JPS60140918A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPS60140918A JPS60140918A JP24514183A JP24514183A JPS60140918A JP S60140918 A JPS60140918 A JP S60140918A JP 24514183 A JP24514183 A JP 24514183A JP 24514183 A JP24514183 A JP 24514183A JP S60140918 A JPS60140918 A JP S60140918A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- resonance
- acoustic wave
- resonance frequency
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は弾性表面波共振子に係り、特に電圧制御発振
器に好適な弾性表面波共振子に関する。
器に好適な弾性表面波共振子に関する。
弾性表面波共振子は一般に第１図に示すように。
弾性表面波を伝搬する圧電性基板１上に弾性表面波励振
用インターディジタル電極２と１弾性表面波伝搬方向に
直角に多数のストリップを周期的に配列したグレーティ
ング反射器３．４を形成して構成されている。このよう
な弾性表面波共振子は電子的等価回路で表わすと、水晶
振動子とまった（同じであり、第２図１ａｌさらには（
ｂｌのように表わすことができる。（ｂｌで示したよう
にインピーダンス特性の一例を第３図に示すがこのよう
な特性は前記グレーティング反射器の反射器特性にてほ
ぼ決定される。反射器特性は反射器を構成する金属膜の
厚さあるいはグループの深さ及びその本数さらには圧電
性基板の電気−機械結合係数Ｒ１によって決まることは
周知の事実である。ところが一般にはグレーティング反
射器と弾性表面波励振用インターディジタル電極は、同
−金属膜で構成するため、インターディジタル電極でも
反射を生じ。
用インターディジタル電極２と１弾性表面波伝搬方向に
直角に多数のストリップを周期的に配列したグレーティ
ング反射器３．４を形成して構成されている。このよう
な弾性表面波共振子は電子的等価回路で表わすと、水晶
振動子とまった（同じであり、第２図１ａｌさらには（
ｂｌのように表わすことができる。（ｂｌで示したよう
にインピーダンス特性の一例を第３図に示すがこのよう
な特性は前記グレーティング反射器の反射器特性にてほ
ぼ決定される。反射器特性は反射器を構成する金属膜の
厚さあるいはグループの深さ及びその本数さらには圧電
性基板の電気−機械結合係数Ｒ１によって決まることは
周知の事実である。ところが一般にはグレーティング反
射器と弾性表面波励振用インターディジタル電極は、同
−金属膜で構成するため、インターディジタル電極でも
反射を生じ。
共振周波数が低下し１反射器の中心周波数が一致しなく
なり、特性、特にＱが悪化していた。そこでインターデ
ィジタル電極の周期長をずらして、放射コンダクタンス
の最大値が反射器特性の中心周波数に（るようにし、さ
らに反射器とインターディジタル電極の間隔を最適に＠
ぷことにより。
なり、特性、特にＱが悪化していた。そこでインターデ
ィジタル電極の周期長をずらして、放射コンダクタンス
の最大値が反射器特性の中心周波数に（るようにし、さ
らに反射器とインターディジタル電極の間隔を最適に＠
ぷことにより。
共振抵抗の小さい、いわゆるＱの高い弾性表面波共振子
を得る手法が報告されている。しかしながら、結合係数
の大きい圧電基板を使用して容量比数の幅の広い共振子
を得ようとする場合、第４図に示すように反共振周波数
ｆａが反射器のストップバンドの外に出てしまうため、
反共振Ｑ、及び容量比が悪化する問題があった。
を得る手法が報告されている。しかしながら、結合係数
の大きい圧電基板を使用して容量比数の幅の広い共振子
を得ようとする場合、第４図に示すように反共振周波数
ｆａが反射器のストップバンドの外に出てしまうため、
反共振Ｑ、及び容量比が悪化する問題があった。
本発明の目的は容量比が小さく、反共振Ｑの大麹な弾性
表面波共振子を提供することである。
表面波共振子を提供することである。
本発明は、結合係数の大きな圧電基板を使用しグレーテ
ィング反射器特性のストップバンドの左肩に共振周波数
、右肩に反共振周波数が配置されるようにインターディ
ジタル電電、グレーティング反射器の本数および膜厚を
選定したことを特徴としている。
ィング反射器特性のストップバンドの左肩に共振周波数
、右肩に反共振周波数が配置されるようにインターディ
ジタル電電、グレーティング反射器の本数および膜厚を
選定したことを特徴としている。
本発明によれば、グレーティング反射器特性のストップ
バンド内を最大限利用するため、多少Ｑの低下はあるも
のの、容量比の小さい、しかも反共振Ｑの大きな弾性表
面波共振子を得ることができるため、電圧制御発損益の
発振子として使用した場合、広帯域周波数可変のものが
でらる。
バンド内を最大限利用するため、多少Ｑの低下はあるも
のの、容量比の小さい、しかも反共振Ｑの大きな弾性表
面波共振子を得ることができるため、電圧制御発損益の
発振子として使用した場合、広帯域周波数可変のものが
でらる。
＠５図は本発明の一実施例に係る弾性表面波共振子の特
性を示すもので、パーソナル無線用チャンネル切換電圧
制御発振器に使用する９００ＭＨｚ帯の弾性表面波共振
子に適用した例である。囚において９はグレーティング
反射器特性、１０は５０Ｑ系での共振子の周波数特性を
示している。共振子の構造は第１図に示したよりな１端
子対型で圧電性基板にＬｉＴａ０Ｂ３６’回転Ｙ板を使
用し、０．１μｍ厚のアルミ薄膜からなるインターディ
ジタル′を惟（２０対）が設けられ、さらにその両側に
位置して弾性表面波畏の１／４の線幅１．０μｍのスト
リップを１／２波長間隔で２００本ずつ配列してなるグ
レーティング反射器によって構成されている。第５図に
示すように１反射器特性の左肩（７’＝０．８６）ｌこ
共振周良数ｆｒ、右肩（ｒ＝ｏ、ｓｓ）に反共振周波数
ｆａが配置されるようにインターディジタル電極。
性を示すもので、パーソナル無線用チャンネル切換電圧
制御発振器に使用する９００ＭＨｚ帯の弾性表面波共振
子に適用した例である。囚において９はグレーティング
反射器特性、１０は５０Ｑ系での共振子の周波数特性を
示している。共振子の構造は第１図に示したよりな１端
子対型で圧電性基板にＬｉＴａ０Ｂ３６’回転Ｙ板を使
用し、０．１μｍ厚のアルミ薄膜からなるインターディ
ジタル′を惟（２０対）が設けられ、さらにその両側に
位置して弾性表面波畏の１／４の線幅１．０μｍのスト
リップを１／２波長間隔で２００本ずつ配列してなるグ
レーティング反射器によって構成されている。第５図に
示すように１反射器特性の左肩（７’＝０．８６）ｌこ
共振周良数ｆｒ、右肩（ｒ＝ｏ、ｓｓ）に反共振周波数
ｆａが配置されるようにインターディジタル電極。
グレーティング反射器の本数及びアルミ［厚を選定して
いるため、第４図に示すように、共振周波数ｆｒ を反
射器特性の中心に配置するのに比べ。
いるため、第４図に示すように、共振周波数ｆｒ を反
射器特性の中心に配置するのに比べ。
共振周波数における損失は若干悪化しているが。
反共振Ｑ及び共振−反共振周波数の幅が向上しているの
が明らかである。
が明らかである。
第１図は１弾性表面波共振子の基本構成図、第２図はそ
の電気的等価回路図、第３図は弾性表面波共振子のイン
ピーダンス特性、第４図は従来構成による弾性表面波共
振子の周波数特性例、第５図は本発明の一実施例に係る
弾性表面波共振子の周波数特性である。 ＋５１ ７ １・・・圧電基板、２・・・弾性表面波励振用インター
ディジタル電極、３，４・・・グレーティング反射器。 ５・・・実効抵抗Ｒｅ、６・・・リアクタンスＸｃ、７
、９・・・グレーティング反射器特性、８．１０・・
・共振子特性。 代理人弁理士 則 近 憲右（ほか１名）３ １６１ 第 １ 図 第 ２ 図 （（１） Ｃｂ） 第 ３ 図 周波数 第４図 通差視大［ｄ８］ １詐１ ン皮数 〔トイｌ−１ｚ） 第 ５ 図 誦暖夫Ｃｄδ〕 彫臘（Ｍ）−１１）
の電気的等価回路図、第３図は弾性表面波共振子のイン
ピーダンス特性、第４図は従来構成による弾性表面波共
振子の周波数特性例、第５図は本発明の一実施例に係る
弾性表面波共振子の周波数特性である。 ＋５１ ７ １・・・圧電基板、２・・・弾性表面波励振用インター
ディジタル電極、３，４・・・グレーティング反射器。 ５・・・実効抵抗Ｒｅ、６・・・リアクタンスＸｃ、７
、９・・・グレーティング反射器特性、８．１０・・
・共振子特性。 代理人弁理士 則 近 憲右（ほか１名）３ １６１ 第 １ 図 第 ２ 図 （（１） Ｃｂ） 第 ３ 図 周波数 第４図 通差視大［ｄ８］ １詐１ ン皮数 〔トイｌ−１ｚ） 第 ５ 図 誦暖夫Ｃｄδ〕 彫臘（Ｍ）−１１）
Claims (1)
- 弾性表面波を伝搬する基板と、この基板上に設けられ電
気信号を弾性表面波に変換也しめる弾性表面波励振用イ
ンターディジタル電極と、この電極の両側に設けられた
弾性表面波を反射せしめるグレーティング反射とからな
る弾性表面波共振子において、前記グレーティング反射
器の反射特性のストップバンド下限周波数に共振周波数
、上限周波数に反共振周波数が配置されるよう前記イン
ターディジタル、前記グレーティング反射器の本数およ
び膜厚を選定したことを特徴とする弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24514183A JPS60140918A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24514183A JPS60140918A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60140918A true JPS60140918A (ja) | 1985-07-25 |
Family
ID=17129228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24514183A Pending JPS60140918A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60140918A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63119310A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-24 | Nec Corp | 弾性表面波共振子 |
| JPS6468113A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-14 | Hiroshi Shimizu | Electrode structure for idt exciting type piezoelectric resonator |
| JPH02244812A (ja) * | 1989-03-16 | 1990-09-28 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Ｓａｗ共振子 |
| JPH0552044A (ja) * | 1991-08-21 | 1993-03-02 | R T Eito Shokai:Kk | 建築物 |
| WO2011065199A1 (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-03 | 太陽誘電株式会社 | フィルタ、分波器、通信モジュール |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54125948A (en) * | 1978-03-24 | 1979-09-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Impedance element |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP24514183A patent/JPS60140918A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54125948A (en) * | 1978-03-24 | 1979-09-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Impedance element |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63119310A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-24 | Nec Corp | 弾性表面波共振子 |
| JPS6468113A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-14 | Hiroshi Shimizu | Electrode structure for idt exciting type piezoelectric resonator |
| JPH02244812A (ja) * | 1989-03-16 | 1990-09-28 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Ｓａｗ共振子 |
| JPH0552044A (ja) * | 1991-08-21 | 1993-03-02 | R T Eito Shokai:Kk | 建築物 |
| WO2011065199A1 (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-03 | 太陽誘電株式会社 | フィルタ、分波器、通信モジュール |
| US8552820B2 (en) | 2009-11-30 | 2013-10-08 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Filter, duplexer and communication module |
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