JPS59213A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS59213A JPS59213A JP10935482A JP10935482A JPS59213A JP S59213 A JPS59213 A JP S59213A JP 10935482 A JP10935482 A JP 10935482A JP 10935482 A JP10935482 A JP 10935482A JP S59213 A JPS59213 A JP S59213A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- electrode
- resonance
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/644—Coupled resonator filters having two acoustic tracks
- H03H9/6456—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled
- H03H9/6459—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode
- H03H9/6463—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode the tracks being electrically cascaded
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
本発明は周波数特性の異なる複数の弾性表面波素子を有
する弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタ等の弾性表
面波装置に関する。
する弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタ等の弾性表
面波装置に関する。
E発明の技術的背景]
従来よりこの種の弾性表面波装置、例えば弾性表面波共
振器は、第1図のように、圧電基板1の一重部2に励振
電極3.4を並設し、この各励振型4i!3.4の両側
に′それぞれ一対の反射電極5.6と7.8を設けてな
る構造を有しており、各電極3〜8は圧電基板1の主面
2に蒸着等によって形成されたアルミニウムの導電薄膜
をフォトエツチング法によりすだれ状に形成し【構成さ
れでいる。
振器は、第1図のように、圧電基板1の一重部2に励振
電極3.4を並設し、この各励振型4i!3.4の両側
に′それぞれ一対の反射電極5.6と7.8を設けてな
る構造を有しており、各電極3〜8は圧電基板1の主面
2に蒸着等によって形成されたアルミニウムの導電薄膜
をフォトエツチング法によりすだれ状に形成し【構成さ
れでいる。
そしC1励撮電極3および反射電゛極5.6によっ−〔
第1の弾性表面波共振素子9を構成し、第1の弾性表面
波共振素子9の各電極3.5.6とは電極指間隔を異に
した励振電極4および反射電極7.8により第1の弾性
表面波共振素子9とは共振周波数の具なる第2の弾性表
面波共振素子10を構成するとともに、一方のあるいは
双方の弾性表面波共振素子9.10を適当に切換え(ト
ランジスタ発振回路等に接続し、発振出力を得るように
して使用されることが多い。
第1の弾性表面波共振素子9を構成し、第1の弾性表面
波共振素子9の各電極3.5.6とは電極指間隔を異に
した励振電極4および反射電極7.8により第1の弾性
表面波共振素子9とは共振周波数の具なる第2の弾性表
面波共振素子10を構成するとともに、一方のあるいは
双方の弾性表面波共振素子9.10を適当に切換え(ト
ランジスタ発振回路等に接続し、発振出力を得るように
して使用されることが多い。
[背景技術の問題点]
しかしながら、このように構成された弾性表面波共振器
は、各弾性表面波共振素子9.10の電極3〜8が圧電
基板1上に被着された導電薄膜からフォトエツチング法
等により同厚み、同材料で画一的に形成されでいるので
、各弾性表面波共振素子9.10には共振損失レベルの
差が生ずる欠点がある。
は、各弾性表面波共振素子9.10の電極3〜8が圧電
基板1上に被着された導電薄膜からフォトエツチング法
等により同厚み、同材料で画一的に形成されでいるので
、各弾性表面波共振素子9.10には共振損失レベルの
差が生ずる欠点がある。
この弾性表面波共振素子9.10における共振損失は共
振周波数が低い程大きく、例えば第1の弾性表面波共振
素子9が周波数f1に共振し、第2の弾性表面波共振素
子10が[2に共振するとき、仮に11とflの関係を
f 1>f 2とすれば、第2図に示すようにflがf
lより減衰量が大きくなって共振損失レベル差を生じる
。
振周波数が低い程大きく、例えば第1の弾性表面波共振
素子9が周波数f1に共振し、第2の弾性表面波共振素
子10が[2に共振するとき、仮に11とflの関係を
f 1>f 2とすれば、第2図に示すようにflがf
lより減衰量が大きくなって共振損失レベル差を生じる
。
そのため、発振出力が一定にならなくなって安定な回路
動作を確保し難い。もし、上述の弾性表面波共振器を一
つの発振回路e使用しようとすれば、各弾性表面波共振
素子9.10の出力段にリミッタ回路を設けC予めレベ
ル合Uをする必要があり、発振回路が複雑となって設計
の自由面も小さくなる難点がある。
動作を確保し難い。もし、上述の弾性表面波共振器を一
つの発振回路e使用しようとすれば、各弾性表面波共振
素子9.10の出力段にリミッタ回路を設けC予めレベ
ル合Uをする必要があり、発振回路が複雑となって設計
の自由面も小さくなる難点がある。
なお、第1、第2の弾性表面波共振素子9.10におい
で、共振周波数がfl>flなる関係にある場合、第2
の弾性表面波共振素子1oの反射型wA7.8の電極指
数を増やせば損失差を補正づることが可能であるが、圧
電基板1が大形化してコスト高をまねくのぐ実施が困難
である。
で、共振周波数がfl>flなる関係にある場合、第2
の弾性表面波共振素子1oの反射型wA7.8の電極指
数を増やせば損失差を補正づることが可能であるが、圧
電基板1が大形化してコスト高をまねくのぐ実施が困難
である。
一方、損失の良好な第1の弾性表面波共振素子9の反射
電極5.6の電極指数を減ら1ことによっても損失レベ
ル合せが可能であるが、弾性表面波共振素子の損失が大
きくなり特性が低下するのぐ実用的でない欠点がある。
電極5.6の電極指数を減ら1ことによっても損失レベ
ル合せが可能であるが、弾性表面波共振素子の損失が大
きくなり特性が低下するのぐ実用的でない欠点がある。
[発明の目的]
本発明はこのような欠点を解消するためになされたもの
で、圧電基板の主面上に形成された周波数特性の相違す
る複数の弾性表面波素子の損失レベルを等しくすること
の可能な弾性表面波装置の提供を目的とするものである
。
で、圧電基板の主面上に形成された周波数特性の相違す
る複数の弾性表面波素子の損失レベルを等しくすること
の可能な弾性表面波装置の提供を目的とするものである
。
E発明の概″I]
この目的達成のために本発明は、圧電基板の主面上に周
波数特性の異なる複数の弾性表面波素子を形成した弾性
表面波装置においで、その複数の弾性表面波素子ごとの
電極がそれぞれ重さの異なる電極で形成され、その各弾
性表面波素子の損失レベルを合せてなることを特徴とす
るものである。
波数特性の異なる複数の弾性表面波素子を形成した弾性
表面波装置においで、その複数の弾性表面波素子ごとの
電極がそれぞれ重さの異なる電極で形成され、その各弾
性表面波素子の損失レベルを合せてなることを特徴とす
るものである。
[発明の実施例]
以“ト木発明の詳細な説明する。
なお、弾性表面波装置しC弾性表面波共振器を例にして
説明する。
説明する。
本発明の弾性表面波共振器は、第1図に示すように、L
iTaO3の単結晶からなる圧電基板1の一主面2にく
し形の励振電極3.4と、各々の励振電極3.4を所定
の間隔で挾むように反射型14i5.6.7.8が形成
され、励振電極3と反射電極5.6にて第1の弾性表面
波共振素子9が構成されるーh、第1の弾性表面波共振
素子9の電極3.5.6より電極指間隔が広い励振電極
4と反射電極7.8にC共振周波数の低い第2の弾性表
面波共振素子10が構成されCいる。
iTaO3の単結晶からなる圧電基板1の一主面2にく
し形の励振電極3.4と、各々の励振電極3.4を所定
の間隔で挾むように反射型14i5.6.7.8が形成
され、励振電極3と反射電極5.6にて第1の弾性表面
波共振素子9が構成されるーh、第1の弾性表面波共振
素子9の電極3.5.6より電極指間隔が広い励振電極
4と反射電極7.8にC共振周波数の低い第2の弾性表
面波共振素子10が構成されCいる。
そしC1第2の弾性表面波共振素子10の励振電極4お
よび反射電極7.8の厚みが第1の弾性表面波共振素子
9の励振電極3および反射電極7.8の厚みよりも少し
厚く形成されで、いる。
よび反射電極7.8の厚みが第1の弾性表面波共振素子
9の励振電極3および反射電極7.8の厚みよりも少し
厚く形成されで、いる。
このように構成された弾性表面波共振器は、各弾性表面
波共振素子9.10において励振電極3.4で励振され
た弾性表面波が各々圧電基板1上の伝播路を伝い反射電
極5.6問および7.8間で反射を繰り返し、電極指間
隔によって決まる共振周波数にピークを有する各共振出
力が各々の励振電極3.4から得られる。
波共振素子9.10において励振電極3.4で励振され
た弾性表面波が各々圧電基板1上の伝播路を伝い反射電
極5.6問および7.8間で反射を繰り返し、電極指間
隔によって決まる共振周波数にピークを有する各共振出
力が各々の励振電極3.4から得られる。
その際、第2の弾性表面波共振素子10の共振周波数1
2が第1の弾性表面波共振素子9のそれflよりも低い
が、第2の弾性表面波共振素子10の電極の厚みが第1
の弾性表面波共振素子9の電極の厚みよりも厚くなつ−
(いるので、共振損失の補正が可能となる。
2が第1の弾性表面波共振素子9のそれflよりも低い
が、第2の弾性表面波共振素子10の電極の厚みが第1
の弾性表面波共振素子9の電極の厚みよりも厚くなつ−
(いるので、共振損失の補正が可能となる。
この関係を以上に詳述する。
例えば、共振周波数97.25MHzにおいて、第1の
弾性表面波共振素子9の電Ij!5.6の厚みと共振損
失の関係は、一般に第3図Aのようになり、また、共振
周波数91 、25M117.における第2の弾性表面
波共振素子10の電極7.8の厚みと共振損失の関係は
同図Bのようになる。従つ(、共振周波数の低い第2の
弾性表面波共振素子10の電極厚を0.04とし、第1
の弾性表面波共振素子の電極厚を0.03に設定するな
らば、双方の共振損失を一致させることができる。
弾性表面波共振素子9の電Ij!5.6の厚みと共振損
失の関係は、一般に第3図Aのようになり、また、共振
周波数91 、25M117.における第2の弾性表面
波共振素子10の電極7.8の厚みと共振損失の関係は
同図Bのようになる。従つ(、共振周波数の低い第2の
弾性表面波共振素子10の電極厚を0.04とし、第1
の弾性表面波共振素子の電極厚を0.03に設定するな
らば、双方の共振損失を一致させることができる。
このように、本発明の弾性表面波共振器においCは、共
振周波数の低い弾性表面波共振素子の電極の厚みを共振
周波数の高い弾性表面波共振素子の電極の厚みより厚く
することによつ【双方の共振損失を一致させることがで
きる。
振周波数の低い弾性表面波共振素子の電極の厚みを共振
周波数の高い弾性表面波共振素子の電極の厚みより厚く
することによつ【双方の共振損失を一致させることがで
きる。
次に、本発明の弾性表面波共振器の製造方法の一例を説
明する。
明する。
まず、圧電基板1の鏡面加工された一生面に、蒸着等に
よってアルミニウム薄膜を形成し、電極厚を薄くする方
の弾性表面波共振素子側の電極をフオット]ツヂング等
によって形成する。
よってアルミニウム薄膜を形成し、電極厚を薄くする方
の弾性表面波共振素子側の電極をフオット]ツヂング等
によって形成する。
その後、形成された電極十にレジストを塗布し、電極厚
を厚くづるhの弾性表面波共、振素子側のアルミニウム
′4#@上に再びアルミニウム層を形成し、フォトエツ
チングによって電極を形成して製造される。
を厚くづるhの弾性表面波共、振素子側のアルミニウム
′4#@上に再びアルミニウム層を形成し、フォトエツ
チングによって電極を形成して製造される。
上述の弾性表面波共振器においては弾性表面波共振素子
の共振損失を合せる手段として、共振周波数の低い方の
電極の厚みを同材料で厚くしたが、電極は同一材料に限
らず異種材料を積層さゼCもよく1.また、各々の弾性
表面波共振素子ごとにおい(異なる質量の導電材料に’
U電極格成することも可能ぐあり、これらを組合せるこ
′ともiり能である。要は、共振周波数の低い方の弾性
表面波共振素子の電極を、共振周波数の高い方の弾性表
面波共振素子の電極より重くすることによって本発明の
目的達成が可能である。しかも、弾性表面波共振素子を
構成する励振電極や反射電極のいずれかまたは全部にお
いて実M−dることができる。
の共振損失を合せる手段として、共振周波数の低い方の
電極の厚みを同材料で厚くしたが、電極は同一材料に限
らず異種材料を積層さゼCもよく1.また、各々の弾性
表面波共振素子ごとにおい(異なる質量の導電材料に’
U電極格成することも可能ぐあり、これらを組合せるこ
′ともiり能である。要は、共振周波数の低い方の弾性
表面波共振素子の電極を、共振周波数の高い方の弾性表
面波共振素子の電極より重くすることによって本発明の
目的達成が可能である。しかも、弾性表面波共振素子を
構成する励振電極や反射電極のいずれかまたは全部にお
いて実M−dることができる。
なお、本発明においては、2つ以上複数の弾性表面波共
振素子を有する弾性表面波共振器にあつ−Cも、各々の
電極の厚みや質量の一方もしくは双方を適当に選定して
共振損失を合せることが可能であり、弾性表面波共振器
のみならず弾性表面波フィルタや弾性表面波遅延wA等
の広く弾性表面波vR置に広く応用できる。
振素子を有する弾性表面波共振器にあつ−Cも、各々の
電極の厚みや質量の一方もしくは双方を適当に選定して
共振損失を合せることが可能であり、弾性表面波共振器
のみならず弾性表面波フィルタや弾性表面波遅延wA等
の広く弾性表面波vR置に広く応用できる。
[発明の効果]
本発明は以上のように、圧電基板の主面上に周波数特性
の異なる複数の弾性表面波素子を形成し゛ た弾性表面
波装置においC1共振周波数の低い弾性表面波素子の電
極を厚みや材料を変えて共振周波数の高い弾性表面波素
子の電極より重くしでなるのひ、弾性表面波素子を構成
する電極における電極指数を変えることなく各弾性表面
波素子の損失レベルを等しくすることができる。
の異なる複数の弾性表面波素子を形成し゛ た弾性表面
波装置においC1共振周波数の低い弾性表面波素子の電
極を厚みや材料を変えて共振周波数の高い弾性表面波素
子の電極より重くしでなるのひ、弾性表面波素子を構成
する電極における電極指数を変えることなく各弾性表面
波素子の損失レベルを等しくすることができる。
イの結果、弾性表面波装置の大形化を防ぎ、コストの低
減を図ることかぐきるばかりか、周辺回路を極めて簡素
化することがrきる。
減を図ることかぐきるばかりか、周辺回路を極めて簡素
化することがrきる。
第1図は弾性表面波装置の斜視図、第2図は従来の弾性
表面波装置の共振損失特性を示1特性図、第3図は第2
図に示す弾性表面波装置の電極の膜厚に対する共振損失
の変化を示す特性図である。 1・・・・・・・・・・・・圧電基板 2・・・・・・・・・・・・圧電基板の主面3.4・・
・・・・励振電極 5.6.7.8・・・反tJJ電極 代理人弁理士 須 山 佐 −
表面波装置の共振損失特性を示1特性図、第3図は第2
図に示す弾性表面波装置の電極の膜厚に対する共振損失
の変化を示す特性図である。 1・・・・・・・・・・・・圧電基板 2・・・・・・・・・・・・圧電基板の主面3.4・・
・・・・励振電極 5.6.7.8・・・反tJJ電極 代理人弁理士 須 山 佐 −
Claims (3)
- (1)圧電基板の主面上に周波数特性の異なる複数の弾
性表面波素子を形成した弾性表面波装置において、前記
複数の弾性表面波素子ごとの電極が重さのそれぞれ異な
る電極で形成され、前記各弾性表面波素子の損失レベル
を合せ°Cなることを特徴とする弾性表面波装置。 - (2)損失レベルの大きい弾性表面波素子の電極の厚み
を、損失レベルの小さな弾性表面波素子の電極の厚みよ
りも厚くしてなることを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載の弾性表面波装置。 - (3)損失レベルの大きな弾性表面波素子の電極の材料
を、損失レベルの小さな弾性表面波素子の電極の電極材
料より比重の大きい導電材料で形成し″(なることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10935482A JPS59213A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10935482A JPS59213A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59213A true JPS59213A (ja) | 1984-01-05 |
Family
ID=14508094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10935482A Pending JPS59213A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59213A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4894545A (en) * | 1988-10-27 | 1990-01-16 | Beckman Instruments, Inc. | Liquid scintillation counting |
US5592040A (en) * | 1992-08-24 | 1997-01-07 | Nec Corporation | Acoustic wave resonator filter |
JPH09115652A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Tonichi Denki Kk | 電熱器用ヒータの製造方法 |
JP2008009043A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Yazaki Corp | パイプケーブル |
KR20150062147A (ko) | 2013-11-28 | 2015-06-05 | 엘에스전선 주식회사 | 케이블 접속재 검사 장치 및 케이블 접속재 검사 방법 |
-
1982
- 1982-06-25 JP JP10935482A patent/JPS59213A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4894545A (en) * | 1988-10-27 | 1990-01-16 | Beckman Instruments, Inc. | Liquid scintillation counting |
US5592040A (en) * | 1992-08-24 | 1997-01-07 | Nec Corporation | Acoustic wave resonator filter |
US6437478B1 (en) | 1992-08-24 | 2002-08-20 | Nec Corporation | Surface acoustic wave resonator filter |
JPH09115652A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Tonichi Denki Kk | 電熱器用ヒータの製造方法 |
JP2008009043A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Yazaki Corp | パイプケーブル |
KR20150062147A (ko) | 2013-11-28 | 2015-06-05 | 엘에스전선 주식회사 | 케이블 접속재 검사 장치 및 케이블 접속재 검사 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3970970A (en) | Multiple acoustically coupled surface acoustic wave resonators | |
EP1557945A1 (en) | Piezoelectric vibrator, filter using same, and method for adjusting piezoelectric vibrator | |
EP0184508A2 (en) | Surface acoustic wave transducer | |
US7135805B2 (en) | Surface acoustic wave transducer | |
JPS60126907A (ja) | 単一応答複合圧電振動素子 | |
JPWO2018070369A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JPS5925525B2 (ja) | 弾性表面波共振子 | |
WO2023097531A1 (zh) | 一种体声波谐振器、滤波器及电子设备 | |
JPS632414A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
JPH07263998A (ja) | 端面反射型表面波共振子 | |
JP2000188521A (ja) | 弾性表面波装置及び2ポ―ト弾性表面波共振子 | |
JP2000183681A (ja) | 弾性表面波装置 | |
JPH1084245A (ja) | 弾性表面波素子 | |
JPS63135010A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
JPS62160807A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
JPS59213A (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP3068140B2 (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
US6452306B1 (en) | Surface acoustic wave device and piezoelectric substrate used therefor | |
JPS58156220A (ja) | 薄膜圧電フイルタ | |
KR102561687B1 (ko) | Saw 필터 장치의 소스 억제를 위한 변환기 구조물 | |
JPS598417A (ja) | 弾性表面波装置 | |
JPS598418A (ja) | 弾性表面波装置 | |
JPS60140918A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
JPH0653772A (ja) | 可変周波数弾性表面波機能素子及び 可変周波数フィルタ | |
JP3132109B2 (ja) | 2ポートsaw共振子 |