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 圧電基板上に構成された複数のくし形電極指
を交差させてなる表面波放射電極と、 この圧電基板上に構成され、且つこの表面波放
射電極をはさむ様に構成された対をなす表面波反
射器とを備えた弾性表面波共振器において、 前記表面波放射電極から励振放射された弾性表
面波の伝搬方向は、前記圧電基板表面上でくし形
電極指の長手方向と実質的に直角な方向であり、 隣接する1組の電極指が形成する1つの交さ部
分の長手方向の中点で且つ弾性表面波の伝搬方向
の中点を前記くし形電極指の交さ部分の中点と
し、複数の前記くし形電極指が構成する複数の交
さ部分の各中点が、弾性表面波の伝搬方向と傾き
をもつた軌跡上に並ぶように構成され、 且つ複数の前記くし形電極指が構成する交さ長
はそれぞれ実質的に等しいことを特徴とする弾性
表面波共振器。 2 くし形電極指の交さ部分の各中点が、弾性表
面波の伝搬方向と傾きを有する直線上に並ぶよう
に構成されてなることを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の弾性表面波共振器。 3 くし形電極指の交さ部分の各中点が、弾性表
面波の伝搬方向と傾きを有する曲線上に並ぶこと
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の弾性表
面波共振器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2588282A JPS58143620A (ja) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | 弾性表面波共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2588282A JPS58143620A (ja) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | 弾性表面波共振器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58143620A JPS58143620A (ja) | 1983-08-26 |
JPH0245847B2 true JPH0245847B2 (ja) | 1990-10-12 |
Family
ID=12178146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2588282A Granted JPS58143620A (ja) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | 弾性表面波共振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58143620A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10447240B2 (en) | 2013-12-26 | 2019-10-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device and filter device |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63114408A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-19 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
JP4727322B2 (ja) * | 2005-07-06 | 2011-07-20 | 太陽誘電株式会社 | 弾性表面波装置 |
JP5931868B2 (ja) | 2011-06-28 | 2016-06-08 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 |
JP6573836B2 (ja) | 2016-01-13 | 2019-09-11 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタ、及びデュプレクサ |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55144423U (ja) * | 1979-04-05 | 1980-10-16 |
-
1982
- 1982-02-22 JP JP2588282A patent/JPS58143620A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10447240B2 (en) | 2013-12-26 | 2019-10-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device and filter device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS58143620A (ja) | 1983-08-26 |
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