JPS614316A - ２ポ−ト弾性表面波共振子 - Google Patents
２ポ−ト弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPS614316A JPS614316A JP12446484A JP12446484A JPS614316A JP S614316 A JPS614316 A JP S614316A JP 12446484 A JP12446484 A JP 12446484A JP 12446484 A JP12446484 A JP 12446484A JP S614316 A JPS614316 A JP S614316A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflection gratings
- propagation direction
- elastic surface
- surface acoustic
- reflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は１周波数の安定な発振器等に使用される２？−
ト弾性表面波共振子に関する。
ト弾性表面波共振子に関する。
一般に１弾性表面波を利用した２ポート共振子は、構造
が小型、かつＱが高いために、主にＶＨＦ帯やＵＨＦ帯
の発振器などに多く採用されている。
が小型、かつＱが高いために、主にＶＨＦ帯やＵＨＦ帯
の発振器などに多く採用されている。
発振器を安定に発振させるだめの２ポートタイプの弾性
表面波共振子としては、共振周波数以外の縦モード共振
を十分抑圧し、ダイナミックレンジを上げることが要求
される。そのため２種々の工夫が施されている。その主
な点は、共振子を構成する反射器を重みづけすることに
より、縦モードの共振を抑圧していることにある。重み
づけの１つに、グレーティング反射器の開口長を弾性表
面波の伝搬方向に変化させるところの、いわゆるアボダ
イズド・グレーティングと呼ばれる方法がある。
表面波共振子としては、共振周波数以外の縦モード共振
を十分抑圧し、ダイナミックレンジを上げることが要求
される。そのため２種々の工夫が施されている。その主
な点は、共振子を構成する反射器を重みづけすることに
より、縦モードの共振を抑圧していることにある。重み
づけの１つに、グレーティング反射器の開口長を弾性表
面波の伝搬方向に変化させるところの、いわゆるアボダ
イズド・グレーティングと呼ばれる方法がある。
しかし乍ら、このアポダイズド・グレーティングを用い
た２ボ一ト弾性表面波共振子においては。
た２ボ一ト弾性表面波共振子においては。
第２図の平面図に示すように、圧電性基板１１上に設け
られたグレーティング反射器１２．１３の開口長が弾性
表面波の伝搬方向に変化しているため、交叉指電極１４
．１５の交叉方向に対してグレーティングの中央では反
射格子の数が多いが。
られたグレーティング反射器１２．１３の開口長が弾性
表面波の伝搬方向に変化しているため、交叉指電極１４
．１５の交叉方向に対してグレーティングの中央では反
射格子の数が多いが。
交叉方向に対しグレーティングの端になる程１反射格子
の数が少なくなって反射係数が小さくなる。
の数が少なくなって反射係数が小さくなる。
このだめ、従来技術においては２反射係数が小さいとこ
ろでグレーティングを透過した弾性表面波が基板端面で
反射し、この成分が不要弾性表面波として共振子の特性
を劣化させるという欠点があった。さらに、この特性の
劣化が大きい場合には。
ろでグレーティングを透過した弾性表面波が基板端面で
反射し、この成分が不要弾性表面波として共振子の特性
を劣化させるという欠点があった。さらに、この特性の
劣化が大きい場合には。
不要弾性表面波の大きさを低減するだめの吸収帯域１６
〜１９を反射格子の開口長の短かくなったことにより生
ずる空域に設ける方法が採られているが、この吸収材を
塗るだめの製造工程の増加によって、デバイスのコスト
アップを招くという附加的な欠陥があった。
〜１９を反射格子の開口長の短かくなったことにより生
ずる空域に設ける方法が採られているが、この吸収材を
塗るだめの製造工程の増加によって、デバイスのコスト
アップを招くという附加的な欠陥があった。
本発明の目的は、上記従来の欠点を除去するた−めに２
弾性表面波の伝搬方向に垂直に並べられ・た反射格子の
うち、伝搬方向に対し開口長の短かくなった反射格子の
両側に垂直以外の外方に傾斜した反射格子を設けること
によって、不要弾性表面波の発生を防ぎ、良好な特性で
、かつ製造の容易な′２２ポート性表面波共振子を提供
することにある。
弾性表面波の伝搬方向に垂直に並べられ・た反射格子の
うち、伝搬方向に対し開口長の短かくなった反射格子の
両側に垂直以外の外方に傾斜した反射格子を設けること
によって、不要弾性表面波の発生を防ぎ、良好な特性で
、かつ製造の容易な′２２ポート性表面波共振子を提供
することにある。
本発明の２ボ一ト弾性表面波共振子は、圧電性を有する
基板上に交叉指状電極とグレーティング反射器とが配置
されてなる２ボ一ト弾性表面波共振子において、前記交
叉指状電極により励振された弾性表面波の；伝搬方向に
対して垂直に並べられた前記グレーティング反射器の反
射格子のうち。
基板上に交叉指状電極とグレーティング反射器とが配置
されてなる２ボ一ト弾性表面波共振子において、前記交
叉指状電極により励振された弾性表面波の；伝搬方向に
対して垂直に並べられた前記グレーティング反射器の反
射格子のうち。
伝搬方晶に対し開口長の短縮された反射格子の両側に垂
直以外の外方に傾斜した反射格子を並べたことを特徴と
する。
直以外の外方に傾斜した反射格子を並べたことを特徴と
する。
次に１本発明による２ポート弾性表面波共振子につい・
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
第１図は本発明による実施例の構成を示す平面図である
。図において、圧電性基板２１上に反射器２２．２３と
交叉指状電極２４．２５が配置さ表面波の伝搬方向に垂
直に並べられ、かつ開口長が伝搬方向に変化した反射格
子と、これ等反射格子のうち、開口長の短縮された反射
格子の両端に伝搬方向に対し垂直以外の外方に傾斜して
並べられた反射格子とによ多構成されている。このよう
な構成によれば、従来のアポダイズド・グレーティング
形式の反射格子を透過し、基板端面で反射していた不要
弾性表面波は、傾斜して並べられた反射格子によって伝
搬方向が変えられるため、共振子の特性への影響は低減
される。また、伝搬方向に垂直な反射格子の開口長は伝
搬方向に向って短かくなるように設定されているから、
従来技術と同様に重みづけ反射器として動作する。
。図において、圧電性基板２１上に反射器２２．２３と
交叉指状電極２４．２５が配置さ表面波の伝搬方向に垂
直に並べられ、かつ開口長が伝搬方向に変化した反射格
子と、これ等反射格子のうち、開口長の短縮された反射
格子の両端に伝搬方向に対し垂直以外の外方に傾斜して
並べられた反射格子とによ多構成されている。このよう
な構成によれば、従来のアポダイズド・グレーティング
形式の反射格子を透過し、基板端面で反射していた不要
弾性表面波は、傾斜して並べられた反射格子によって伝
搬方向が変えられるため、共振子の特性への影響は低減
される。また、伝搬方向に垂直な反射格子の開口長は伝
搬方向に向って短かくなるように設定されているから、
従来技術と同様に重みづけ反射器として動作する。
なお、上記の実施例に見られる２ポート弾性表面波共振
子を９例えば発振器に適用する場合について説明すると
、第１図を参照し、交叉指状電極２４と２５のそれぞれ
ｂ点とｄ点を接地し、０点とａ点との間に増幅器を接続
することによって発振回路が形成される。これによって
、増幅器の出力側からａ点に加えられた駆動入力が垂直
反射格子全体に所望の弾性表面波の定在波を生せしめる
から、そのエネルギーを０点から取シ出して増幅器に帰
還入力として加えることにより、不要波を含まない、高
安定の発振動作が継続できる。
子を９例えば発振器に適用する場合について説明すると
、第１図を参照し、交叉指状電極２４と２５のそれぞれ
ｂ点とｄ点を接地し、０点とａ点との間に増幅器を接続
することによって発振回路が形成される。これによって
、増幅器の出力側からａ点に加えられた駆動入力が垂直
反射格子全体に所望の弾性表面波の定在波を生せしめる
から、そのエネルギーを０点から取シ出して増幅器に帰
還入力として加えることにより、不要波を含まない、高
安定の発振動作が継続できる。
以上の説明により明らかなように１本発明によれば２弾
性表面波の伝搬方向に対して開口長の短かくなった反射
格子の両側に垂直以外の外方に傾斜した反射格子を設け
ることにより、不要弾性表面波の発生を低減することが
可能となシ、良好々特性が得られることは勿論、製造工
数の低減による経済性の向上に対しても得られる効果は
大きい。
性表面波の伝搬方向に対して開口長の短かくなった反射
格子の両側に垂直以外の外方に傾斜した反射格子を設け
ることにより、不要弾性表面波の発生を低減することが
可能となシ、良好々特性が得られることは勿論、製造工
数の低減による経済性の向上に対しても得られる効果は
大きい。
第１図は本発明による実施例の構成を示す平面図、第２
図は従来のアポダイズド・グレーティングを用いた２ポ
ート弾性表面波共振子の構成例を示す平面図である。 図において、２１は圧電性基板、２２．２３は反射格子
、２４．２５は交叉指状電極である。 代理人（７１２ｉ’）弁理士後藤洋介 第１図 ／’／ 第２図
図は従来のアポダイズド・グレーティングを用いた２ポ
ート弾性表面波共振子の構成例を示す平面図である。 図において、２１は圧電性基板、２２．２３は反射格子
、２４．２５は交叉指状電極である。 代理人（７１２ｉ’）弁理士後藤洋介 第１図 ／’／ 第２図
Claims (1)
- １、圧電性を有する基板上に交叉指状電極とグレーティ
ング反射器とが配置されてなる２ポート弾性表面波共振
子において、前記交叉指状電極により励振された弾性表
面波の伝搬方向に対して垂直に並べられた前記グレーテ
ィング反射器の反射格子のうち、伝搬方向に対し開口長
の短縮された反射格子の両側に垂直以外の外方に傾斜し
た反射格子を並べたことを特徴とする２ポート弾性表面
波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12446484A JPS614316A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | ２ポ−ト弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12446484A JPS614316A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | ２ポ−ト弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS614316A true JPS614316A (ja) | 1986-01-10 |
Family
ID=14886168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12446484A Pending JPS614316A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | ２ポ−ト弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS614316A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001082480A1 (fr) * | 2000-04-24 | 2001-11-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Filtre a ondes acoustiques de surface a couplage vertical |
| US20180202868A1 (en) * | 2015-06-30 | 2018-07-19 | Shenzhen Huayuan Micro Electronic Technology Co., Ltd. | Wireless temperature sensor based chip |
| US11489513B2 (en) | 2018-11-16 | 2022-11-01 | Skyworks Solutions, Inc. | Multi-mode surface acoustic wave filter |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP12446484A patent/JPS614316A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001082480A1 (fr) * | 2000-04-24 | 2001-11-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Filtre a ondes acoustiques de surface a couplage vertical |
| EP1195896A1 (en) * | 2000-04-24 | 2002-04-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Vertical coupling surface acoustic wave filter |
| US6650207B1 (en) | 2000-04-24 | 2003-11-18 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Longitudinally coupled surface acoustic wave filter with linearly weighted reflectors |
| EP1195896A4 (en) * | 2000-04-24 | 2005-06-01 | Mitsubishi Electric Corp | ACOUSTIC SURFACE WAVE FILTER WITH VERTICAL COUPLING |
| US20180202868A1 (en) * | 2015-06-30 | 2018-07-19 | Shenzhen Huayuan Micro Electronic Technology Co., Ltd. | Wireless temperature sensor based chip |
| US20180209857A1 (en) * | 2015-06-30 | 2018-07-26 | Shenzhen Huayuan Micro Electronic Technology Co., Ltd. | Wireless temperature sensor based chip |
| US11489513B2 (en) | 2018-11-16 | 2022-11-01 | Skyworks Solutions, Inc. | Multi-mode surface acoustic wave filter |
| US11502668B2 (en) | 2018-11-16 | 2022-11-15 | Skyworks Solutions, Inc. | Multi-mode surface acoustic wave filter with stepped acoustic reflectors |
| US11545960B2 (en) * | 2018-11-16 | 2023-01-03 | Skyworks Solutions, Inc. | Multi-mode surface acoustic wave filter with slanted acoustic reflectors |
| US11949404B2 (en) | 2018-11-16 | 2024-04-02 | Skyworks Solutions, Inc. | Acoustic wave component with stepped and slanted acoustic reflector |
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